JP2005249513A - 圧力検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ハウジング内に収納されたセンシング部に、受圧ダイアフラムから棒状の圧力伝達部材を介して圧力を印加するようにした圧力検出装置において、受圧ダイアフラムをハウジングに溶接する時に受圧ダイアフラムが荷重によって熱変形するのを防止する。
【解決手段】 ハウジング10のうちセンシング部20の取り付け部位から突出するパイプ部10cの突出先端部の開口部10dには受圧ダイアフラム13が溶接され、一端部がセンシング部20、他端部が受圧ダイアフラム23にそれぞれ荷重を与えた状態で接触するように、パイプ部10c内に棒状の圧力伝達部材80が収納されてなる圧力検出装置において、ハウジング10は、ハウジング10におけるセンシング部20の取り付け部位と受圧ダイアフラム13の固定部位との間で分割されており、これら分割された各部10a、10bが圧入により組み付けられて一体化されたものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 ハウジング10のうちセンシング部20の取り付け部位から突出するパイプ部10cの突出先端部の開口部10dには受圧ダイアフラム13が溶接され、一端部がセンシング部20、他端部が受圧ダイアフラム23にそれぞれ荷重を与えた状態で接触するように、パイプ部10c内に棒状の圧力伝達部材80が収納されてなる圧力検出装置において、ハウジング10は、ハウジング10におけるセンシング部20の取り付け部位と受圧ダイアフラム13の固定部位との間で分割されており、これら分割された各部10a、10bが圧入により組み付けられて一体化されたものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ハウジング内に収納されたセンシング部に、受圧ダイアフラムから棒状の圧力伝達部材を介して圧力を印加するようにした圧力検出装置に関する。
従来の一般的なこの種の圧力検出装置は、圧力に応じた信号を出力するセンシング部をハウジングに取り付けるとともに、このセンシング部に圧力を伝達するための棒状の圧力伝達部材をハウジング内に収納したものである。センシング部としては歪みゲージなどが採用される(たとえば、特許文献1参照)。
ここで、ハウジングにおいては、センシング部の取り付け部位からパイプ状をなして突出するパイプ部が備えられており、このパイプ部の突出先端部の開口部には、当該開口部を遮蔽するように受圧ダイアフラムが溶接されて固定されている。
そして、圧力伝達部材は、一端部がセンシング部に荷重を与えた状態で接触し他端部が受圧ダイアフラムに荷重を与えた状態で接触するように、パイプ部内に収納されるようになっている。こうして、受圧ダイアフラムが受けた圧力を圧力伝達部材を介してセンシング部に伝達することにより圧力の検出を行うようにしている。
特開平5−34231号公報
ところで、本発明者が試作検討したところ、上記した従来の圧力検出装置において次のような問題が生じることがわかった。図2は、本発明者の試作品としての圧力検出装置を示す概略断面図である。
金属製のハウジング10の外周面には、被測定体にネジ結合可能なネジ部11が形成されており、その内部には、センシング部20が取り付けられ収納されている。
ここでは、センシング部20は、一端側が開口部22、他端側がダイアフラム23である中空筒状の金属ステム21と、この金属ステム21のダイアフラム23の表面に低融点ガラスなどによって接合され設けられた歪みゲージ30とからなる。
この歪みゲージ30は、たとえば、圧力によって金属ステム21のダイアフラム23が変形したとき、この変形に応じた抵抗値変化を電気信号に変換して出力する半導体チップなどからなる。
また、ステム21の外周の側面にはネジ部24が形成されており、このネジ部24を介してステム21とハウジング10とはネジ結合され、ステム21はハウジング10に取り付けられ固定されている。
また、ハウジング10の内部において、ステム21の外周には、セラミック基板などからなる回路基板40が、スペーサ41に接着されて設けられている。そして、歪みゲージ30と回路基板40とは、ボンディングワイヤ42により結線され、電気的に接続されている。
この回路基板40における歪みゲージ30とのワイヤボンディング面には、コネクタターミナル60へ電気的接続するためのピン43が接合されている。また、回路基板40のワイヤボンディング面と反対側の面には、歪みゲージ30からの出力を増幅したり調整したりするためのICチップ44が接着されている。なお、ICチップ44は、回路基板40に形成されたスルーホールなどにより、ピン43と電気的に接続されている。
コネクタターミナル60は、ターミナル61が樹脂62にインサート成形により構成されたアッシー(ASSY)である。ターミナル61と回路基板40とはピン43にレーザ溶接などにより接合されている。
また、コネクタターミナル60は、ハウジング10の端部12をコネクタケース70にかしめることにより、コネクタケース70に固定保持され、ターミナル61は外部の配線部材などへ電気的に接続可能となっている。
コネクタケース70は、コネクタターミナル60の外形を成す樹脂などからなるもので、ハウジング10の端部12をコネクタケース70にかしめることにより、ハウジング10と一体化してパッケージを構成し、該パッケージ内部の歪みゲージ30、各種IC、電気的接続部を湿気・機械的外力より保護するものである。
また、ハウジング10においては、センシング部20の取り付け部位からパイプ状をなして突出するパイプ部10cが備えられており、このパイプ部10cの突出先端部の開口部10dには、当該開口部10dを遮蔽するように、金属製の受圧ダイアフラム13が溶接されて固定されている。
そして、パイプ部10c内には、金属製棒状の圧力伝達部材80が収納されている。ここで、圧力伝達部材80の一端部は、センシング部20としての金属ステム21の開口部22から金属ステム21内へ挿入され、金属ステム21のダイアフラム23に荷重を与えた状態で接触している。
一方、圧力伝達部材80の他端部は受圧ダイアフラム13に荷重を与えた状態で接触している。こうして、受圧ダイアフラム13が受けた圧力は、圧力伝達部材80を介してセンシング部20に伝達され、圧力の検出が行われるようになっている。
この図2に示される圧力検出装置の組付方法について、述べる。まず、歪みゲージ30が接合された金属ステム21を、ハウジング10にネジ結合して固定する。次に、スペーサ41をハウジング10内に投入するとともに、スペーサ41に回路基板40を接着する。
次に、歪みゲージ30と回路基板40とをボンディングワイヤ42により結線し、コネクタターミナル60とピン43とをレーザ溶接などにて接合する。そして、コネクタケース70をハウジング10に組み付け、ハウジング10の端部12をかしめることにより、コネクタケース70とハウジング10とを固定する。
次に、圧力伝達部材80を、パイプ部10cの突出先端部の開口部10dから挿入した後、当該開口部10dを覆うように受圧ダイアフラム13を取り付ける。
そして、圧力伝達部材80によって金属ステム21のダイアフラム23が押されるように受圧ダイアフラム13に荷重をかけながら、受圧ダイアフラム13をパイプ部10cの開口部10dに溶接して固定する。こうして、上記図2に示される圧力検出装置が完成する。
この圧力検出装置は、ハウジング10のネジ部11を介して被測定体に取り付けられる。そして、図2中の矢印Yに示されるように、圧力が受圧ダイアフラム13に印加されると、圧力伝達部材80を介してセンシング部20に伝達される。すると、その圧力によって金属ステム21のダイアフラム23が変形し、この変形を歪みゲージ30により電気信号に変換し、圧力検出を行うようにしている。
このような試作品としての圧力検出装置においては、上記組み付け方法に示したように、受圧ダイアフラム13の溶接時には、受圧ダイアフラム13に対して圧力伝達部材80から荷重が加わっている。このように、受圧ダイアフラム13に荷重をかけながら溶接を行う主な理由は、次の2つである。
1つは、もし、圧力伝達部材80の両端部が、金属ステム21のダイアフラム23、受圧ダイアフラム13に対してほとんど荷重をかけないで接している状態である場合、圧力伝達部材80が、その線膨張係数により縮んだとき、圧力伝達部材80が上記両ダイアフラム13、23の少なくとも一方から離れた状態となってしまう。
2つ目としては、この圧力検出装置をたとえばエンジンの燃焼室内の圧力を検出するセンサとして用いた場合、当該燃焼室内の圧力は負圧になることがある。すると、受圧ダイアフラム13が、外側に膨らんで圧力伝達部材80から離れてしまうことが起こりうる。
このようなことから、圧力伝達部材80と両ダイアフラム13、23との接触を確保するために、受圧ダイアフラム13に荷重をかけながら溶接を行うことで、組み付け後において圧力伝達部材80の各端部が各ダイアフラム13、23に荷重を与えた状態で接触するようにしている。
しかしながら、受圧ダイアフラム13に荷重をかけながら溶接を行うと、溶接時の熱で受圧ダイアフラム13が軟らかくなったところへ荷重が加わるため、受圧ダイアフラム13が熱によって変形してしまうという問題が生じる。また、このことは、組み付け後において圧力伝達部材80から各ダイアフラム13、23に与えられる荷重が、設定値通りにならないという問題にもつながる。
本発明は上記問題に鑑み、ハウジング内に収納されたセンシング部に、受圧ダイアフラムから棒状の圧力伝達部材を介して圧力を印加するようにした圧力検出装置において、受圧ダイアフラムをハウジングに溶接する時に受圧ダイアフラムが荷重によって熱変形するのを防止することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、ハウジング(10)と、ハウジング(10)に取り付けられ圧力に応じた信号を出力するセンシング部(20)と、ハウジング(10)のうちセンシング部(20)の取り付け部位から突出するパイプ状をなすパイプ部(10c)と、パイプ部(10c)の突出先端部の開口部(10d)に対して当該開口部(10d)を遮蔽するように溶接されて固定された受圧ダイアフラム(13)と、パイプ部(10c)内に、一端部がセンシング部(20)に荷重を与えた状態で接触し他端部が受圧ダイアフラム(13)に荷重を与えた状態で接触するように、収納された棒状の圧力伝達部材(80)とを備え、受圧ダイアフラム(13)が受けた圧力を圧力伝達部材(80)を介してセンシング部(20)に伝達することにより圧力の検出を行うようにした圧力検出装置において、ハウジング(10)は、ハウジング(10)におけるセンシング部(20)の取り付け部位と受圧ダイアフラム(13)の固定部位との間で分割されており、これら分割された各部(10a、10b)が組み付けられて一体化されたものであることを特徴としている。
それによれば、ハウジング(10)におけるセンシング部(20)の取り付け部位側の分割部(10a)にセンシング部(20)を取り付け、一方、受圧ダイアフラム(13)の固定部位側の分割部(10b)に受圧ダイアフラム(13)を溶接して固定することができる。
そして、圧力伝達部材(80)を収納するように、上記の両分割部(10a、10b)を組み付けて一体化する。この組み付け時に、圧力伝達部材(80)の一端部がセンシング部(20)に荷重を与えた状態で接触し、他端部が受圧ダイアフラム(13)に荷重を与えた状態で接触するように、両分割部(10a、10b)を組み付ける。
このとき、受圧ダイアフラム(13)には、圧力伝達部材(80)から荷重が印加されるが、受圧ダイアフラム(13)は、あらかじめ溶接が済んでおり、熱的に安定した状態であるため、当該印加荷重による受圧ダイアフラム(13)の熱変形は生じない。
このように、本発明によれば、受圧ダイアフラム(13)に対する予荷重印加工程と溶接工程とを分離できるため、受圧ダイアフラム(13)をハウジング(10)に溶接する時に受圧ダイアフラム(13)が荷重によって熱変形するのを防止することができる。
ここで、請求項2に記載の発明のように、請求項1に記載の圧力検出装置においては、ハウジング(10)の各分割部(10a、10b)は圧入により互いに固定されているものにできる。
また、請求項3に記載の発明のように、請求項1または請求項2に記載の圧力検出装置において、センシング部(20)は、一端側が開口部(22)、他端側がダイアフラム(23)である中空筒状の金属ステム(21)と、この金属ステム(21)のダイアフラム(23)の表面に設けられた歪みゲージ(30)とからなるものにできる。
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る圧力検出装置100の概略断面構成を示す図である。この圧力検出装置100は、たとえば、自動車のエンジンブロックに取り付けられ、燃焼室内の圧力(筒内圧)を検出するセンサとして適用することができる。
ハウジング10は、円筒状の第1の分割部10aとこの第1の分割部10aよりも細いパイプ部10cを有する第2の分割部10bとからなり、これら両分割部10a、10bは、切削や冷間鍛造等により加工された金属製のものである。
たとえば、ハウジング10すなわち両分割部10a、10bはステンレスなどから構成されるもので、第1の分割部10aの端部を第2の分割部10bに設けられた拡径部に圧入することにより、両分割部10a、10bは一体に固定されている。
ハウジング10におけるパイプ部10cの外周面には、被測定体としての上記エンジンブロックにネジ結合可能なネジ部11が形成されている。ここで、ハウジング10のパイプ部10cは、被測定体としてのエンジンブロックに形成されたネジ穴に挿入され、ネジ部11を介して取り付けられる。
ハウジング10における第1の分割部10aの内部には、圧力に応じた信号を出力するセンシング部20が取り付けられている。ここでは、センシング部20は、一端側が開口部22、他端側がダイアフラム23である中空筒状の金属ステム21と、この金属ステム21のダイアフラム23の表面にガラス溶着などによって設けられた歪みゲージ30とからなる。
金属ステム21は、中空円筒形状に加工された金属製の部材であり、ハウジング10における第1の分割部10aの中空部に圧入されて固定されている。なお、本実施形態においても、上記図2と同様に、金属ステム21はハウジング10に対してネジ結合されるものであってもよい。
ここでは、図1に示されるように、金属ステム21は、第1の分割部10aにおける第2の分割部10bとの圧入部側の端部寄りに、金属ステム21の開口部22を位置させ、第1の分割部10aにおける第2の分割部10bとの圧入部側の端部とは反対側の端部寄りに、金属ステム21のダイアフラム23を位置させている。
この歪みゲージ30は、たとえば、ブリッジ回路などが形成されたシリコン半導体チップなどからなるもので、圧力によって金属ステム21のダイアフラム23が変形したとき、この変形に応じた抵抗値変化を電気信号に変換して出力する機能する。そして、これら金属ステム21のダイアフラム23および歪みゲージ30が、圧力検出装置100の基本性能を左右する。
ここで、金属ステム21を構成する金属材料には、超高圧を受けることから高強度であること、及び、Si半導体などからなる歪みゲージ30を低融点ガラスにより接合することなどのため、低熱膨張係数であることが求められ、具体的には、Fe、Ni、CoまたはFe、Niを主体とし、析出強化材料としてTi、Nb、Alまたは、Ti、Nbが加えられた材料を選定し、プレス、切削や冷間鍛造などにより形成できる。
また、ハウジング10の内部において、金属ステム21のダイアフラム23の外周には、セラミック基板などからなる第1の回路基板40が設けられている。そして、歪みゲージ30と第1の回路基板40とは、アルミニウム(Al)などからなるボンディングワイヤ42により結線され、電気的に接続されている。
また、第1の回路基板40における歪みゲージ30とのワイヤボンディング面には、たとえばセラミック基板などからなる第2の回路基板50が対向して配置されている。この第2の回路基板50における第1の回路基板40との対向面には、ICチップ44が接着されて搭載されている。
このICチップ44は、歪みゲージ30からの出力を増幅したり調整したりするための回路が形成されたものであり、第2の回路基板50とはボンディングワイヤ42を介して電気的に接続されている。そして、これら第1および第2の回路基板40、50は、両回路基板40、50間に介在するスプリング45により電気的に接続されている。
ここで、スプリング45は導電性の弾性体であり、たとえば、第1および第2の回路基板40、50の一方にろう付けやはんだ付けされ、他方には接触することによって、両回路基板40、50の導通が実現されている。
また、第2の回路基板50における第1の回路基板40側とは反対側の面には、ターミナル61を有するコネクタケース70が設けられている。コネクタケース70はPPS(ポリフェニレンサルファイド)等の樹脂などからなるもので、ターミナル61はコネクタケース70にインサート成形などにより一体化されている。
そして、ターミナル61と第2の回路基板50とは導電性接続部材63を介して電気的に接続されている。この導電性接続部材63としては、たとえばゴム中に導電性のピンが異方性を持って多数配列されたもの、あるいは、スプリング、あるいは、導電性接着剤などを採用することができる。
また、ハウジング10の端部12をコネクタケース70にかしめることにより、コネクタケース70とハウジング10とは一体に固定されている。そして、ターミナル61は自動車のECUなどへ配線部材を介して電気的に接続可能となっている。
一方、図1に示されるように、ハウジング10全体でみると、第2の分割部10bに設けられているパイプ部10cは、センシング部20の取り付け部位からパイプ状をなして突出するものとなっている。
そして、このパイプ部10cの突出先端部の開口部10dには、当該開口部10dを遮蔽するように、金属製の受圧ダイアフラム13が溶接されて固定されている。具体的に、受圧ダイアフラム13はステンレスなどからなるものにできる。
また、パイプ部10c内には、金属製棒状の圧力伝達部材80が収納されている。ここで、圧力伝達部材80の一端部は、センシング部20としての金属ステム21の開口部22から金属ステム21内へ挿入され、金属ステム21のダイアフラム23に荷重を与えた状態で接触している。
一方、圧力伝達部材80の他端部は受圧ダイアフラム13に荷重を与えた状態で接触している。こうして、受圧ダイアフラム13が受けた圧力は、圧力伝達部材80を介してセンシング部20に伝達され、圧力の検出が行われるようになっている。
このように、本圧力検出装置100においては、ハウジング10は、ハウジング10におけるセンシング部20の取り付け部位と受圧ダイアフラム13の固定部位との間で第1の分割部10aと第2の分割部10bとに分割され、これら各分割部10a、10bが組み付けられて一体化されたものとなっている。
かかる構成を有する圧力検出装置100の組付方法について、述べる。まず、歪みゲージ30が接合された金属ステム21を、ハウジング10における第1の分割部10aに圧入して固定する。
次に、第1の回路基板40を金属ステム21の外周に配置し、第1の回路基板40と歪みゲージ30との間をボンディングワイヤ42により結線する。そして、第1の回路基板40と、ICチップ44がワイヤボンド実装された第2の回路基板50とをスプリング45を介して接続する。
続いて、コネクタケース70をハウジング10における第1の分割部10aに組み付け、ハウジング10の端部12をかしめることにより、コネクタケース70とハウジング10における第1の分割部10aとを固定する。それとともに、ターミナル61と第2の回路基板50とを導電性接続部材63を介して接続する。
こうして、センシング部20および両回路基板40、50が設けられた第1の分割部10aと、コネクタケース70とが一体に組み付けられる。
また、一方で、ハウジング10における第2の分割部10bにおいてパイプ部10cの上記開口部10dに対し、受圧ダイアフラム13を溶接して固定する。
次に、圧力伝達部材80の一端部を金属ステム21の開口部から挿入し圧力伝達部材80の他端部をパイプ部10cに挿入した状態で、ハウジング10における第1の分割部10aと第2の分割部10bとを圧入させることで、一体化する。こうして、上記図1に示される圧力検出装置100が完成する。
かかる圧力検出装置100は、ハウジング10のネジ部11を介して、被測定体としてのたとえば上記エンジンブロック形成されたネジ穴に取り付けられることによって、当該エンジンブロックに接続固定される。
そして、燃焼室内の圧力(筒内圧)が、図1中の矢印Yに示されるように、受圧ダイアフラム13に印加されると、圧力伝達部材80を介してセンシング部20に伝達される。すると、その圧力によって金属ステム21のダイアフラム23が変形し、この変形を歪みゲージ30により電気信号に変換し、圧力検出を行うようにしている。そして、歪みゲージ30からの信号は、ICチップ44にて処理され、ターミナル61から外部へ出力される。
ところで、本実施形態の圧力検出装置100は、ハウジング10と、ハウジング10に取り付けられ圧力に応じた信号を出力するセンシング部20と、ハウジング10のうちセンシング部20の取り付け部位から突出するパイプ状をなすパイプ部10cと、パイプ部10cの突出先端部の開口部10dに対して当該開口部10dを遮蔽するように溶接されて固定された受圧ダイアフラム13と、パイプ部10c内に、一端部がセンシング部20に荷重を与えた状態で接触し他端部が受圧ダイアフラム13に荷重を与えた状態で接触するように、収納された棒状の圧力伝達部材80とを備え、受圧ダイアフラム13が受けた圧力を圧力伝達部材80を介してセンシング部20に伝達することにより圧力の検出を行うようにしたものである。
そして、このような圧力検出装置100において、本実施形態では、ハウジング10は、ハウジング10におけるセンシング部20の取り付け部位と受圧ダイアフラム13の固定部位との間で分割されており、これら分割された各部10a、10bが組み付けられて一体化されたものであることを特徴としている。
このような特徴する本圧力検出装置100によれば、ハウジング10におけるセンシング部20の取り付け部位側の分割部すなわち第1の分割部10aにセンシング部20を取り付け、一方、受圧ダイアフラム13の固定部位側の分割部すなわち第2の分割部10bに受圧ダイアフラム13を溶接して固定することができる。
そして、圧力伝達部材80を収納するように、上記の両分割部10a、10bを組み付けて一体化する。この組み付け時に、圧力伝達部材80の一端部がセンシング部20に荷重を与えた状態で接触し、他端部が受圧ダイアフラム13に荷重を与えた状態で接触するように、両分割部10a、10bを組み付ける。
このとき、受圧ダイアフラム13には、圧力伝達部材80から荷重が印加されるが、受圧ダイアフラム13は、あらかじめ溶接が済んでおり、熱的に安定した状態であるため、当該印加荷重による受圧ダイアフラム13の熱変形は生じない。
このように、本実施形態の圧力検出装置100によれば、受圧ダイアフラム13に対する予荷重印加工程と溶接工程とを分離できるため、受圧ダイアフラム13をハウジング10に溶接する時に受圧ダイアフラム13が荷重によって熱変形するのを防止することができる。
ここで、本実施形態では、上述したように、ハウジング10の各分割部10a、10bは圧入により互いに適切に固定されたものとしている。
また、本実施形態では、上述したように、センシング部20は、一端側が開口部22、他端側がダイアフラム23である中空筒状の金属ステム21と、この金属ステム21のダイアフラム23の表面に設けられた歪みゲージ30とからなるものとしており、適切な圧力検出を可能としている。
(他の実施形態)
なお、上記実施形態では、ハウジング10は、ハウジング10におけるセンシング部20の取り付け部位と受圧ダイアフラム13の固定部位との間で分割され、分割された各部が組み付けられて一体化されたものであればよく、たとえばパイプ部10cの途中部で分割されていてもよい。
なお、上記実施形態では、ハウジング10は、ハウジング10におけるセンシング部20の取り付け部位と受圧ダイアフラム13の固定部位との間で分割され、分割された各部が組み付けられて一体化されたものであればよく、たとえばパイプ部10cの途中部で分割されていてもよい。
ただし、この場合、金属ステム21は、細いパイプ部10c側から圧入してハウジング10に固定することはできないため、上記図2に示されるように、金属ステム21はネジ結合によりハウジング10に固定することが好ましい。
また、ハウジング10における各分割部10a、10bは圧入により互いに固定されているもの以外にも、たとえば、溶接や接着あるいはネジ結合などにより、互いに固定されたものであってもよい。
また、センシング部としては、上述した金属ステム21と歪みゲージ30とから構成されるものに限定されるものではなく、圧力伝達部材80から受けた圧力に応じた信号を出力するものであれば、かまわない。
要するに、本発明は、パイプ部10cを有するハウジング10にセンシング部20を取り付け、パイプ部10cの突出先端部の開口部10dに受圧ダイアフラム13を溶接し、パイプ部10c内に、一端部がセンシング部20に荷重を与えた状態で接触し他端部が受圧ダイアフラム13に荷重を与えた状態で接触するように、棒状の圧力伝達部材80を収納してなる圧力検出装置において、ハウジング10を上述のように分割したことを要部とするものであり、それ以外の部分については適宜設計変更が可能である。
10…ハウジング、10a…ハウジングにおける第1の分割部、
10b…ハウジングにおける第2の分割部、10c…ハウジングにおけるパイプ部、
10d…パイプ部の突出先端部の開口部、13…受圧ダイアフラム、
20…センシング部、21…金属ステム、22…金属ステムの開口部、
23…金属ステムのダイアフラム、30…歪みゲージ、80…圧力伝達部材。
10b…ハウジングにおける第2の分割部、10c…ハウジングにおけるパイプ部、
10d…パイプ部の突出先端部の開口部、13…受圧ダイアフラム、
20…センシング部、21…金属ステム、22…金属ステムの開口部、
23…金属ステムのダイアフラム、30…歪みゲージ、80…圧力伝達部材。
Claims (3)
- ハウジング(10)と、
前記ハウジング(10)に取り付けられ圧力に応じた信号を出力するセンシング部(20)と、
前記ハウジング(10)のうち前記センシング部(20)の取り付け部位から突出するパイプ状をなすパイプ部(10c)と、
前記パイプ部(10c)の突出先端部の開口部(10d)に対して当該開口部(10d)を遮蔽するように溶接されて固定された受圧ダイアフラム(13)と、
前記パイプ部(10c)内に、一端部が前記センシング部(20)に荷重を与えた状態で接触し他端部が前記受圧ダイアフラム(13)に荷重を与えた状態で接触するように、収納された棒状の圧力伝達部材(80)とを備え、
前記受圧ダイアフラム(13)が受けた圧力を前記圧力伝達部材(80)を介して前記センシング部(20)に伝達することにより圧力の検出を行うようにした圧力検出装置において、
前記ハウジング(10)は、前記ハウジング(10)における前記センシング部(20)の取り付け部位と前記受圧ダイアフラム(13)の固定部位との間で分割されており、これら分割された各部(10a、10b)が組み付けられて一体化されたものであることを特徴とする圧力検出装置。 - 前記各分割部(10a、10b)は圧入により互いに固定されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力検出装置。
- 前記センシング部(20)は、一端側が開口部(22)、他端側がダイアフラム(23)である中空筒状の金属ステム(21)と、この金属ステム(21)の前記ダイアフラム(23)の表面に設けられた歪みゲージ(30)とからなるものであることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力検出装置。
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