JP2005256968A - 流体軸受装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 オイルなどの作動流体の軸受外部への流出を阻止できるとともにラジアル軸受剛性の低下を防止でき、かつ、スラスト軸受やラジアル軸受の間隙を良好に維持できて安定して非接触で回転でき、しかも、低温での軸受の性能も良好に維持できる流体軸受装置を提供する。
【解決手段】 軸２を高マンガンクロム鋼またはステンレス鋼で構成し、スリーブ１全体を鉄または銅を６０重量％以上含む金属粒子からなる焼結金属で構成し、この焼結金属の表面に存在する空孔に樹脂、金属または水ガラスが含浸されて硬化させた。これにより、スリーブ１の表面の空孔から軸受外部へオイル１１などの作動流体が漏れ出ることを阻止できるとともに、低温でオイル１１の粘度が大きくなった場合でも、軸２の相対的な回転が重くなることを防止できる。
【選択図】 図１

Description

本発明は動圧流体軸受を使用した流体軸受装置に関するものである。

近年、ディスク等を用いた記録装置等はそのメモリー容量が増大し、またデータの転送速度が高速化しているため、この種の記録装置に用いられるディスク軸受装置は高速、高精度回転が必要となり、その回転主軸部には流体軸受装置が用いられている。

以下、図９〜図１３を参照しながら、従来の流体軸受装置の一例について説明する。
図９、図１０において、軸受穴３０ａを有するスリーブ本体３０は、銅合金等の金属粒子を焼結して構成された焼結金属であり、金属または樹脂で加工されたスリーブカバー３１の内部に一体に挿入されて固定され、これらのスリーブ本体３０とスリーブカバー３１とによりスリーブを構成している。３２は軸であり、軸受穴３０ａを有するスリーブ本体３０に回転自在に嵌め合わされ、軸３２はスラストフランジ３３を一体的に有し、スラストフランジ３３はスリーブ本体３０とスリーブカバー３１とスラスト板３４とで囲まれた空間部３５に収納され、スラストフランジ３３はスラスト板３４とスリーブ本体３０とに両方の面が対向して挟まれた姿勢で回転可能に設けられている。

軸３２にはロータハブ３５が固定され、さらにロータハブ３５の太径部内周にロータ磁石３６が固定され、ロータ磁石３６に対向するようにモータステータ３７がベース３８に取り付けられている。スリーブ本体３０の軸受穴３０ａの内周面または、これに対向する軸３２の外周面の少なくとも一方には動圧発生溝３９Ａ、３９Ｂが設けられ、スラストフランジ３３と、スラスト板３４との対向面には動圧発生溝４０Ａが設けられ、また必要に応じてスラストフランジ３３とスリーブ本体３０との対向面の少なくとも一方にも動圧発生溝４０Ｂが設けられ、動圧発生溝３９Ａ、３９Ｂ、４０Ａ、４０Ｂが臨む軸３２とスリーブ本体３０との間の隙間やスラストフランジ３３が配設されている空間部３５には作動流体としてのオイル４１が注入されている。

以上のように構成された従来の流体軸受装置の動作について、図９、図１０を用いて説明する。図９において、まず、モータステータ３７に通電されると回転磁界が発生し、軸３２、スラストフランジ３３、ロータ磁石３６がロータハブ３５と一体的に回転をはじめる。この時、動圧発生溝３９Ａ、３９Ｂ、４０Ａ、４０Ｂはオイル４１にポンピング圧力を発生し、浮上して非接触で回転する。すなわち、動圧発生溝３９Ａ、３９Ｂ、４０Ａ、４０Ｂの箇所にはラジアル方向に所定隙間を有する状態で回転自在に支持するラジアル軸受が形成され、動圧発生溝４０Ａ、４０Ｂの箇所にはスラスト方向に所定隙間を有する状態で回転自在に支持するスラスト軸受が形成される。

上記構成の流体軸受装置によれば、スリーブ本体３０を焼結金属で形成することで、金型内に焼結後の品物を入れて、プレス成形することが可能となるので、動圧発生溝３９Ａ、３９Ｂ、４０Ａ、４０Ｂをプレス成形により高精度に、かつ、手間を省きながら製造することができ、スリーブ本体を一般の金属材料を用いていた場合のような、精密切削加工などによる溝加工を後工程で行わなくても済んで製造コストを低減させることができる。

しかしながら上記のような従来構成の流体軸受装置では、次のような問題点があった。
図１０に示すように、軸３２はスリーブ本体３０の軸受穴３０ａに回転自在に挿入されているが、焼結金属で形成されているスリーブ本体３０は、内部に空孔３０ｄを２〜１５面積％程度有し、銅合金を６０重量％以上を含んでおり、この空孔３０ｄにオイル４１を低圧で含浸させた材料からなるが、この時含浸されていたオイル４１は、軸受内部の温度上昇等によりスリーブ本体３０の外に溶出しようとし、スリーブ本体３０の外周面などが外部に露出していると、オイル４１が軸受外部に流出して周囲の空気を汚染することがあった。

また、スリーブ本体３０は、図１１の表面写真に示すように、表面に空孔３０ｄを有しているために、動圧発生溝３９Ａ、３９Ｂ、４０Ａ、４０Ｂの作用で軸受内部に発生した２気圧から５気圧の圧力が表面の空孔３０ｄから約３０％漏れて、ラジアル軸受の剛性が３０％低下し、軸３２が非接触回転できずにスリーブ本体３０に回転中に接触して擦れることがあった。図１２は表面の面積空孔率（％）によってラジアル軸受剛性が低下する比率（％）の計算値を示すものである。なお、図１１は、焼結金属表面における０．３ｍｍ×０．３２ｍｍの範囲の拡大写真で、黒い部分が空孔３０ｄを示し、白い部分が金属部分（光沢あり）を示している。

したがって、従来構成の流体軸受装置では、スリーブ本体３０を外周から覆うようにスリーブカバー３１が必要であり、このスリーブカバー３１によりオイル４１が軸受外部に流出することを最小限に抑えていた。

このような問題に対処すべく、オイル４１の軸受外部への流出を阻止する構成として、スリーブカバー４１内に嵌合されたスリーブ本体３０の表面を非透油性の被覆層で被覆した流体軸受装置が特許文献１等に開示されている。

この構成によれば、スリーブ本体３０の表面が非透油性の被覆層で被覆されているので、オイルがスリーブ本体３０の空孔に侵入せず、その結果、スリーブ本体３０を通してオイル４１が軸受外部に流出することを防止できる。また、軸受内部におけるオイル４１の圧力の低下も防止できて、ラジアル軸受剛性の低下を防止できる。
特開２００３−３２２１４５号公報

しかしながら上記の従来構成の流体軸受装置では、次のような問題点があった。
図１３に示すように、スリーブカバー３１に挿入固定されたスリーブ本体３０が、傾いて固定されてしまった場合には、軸受穴３０ａとスラスト板３４との間の直角度に狂いを生じるため、スラスト軸受やラジアル軸受の間隙が不均一となって安定して支持できなくなったり、前記狂いが大きい場合には軸３２がスリーブ本体３０の内面に擦れて非接触回転ができなかったりする問題を生じていた。また、スリーブカバー３１内にスリーブ本体３０を挿入固定する作業が必要であるとともに、スリーブ本体３０とスリーブカバー３１とが個別に設けられているのでその分だけ、部品点数が多くなる欠点もある。

また、図１４は各温度におけるラジアル軸受半径隙間（μｍ）とオイル４１の粘度（センチストークス）と、軸受回転摩擦トルク（ｇ／ｃｍ）との計算値を表しているが、スリーブ本体３０の銅合金の線膨張係数が２０．５Ｅ^−６（／℃）であり、一方、軸３２のマルテンサイト系ステンレスの線膨張係数が１０．３Ｅ^−６（／℃）であるため、低温ではオイル４１の粘度が極めて大きくなる一方で、スリーブ本体３０の内径が小さくなり過ぎて軸受穴３０ａと軸３２との間の半径隙間が狭くなり、回転が重くなる問題があった。したがって、この流体軸受装置を用いたモータでは、低温において消費電流が多くなっていた。

本発明は上記問題を解決するもので、オイルなどの作動流体の軸受外部への流出を阻止できるとともにラジアル軸受剛性の低下を防止でき、かつ、スラスト軸受やラジアル軸受の間隙を良好に維持できて安定して非接触で回転でき、しかも、低温での軸受の性能も良好に維持できる流体軸受装置を提供することを目的とするものである。

上記問題を解決するために、本発明は、スリーブの軸受穴に軸が相対的に回転自在に挿入され、軸外周面またはスリーブ内周面の少なくとも一方に動圧発生溝を有するラジアル軸受面が設けられ、軸とスリーブの間の隙間が作動流体で充満され、固定側のベースに対して回転側のロータハブを回転自在に支持する流体軸受装置であって、ロータハブまたはベースに固定される軸は、高マンガンクロム鋼またはステンレス鋼で構成され、ベースまたはロータハブに固定されるスリーブ全体が、鉄または銅を６０重量％以上含む金属粒子からなる焼結金属であり、この焼結金属の表面に存在する空孔に樹脂、金属または水ガラスが含浸されて硬化されたことを特徴とする。

この構成により、スリーブを構成する焼結金属の表面に存在する空孔に樹脂、金属または水ガラスを含浸させて硬化させたことにより、スリーブの表面の空孔から軸受外部へオイルなどの作動流体が漏れ出ることを阻止できるとともに、軸受内部の圧力の低下を防止できて、これによりラジアル軸受剛性の低下を防止でき、また、焼結金属によりスリーブ全体を構成することで、スラスト軸受やラジアル軸受の間隙を良好に維持できるとともに部品点数および組立工程を削減できる。

また、軸の線膨張係数がスリーブの線膨張係数よりも大きくなるように、焼結金属からなるスリーブの原料となる金属粒子の成分を鉄系にすることで、低温ではスリーブと軸との間の隙間が広がることとなって、低温でオイルの粘度が大きくなった場合でも、軸の相対的な回転が重くなることを最小限に抑えることができる。

本発明は上記した構成によって、スリーブを構成する焼結金属の表面に存在する空孔に樹脂、金属または水ガラスを含浸させて硬化させたことにより、オイルなどの作動流体の軸受外部への流出を阻止できるとともにラジアル軸受剛性の低下を防止できて、信頼性を向上させることができる。また、焼結金属によりスリーブ全体を構成することで、従来のスリーブ本体とスリーブカバーを一体化できて精度が向上し、スラスト軸受やラジアル軸受の間隙を良好に維持できるとともに部品点数および組立工程を削減できる。また、軸の線膨張係数がスリーブの線膨張係数よりも大きくなるようにするため、焼結金属からなるスリーブの原料となる金属粒子の成分を鉄系にすることで、低温で作動流体としてのオイの粘度が大きくなった場合でも、軸の相対的な回転が重くなることを防止でき、この流体軸受装置を用いたモータなどにおいて、低温での消費電流の増加を最小限に抑えることができる。

以下、本発明の実施の形態における流体軸受装置について、図１〜図８を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は本発明の第１の実施の形態に係る流体軸受装置の断面図である。スリーブ１の軸受穴１ａに軸２が回転自在に挿入され、軸２の外周面またはスリーブ１の内周面の少なくとも一方にパターン状の浅溝からなる動圧発生溝３Ａ，３Ｂを有するラジアル軸受面が設けられ、軸２の上部側にはロータ磁石４をその太径部内周に有するロータハブ５が取り付けられ、軸２の他端（図１において下部側）には軸２に直角にスラストフランジ６が一体的に取り付けられている。スラストフランジ６の下端側の軸受面はスラスト板７に対向し、スラスト板７はスリーブ１に固定されている。スラストフランジ６またはスラスト板７の互いに対向する面における少なくとも一方の面には螺旋状または魚骨状パターンの動圧発生溝８Ａが形成され、スラストフランジ６の上平面部とスリーブ１が対向する面との少なくとも一方の面には動圧発生溝８Ｂが設けられている。スリーブ１はモータステータ９とともにベース１０に固定され、軸２とスリーブ１との間の隙間およびスラストフランジ６とスラスト板７との間の隙間は作動流体としてのオイル１１が充満されている。

図２はスリーブ１の拡大図であり、図２において記号Ａで示す部分をさらに拡大したのが図３である。図３に示すように、スリーブ１は多数の金属焼結粒子１ｂが焼結されて構成されているが、それらの外部に臨む金属焼結粒子１ｂ間の空間（空孔）は封孔材料１ｃでほぼ完全に埋め込まれている。

以上のように構成された流体軸受装置の動作について説明する。まず、モータステータ９に通電されると回転磁界が発生し、ロータ磁石４がロータハブ５、軸２とともに回転を始める。回転が始まると動圧発生溝３Ａ，３Ｂ、８Ａ，８Ｂがオイル１１にポンピング圧力を発生し、軸受部（ラジアル軸受部およびスラスト軸受部）の圧力は高まり、軸２およびスラストフランジ６はスリーブ１およびスラスト板７に対して浮上して非接触で高精度に回転する。すなわち、動圧発生溝３Ａ，３Ｂの箇所にはラジアル方向に所定隙間を有する状態で回転自在に支持するラジアル軸受が形成され、動圧発生溝８Ａ，８Ｂの箇所にはスラスト方向に所定隙間を有する状態で回転自在に支持するスラスト軸受が形成される。なお、ロータハブ８は図示しないが１枚または複数枚の磁気記録媒体としてのディスクを固定しておくことが可能で、これら図示しないディスクとともに回転して電気信号の記録または再生を行う。

図４はスリーブ１の製造工程を表している。まず第１に、金属焼結粒子１ｂと結合剤（例えば接着剤）を準備し、第２に、金属焼結粒子１ｂと結合剤からなる粉体をプレス成型し、第３に焼結し、第４に金型内に焼結後の品物を入れて、プレスすることで内外径と端面を同時にサイジング加工する。そして、第５にポリマー、金属、または水ガラス等を含む液体にスリーブ１を入れて表面に含浸させ、必要に応じて低圧にすることで内部にも含浸させ、第６に品物の表面に付着した余剰なポリマー、金属、または水ガラスを除去し、第７に硬化処理によりポリマー、鉄、または水ガラスを固める。この後、第８に第４と同種のサイジング加工を行い、第９に軸受穴１ａの内周面に動圧発生溝３Ａ，３Ｂを加工し、第１０にスリーブ１の内周面にピンを通す等の方法で最終のサイジングを行い、スリーブ１の加工を終了する。

上記の加工工程により、焼結したスリーブ１の表面の空孔を封孔し、良好な品質の軸受穴１ａを有するスリーブ１が得られる。
なお、第９の動圧発生溝の加工は、たとえば特公平３−６８７６８号公報に開示されているようにボールを用いた転造加工により行われる。

また、第９と第１０の加工工程はスリーブ１の軸受穴１ａの内周面に動圧発生溝３Ａ，３Ｂを加工する場合に必要であるが、別途に軸２の外周面に動圧発生溝３Ａ，３Ｂを加工した場合はこの第９と第１０の工程は不要である。

また、第９と第１０の工程は、第８の工程の後に行わず、第４と第５工程の間に実施し、すなわち、第１、第２、第３、第４、第９、第１０、第５、第６、第７、第８の順に加工しても同じ加工が行える。

本発明によれば、スリーブ１における軸受部（ラジアル軸受部およびスラスト軸受部）を含む内周面などの空孔は封孔材料１ｃで封孔されるため、図５に示すように、従来、面積非率で３％以上空孔があった場合に比べて、残留空孔が０％となって、空孔から軸受外部へオイル５が漏れ出ることを阻止できて約３０％軸受剛性が高くなり、この結果、軸振れが少なくなり、回転精度が高くなる。また、従来、改削鋼棒や銅合金棒から旋盤による旋削加工でスリーブ１を削りだし、表面に防錆と耐摩耗性向上のためにニッケルメッキを施すことがあったが、本発明のように焼結材料からなるスリーブ１にニッケルメッキを施すと、腐食性を有するメッキ液が焼結材料の中に残り、この液があとで焼結材料に悪作用をおこすことがあった。これに対して、本発明においては、表面を封孔する加工プロセスを採用しているので、スリーブ１の内部にメッキ液が侵入せず、問題が発生しない。

また、スリーブ１は焼結材料の表面を樹脂または水ガラス等で封孔するため、表面にメッキを施すことができるが、このスリーブ１の表面にニッケル燐系のメッキを施すことで、高マンガンクロム鋼やステンレスからなる軸２との間で良好な滑りと耐摩耗性を発揮し、長寿命な流体軸受装置を構成することができる。

また、図６に示すように、本発明によれば焼結金属によりスリーブ１全体を構成することで、従来のスリーブ本体とスリーブカバーとを一体化できて精度が向上する。例えば、スリーブ１の軸受穴１ａ（軸心をｘで示す）に対するスラスト板７の直角度は２マイクロメータ以下に容易に保つことができる。なお、図６における１２は、スラストフランジ６の配置空間である。

次に、図７は各温度におけるラジアル軸受半径隙間（μｍ（ミクロンメータ））とオイル粘度（センチストークス）と、軸受摩擦トルク（ｇ／ｃｍ（グラムセンチ））とを表示している。本発明においては、軸２が、高マンガンクロム鋼またはステンレス鋼のいずれか一方から構成され、スリーブ１はその６０重量％以上を鉄または銅を含む金属粒子からなる焼結金属にて構成されている。また、スリーブ１の９０重量％以上を鉄系粒子からなる焼結金属に構成することで、軸２の線膨張係数が１６．０Ｅ^−６〜１７．３Ｅ^−６（／℃）、スリーブ１の線膨張係数が１１．０Ｅ^−６（／℃）になるため、低温では軸受穴１ａと軸２との間の半径隙間が広くなり、回転が軽くなる。したがって、オイル１１の粘度が低温で増加しても、流体軸受装置の回転摩擦トルクはさほど大きくならず、モータの消費電流を少なく抑えることが可能になる。具体的な数値は図７に示すとおりである。

また、スリーブ１として、ステンレスの鉄系粒子を５０重量％以上有する鉄系粒子からなる焼結金属を用いることで、封孔処理後のスリーブ１には防錆効果が得られ、長期間にわたって錆が発生しないので、信頼性が高く、表面に錆が発生したりその錆の粒子が周囲を汚染したりする心配も無い。

また、スリーブ１として、マルテンサイトステンレスまたは、フェライトステンレスの鉄系粒子を５０％以上含む鉄系粒子からなる焼結金属を用いることで、軸２の線膨張係数が１６．０Ｅ^−６〜１７．３Ｅ^−６（／℃）である一方で、スリーブ１の線膨張係数が１０．３Ｅ^−６（／℃）になるため、低温では軸受穴１ａと軸２との間の半径隙間が広くなり、回転が軽くなる。したがって、図７に示すように、オイル１１の粘度が低温で増加しても、流体軸受装置の回転摩擦トルクはさほど大きくならず、モータの消費電流を少なく抑えることができる。具体的に、本発明においてはＳＵＳ４１６、ＳＵＳ４２０、ＳＵＳ４４０のマルテンサイトステンレスや、ＳＵＳ４１０ＬやＳＵＳ４３０等のフェライトステンレスが鉄系粉体の材料に選択される。

また、スリーブ１における焼結金属の表面に残留する空孔に、封孔材料１ｃとしてアクリレート系樹脂、または、４フッ化エチレン系樹脂を低圧含浸し、さらにこの樹脂に硬化処理を施しておくことでオイル１１がエステルオイル、オレフィンオイル、鉱油の場合にオイル１１と封孔材料１ｃとの化学反応がなくなり、長期に安定した流体軸受装置が得られる利点がある。

なお、上記実施の形態では、固定されたスリーブ１に対して軸２が回転する場合ついて説明したが、これに限るものではなく、スリーブ１がロータハブ５とともに一体的に回転し、軸２がベース１０に固定された、いわゆる固定構成でも同じことであり、同様のスリーブ１の構成を適用できる。

（実施の形態２）
図８は本発明の第２の実施の形態に係る流体軸受装置の断面図である。スリーブ２１の軸受穴２１ａに軸２２が回転自在に挿入され、軸２２の外周面またはスリーブ２１の内周面の少なくとも一方にパターン状の浅溝からなる動圧発生溝２３Ａ，２３Ｂを有するラジアル軸受面が設けられている。また、軸２２の下端面には軸２２に直角にスラスト軸受面が形成され、スラスト軸受面はスラスト板２４に対向し、スラスト板２４はスリーブ２１に固定され、スラスト軸受面またはスラスト板２４のいずれか一方の面には螺旋状または魚骨状パターンの動圧発生溝２５が形成され、軸２２とスリーブ２１との間の隙間および軸２２とスラスト板２４との間の隙間は潤滑剤としてのオイル２６が充満されている。スリーブ２１は多数の金属焼結粒子２１ｂ（図３参照）が焼結されて構成されているが、それらの金属焼結粒子２１ｂ間の空間は封孔材料２１ｃでほぼ完全に埋め込まれている。なお、図８における２７は軸２２がスリーブ２１の軸受穴２１ａから抜け出ることを防止する抜け止め板である。

なお、スリーブ２１の焼結金属材料や、軸２２の材料としては上記第１の実施の形態の流体軸受装置と同様なものが用いられ、その製造工程、加工方法も同様に用いられる。
以上のように構成された流体軸受装置の動作について説明する。図８において、軸２２が回転を始めると、動圧発生溝２３Ａ，２３Ｂ、２５がオイル２６にポンピング圧力を発生し、軸受部（ラジアル軸受部およびスラスト軸受部）の圧力は高まり、軸２２はスリーブ２１およびスラスト板２４に対して浮上して非接触で高精度に回転する。

この流体軸受装置によっても、上記第１の実施の形態の流体軸受装置と同様な作用効果を得ることができる。

本発明は、ハードディスク装置やその他の装置のスピンドルモータなどに特に適した流体軸受装置に適用できるが、その他の機器にも適用可能である。また、作動流体としてオイル（潤滑油）を用いた場合に特に適しているが、スリーブの空孔が封止されるので、空気を作動流体として用いた場合において、外部雰囲気への汚染や、作動流体の減少は問題とならないものの、この種の流体軸受装置に適用することは可能であり、この場合には、軸受部からスリーブ内部へ作動流体としての空気が逃げることを防止できる。なお、空気以外の気体を作動流体として用いることも可能である。

本発明の第１の実施の形態に係る流体軸受装置の断面図 同流体軸受装置におけるスリーブの詳細断面図 同流体軸受装置におけるスリーブの材料表面の拡大図 同流体軸受装置におけるスリーブの加工工程を示す図 同流体軸受装置の軸受剛性を説明する図 同流体軸受装置の加工精度を説明するための断面図 同流体軸受装置の性能特性を示す図 本発明の第２の実施の形態に係る流体軸受装置の断面図 従来の流体軸受装置の断面図 同従来の流体軸受装置の拡大断面図 スリーブの表面状態を撮った写真を示す図 同従来の流体軸受装置におけるスリーブの空孔率を説明するための図 同従来の流体軸受装置における精度について説明するための概念図 同従来の流体軸受装置の性能特性を示す図

符号の説明

１、２１ スリーブ
１ａ、２１ａ 軸受穴
１ｂ、２１ｂ 金属焼結粒子
１ｃ、２１ｃ 封孔材料
２、２２ 軸
３Ａ，３Ｂ、２３Ａ，２３Ｂ 動圧発生溝（ラジアル軸受面）
４ ロータ磁石
５ ロータハブ
６ スラストフランジ
７、２４ スラスト板
８Ａ，８Ｂ、２５ 動圧発生溝（スラスト軸受面）
９ モータステータ
１０ ベース
１１、２６ オイル（作動流体）

Claims (7)

1. スリーブの軸受穴に軸が相対的に回転自在に挿入され、軸外周面またはスリーブ内周面の少なくとも一方に動圧発生溝を有するラジアル軸受面が設けられ、軸とスリーブの間の隙間が作動流体で充満され、固定側のベースに対して回転側のロータハブを回転自在に支持する流体軸受装置であって、
   ロータハブまたはベースに固定される軸は、高マンガンクロム鋼またはステンレス鋼で構成され、
   ベースまたはロータハブに固定されるスリーブ全体が、鉄または銅を６０重量％以上含む金属粒子からなる焼結金属であり、この焼結金属の表面に存在する空孔に樹脂、金属または水ガラスが含浸されて硬化された流体軸受装置。
2. スリーブは、９０重量％以上が鉄系粒子からなる焼結金属である請求項１に記載の流体軸受装置。
3. スリーブは、ステンレスの鉄系粒子を５０重量％以上含む鉄系粒子からなる焼結金属である請求項１または２に記載の流体軸受装置。
4. ステンレスの鉄系粒子は、フェライトステンレスまたはマルテンサイトステンレスの鉄系粒子を５０％以上含む鉄系粒子からなる請求項３に記載の流体軸受装置。
5. スリーブは、焼結金属の表面に存在する空孔にアクリレート系樹脂を含浸し、さらにこの樹脂に硬化処理を施して形成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の流体軸受装置。
6. スリーブは、焼結金属の表面に存在する空孔に４フッ化エチレン系樹脂を含浸し、さらにこの樹脂に硬化処理を施して形成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の流体軸受装置。
7. スリーブは、焼結金属の表面に存在する空孔に樹脂を含浸し、さらにスリーブの表面にニッケル燐系のメッキを施して形成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の流体軸受装置。

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