JP2002141401A - スピンチャック - Google Patents
スピンチャックInfo
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- JP2002141401A JP2002141401A JP2000331756A JP2000331756A JP2002141401A JP 2002141401 A JP2002141401 A JP 2002141401A JP 2000331756 A JP2000331756 A JP 2000331756A JP 2000331756 A JP2000331756 A JP 2000331756A JP 2002141401 A JP2002141401 A JP 2002141401A
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- JP
- Japan
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- spin chuck
- shaft
- resin
- rotation
- wafer
- Prior art date
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハ吸着面１１とモーターシャフト等の回
転シャフト４との直角度を高精度に確保することが可能
なスピンチャック１を提供する。 【解決手段】 回転処理装置の回転支持台として用いら
れる樹脂製のスピンチャック１と、このスピンチャック
１を回転させる回転駆動源の回転シャフト４とを一体成
形することにした。
転シャフト４との直角度を高精度に確保することが可能
なスピンチャック１を提供する。 【解決手段】 回転処理装置の回転支持台として用いら
れる樹脂製のスピンチャック１と、このスピンチャック
１を回転させる回転駆動源の回転シャフト４とを一体成
形することにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転処理装置の回
転支持台として用いられるスピンチャックに関するもの
である。
転支持台として用いられるスピンチャックに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図３に示すように、半導体ウエハのフォ
トレジスト塗布機または現像処理装置等の回転処理装置
にその回転支持台として用いられる樹脂製のスピンチャ
ック５１においては、従来、そのウエハ吸着面５２とモ
ーターシャフトが挿入される軸部内径面（円筒内径部と
も称する）５３との直角度を、両面５２，５３の研磨に
よる後加工の実施によって確保している。
トレジスト塗布機または現像処理装置等の回転処理装置
にその回転支持台として用いられる樹脂製のスピンチャ
ック５１においては、従来、そのウエハ吸着面５２とモ
ーターシャフトが挿入される軸部内径面（円筒内径部と
も称する）５３との直角度を、両面５２，５３の研磨に
よる後加工の実施によって確保している。
【０００３】しかしながら、この種のスピンチャック５
１においては、ウエハを高速回転させて処理すべく、ウ
エハ吸着面５２と軸部内径面５３との直角度の要求精度
が厳しいことから、上記方法では工程能力不足となって
おり、不良率の悪化を引き起こしている。尚、使用上必
要になるのは、ウエハ吸着面５２と軸部内径面５３に挿
入されるモーターシャフトとの直角度である。
１においては、ウエハを高速回転させて処理すべく、ウ
エハ吸着面５２と軸部内径面５３との直角度の要求精度
が厳しいことから、上記方法では工程能力不足となって
おり、不良率の悪化を引き起こしている。尚、使用上必
要になるのは、ウエハ吸着面５２と軸部内径面５３に挿
入されるモーターシャフトとの直角度である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の点に鑑
みて、ウエハ吸着面とモーターシャフト等の回転シャフ
トとの直角度を高精度に確保することが可能なスピンチ
ャックを提供することを目的とする。
みて、ウエハ吸着面とモーターシャフト等の回転シャフ
トとの直角度を高精度に確保することが可能なスピンチ
ャックを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項１によるスピンチャックは、回転処
理装置の回転支持台として用いられる樹脂製のスピンチ
ャックと、前記スピンチャックを回転させる回転駆動源
の回転シャフトとを一体成形したことを特徴とするもの
である。
め、本発明の請求項１によるスピンチャックは、回転処
理装置の回転支持台として用いられる樹脂製のスピンチ
ャックと、前記スピンチャックを回転させる回転駆動源
の回転シャフトとを一体成形したことを特徴とするもの
である。
【０００６】また、本発明の請求項２によるスピンチャ
ックは、回転処理装置の回転支持台として用いられる樹
脂製のスピンチャックと、前記スピンチャックを回転さ
せる回転駆動源の回転シャフトに連結されるトルク伝達
シャフトとを一体成形したことを特徴とするものであ
る。
ックは、回転処理装置の回転支持台として用いられる樹
脂製のスピンチャックと、前記スピンチャックを回転さ
せる回転駆動源の回転シャフトに連結されるトルク伝達
シャフトとを一体成形したことを特徴とするものであ
る。
【０００７】上記構成を備えた本発明の請求項１による
スピンチャックのように、スピンチャックと回転シャフ
トとを一体成形すると、従来、ウエハ吸着面および軸部
内径面の双方を研磨することにより出していたウエハ吸
着面と回転シャフトとの直角度の精度を、スピンチャッ
クに一体成形される回転シャフトの外径面を基準として
ウエハ吸着面を研磨することのみによって確保すること
が可能となる。
スピンチャックのように、スピンチャックと回転シャフ
トとを一体成形すると、従来、ウエハ吸着面および軸部
内径面の双方を研磨することにより出していたウエハ吸
着面と回転シャフトとの直角度の精度を、スピンチャッ
クに一体成形される回転シャフトの外径面を基準として
ウエハ吸着面を研磨することのみによって確保すること
が可能となる。
【０００８】また、上記構成を備えた本発明の請求項２
によるスピンチャックのように、スピンチャックとトル
ク伝達シャフトとを一体成形すると、やはり従来、ウエ
ハ吸着面および軸部内径面の双方を研磨することにより
出していたウエハ吸着面と回転シャフトとの直角度の精
度を、スピンチャックに一体成形されるトルク伝達シャ
フトの外径面を基準としてウエハ吸着面を研磨すること
のみによって確保することが可能となる。
によるスピンチャックのように、スピンチャックとトル
ク伝達シャフトとを一体成形すると、やはり従来、ウエ
ハ吸着面および軸部内径面の双方を研磨することにより
出していたウエハ吸着面と回転シャフトとの直角度の精
度を、スピンチャックに一体成形されるトルク伝達シャ
フトの外径面を基準としてウエハ吸着面を研磨すること
のみによって確保することが可能となる。
【０００９】尚、本件提案には、以下の技術的事項が含
まれる。
まれる。
【００１０】本件出願が提案する一のスピンチャック
は、上記目的を達成するために、ウエハの回転処理装置
の支持台として使用されている樹脂製スピンチャック
と、それを回転させるモーター駆動を伝達するモーター
シャフトを一体成形したことを特徴とする樹脂製のスピ
ンチャックであり、また、ウエハの回転処理装置の支持
台として使用されている樹脂製スピンチャックの円筒内
径部にシャフトをインサート成形し、それを回転させる
モーター駆動を伝達するモーターシャフトと連結したこ
とを特徴とする樹脂製のスピンチャックである。
は、上記目的を達成するために、ウエハの回転処理装置
の支持台として使用されている樹脂製スピンチャック
と、それを回転させるモーター駆動を伝達するモーター
シャフトを一体成形したことを特徴とする樹脂製のスピ
ンチャックであり、また、ウエハの回転処理装置の支持
台として使用されている樹脂製スピンチャックの円筒内
径部にシャフトをインサート成形し、それを回転させる
モーター駆動を伝達するモーターシャフトと連結したこ
とを特徴とする樹脂製のスピンチャックである。
【００１１】また、モーターシャフトを樹脂にインサー
ト成形し一体化したものである。但し、インサートする
シャフトは、以下の構成を必要とする。 樹脂との境界を有する部分に廻り止め構造を有す
る。 ウエハ吸着（真空引き）に必要な、貫通穴を必要と
する。尚、インサートする金具に穴がある場合は、成形
時に樹脂廻りの問題を引き起こす可能性が高いため、成
形上問題ない範囲まで穴を開けておき、成形後に後加工
で貫通させるのが好ましい。
ト成形し一体化したものである。但し、インサートする
シャフトは、以下の構成を必要とする。 樹脂との境界を有する部分に廻り止め構造を有す
る。 ウエハ吸着（真空引き）に必要な、貫通穴を必要と
する。尚、インサートする金具に穴がある場合は、成形
時に樹脂廻りの問題を引き起こす可能性が高いため、成
形上問題ない範囲まで穴を開けておき、成形後に後加工
で貫通させるのが好ましい。
【００１２】また、モーターシャフトと別体とする場合
には、金属シャフトを樹脂にインサート成形し一体化
し、その金属シャフトとモーターシャフトを連結するも
のである。この場合、金属シャフトに必要な構成は上記
と同じである。
には、金属シャフトを樹脂にインサート成形し一体化
し、その金属シャフトとモーターシャフトを連結するも
のである。この場合、金属シャフトに必要な構成は上記
と同じである。
【００１３】樹脂製のスピンチャックを成形する成形材
料としては、寸法精度を確保するとともに、要求される
体積固有抵抗を満足させるべく、ポリエーテルエーテル
ケトン樹脂（ＰＥＥＫ樹脂）、フェノール樹脂（ＰＦ樹
脂）、ポリイミド樹脂（ＰＩ樹脂）またはポリフェニレ
ンサルファイド樹脂（ＰＰＳ樹脂）等が好適である。
料としては、寸法精度を確保するとともに、要求される
体積固有抵抗を満足させるべく、ポリエーテルエーテル
ケトン樹脂（ＰＥＥＫ樹脂）、フェノール樹脂（ＰＦ樹
脂）、ポリイミド樹脂（ＰＩ樹脂）またはポリフェニレ
ンサルファイド樹脂（ＰＰＳ樹脂）等が好適である。
【００１４】そして、上記構成を備えた本件提案のスピ
ンチャックによれば、従来、後加工で出していたウエハ
吸着面とモーターシャフトが挿入される軸部内径面との
直角度の精度を、インサート金具外径を基準として、ウ
エハ吸着面の後加工のみにより確保することが可能とな
る。したがって、要求される寸法精度を確保することが
できるとともに、後加工部が削減されるために加工費を
大幅に削減することが可能となる。
ンチャックによれば、従来、後加工で出していたウエハ
吸着面とモーターシャフトが挿入される軸部内径面との
直角度の精度を、インサート金具外径を基準として、ウ
エハ吸着面の後加工のみにより確保することが可能とな
る。したがって、要求される寸法精度を確保することが
できるとともに、後加工部が削減されるために加工費を
大幅に削減することが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】つぎに本発明の実施例を図面にし
たがって説明する。
たがって説明する。
【００１６】第一実施例・・・図１は、本発明の第一実
施例に係るスピンチャック１の断面を示しており、この
スピンチャック１は以下のように構成されている。
施例に係るスピンチャック１の断面を示しており、この
スピンチャック１は以下のように構成されている。
【００１７】すなわち先ず、円筒状を呈する樹脂製の軸
部２の上端に、被加工物である半導体ウエハ（図示せ
ず）を支持する円盤状の支持部３が同じ樹脂材料をもっ
て同軸上に一体成形されており、軸部２の内周に、当該
スピンチャック１を回転させる回転駆動源（モーター）
の回転シャフト（モーターシャフト）４がインサート成
形の実施によって同軸上に一体成形されている。回転シ
ャフト４は金属部品であって本発明ではインサート金具
をなしており、その外周面の一部に、この回転シャフト
４と樹脂製の軸部２とを廻り止めするためのローレット
加工よりなる回り止め部５が設けられている。
部２の上端に、被加工物である半導体ウエハ（図示せ
ず）を支持する円盤状の支持部３が同じ樹脂材料をもっ
て同軸上に一体成形されており、軸部２の内周に、当該
スピンチャック１を回転させる回転駆動源（モーター）
の回転シャフト（モーターシャフト）４がインサート成
形の実施によって同軸上に一体成形されている。回転シ
ャフト４は金属部品であって本発明ではインサート金具
をなしており、その外周面の一部に、この回転シャフト
４と樹脂製の軸部２とを廻り止めするためのローレット
加工よりなる回り止め部５が設けられている。
【００１８】円盤状の支持部３の上面中央には、この支
持部３の上に載せるウエハを吸着固定するための真空吸
引口６が設けられており、この真空吸引口６が、回転シ
ャフト４の中心軸線上に設けられた連通孔７に連通して
いる。
持部３の上に載せるウエハを吸着固定するための真空吸
引口６が設けられており、この真空吸引口６が、回転シ
ャフト４の中心軸線上に設けられた連通孔７に連通して
いる。
【００１９】また、ウエハに対する吸引力を高めるため
に、支持部３の上面周縁には環状の突起部（最外周突起
部）８が設けられるとともに、同じく支持部３の上面で
あってかつ最外周突起部８の内周側には平面円弧状の突
起部（内側突起部）９が所要数設けられており、これら
の突起部８，９の形成によって相対の凹部となる部分が
溝状の真空引き流路１０とされている。
に、支持部３の上面周縁には環状の突起部（最外周突起
部）８が設けられるとともに、同じく支持部３の上面で
あってかつ最外周突起部８の内周側には平面円弧状の突
起部（内側突起部）９が所要数設けられており、これら
の突起部８，９の形成によって相対の凹部となる部分が
溝状の真空引き流路１０とされている。
【００２０】内側突起部９は、当該スピンチャック１の
回転バランスを確保するために当該スピンチャック１の
中心軸線を中心として点対称で設けられており、上記し
たように円周方向に長い平面円弧状の突起を所要数等配
状に配置したものの他、径方向に長い平面直線状の突起
を所要数等配状ないし放射状に配置したもの等であって
も良い。
回転バランスを確保するために当該スピンチャック１の
中心軸線を中心として点対称で設けられており、上記し
たように円周方向に長い平面円弧状の突起を所要数等配
状に配置したものの他、径方向に長い平面直線状の突起
を所要数等配状ないし放射状に配置したもの等であって
も良い。
【００２１】また、これらの突起部８，９の高さは、全
てが同じまたは略同じに設定されており、各突起部８，
９の上端面はそれぞれ軸直角平面として形成されるとと
もに互いに面一状に形成されており、この面一面が当該
スピンチャック１のウエハ吸着面１１とされている。
てが同じまたは略同じに設定されており、各突起部８，
９の上端面はそれぞれ軸直角平面として形成されるとと
もに互いに面一状に形成されており、この面一面が当該
スピンチャック１のウエハ吸着面１１とされている。
【００２２】上記構成のスピンチャック１においては、
樹脂製のスピンチャック１に対して金属製の回転シャフ
ト４がインサート成形の実施によって一体成形されてい
るために、従来、ウエハ吸着面および軸部内径面の双方
を研磨することにより出していたウエハ吸着面１１と回
転シャフト４との直角度の精度を、回転シャフト４の外
径面を基準としてウエハ吸着面１１を研磨することのみ
によって確保することが可能である。したがって、要求
される寸法精度を確保することができるとともに、処理
の必要な後加工部が削減され、後加工工程が削減される
ために、後加工を容易化することができ、かつその加工
費を削減することができる。
樹脂製のスピンチャック１に対して金属製の回転シャフ
ト４がインサート成形の実施によって一体成形されてい
るために、従来、ウエハ吸着面および軸部内径面の双方
を研磨することにより出していたウエハ吸着面１１と回
転シャフト４との直角度の精度を、回転シャフト４の外
径面を基準としてウエハ吸着面１１を研磨することのみ
によって確保することが可能である。したがって、要求
される寸法精度を確保することができるとともに、処理
の必要な後加工部が削減され、後加工工程が削減される
ために、後加工を容易化することができ、かつその加工
費を削減することができる。
【００２３】第二実施例・・・図２は、本発明の第二実
施例に係るスピンチャック１の断面を示しており、この
スピンチャック１は以下のように構成されている。
施例に係るスピンチャック１の断面を示しており、この
スピンチャック１は以下のように構成されている。
【００２４】すなわち先ず、円筒状を呈する樹脂製の軸
部２の上端に、被加工物である半導体ウエハ（図示せ
ず）を支持する円盤状の支持部３が同じ樹脂材料をもっ
て同軸上に一体成形されており、軸部２の内周に、当該
スピンチャック１を回転させる回転駆動源（モーター）
の回転シャフト（モーターシャフト）４にカラー１３を
介して連結されるトルク伝達シャフト１２がインサート
成形の実施によって同軸上に一体成形されている。トル
ク伝達シャフト１２は回転シャフト４とともに金属部品
であってインサート金具をなしており、その外周面の一
部に、このトルク伝達シャフト１２と樹脂製の軸部２と
を廻り止めするためのローレット加工よりなる回り止め
部１４が設けられている。
部２の上端に、被加工物である半導体ウエハ（図示せ
ず）を支持する円盤状の支持部３が同じ樹脂材料をもっ
て同軸上に一体成形されており、軸部２の内周に、当該
スピンチャック１を回転させる回転駆動源（モーター）
の回転シャフト（モーターシャフト）４にカラー１３を
介して連結されるトルク伝達シャフト１２がインサート
成形の実施によって同軸上に一体成形されている。トル
ク伝達シャフト１２は回転シャフト４とともに金属部品
であってインサート金具をなしており、その外周面の一
部に、このトルク伝達シャフト１２と樹脂製の軸部２と
を廻り止めするためのローレット加工よりなる回り止め
部１４が設けられている。
【００２５】円盤状の支持部３の上面中央には、この支
持部３の上に載せるウエハを吸着固定するための真空吸
引口６が設けられており、この真空吸引口６が、トルク
伝達シャフト１２および回転シャフト４の中心軸線上に
設けられた連通孔７，１５に連通している。
持部３の上に載せるウエハを吸着固定するための真空吸
引口６が設けられており、この真空吸引口６が、トルク
伝達シャフト１２および回転シャフト４の中心軸線上に
設けられた連通孔７，１５に連通している。
【００２６】また、ウエハに対する吸引力を高めるため
に、支持部３の上面周縁に環状の突起部（最外周突起
部）８が設けられるとともに、同じく支持部３の上面で
あってかつ最外周突起部８の内周側に平面円弧状の突起
部（内側突起部）９が所要数設けられており、これらの
突起部８，９の形成によって相対の凹部となる部分が溝
状の真空引き流路１０とされている。
に、支持部３の上面周縁に環状の突起部（最外周突起
部）８が設けられるとともに、同じく支持部３の上面で
あってかつ最外周突起部８の内周側に平面円弧状の突起
部（内側突起部）９が所要数設けられており、これらの
突起部８，９の形成によって相対の凹部となる部分が溝
状の真空引き流路１０とされている。
【００２７】内側突起部９は、当該スピンチャック１の
回転バランスを確保するために当該スピンチャック１の
中心軸線を中心として点対称で設けられており、上記し
たように円周方向に長い平面円弧状の突起を所要数等配
状に配置したものの他、径方向に長い平面直線状の突起
を所要数等配状ないし放射状に配置したもの等であって
も良い。
回転バランスを確保するために当該スピンチャック１の
中心軸線を中心として点対称で設けられており、上記し
たように円周方向に長い平面円弧状の突起を所要数等配
状に配置したものの他、径方向に長い平面直線状の突起
を所要数等配状ないし放射状に配置したもの等であって
も良い。
【００２８】また、これらの突起部８，９の高さは、全
てが同じまたは略同じに設定されており、各突起部８，
９の上端面はそれぞれ軸直角平面として形成されるとと
もに互いに面一状に形成されており、この面一面が当該
スピンチャック１のウエハ吸着面１１とされている。
てが同じまたは略同じに設定されており、各突起部８，
９の上端面はそれぞれ軸直角平面として形成されるとと
もに互いに面一状に形成されており、この面一面が当該
スピンチャック１のウエハ吸着面１１とされている。
【００２９】上記構成のスピンチャック１においては、
樹脂製のスピンチャック１に対して金属製のトルク伝達
シャフト１２がインサート成形の実施によって一体成形
されているために、従来、ウエハ吸着面および軸部内径
面の双方を研磨することにより出していたウエハ吸着面
１１と回転シャフト４との直角度の精度を、トルク伝達
シャフト１２の外径面を基準としてウエハ吸着面１１を
研磨することのみによって確保することが可能である。
したがって、要求される寸法精度を確保することができ
るとともに、処理の必要な後加工部が削減され、後加工
工程が削減されるために、後加工を容易化することがで
き、かつその加工費を削減することができる。
樹脂製のスピンチャック１に対して金属製のトルク伝達
シャフト１２がインサート成形の実施によって一体成形
されているために、従来、ウエハ吸着面および軸部内径
面の双方を研磨することにより出していたウエハ吸着面
１１と回転シャフト４との直角度の精度を、トルク伝達
シャフト１２の外径面を基準としてウエハ吸着面１１を
研磨することのみによって確保することが可能である。
したがって、要求される寸法精度を確保することができ
るとともに、処理の必要な後加工部が削減され、後加工
工程が削減されるために、後加工を容易化することがで
き、かつその加工費を削減することができる。
【００３０】
【発明の効果】本発明は、以下の効果を奏する。
【００３１】すなわち先ず、上記構成を備えた本発明の
請求項１によるスピンチャックにおいては、回転処理装
置の回転支持台として用いられる樹脂製のスピンチャッ
クとこのスピンチャックを回転させる回転駆動源の回転
シャフトとが一体成形一体成形されているために、従
来、ウエハ吸着面および軸部内径面の双方を研磨するこ
とにより出していたウエハ吸着面と回転シャフトとの直
角度の精度を、回転シャフトの外径面を基準としてウエ
ハ吸着面を研磨することのみによって確保することが可
能である。したがって、要求される寸法精度を確保する
ことができるとともに、処理の必要な後加工部が削減さ
れ、後加工工程が削減されるために、後加工を容易化す
ることができ、かつその加工費を削減することができ
る。
請求項１によるスピンチャックにおいては、回転処理装
置の回転支持台として用いられる樹脂製のスピンチャッ
クとこのスピンチャックを回転させる回転駆動源の回転
シャフトとが一体成形一体成形されているために、従
来、ウエハ吸着面および軸部内径面の双方を研磨するこ
とにより出していたウエハ吸着面と回転シャフトとの直
角度の精度を、回転シャフトの外径面を基準としてウエ
ハ吸着面を研磨することのみによって確保することが可
能である。したがって、要求される寸法精度を確保する
ことができるとともに、処理の必要な後加工部が削減さ
れ、後加工工程が削減されるために、後加工を容易化す
ることができ、かつその加工費を削減することができ
る。
【００３２】また、上記構成を備えた本発明の請求項２
によるスピンチャックにおいては、回転処理装置の回転
支持台として用いられる樹脂製のスピンチャックとこの
スピンチャックを回転させる回転駆動源の回転シャフト
に連結されるトルク伝達シャフトとが一体成形されてい
るために、従来、ウエハ吸着面および軸部内径面の双方
を研磨することにより出していたウエハ吸着面と回転シ
ャフトとの直角度の精度を、トルク伝達シャフトの外径
面を基準としてウエハ吸着面を研磨することのみによっ
て確保することが可能である。したがって、要求される
寸法精度を確保することができるとともに、処理の必要
な後加工部が削減され、後加工工程が削減されるため
に、後加工を容易化することができ、かつその加工費を
削減することができる。
によるスピンチャックにおいては、回転処理装置の回転
支持台として用いられる樹脂製のスピンチャックとこの
スピンチャックを回転させる回転駆動源の回転シャフト
に連結されるトルク伝達シャフトとが一体成形されてい
るために、従来、ウエハ吸着面および軸部内径面の双方
を研磨することにより出していたウエハ吸着面と回転シ
ャフトとの直角度の精度を、トルク伝達シャフトの外径
面を基準としてウエハ吸着面を研磨することのみによっ
て確保することが可能である。したがって、要求される
寸法精度を確保することができるとともに、処理の必要
な後加工部が削減され、後加工工程が削減されるため
に、後加工を容易化することができ、かつその加工費を
削減することができる。
【図１】本発明の第一実施例に係るスピンチャックの断
面図
面図
【図２】本発明の第二実施例に係るスピンチャックの断
面図
面図
【図３】従来例に係るスピンチャックの断面図
１ スピンチャック ２ 軸部 ３ 支持部 ４ 回転シャフト ５，１４ 回り止め部 ６ 真空吸引口 ７，１５ 連通孔 ８，９ 突起部 １０ 真空引き流路 １１ ウエハ吸着面 １２ トルク伝達シャフト １３ カラー
Claims (2)
- 【請求項１】 回転処理装置の回転支持台として用いら
れる樹脂製のスピンチャック（１）と、前記スピンチャ
ック（１）を回転させる回転駆動源の回転シャフト
（４）とを一体成形したことを特徴とするスピンチャッ
ク。 - 【請求項２】 回転処理装置の回転支持台として用いら
れる樹脂製のスピンチャック（１）と、前記スピンチャ
ック（１）を回転させる回転駆動源の回転シャフト
（４）に連結されるトルク伝達シャフト（１２）とを一
体成形したことを特徴とするスピンチャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000331756A JP2002141401A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | スピンチャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000331756A JP2002141401A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | スピンチャック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002141401A true JP2002141401A (ja) | 2002-05-17 |
Family
ID=18808055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000331756A Pending JP2002141401A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | スピンチャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002141401A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005236279A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-09-02 | Asm America Inc | 半導体ウェーハホルダ用垂直軸及び支持構造間の回転滑り防止装置及び方法 |
-
2000
- 2000-10-31 JP JP2000331756A patent/JP2002141401A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005236279A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-09-02 | Asm America Inc | 半導体ウェーハホルダ用垂直軸及び支持構造間の回転滑り防止装置及び方法 |
| KR101131039B1 (ko) | 2004-01-30 | 2012-03-30 | 에이에스엠 아메리카, 인코포레이티드 | 반도체 웨이퍼 홀더용 수직샤프트와 지지 구조체 사이의회전 미끄러짐을 방지하기 위한 장치 및 방법 |
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Legal Events
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