JP2005233701A - 振動子部品および振動子の支持構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動子支持構造体30は、圧電性単結晶からなり、振動部1、振動部と連続する支持アーム8、および支持アーム8と連続する枠部10を備えている。そして枠部10に振動子側端子11が設けられており、振動子側端子11が支持基板側端子に電気的に接続される。
【選択図】図2
Description
例えば振動型ジャイロスコープ用途の圧電性材料製振動子においては、振動子表面に電極を設け、回転角速度に対応する電気信号を発生させ、これを回路基板の電極へと伝送する必要がある。
本出願人は、特許文献1において、支持基板表面に支持ピンを設け、支持ピン上に振動子を接着すると共に、振動子の表面の電極端子からボンディングワイヤを延ばし、ボンディングワイヤを支持基板表面の電極に接続することを開示した。また、ボンディングワイヤの好適な形状を検討し、開示した。
Integrated Circuit:特定用途向け集積回路)が特に好ましい。
(1)導電性樹脂:例えばAgペースト、Auペースト
(2)金属:例えば、金、ニッケル、アルミニウム
(3)半田
(4)複合材料:例えば絶縁性樹脂の表面を導電性物質によって被覆した導電性接合材。このような絶縁性樹脂としては、シリコーン、ポリイミド、エポキシ、ウレタン、アクリルを例示でき、導電性物質としては、金、銀、ニッケル、カーボンを例示できる。
(5)異方導電性接合材。異方導電性材料は、通常は、樹脂フィルム中に導電性粒子を分散させて製造する。
図1〜図5に示す形態の支持構造を作製した。具体的には、まず図1、図2、図5に示す振動子支持構造体30を使用した。厚さ0.1mmの水晶のZ板のウエハーに、スパッタ法によって、所定位置に、厚さ100オングストロームのクロム膜と、厚さ1500オングストロームの金膜とを形成した。ウエハーの両面にレジストをコーティングした。
実施例1と同様にして振動子の支持構造を作製した。ただし、導電性接合材16として金バンプを使用した。得られた振動型ジャイロスコープについて、Z軸の周りの回転角速度に対する振動感度を測定したところ、0.2゜/秒/Gであった。また、実施例1と同様にして−40℃〜+85℃における温度ドリフトを測定したところ、約7dpsであった。
Claims (9)
- 圧電性材料からなり、振動部、前記振動部と連続する支持アーム、および前記支持アームと連続する枠部を備えている振動子支持構造体、および前記枠部に設けられている振動子側端子を備えていることを特徴とする、振動子部品。
- 前記振動部が、前記支持アームに連結されている基部、駆動振動片および検出振動片を備えていることを特徴とする、請求項1記載の振動子部品。
- 前記支持アームが曲折部を有することを特徴とする、請求項1または2記載の振動子部品。
- 前記支持アームが幅広部を有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の振動子部品。
- 前記振動部の厚さと前記支持アームの厚さとが略同じであることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の振動子部品。
- 前記支持アームの厚さが前記振動部の厚さよりも小さいことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の振動子部品。
- 請求項1〜6のいずれか一つの請求項に記載の振動子部品、および基板側電極が設けられた支持基板を備えており、前記振動子側端子が前記基板側端子に対して電気的に接続されていることを特徴とする、振動子の支持構造。
- 前記支持基板が、半導体回路基板またはパッケージ用基板であることを特徴とする、請求項7記載の支持構造。
- 前記振動子が物理量測定用の振動子であることを特徴とする、請求項7または8記載の支持構造。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007147408A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Matsushita Electric Works Ltd | センサエレメント |
JP2011503522A (ja) * | 2007-07-06 | 2011-01-27 | インベンセンス インコーポレイテッド | Mems慣性感知及び内蔵デジタルエレクトロニクスを備えた統合運動処理ユニット(mpu) |
JP5205970B2 (ja) * | 2006-01-24 | 2013-06-05 | パナソニック株式会社 | 慣性力センサ |
US8462109B2 (en) | 2007-01-05 | 2013-06-11 | Invensense, Inc. | Controlling and accessing content using motion processing on mobile devices |
US8539835B2 (en) | 2008-09-12 | 2013-09-24 | Invensense, Inc. | Low inertia frame for detecting coriolis acceleration |
US8952832B2 (en) | 2008-01-18 | 2015-02-10 | Invensense, Inc. | Interfacing application programs and motion sensors of a device |
US8960002B2 (en) | 2007-12-10 | 2015-02-24 | Invensense, Inc. | Vertically integrated 3-axis MEMS angular accelerometer with integrated electronics |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1019575A (ja) * | 1996-06-28 | 1998-01-23 | Kyocera Corp | 圧電振動体 |
JPH11281372A (ja) * | 1997-11-04 | 1999-10-15 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法 |
JP2000180182A (ja) * | 1998-12-18 | 2000-06-30 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
JP2000199714A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2001264065A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-09-26 | Ngk Insulators Ltd | 振動子の製造方法および振動型ジャイロスコープの製造方法 |
JP2002257552A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-11 | Murata Mfg Co Ltd | 物理量センサ装置 |
WO2003100350A1 (fr) * | 2002-05-28 | 2003-12-04 | Fujitsu Media Devices Limited | Detecteur de vitesse angulaire |
-
2004
- 2004-02-18 JP JP2004040763A patent/JP4859347B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1019575A (ja) * | 1996-06-28 | 1998-01-23 | Kyocera Corp | 圧電振動体 |
JPH11281372A (ja) * | 1997-11-04 | 1999-10-15 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法 |
JP2000180182A (ja) * | 1998-12-18 | 2000-06-30 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
JP2000199714A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2001264065A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-09-26 | Ngk Insulators Ltd | 振動子の製造方法および振動型ジャイロスコープの製造方法 |
JP2002257552A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-11 | Murata Mfg Co Ltd | 物理量センサ装置 |
WO2003100350A1 (fr) * | 2002-05-28 | 2003-12-04 | Fujitsu Media Devices Limited | Detecteur de vitesse angulaire |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007147408A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Matsushita Electric Works Ltd | センサエレメント |
JP5205970B2 (ja) * | 2006-01-24 | 2013-06-05 | パナソニック株式会社 | 慣性力センサ |
US8462109B2 (en) | 2007-01-05 | 2013-06-11 | Invensense, Inc. | Controlling and accessing content using motion processing on mobile devices |
JP2011503522A (ja) * | 2007-07-06 | 2011-01-27 | インベンセンス インコーポレイテッド | Mems慣性感知及び内蔵デジタルエレクトロニクスを備えた統合運動処理ユニット(mpu) |
US8997564B2 (en) | 2007-07-06 | 2015-04-07 | Invensense, Inc. | Integrated motion processing unit (MPU) with MEMS inertial sensing and embedded digital electronics |
US10288427B2 (en) | 2007-07-06 | 2019-05-14 | Invensense, Inc. | Integrated motion processing unit (MPU) with MEMS inertial sensing and embedded digital electronics |
US8960002B2 (en) | 2007-12-10 | 2015-02-24 | Invensense, Inc. | Vertically integrated 3-axis MEMS angular accelerometer with integrated electronics |
US9846175B2 (en) | 2007-12-10 | 2017-12-19 | Invensense, Inc. | MEMS rotation sensor with integrated electronics |
US8952832B2 (en) | 2008-01-18 | 2015-02-10 | Invensense, Inc. | Interfacing application programs and motion sensors of a device |
US9342154B2 (en) | 2008-01-18 | 2016-05-17 | Invensense, Inc. | Interfacing application programs and motion sensors of a device |
US9811174B2 (en) | 2008-01-18 | 2017-11-07 | Invensense, Inc. | Interfacing application programs and motion sensors of a device |
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