JP2005236279A - 半導体ウェーハホルダ用垂直軸及び支持構造間の回転滑り防止装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】回転方向に加えられる力に対して、基板ホルダ支持部を回転軸にしっかりと固定した基板支持アセンブリを提供する。
【解決手段】基板ホルダ支持部（スパイダ）１０は、サセプタ等の基板ホルダの下側を支える中央ソケット１４から半径方向外側かつ上側に向かって延びる複数の支持アーム１２を有している。支持アセンブリ８は係合部及び固定部３２を有するエルボー形の保持部材２２からなり、係合部はソケット開口部２６と軸２０の欠刻部との位置が揃って通路を形成した場合に、開口部２６内に挿入される。ソケット開口部２６と軸２０の欠刻部との両方を係合することにより、スパイダソケット１４を軸２０に固定し、両者間の回転、即ち、回転滑りが防止される。
【選択図】図２Ａ

Description

本発明は、概ね基板加工の分野に関し、特に、ウェーハホルダ用垂直支持軸と支持構造との相対的な回転を防止する装置及び方法に関する。

半導体ウェーハなどの基板の加工において、ウェーハを均等に支持し、かつウェーハ表面全体の均等な熱分布を確保するために、反応室内部で基板又はウェーハのホルダが一般に用いられる。ウェーハホルダが放射エネルギー吸収を促進する場合は、このウェーハホルダはサセプタと呼ばれる。このサセプタ即ちウェーハホルダは、長く伸びた回転軸の一部嵌合するように構成されたソケットを有する下方にある支持部（たとえば、石英製「スパイダ」）によって支えられている。１つの一般的な構成において、この軸は、支持部の回転を実現するモータに回転可能に結合されている。その結果として、回転するウェーハホルダ支持部によって支持されているウェーハホルダもまた、ウェーハホルダ上に載っているウェーハと同様に回転する。ウェーハの加工（たとえば、化学蒸着、物理蒸着、エッチング等）中は、ウェーハが均等に回転することが望ましい。回転速度のわずかなずれ即ち「ブレ」でも、一般に望ましくない不均一なウェーハ表面の加工を招く。

過去において、ウェーハホルダは２００ｍｍウェーハに対して設計されてきた。現在では、半導体デバイスの歩留まり（たとえば、マイクロチップ）が、３００ｍｍウェーハのより大きな表面積によってより高いものになることから、３００ｍｍウェーハを収容するように構成された、より大きく、より重いウェーハホルダがより多く使用されている。

２００ｍｍシステムで時々起こることが知られている問題としてウェーハホルダ支持部（本明細書ではスパイダとも呼ぶ）と回転軸との間の回転滑りの問題があるが、３００ｍｍサセプタの回転の慣性は２００ｍｍシステムの６．１倍である。したがって、回転軸に対してスパイダが滑る可能性はずっと大きい。スパイダソケットと回転軸との間の滑りによって、精密に機械加工された軸とソケット内部の接合面との研磨作用が引き起こされ、これによって接合面が変形し、その結果、回転軸とスパイダソケットとはそれ以上共に正確に嵌合しなくなる。この軸とソケット内部の機械加工面とが研磨されることによって、各表面がお互いにさらに滑ることになる可能性がある。さらに、この研磨作用はウェーハホルダのブレをもたらす可能性もある。この軸に対するスパイダソケットの回転滑りは、反応室底部の管状部周辺にダストを堆積させて、粒子状汚染物質を発生する可能性もある。

本発明は、特に、ウェーハホルダ支持部（即ち「スパイダ」）を回転しないよう軸にロックする装置と方法とを提供することによって、上記の問題に取り組むものである。有利なことに、軸にロックされて回転しないウェーハホルダ支持部を実現することが、望ましくない回転滑りの防止に役立ち、これによって適切な基板又はウェーハの向きが確保される。さらに、本発明の好ましい実施形態は、ウェーハホルダ支持部が回転しないように軸にロックされた場合でも、垂直方向に自由に持ち上げられ得る。好ましい実施形態は、またウェーハホルダ支持部のブレも低減し、これにより均一な付着を確保するのに役立つ。好ましい実施形態はまた、移動部品間の摩擦によって発生する望ましくない粒子状汚染物質の発生の可能性も低減する。好ましい実施形態は、個々の部品の生産寿命の保持に加えて、供給された部品を簡単に組み立てかつ分解することを考慮している。

本発明の一態様によれば、基板加工時に基板ホルダを支持する支持アセンブリが提供される。このアセンブリは、回転駆動部に対する基板ホルダ支持部の回転滑りを防止する基板ホルダ支持部を含んでいる。

好ましい実施形態において、保持部材が基板ホルダ支持部ソケットの開口部に挿入され、その結果、軸が基板ホルダ支持部ソケット内に挿入された場合、この保持部材が回転駆動部又は軸の欠刻部又は接触面と接触し、これにより軸に対する基板ホルダ支持部の回転滑りが防止される。１つの好ましい実施形態において、保持部材はＬ字形部材であり、一方、別の実施形態においては、保持部材は、基板ホルダ支持部ソケット内の開口部と係合する場合はＵ字形である柔軟部材である。さらに他の好ましい実施形態において、保持部材は角の形をした保持部材であり、一方、別の実施形態において、保持部材は、基板ホルダソケットの開口部内に挿入されながら基板ホルダ支持部のアームをまたぐように構成されたキーである。

本発明の別の態様によれば、基板加工システムが提供される。このシステムは、レセプタ及びこのレセプタから一般に半径方向外側に向かって延びる複数のアームを有する支持部材を備えている。各アームはホルダの下側を支え、レセプタはレセプタの側壁に穴を有する。このシステムは、ロックキー及び回転リンク機構も備えている。この回転リンク機構は、回転リンク機構の長手方向軸のまわりにレセプタに対して少なくとも部分的に回転可能にレセプタ内部に受容されるように構成された端部を有している。この回転リンク機構の端部は、少なくとも１つの保持面も有している。この少なくとも１つの保持面及び上記の穴は、上記回転リンク機構が回転してロック位置になった場合に、この少なくとも１つの保持面及び穴が、ロックキーを受容するだけの大きさと構成とを持つ通路を、共に形成するように構成されている。このロックキーは、これによって支持部材が回転リンク機構とは独立に回転することを防いでいる。

本発明の別の態様によれば、半導体加工システム用の回転サセプタアセンブリを組み立てる方法が提供される。基板保持構造の回転時の回転リンク機構に対する基板保持構造の回転滑りを防止するように、基板保持構造が回転リンク機構に結合される。

本発明の別の態様によれば、基板を回転させる方法が提供される。基板保持アセンブリを回転させる場合に、回転源に対するサセプタホルダ支持部の回転滑りを防ぐように基板保持アセンブリを回転リンク機構に結合することによって、サセプタアセンブリが回転される。好ましい実施形態において、基板保持アセンブリは、回転リンク機構上に置かれ、このアセンブリが係合位置に落ちるまで回転される。

別の好ましい実施形態において、基板ホルダ支持部は回転駆動インターフェースを含んでいる。回転駆動部及び回転駆動インターフェースは、回転駆動部に対する基板ホルダ支持部の回転滑りを防止するために、共に正確に嵌合するように成形されている。

別の好ましい実施形態では、基板回転システムが提供される。このシステムには、成形された回転軸、及びこの軸とサセプタ支持部の間の回転滑りを防止するように、この回転軸と接合するように対応して成形されたサセプタ支持部が含まれる。

本発明及び従来技術に対して達成される利益を要約するために、本発明のある一定の目的及び利益を上記で説明してきた。当然のことながら、本発明の特定の実施形態のいずれによってもこのような目的又は利益のすべてを必ずしも達成できる訳ではないことを理解すべきである。それゆえ、たとえば、本明細書で教示又は示唆されるようなその他の目的又は利益を必ずしも達成せずに、本明細書で教示されるような１つの利益又は複数の利益を達成する、あるいは最適化するようなやり方で本発明を実現又は実施することができることを当業者は了解するであろう。

これらの実施形態はすべて、本明細書で開示した本発明の範囲に入るものである。開示した特定の好ましい実施形態のいずれにも限定するものではない本発明のこれらの実施形態及びその他の実施形態は、添付図を参照した好ましい実施形態の以下の詳細な説明から当業者には容易に明白なものとなるであろう。

本発明の好ましい実施態様について以下に図面を参照して説明する。

図１Ａ及び１Ｂは従来技術の支持アセンブリ６を概略的に示したものである。基板（又はウェーハ）ホルダ支持部、即ちスパイダ１０が反応室１１内に示されている。このスパイダ１０は、サセプタ等の基板ホルダ１６の下側を支える中央ソケット１４から半径方向外側かつ上側に向かって延びる複数の支持アーム１２を有している。基板ホルダ１６は支持アーム１２上に載っており、基板又はウェーハ１８を保持するように構成されている。スパイダ１０の下に、長く伸びた回転軸２０がスパイダソケット１４と嵌合されており、これによってモータ２２によって長く伸びた軸２０が回転した場合にスパイダ１０が回転できるように結合されている。上記の背景技術の項において説明したように、この結合では軸２０とソケット１４との間の相対的な回転が、特に２００ｍｍウェーハから３００ｍｍウェーハへの変更によってこのシステムの質量が増加した場合に、十分に防止されない。また、嵌合の各面はお互いに擦れ合い、変形するので、ウェーハ加工に悪影響を及ぼす基板ホルダ支持部のブレが生じる。

図２Ａ〜２Ｄは本発明の一実施形態に係る支持アセンブリ８を示している。支持アセンブリ８は、係合部２４及び固定部３２を有するエルボー形の保持部材２２又はロックキーを含んでいる。この係合部２４は、ソケット開口部２６と軸２０の欠刻部３０との両方の位置が揃えられて保持部材２２のための連続的な好ましい通路が与えられた場合に、ソケット１４の側壁２８の開口部２６内に挿入されるように構成されている。この保持部材２２は、開口部２６をほぼ隙間なく満たすことが好ましい。欠刻部３０は、軸２０上の平面でない湾曲した面上で平らにされた平面部であることが好ましい（図３Ａ〜３Ｃを参照）。そのように挿入された場合、保持部材２２は係合位置にある。図示したように、開口部２６は、スパイダ１０の支持アーム１２の１つを部分的に通って延びてもよい。係合位置にある場合、保持部材２２の係合部２４は、保持部材２２がそこから挿入された支持アーム１２の反対側のソケット側壁２８から突出していることが好ましい。挿入された保持部材２２は、スパイダ１０（したがって、スパイダ１０に支持されたウェーハホルダ１６（図１Ａ））を、ソケット開口部２６と長く伸びた軸２０の欠刻部３０（図３）との両方を係合することにより、ソケット内に挿入される長く伸びた軸２０に固定する役割を果たす。保持部材２２によるソケット開口部２６と軸の欠刻部３０との両者の係合によって、スパイダソケット１４に対する軸２０の回転、即ち、回転滑りが防止されることが好ましい。

本発明の実施形態は、スパイダ１０を軸２０、回転駆動部又は回転リンク機構から取り外すためにスパイダ１０を垂直方向に持ち上げるのを妨げることがなく、保持部材２２が係合位置にある場合に回転滑りを防止するように構成されたロック機能を用いていることが好ましい。言い換えると、保持部材（たとえば、ロックキー）は、垂直方向に加えられた力（たとえば、回転駆動部の長手方向軸に平行な力）に対しては支持部材を回転駆動部にロックせず、回転方向及び水平方向に加えられた力に対しては支持部材を回転駆動部にロックする。そのため、日常の保守作業などのときに軸２０からスパイダ１０を持ち上げる前に回転ロックを外す必要が無い。垂直ロックが無いにもかかわらず、ウェーハホルダ１６とスパイダ１０とを合わせた重量が十分あるので、基板１８の加工時に基板ホルダ１６が垂直に移動するあるいは持ち上がることを防ぐことができ、それゆえ係合され、回転滑りを抑制する保持部材２２の状態が維持される。

スパイダソケット１４の外側に突出している保持部材２２の固定部３２は、スパイダ１０の固定部品３４によって保持されていることが好ましい。図示された実施形態において、固定部品３４は、保持部材２２の固定部３２が回転されて図示した位置にあれば、固定部３２の外側方向への移動を拘束することによって保持部材２２を所定位置に固定するフック部材を備えている。有利なことに、固定部３２は、重力により付勢された位置にあり、保持部２４がロック位置で欠刻部３０と係合した後に、下方に回転して図示した位置に収まる。固定部品３４は、時計方向に保持部材２２の固定部３２を最初に回転させ、これにより保持部材２２の固定部３２を固定部品３４から解放することによって保持部材２２を取り外すことができるように構成されている。その後、必要に応じ、保持部材２２をソケット開口部２６の外に引き出すことにより、係合部２４をソケット開口部２６から取り外すことができる。しかしながら、ウェーハホルダ１６を軸２０から取り除くために保持部材２２を取り除く必要が無いので、前に概説したように、サセプタ１６の下に回転ロック部品が隠れている（図１）という事実にもかかわらず、保守作業が容易になる。

図２Ｃは、図２Ａ及び２Ｂで示された支持アセンブリで用いられたエルボ形の保持部材２２の拡大図であり、より明瞭に示された係合部２４及び固定部３２を示す。図示された保持部材２２は一般にＬ字形であるが、この係合部と固定部は垂直である必要は無い。図２Ｄは、理解しやすいように保持部材２２を外した状態の図２Ｂの断面図である。

図３Ａ及び３Ｂは、本発明の好ましい実施形態で用いられる長く伸びた軸２０を示す。軸の欠刻部３０は、スパイダ１０が軸２０と別個に回転する危険性を防止又は最小限にするために、係合した保持部材２２と接触するのに十分な表面積を有する１つ又は複数の面を形成するように構成されていることが好ましい。軸２０は、軸２０の端部３６に欠刻部３０を有している。長く伸びた軸２０の端部３６は、図示したように平面の欠刻部３０を除いて先細になっていて、一般に湾曲した（円錐形として示した）表面を有することが好ましい。欠刻部３０は、ソケット開口部２６と位置が揃った場合に、スパイダソケット１４の側壁２８に挿入された保持部材２２の係合部２４（図２）を受容するように構成されている。そのため保持部材２２は、長く伸びた軸２０をスパイダソケット１４に連結して軸２０に対するスパイダ１０の回転を最小限にするか又は防止する。係合位置にある場合は、回転軸２０の長手方向軸に垂直な保持部材２２が軸の欠刻部３０の面と当接することが好ましい。軸２０の欠刻部３０は、軸２０の長手方向軸と平行な方向に垂直に延びていることが好ましく、これにより、保持部材２２が軸２０の長手方向軸のまわりで別個に回転するのを防止する。スパイダ１０が軸２０に対して回転することを防止している。実施形態によっては、保持部材２２が軸の欠刻部３０の下側の水平に延びている面（即ち、欠刻部３０の床面）とも係合している。このアセンブリは軸の欠刻部３０と保持部材２２との間の接触表面積を最大にするように構成されていることが好ましい。

図３Ｃは、長く伸びた軸２０が３つの欠刻部３０を有する、ある実施形態で用いられる別の軸の構成を示している。図示された軸２０によって、オペレータは組み立て作業中に最も近い欠刻部３０に係合することが可能である（図７、８及び対応する以下の文章を参照）。別の好ましい実施形態において、３つの欠刻部は、たとえば、機械加工の不完全さ、熱膨張及び／又は使用後の磨耗によるばらつきの結果、お互いに多少異なっている。これらの差異の結果として、作業中にオペレータが、保持部材によって係合する場合に回転力に対してスパイダを軸に最もよく固定する欠刻部を各欠刻部の間から選択してもよい。この３つの欠刻部３０をもつ軸２０は、本明細書で開示した本発明の実施形態のいずれに用いてもよい。

図４Ａ及び４Ｂは、図２Ａ〜２Ｄで示した保持部材２２の代わりに柔軟な保持部材３８が用いられる本発明の別の実施形態を示す。軸２０は理解しやすいようにソケット１４から切り離して示した。この柔軟な保持部材３８は、スパイダソケット１４に対する回転に逆らって軸２０を固定する。保持部材３８は円筒形であることが好ましい。エルボー形の保持部材２２（図２Ａ〜２Ｄに示した）を用いる実施形態の場合と同様に、この保持部材３８の係合部２４は、ソケット１４の側壁２８の開口部２６を通して挿入されるように設計されており、かつ開口部２６と欠刻部３０の位置が揃った場合に軸欠刻部３０と係合し、係合部２４がそこから挿入されているスパイダアーム１２の反対側を越えて突出するように設計されている。しかしながら、図２Ａ〜２Ｄのエルボー形保持部材２２と異なり、この柔軟な保持部材３８は、この保持部材３８に対してまったく力が加えられていない場合は一般にまっすぐであることが好ましい。さらに、固定部材３２、即ち、軸の欠刻部３０と係合していない保持部材３８の端部がスパイダアーム１２の開口部４０内に挿入できるように、保持部材３８を曲げることができる。

曲げられ、開口部２６及び４０の両方に挿入されてスパイダ１０を回転しないように長く伸びた軸２０に止めた場合、柔軟な保持部材３８は、まっすぐになる方向に付勢され、そのため保持部材３８を取り外すのに必要な力の方向に対して垂直な方向に力を及ぼす。これにより保持部材３８は、所望の固定位置に保持部材３８を保持する。この結果、好ましいことに、保持部材３８の係合部２４がソケット開口部２６及び軸の欠刻部３０と係合している状態が維持される。アーム開口部４０はアーム１２内に部分的にしか延びていないものとして示されているが、アーム開口部４０は、アーム１２内により深く延びていてもよく、あるいはアーム１２を貫通して延びていてもよいことが理解されるべきである。別の配置においては、固定部はねじによって又は固定部とアーム開口部にねじ山をつけてアーム開口部内で固定することができる。柔軟な保持部材３８は、端部３２及び２４がそれぞれお互いの方向に圧縮され、各部が各開口部から引き出されることにより選択的に取り外されることが好ましい。さらに、図４Ａ及び４Ｂに示した実施形態では、図３Ａ及び３Ｂに示すように先細になった端部３６及び欠刻部３０を有する長く伸びた軸２０（図４Ａではソケット１４と嵌合されていない位置に示されている）も用いることが好ましく、あるいは別の好ましい実施形態では、図３Ｃに示したように３つの欠刻部３０を有する軸２０を用いることが好ましい。

柔軟な保持部材３８は、部材３８が端から端まで曲げることができる材料で構成されることが好ましい。保持部材３８は、本発明の開示を考慮すれば当業者には明白であるような金属、プラスチック及びその他の材料又は各材料の組み合わせ等の、プロセス室環境で使用するのに適したいくつかの柔軟な材料で構成され得る。

図４Ｃ及び４Ｄは、保持部材の別の実施形態を、曲げた状態及び緩めた状態でそれぞれ示している。端から端まで曲げることができる代わりに、図示された保持部材４２は、２つの剛性部品４６の間に介在させた中央ばね部４４を備えている。このばね部４４は斜線で示されている。

図５Ａ及び５Ｂは、本発明のさらに別の実施形態に係る保持部材４８を用いる支持アセンブリ８を示している。この保持部材４８は、各スパイダアーム１２のうちの隣接する２つのアームの間の領域として定められた「コーナー領域」５０に一致するように成形されることが好ましく、その領域にソケット１４の開口部２６が位置する。図５Ａはスパイダ１０を下から見た斜視図である。１つの実施形態において、ソケット１４及び開口部２６は、保持部材４８の延長部５２を収容するように設計されている。保持部材４８が開口部２６内に挿入された場合、延長部５２はスパイダソケット１４の内部に突き出る。したがって、軸２０がソケット１４に結合され、欠刻部３０の位置が開口部２６の位置と揃った場合、延長部５２は軸２０の欠刻部３０と係合する。これにより保持部材４８はスパイダソケット１４を軸２０に対して固定する。

図５Ａについてさらに説明すると、第１の溝５４が、上記のコーナー領域５０の境界を定めるスパイダアーム１２の一方に設けられ、第２の溝５６がこのようなスパイダアーム１２の他方に設けられる。保持部材４８は、スパイダアーム１２の対応する第１及び第２の溝５４、５６に挿入された場合に、挿入されたスパイダアーム１２の反対側から、それぞれ突き出る複数の延長部又は耳形部５８を有することが好ましい。各耳形部５８は、ロックピン６２（図５Ａ、５Ｂ及び５Ｄ）を収容し、保持部材４８をコーナー領域５０に固定するように構成された開口部６０（図５Ｃ）をも有することが好ましい。保持部材４８を固定することによって延長部５２の位置が適切に合わせられ、適切に位置が揃えられた軸の欠刻部３０と係合された状態が維持され、これによって、長く伸びた軸２０に対するスパイダ１０（したがって、サセプタ又はスパイダ１０に支えられたウェーハホルダ１６）の回転を防止するか又は最小限にする。図５Ｃは、図５Ａ及び５Ｂで用いられた保持部材４８の拡大図である。

図５Ｄは、図５Ａ及び５Ｂで用いられたロックピン６２の１つの拡大図である。好ましい実施形態においては、保持部材４８をコーナー領域５０に固定するために２つのロックピン６２が用いられる。このロックピン６２はそれぞれ、保持部材耳形部５８のピン穴６０に挿入されるように構成された延長部６３を有している。さらに、ロックピン６２はピン穴６０の直径よりも大きい上部６１を有しているので、ロックピン延長部６３をピン穴６０に挿入した場合、ロックピン６２は、（重力により）保持部材４８の突出する耳形部５８上の所定位置に支えられた状態を維持する。具体的には、上部６１がロックピン６２のピン穴６０を滑り抜けるのを防止する。

保持部材４８がコーナー領域５０及びソケット開口部２６と適切に位置が揃えられると、両方の耳形部５８は、第１及び第２の溝５４、５６とそれぞれ位置が揃う。各耳形部５８を各溝５４、５６に挿入し、その後ロックピン６２をピン穴６０に挿入すると、保持部材４８を所定位置に固定する役割を果たす。軸２０の欠刻部と位置を揃えた場合、延長部５２は欠刻部３０と係合し、その結果、軸２０は、ソケット１４内に完全に挿入された場合、回転しないようにスパイダソケット１４に固定される（図５Ｂ）。前に説明した実施形態と同様に、スパイダ１０は軸２０に対して垂直方向にロックされていないので、保守時に容易に持ち上げることができる。

図６Ａ〜６Ｄは、スパイダアーム１２の溝６６に挿入されるように設計された保持部材６４を用いる本発明のさらに別の実施形態に係る支持アセンブリ８を示す。係合位置にある場合、この保持部材６４は、溝を設けたスパイダアーム１２をまたぐ、２つの尖った先又はアーム６８によって補助される軸の欠刻部３０と係合する。このスパイダアームの溝６６は、保持部材６４を溝６６内で選択的に保持することを可能にする壁部６７（図６Ｂ）によって部分的に境界が定められている。壁部６７は溝６６の上部６９ならびに下部即ち係合部７２の境界を定めている。溝６６はソケット１４内にも延びている。この下部即ち係合部７２は、溝６６の残りの部分よりもスパイダソケット１４に接近している。溝６６は、軸２０がソケット１４内に完全に挿入された場合に、保持部材６４が軸の欠刻部３０と係合することができる位置に保持部材６４を保持するように構成されている。図６Ｃに示すように保持部材６４の係合部７４が溝６６の低部７２にある場合、保持部材６４は、尖った先６８が壁部６７をまたぐロック位置に重力によって付勢されている。したがって、この位置では、保持部材６４は係合位置に留まることが好ましく、これによって、回転方向に加えられた力に対してスパイダ１０が軸に固定され続ける。溝６６の上部内面及び下部内面、特にそれがソケット１４に入る箇所は、保持部材６４が下方に滑るのを防いでいる。壁部６７の後部壁７０（図６Ｂ）と、溝を設けたスパイダアーム１２をまたぐ２つのアーム６８とは共に、水平方向に加えられた力に対して保持部材６４を係合位置に保持する。図６Ｂは、支持アセンブリ８から切り離した、係合していない位置にある保持部材６４を示している。図６Ｃ、６Ｄは係合した位置にある保持部材６４を示しており、これによりスパイダ１０を回転しないよう軸２０に止める。図６Ｃの水平断面図である図６Ｄはさらに、アーム６８がスパイダアーム１２をまたぐ様子及び係合部７４が軸の欠刻部３０と係合する様子を示している。図６Ｄは、保持部材６４に対するスパイダアーム溝６６（保持部材が挿入されていない側面図として図６Ｂに示されている）の後部壁７０の位置も示している。

ある好ましい実施形態において、基板ホルダは３００ｍｍウェーハを保持するように構成されており、一方、別の実施形態においては、基板ホルダは２００ｍｍウェーハを保持するように構成されている。

本発明の好ましい実施形態は、回転リンク機構に対する基板ホルダ支持部の回転滑りを防止するように、好ましくはリンク部材で回転リンク機構を基板ホルダ支持部に連結することにより、基板ホルダ支持部を軸又は他の形態のリンク機構等の回転リンク機構形態に結合するように構成されている。保持部材又はロックキーなどのリンク部材は、回転リンク機構と基板ホルダ支持部即ちスパイダとの両方を係合するように構成されていることが好ましい。このリンク部材は、スパイダ等の基板ホルダ支持部の開口部と係合し、たとえば軸等の回転リンク機構の上の、欠刻部等の接触面又は保持面と接触することが好ましい。しかしながら、当業者は、本明細書に開示された好ましい実施形態の変更形態が本請求項の範囲内に入ることを容易に了解するだろう。たとえば、この軸は上に向けた開口部と一体型のレセプタ又はソケットを有することができ、またスパイダは、接触面又は欠刻部を有する下向きの一体型延長部を有することができる。当業者は、本発明の開示を鑑みて、これらの構造的変更を考えたとしても、本明細書に開示されたリンク部材は依然として、軸に対するスパイダの回転滑りを防止するように機能するだろうということを理解するだろう。別の実施形態においては、回転滑りを防止するために一体型保持部材（たとえば、恒久的に設置されたもの）が用いられる。例示された実施形態によって、機械切削でソケット及びアームに穴をあけることにより既存スパイダを簡単に改装することができることは有利である。

好ましくは剛性である保持部材（たとえば、図２Ａ〜２Ｄ、３Ａ〜３Ｃ、５Ａ〜５Ｄ及び６Ａ〜６Ｄで使用された保持部材）を用いる実施形態で使用される保持部材は、セラミック材料から形成されることが好ましい。保持部材は石英から形成されることがより好ましく、一方、別の実施形態では保持部材が、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）又はシリコンカーバイドでコーティングしたグラファイトから形成されている。

さらに別の実施形態においては、軸（又は回転駆動部）及び基板ホルダ支持部ソケット（又は回転駆動インターフェース）の内部は共に正確に嵌合する（たとえば、回転滑りを防止する）ように成形されている。たとえば、図７に示すように、軸２０は丸めていない（たとえば、平らな）断面７３を有するように機械加工されており、回転滑りを防止するためにこの断面は、これに対応して機械加工され、成形された部分７１を有するスパイダソケットと正確に嵌合する。他の実施形態において、軸及びソケットは、図７に示した形以外の対応する形（たとえば、Ｖ字形の刻み目のある軸及びこれに対応するソケット延長部）を有するように構成されている。

図８は、基板保持構造（スパイダ）を回転駆動部（たとえば、軸）に結合する１００ことにより回転するサセプタ保持アセンブリを回転する方法を示している。連結部材が基板保持構造の開口部内に挿入され１１０、その結果、この連結部材は基板保持構造を回転駆動部に回転するように連結させ、これにより、基板保持構造が回転源と別個に回転することを防止している。基板保持構造と回転駆動部のどちらもお互いに回転する１２０。

図９に示される好ましい実施形態において、軸の端部が基板ホルダ支持部のソケット内に挿入される２００。この支持部はソケットの壁部に開口部を有し、軸の端部は欠刻部を有している。保持部材がこの開口部内に挿入される２１０。この軸及び基板ホルダはその後、開口部と欠刻部とが一緒に通路を形成し、保持部材が欠刻部との接触点に落ちるまで回転軸の長手方向軸のまわりでお互いに対して、好ましくは手動で回転される２２０（即ち、第１の完全に係合する位置）。その後、回転軸が長手方向軸のまわりで回転され２３０、これによって基板ホルダ支持部を回転させる。有利なことに、基板ホルダ支持部は、取替え又はその他の日常保守のために、第１の完全に係合した位置から外に自由に持ち上げることができる。

好ましい実施形態は、基板ホルダ支持部が軸と別個に回転するのを防止する。言い換えると、好ましい実施形態は回転滑りを防止する。しかしながら、当業者は、本明細書で説明した実施形態のロック機能についても、基板ホルダ支持部及び／又は軸に対する保持部材の結合に影響を及ぼす機械加工公差によって、ある少量の滑りが引き起こされる可能性があることを了解するだろう。したがって、本明細書で示した使用のように、回転滑りを防止する、及び基板ホルダ支持部を軸へ固定する又はロックすることは、機械加工公差によって引き起こされるこのような少量の滑りを包含することを意味する。

別の好ましい実施形態では、基板保持構造を回転リンク機構に結合した後にリンク部材が挿入される。この実施形態において、リンク部材を挿入することは、ソケットの壁部に開口部を有するウェーハホルダ用支持部のソケット内に、１つ又は複数のリンク部材接触面を有する軸の端部を挿入することを含んでいる。挿入の後、この軸及び支持部は、開口部と１つ又は複数の接触面の１つとが一緒に通路を形成するまで、軸の長手方向軸のまわりでお互いに回転される。リンク部材が、軸に対するウェーハホルダ支持部の回転を防止するようにこの通路内に挿入される。リンク部材がこの通路内に挿入された後、軸が長手方向軸のまわりで回転され、これによってウェーハホルダ支持部が回転する。

別の好ましい実施形態では、回転サセプタアセンブリを組み立てる方法が提供される。組み立て作業時に、基板保持アセンブリの回転中の回転リンク機構に対するサセプタ保持構造の回転滑りを防止するように、基板保持構造が回転リンク機構に結合される。回転力に対して、回転リンク機構は、基板保持構造の穴に係合し、回転リンク機構の接触面に接触することにより回転滑りを防止するリンク部材を用いて、基板保持構造に連結されるか、「同期される」ことが好ましい。

さらに別の好ましい実施形態では、共に正確に嵌合するように成形された回転リンク機構及び基板保持構造（たとえば、図７に示すアセンブリ）が用いられる。基板保持構造の成形された部分は、回転リンク機構の対応する成形部分と位置が揃えられ、回転リンク機構上に位置が下げられる。この結果、基板保持アセンブリの回転中の回転リンク機構に対するサセプタ保持構造の回転滑りを防止するように、基板保持構造が回転リンク機構に結合される。

ある一定の好ましい実施形態及び実施例の文脈の中で本発明を開示したが、本発明は、具体的に開示された実施形態を超えて、その他の本発明の実施形態及び／又は用途、及びそれらの明白な変更形態にまで及ぶことが、当業者によって理解されるだろう。たとえば、軸は、一体型の基板ホルダ支持延長部と係合する一体型レセプタを有するように構成され得る。その後、開口部がレセプタの側面に配置され、欠刻部がその延長部内に配置されることが好ましい。したがって、本明細書で開示された本発明の範囲は、上記した特定の実施形態に限定されるべきではなく、請求項を公正に読むことによってのみ決定されるべきものである。

軸、基板ホルダ支持部及び基板ホルダを備えた従来技術の支持アセンブリの、図１Ｂの線１Ａ−１Ａに沿った底部断面図である。 図１Ａに示した従来技術の支持アセンブリの、線１Ｂ−１Ｂに沿った側断面図である。 エルボ形の保持部材、この保持部材を受容する欠刻部を有する軸、及びこの保持部材を所定場所に固定する固定部材を用いる本発明の一実施形態に係る支持アセンブリの概略側面図である。 図２Ａに示した支持アセンブリの概略平面図である。 図２Ａ及び２Ｂの支持アセンブリで用いられる保持部材の拡大図である。 軸の欠刻部に対する保持部材の位置と向きとをより明確に示すために選択された、図２Ａ及び２Ｂの支持アセンブリの、図２Ｂの線２Ｄ−２Ｄに沿った側断面図である。 先細になった端部及び端部の単一の欠刻部を有する、本発明の一実施形態に係る長く伸びた支持部軸の拡大斜視図である。 図３Ａの軸の平面図である。 先細になった先端部及び複数の欠刻部を有する、本発明の長く伸びた支持軸の別の実施形態の平面図である。 柔軟な保持部材を用いる、本発明の別の実施形態に係る支持アセンブリの上から見た概略斜視図である。 図４Ａに示した支持アセンブリの平面断面図である。 図４Ａ及び４Ｂに示した柔軟な保持部材を曲げた姿勢で示した別の実施形態の拡大図である。 図４Ｃのばね式保持部材を緩めた姿勢の拡大図である。 ２つのスパイダアームによって形成される隅に固定するための耳形部を有する保持部材を用いる本発明の別の実施形態に係る支持アセンブリの一部を下から見た斜視図であり、長く伸びた軸は、保持部材が所定位置にロックされた場合のその位置をより明確に示すために図示していない。 長く伸びた軸をスパイダソケットに挿入した状態の図５Ａの支持アセンブリを側面から見た斜視図である。 図５Ａ及び５Ｂに示した保持部材の平面図である。 図５Ａ及び５Ｂの支持アセンブリのロックピンの一側面図である。 溝によって境界が定められる壁部をまたぐように構成されている２つの尖った先を有する保持部材を受容するスパイダアームの溝を有する本発明のさらに別の実施形態に係る支持アセンブリの平面図である。 図６Ａの支持アセンブリの、線６Ｂ−６Ｂに沿った支持アセンブリの側断面図である。 スパイダアームの溝内に係合した保持部材を備えた図６Ｂの支持アセンブリを示す図である。 図６Ｃの線６Ｄ−６Ｄに沿った水平断面図である。 成形されたソケットと、対応して成形された軸とを一緒に用いる別の実施形態の平面断面図である。 本発明の好ましい実施形態に係る回転サセプタアセンブリを組み立てる方法を示すフローチャートである。 本発明の別の好ましい実施形態に係る基板ホルダ支持部を回転する方法を示すフローチャートである。

Claims (65)

1. 基板加工時に基板ホルダを支持するための、回転駆動部に対する回転滑りを防止するように構成された基板ホルダ支持部を備える支持アセンブリ。
2. 前記基板ホルダ支持部が、回転駆動インターフェースをさらに備え、
   前記回転駆動部及び前記回転駆動インターフェースが、回転駆動部に対する前記基板ホルダ支持部の回転滑りを防止するために、共に正確に嵌合するように成形されている請求項１に記載の支持アセンブリ。
3. 前記回転駆動部が、丸くない断面を有するように成形されている請求項２に記載の支持アセンブリ。
4. 前記基板ホルダ支持部を前記回転部材に結合し、これにより回転滑りを防止するように構成された保持部材をさらに備える請求項１に記載の支持アセンブリ。
5. 前記保持部材が、長さ方向に柔軟な長く伸びた棒材を備え、
   前記棒材の第１の端部が、ソケット開口部内に挿入されるように構成され、
   前記棒材の第２の端部が、前記棒材が曲げられて前記基板ホルダ支持部の他の開口部内に挿入されるように構成された請求項４に記載の支持アセンブリ。
6. 前記保持部材が、選択的に取り外し可能な請求項４に記載の支持アセンブリ。
7. 前記保持部材が、前記保持部材を滑らせて通路から取り除くことができる高位位置、及び延長部が壁部をまたぐ低位位置を有し、かつ重力により前記低位位置に向けて付勢される請求項６に記載の支持アセンブリ。
8. 前記回転駆動部が、
   一端部に少なくとも１つの欠刻部を有する軸と、
   保持部及び該保持部から延びているほぼ平行な２つの長く伸びた延長部を有する前記保持部材と、
   ソケット及び該ソケットからほぼ半径方向外側且つ上側に向かって延びる複数のアームと、
   前記ソケットの側壁及び前記支持部材の１つのアームに配置された開口部とを備え、
   前記アームが、基板ホルダの下側を支えるように構成され、
   前記ソケットが、前記軸の端部が前記ソケット内で前記軸の長手方向軸のまわりに回転可能に前記軸の端部を受容するように構成され、
   前記開口部及び前記少なくとも１つの欠刻部が共に、前記軸が前記ソケットに対するロック位置に回転した場合に、前記保持部材を取り外し可能に受容する大きさと構成とを持つ通路を形成し、
   前記保持部材を前記通路内に保持するために、前記延長部が前記アームの１つの壁部にまたがり、
   前記通路内に前記保持部材を挿入することによって、前記基板ホルダ支持部が前記軸とは独立に回転することを防止する請求項４に記載の支持アセンブリ。
9. 前記保持部材が、恒久的に設置されている請求項４に記載の支持アセンブリ。
10. 前記回転駆動部が、長手方向軸と外表面を有する長く伸びた軸であり、
    該軸が、前記外表面に少なくとも１つの欠刻部を有し、
    該欠刻部が、前記保持部材によって係合されるように構成されている請求項４に記載の支持アセンブリ。
11. 前記少なくとも１つの欠刻部が、３つの欠刻部を備え、
    前記保持部材が、前記欠刻部のいずれか１つと係合するように構成されている請求項１０に記載の支持アセンブリ。
12. 前記３つの欠刻部が、前記軸の周囲に等間隔で配置されている請求項１１に記載の支持アセンブリ。
13. 前記軸の一端が、先細になった表面を備え、
    前記少なくとも１つの欠刻部が、前記先細になった表面上に配置されている請求項１０に記載の支持アセンブリ。
14. 前記少なくとも１つの欠刻部が、ただ１つの欠刻部から成る請求項１０に記載の支持アセンブリ。
15. 前記保持部材が前記開口部及び前記少なくとも１つの欠刻部の両方に挿入された場合に、前記保持部材が前記基板ホルダ支持部を前記軸に対して垂直に持ち上げるのを妨げないように、前記保持部材及び前記少なくとも１つの欠刻部が構成されている請求項１０に記載の支持アセンブリ。
16. 前記保持部材が、セラミック材料を含む請求項４に記載の支持アセンブリ。
17. 前記保持部材が、石英を含む請求項１６に記載の支持アセンブリ。
18. 前記回転駆動部が、少なくとも１つの欠刻部を有する軸を備え、
    前記基板ホルダ支持部が、前記軸の一部を受容するように構成されたソケットを備え、
    前記支持部が、前記ソケットの側壁に配置された開口部を有し、
    前記開口部に前記保持部材を挿入することが前記保持部材を前記軸の少なくとも１つの欠刻部と係合させ、前記軸に対する前記基板ホルダ支持部の回転を防止するように、前記支持部が構成されている請求項４に記載の支持アセンブリ。
19. 前記開口部及び前記少なくとも１つの欠刻部が、位置が揃った場合、前記保持部材を受容するように構成された通路を共に形成する請求項１８に記載の支持アセンブリ。
20. 前記開口部が、長く伸びた溝を備え、
    前記保持部材が、前記溝に受容されて前記溝の全長をほぼふさぐ大きさと構成とを持つ請求項１８に記載の支持アセンブリ。
21. 前記保持部材を前記溝に選択的に固定する固定具をさらに含む請求項２０に記載の支持アセンブリ。
22. 前記保持部材は保持部材から突出している１つ又は複数の耳形部を備え、１つ又は複数の耳形部のそれぞれが穴を有し、前記基板ホルダ支持部は、保持部材が溝内に受容された場合に１つ又は複数の耳形部を受容するように構成された１つ又は複数の耳形部用溝を有し、前記固定具は、１つ又は複数の耳形部用溝から１つ又は複数の耳形部が外れるのをロックピンが防ぐために１つ又は複数の耳形部の穴内に受容されるように構成された１つ又は複数のロックピンを含む請求項２１に記載の支持アセンブリ。
23. 前記保持部材が、
    基板ホルダ支持部の第２の開口部に取り外し可能に挿入されるように構成された第１の延長部と、
    前記ソケットの側壁の開口部に取り外し可能に挿入されて、前記少なくとも１つの欠刻部と係合するように構成された第２の延長部と、
    前記第１及び第２の延長部を連結するばね部とを備え、
    前記ばね部が、前記第１の延長部が前記第２の開口部に挿入され、且つ前記第２の延長部が前記ソケットの側壁の前記開口部及び前記少なくとも１つの欠刻部の両方に挿入された場合に、前記ばね部が、第２の延長部を前記少なくとも１つの欠刻部に対して付勢し、前記軸に対する前記基板ホルダ支持部の回転を防止するように、構成されている請求項１８に記載の支持アセンブリ。
24. 前記保持部材が、第１端部及び該第１端部にほぼ直交する方向に向いた第２端部とを有し、
    前記第１端部が、前記開口部に挿入されて前記軸の欠刻部と係合するように構成され、
    前記第１端部が、前記開口部内で回転可能であり、その結果前記第２端部が第１の位置及び第２の位置の間で移動可能であり、
    前記第２端部が前記第２の位置にある場合、第２端部を圧迫する前記基板ホルダ支持部の固定部品により、前記第１端部が前記開口部及び前記欠刻部の外に引き出されることが防止され、
    前記第２端部が前記第１の位置にある場合、前記第１端部が前記開口部及び前記欠刻部の外に自由に引き出され得る請求項１８に記載の支持アセンブリ。
25. 前記開口部が、概ね円筒形であり、
    前記保持部材が、前記開口部内に取り外し可能に、且つ滑らせて挿入されるように構成された、概ね円筒形の端部を有する請求項１８に記載の支持アセンブリ。
26. 前記保持部材の前記端部が、前記開口部をほぼ満たすように構成されている請求項２５に記載の支持アセンブリ。
27. 前記基板ホルダ支持部の壁部が、前記保持部材の２つの尖った先の間に存在するように構成され、
    前記保持部材が、前記開口部から滑らせて前記保持部材を取り除くことができる第１の位置を有し、
    前記保持部材が、前記尖った先が壁部をまたいで、前記保持部材を前記基板ホルダ支持部上に固定する第２の位置を有し、
    前記保持部材が、重力により前記第２の位置に向けて付勢される請求項１８に記載の支持アセンブリ。
28. 前記基板ホルダ支持部が、半導体ウェーハを保持する基板ホルダを支えるように構成されている請求項１８に記載の支持アセンブリ。
29. 前記基板ホルダが、３００ｍｍウェーハを支えるように構成されている請求項２８に記載の支持アセンブリ。
30. 前記基板ホルダが、サセプタを含む請求項１８に記載の支持アセンブリ。
31. 前記基板ホルダ支持部が、前記ソケットからほぼ半径方向外側かつ上側に向かって延びる複数のアームを備え、
    前記アームが、基板ホルダを支えるように構成されている請求項１８に記載の支持アセンブリ。
32. 前記回転駆動部が、先端部に少なくとも１つの欠刻部を有する軸と、
    サセプタの下側を支える複数のアーム及び前記軸の先端部を受容するソケットを有し、前記アームが前記ソケットからほぼ半径方向外側かつ上側に向かって延び、前記支持部材が前記ソケットの側壁に配置された第１の開口部をさらに有する前記基板ホルダ支持部とを備え、
    さらに、
    前記アームの１つの第２の開口部に取り外し可能に挿入されるように構成された第１の延長部と、
    前記ソケットの前記第１の開口部に取り外し可能に挿入されて、前記少なくとも１つの欠刻部と係合するように構成された第２の延長部と、
    前記第１及び第２の保持部材延長部を連結するばね部とを有する保持部材とを備え、
    前記第１の延長部が前記アームの１つの前記第２の開口部に挿入され、且つ前記第２の延長部が前記ソケットの前記第１の開口部に挿入されて前記少なくとも１つの欠刻部と係合する場合に、前記ばね部が前記第２の延長部を付勢して、前記少なくとも１つの欠刻部に押し込み、前記サセプタ支持部の前記軸に対しする回転を防止するように、前記ばね部が構成されている請求項１に記載の支持アセンブリ。
33. 前記ばね部が、前記第１の延長部が前記アームの１つの前記第２の開口部に挿入され、前記第２の延長部が前記第１の開口部に挿入されている場合に、ほぼＵ字形である請求項３２に記載の支持アセンブリ。
34. 前記支持部材の複数のアームが、３つのアームを備えている請求項３２に記載の支持アセンブリ。
35. 前記回転駆動部が、一端部に少なくとも１つの欠刻部を有する回転軸であり、
    前記基板ホルダ支持部が、ソケット及び該ソケットからほぼ半径方向外側かつ上側に向かって延びる複数のアームを有する支持部材を備え、
    前記アームが、ウェーハホルダの下側を支えるように構成され、
    前記軸の端部が前記ソケット内で前記軸の長手方向軸のまわりに回転できるように、前記ソケットが、前記軸の端部を受容するように構成され、
    ソケット開口部が、前記ソケットの側壁に配置され、
    第１のアーム開口部が、２つの前記アームの一方に配置され、
    第２のアーム開口部が、２つの前記アームの他方に配置され、
    前記支持アセンブリが、さらに、中央部並びに第１及び第２の留め部を有する長く伸びた主要保持部材を備え、
    前記主要保持部材が、前記軸及び前記スパイダ間の相対的回転を防止するロック位置を有し、
    前記主要保持部材の前記ロック位置において、前記中央部が、前記ソケット開口部及び前記少なくとも１つの欠刻部の両方に取り外し可能に挿入され、
    前記第１及び第２の留め部が、前記第１及び第２の開口部にそれぞれ取り外し可能に挿入され、
    前記第１及び第２の留め部が固定された場合に、前記主要保持部材が、概ね前記ロック位置に保持される請求項１に記載の支持アセンブリ。
36. 各々の前記留め部が、前記留め部を前記第１及び第２の開口部の１つに固定するように構成された二次的保持部材を取り外し可能に受容する開口部を有する請求項３５に記載の支持アセンブリ。
37. 前記二次的保持部材が、ロックピンを備える請求項３６に記載の支持アセンブリ。
38. 前記保持部材が、前記基板ホルダを前記回転駆動部に固定し、前記回転駆動部から離れて前記基板ホルダを持ち上げることを可能にし、且つ回転滑りを防止する請求項４に記載の支持アセンブリ。
39. レセプタ及び該レセプタからほぼ半径方向外側に向かって延びる複数のアームを有し、
    前記アームが、ホルダの下側を支えるように構成され、
    前記レセプタが、
    前記レセプタの側壁の穴と、
    ロックキーと、
    前記レセプタ内部に受容されるように構成された端部を有する回転リンク機構とを有し、
    前記回転リンク機構が、前記回転リンク機構の長手方向軸のまわりに、前記レセプタに対して少なくとも部分的に回転可能であり、
    前記端部が、少なくとも１つの保持面を有し、
    前記回転リンク機構が回転してロック位置になった場合に、前記支持部材が前記回転リンク機構とは独立に回転することを前記ロックキーが防止するように、前記ロックキーを受容するような大きさと構成とを持つ通路を、前記少なくとも１つの保持面及び前記穴が共に形成するように、前記少なくとも１つの保持面及び前記穴が構成されている基板加工システム。
40. 前記ロックキーが、垂直方向に加えられた力に対して前記支持部材を前記回転駆動部にロックせず、回転方向及び水平方向に加えられた力に対して前記支持部材を前記回転駆動部にロックする請求項３９に記載のシステム。
41. 基板保持構造の回転時における回転リンク機構に対するサセプタ保持構造の回転滑りを防止するように、前記基板保持構造を前記回転リンク機構に結合するステップを含む半導体加工システム用の回転サセプタアセンブリの組み立て方法。
42. 結合するステップが、前記基板保持構造の穴に係合し、前記回転リンク機構の接触面に接触することにより、回転滑りを防止するリンク部材を用いて前記回転リンク機構を前記基板保持構造に連結するステップをさらに含む請求項４１に記載の方法。
43. 前記基板保持構造を前記回転リンク機構に結合するステップが、前記回転リンク機構の長手方向軸と平行な方向に前記基板保持構造を持ち上げることを可能にし、回転力に対して、前記基板保持構造を前記回転リンク機構に結合するステップを含む請求項４１に記載の方法。
44. 基板保持アセンブリの回転時に、回転源に対するサセプタホルダ支持部の回転滑りを防ぐように、前記基板保持アセンブリを回転リンク機構に結合するステップによってサセプタアセンブリを回転させるステップを含む基板の回転方法。
45. 前記結合するステップが、
    前記回転リンク機構の成形された部分を、対応して成形された前記サセプタホルダ支持部の一部の位置に揃えるステップと、
    前記サセプタホルダ支持部の位置を前記回転リンク機構上に下げるステップとを含む請求項４４に記載の方法。
46. 前記結合するステップが、
    前記基板保持アセンブリの開口部にリンク部材を挿入するステップと、
    前記基板保持アセンブリ及び前記回転リンク機構を相互に回転させるステップと、
    前記基板保持アセンブリが前記回転リンク機構と独立に回転するのを防止するように、前記基板保持アセンブリ及び前記回転源の回転リンク機構に前記リンク部材を係合させるステップとを含む請求項４４に記載の方法。
47. 前記基板保持アセンブリが、基板ホルダ及び基板ホルダ支持部を備え、
    前記回転リンク機構が、前記基板ホルダ支持部を前記回転源に結合する軸を備える請求項４６に記載の方法。
48. 前記リンク部材を挿入するステップが、前記基板ホルダ支持部を前記軸に係合させる前に行われる請求項４７に記載の方法。
49. 前記係合させるステップが、前記基板ホルダ支持部が、前記軸の湾曲した面内にある欠刻部と係合した前記リンク部材を備える前記軸上に落ちるまで前記基板ホルダ支持部及び前記軸を相互に回転させるステップを含む請求項４８に記載の方法。
50. 前記基板ホルダ支持部を部分的に係合する位置まで持ち上げるステップと、
    前記支持部を１回転未満回転させるステップと、
    前記支持部を第２の完全に係合する位置に落とすステップとをさらに含む請求項４９に記載の方法。
51. 前記結合するステップが、前記リンク部材を前記開口部に挿入した後に、前記軸の端部を前記基板ホルダ支持部のソケット内に挿入するステップを含み、
    前記開口部が前記ソケットの壁部に形成され、
    前記軸の前記端部が、１つ又は複数のリンク部材接触面を有し、
    前記リンク部材が前記軸に対する前記基板ホルダ支持部の回転を防止するように、前記開口部及び前記リンク部材接触面の１つが一緒になって、その中に前記リンク部材を備える通路を形成するまで、前記軸の長手方向軸のまわりに前記軸及び前記支持部を相互に回転させるステップと、
    その後、前記軸を長手方向軸のまわりに回転させ、これによって前記ウェーハホルダ支持部を回転させるステップとをさらに含む請求項４７に記載の方法。
52. 前記リンク部材接触面を有する前記軸の前記端部を、前記基板保持アセンブリのソケットの壁部に形成された開口部内に挿入するステップと、
    前記ソケットからほぼ半径方向外側に向かって延び前記基板ホルダを支えるように構成された前記基板保持アセンブリの前記支持アームのうちの隣接する２つのアーム間にあり、開口部が配置されたコーナー領域の位置に、前記リンク部材の位置を揃えるステップと、
    前記リンク部材の中央部を前記開口部に挿入し、一方、前記リンク部材の第１及び第２の留め部もまた隣接する前記支持アームの第１及び第２の溝を通して挿入するステップと、
    前記留め部が前記第１及び第２の溝の外に引き出されるのを防止するように、前記留め部を所定位置にロックすることにより、前記リンク部材をロック位置に保持するステップと、
    前記基板保持アセンブリを回転させるように、前記軸をその長手方向軸のまわりに回転させるステップとをさらに含む請求項４７に記載の方法。
53. 前記リンク部材の前記中央部を挿入する前に、前記開口部及び前記接触面が共に、前記リンク部材を受容するために成形された空間を形成するまで、前記軸の長手方向軸のまわりに、前記軸に対して前記基板保持アセンブリを回転させるステップをさらに含む請求項５２に記載の方法。
54. 前記リンク部材の前記中央部を挿入した後、前記リンク部材が前記接触面と接触し、かつ前記基板保持アセンブリと前記軸とが完全に係合するまで、前記基板保持アセンブリを前記軸に対して回転させるステップをさらに含む請求項５２に記載の方法。
55. 前記リンク部材をロック位置に保持するステップが、二次的リンク部材を各留め部の開口部に挿入するステップを含む請求項５２に記載の方法。
56. 前記二次的リンク部材が、ピンを備える請求項５５に記載の方法。
57. 前記二次的リンク部材が、概ね前記通路をふさぐ請求項４６に記載の方法。
58. 前記基板保持アセンブリの壁部をまたぐように、前記リンク部材のほぼ平行な２つのアームの位置を定めることにより、前記リンク部材を前記通路内に保持するステップをさらに含む請求項４６に記載の方法。
59. 前記リンク部材を前記開口部に挿入するステップが、棒材の第１の端部を前記開口部に挿入するステップを含み、
    前記棒材の少なくとも一部を弾性的に曲げることにより、前記リンク部材を開口部内に保持するステップと、
    前記棒材の第２の端部を前記基板保持アセンブリの一部の第２の開口部に挿入するステップとをさらに含む請求項４６に記載の方法。
60. 前記リンク部材を前記開口部に挿入するステップが、前記リンク部材の第１の部分を前記開口部に挿入するステップを含み、
    前記リンク部材の第１の部分にほぼ直交する前記リンク部材の第２の部分が、前記基板保持アセンブリと前記基板保持アセンブリから延びる固定フックとの間の位置に移動するように、前記開口部内で前記リンク部材を回転させることによって、前記リンク部材の前記第１の部分を前記開口部に保持するステップをさらに含み、
    前記リンク部材が前記開口部の外に引き出されるのを、前記フックが防止する請求項４６に記載の方法。
61. 前記リンク部材が、Ｌ字形である請求項６０に記載の方法。
62. 成形された回転軸と、
    対応して成形され、前記回転軸との間の回転滑りを防止するように、前記回転軸と接合するサセプタ支持部とを備える基板回転システム。
63. 前記サセプタ支持部が、前記軸を受容するように成形された下に向いたソケットを備える請求項６２に記載の基板回転システム。
64. 前記成形された回転軸が、平らな欠刻部を備える請求項６２に記載の基板回転システム。
65. 前記サセプタ支持部が、サセプタを支えるように構成され、中央ソケットから延びるアームを備える請求項６２に記載の基板回転システム。

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