JP2005231937A - 金属ガラス接合体および金属薄膜とガラス基体との接合方法。 - Google Patents

Abstract

【課題】真空高温度の環境下でも使用可能な金属ガラス接合体と、表面に微細な表面形状を備えた金属薄膜をガラス基体上に強固に接合することができる接合方法を提供する。
【解決手段】金属ガラス接合体を、ガラス基体側から接合ガラス層とガラス粒子含有金属膜とを介して金属薄膜を接合したものとし、このような金属ガラス接合体は、金属−ガラス複合めっき工程にて、金属薄膜の微細形状面と反対側の面にガラス粒子含有金属膜を形成し、接合工程にて、スラリー化したガラスフリットを上記のガラス粒子含有金属膜上および／またはガラス基体上に塗布してガラスフリット層を形成し、このガラスフリット層と上記のガラス粒子含有金属膜を介して金属薄膜をガラス基体に接合することにより作製する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ガラス基体上に金属薄膜を接合して備えた金属ガラス接合体と、ガラス基体上に金属薄膜を強固に接合するための接合方法に関する。

従来、ガラス基体上への金属薄膜の接着には硬化性接着剤インキが使用され（特許文献１）、また、真空系で使用する金属ガラス接合体では、ガラス基体と金属薄膜の接着にウレタン系、ＰＰＳ系等の高分子接着剤、ポリビニルアルコール系の水溶性ポリマー、デキストリン等の澱粉化合物、ポリイソブチレン、ポリビニルブチラール等の粘着剤、熱剥離性粘着剤、紫外線剥離性粘着剤等が使用されている（特許文献２）。
また、熱硬化性接着剤や異方性導電膜を用いてガラス基板上に配線パターンを接着することにより、真空封止で使用される表示パネルの製造が行われている（特許文献３）。
特開平７−９７９６号公報 特開平１１−１４９８６４号公報 特開２００３−２４９５２５号公報

しかしながら、従来のガラス基体上への金属薄膜の接合は、有機物質からなる接着剤を使用しており、このような接着剤を用いた金属ガラス接合体が真空中に置かれると、有機物質からのガス発生が生じ、高温度にさらされた場合には有機物質の分解や酸化等の問題がある。
また、従来から使用される有機物質以外の封止剤、例えば、ガラス封止剤は、ガラス基体と金属薄膜との間に架橋を作るものものではなく、このような封止剤を用いてガラス基体と金属薄膜とを接合しても、強固に接合した金属ガラス接合体は得られない。
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたものであり、真空高温度の環境下でも使用可能な金属ガラス接合体と、表面に微細な表面形状を備えた金属薄膜をガラス基体上に強固に接合することができる接合方法を提供することを目的とする。

このような目的を達成するために、本発明は、ガラス基体上に金属薄膜を接合した金属ガラス接合体において、ガラス基体と金属薄膜との間にガラス基体側から接合ガラス層とガラス粒子含有金属膜とを備えるような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記ガラス粒子含有金属膜の膜厚Ｔと、前記ガラス粒子の平均粒径Ｄとの間に２Ｔ＞Ｄなる関係が成立するような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記ガラス粒子含有金属膜に含有されるガラス粒子の平均粒径Ｄが１〜５０μｍの範囲内であるような構成とした。

本発明の好ましい態様として、前記接合ガラス層は、ガラスフリットが軟化固着したものであるような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記金属薄膜は表面に微細形状を有するような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記ガラス粒子含有金属膜に含有されるガラス粒子および前記接合ガラス層の熱膨張係数は、前記ガラス基体の熱膨張係数と前記金属薄膜の熱膨張係数の中間に位置するものであるような構成とした。

また、本発明は、微細形状面を備えた金属薄膜をガラス基体上に接合する方法において、前記金属薄膜の微細形状面と反対側の面にガラス粒子含有金属膜を形成する金属−ガラス複合めっき工程と、スラリー化したガラスフリットを前記ガラス粒子含有金属膜上および／またはガラス基体上に塗布してガラスフリット層を形成し、該ガラスフリット層と前記ガラス粒子含有金属膜を介して前記金属薄膜をガラス基体に接合する接合工程と、を有するような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記金属−ガラス複合めっき工程では、膜厚Ｔとガラス粒子の平均粒径Ｄとの間に２Ｔ＞Ｄなる関係が成立するガラス粒子含有金属膜を形成するような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記接合工程は、前記ガラスフリットと前記ガラス粒子が軟化し、かつ、前記ガラス基体が軟化しない温度で加熱が行われるような構成とした。

本発明の好ましい態様として、前記ガラス粒子含有金属膜に含有させるガラス粒子および前記ガラスフリットは、その熱膨張係数がガラス基体の熱膨張係数と金属薄膜の熱膨張係数の中間に位置するものを使用するような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記金属−ガラス複合めっき工程は、前記金属薄膜の微細形状面に保護材層を形成し、その後、前記ガラス粒子含有金属膜を形成するものであり、前記接合工程でガラス基体への金属薄膜の接合完了後に前記保護材層を除去するような構成とし、また、前記保護材層は、前記金属薄膜を構成する金属材に対する選択エッチングが可能な金属材料を用いて電鋳により形成するような構成とした。

本発明の好ましい態様として、前記金属−ガラス複合めっき工程と前記接合工程との間に、前記ガラス粒子含有金属膜側から前記金属薄膜に溝部を形成する溝部形成工程を有するような構成、あるいは、前記金属−ガラス複合めっき工程と前記接合工程との間に、前記金属薄膜と前記ガラス粒子含有金属膜との積層体を所望のパターンに加工するパターニング工程を有するような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記ガラス基体の接合面に予め粗面化処理を施すような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記接合工程におけるガラス基体への金属薄膜の接合完了後の徐冷速度は５０℃／時以下とするような構成とした。

本発明によれば、ガラス粒子含有金属膜の金属部位が金属薄膜との高い接合を可能とし、含有されるガラス粒子が接合ガラス層に対して機械的アンカー作用をなすことにより、ガラス粒子含有金属膜を介して金属薄膜が接合ガラス層に強固に接合され、さらに、接合ガラス層がガラス基体に強固に接合されているため、金属ガラス接合体全体が強固に接合されたものとなり、また、有機物質を使用していないので、真空高温度の環境下でもガス発生を生じることなく使用できる。
また、本発明では、金属−ガラス複合めっき工程で形成されたガラス粒子含有金属膜が、接合工程においてガラスフリット層と金属薄膜とを強固に接合し、また、ガラスフリット層がガラス基体に強固に接合するので、表面に微細形状面を備えた金属薄膜をガラス基体上に強固に接合させることができ、得られた金属ガラス接合体を真空状態に封止される用途に使用しても、ガス発生による真空度の低下等の不都合が防止される。

次に、本発明の最良な実施形態について説明する。
［金属ガラス接合体］
図１は本発明の金属ガラス接合体の一実施形態を示す概略断面図である。図１において、本発明の金属ガラス接合体１は、ガラス基体２上に接合ガラス層４とガラス粒子含有金属膜５とを介して金属薄膜３を接合して備えるものである。また、ガラス粒子含有金属膜５は、分散含有されているガラス粒子７と、これらを保持する金属部位６とからなっている。

本発明の金属ガラス接合体１を構成するガラス基体２の材質は特に制限されず、例えば、旭硝子（株）製 ＰＤ２００、日本電気硝子（株）製 ＰＰ−８等のガラス材料を使用することができる。また、ガラス基材２の厚みも制限はなく、例えば、３００μｍ〜２０ｍｍの範囲で適宜設定することができる。
本発明の金属ガラス接合体１を構成する金属薄膜３は、表面に微細形状を備えるものであってもよく、図示例では、金属薄膜３は微細形状面３ａを備えている。この微細形状面３ａは、例えば、ナノメートルオーダーの超微細形状部位であってもよい。また、図示例では、金属薄膜３は所望のパターン形状、例えば、配線形状等に加工されたものであるが、全ベタの金属箔であってもよい。上記の微細形状面３ａは、例えば、鋳型に所望の金属材を電鋳させることにより形成することができる。金属薄膜３の材質としては、所望の金属材でよく、特に制限はないが、例えば、電鋳により形成される場合には、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｎｉ−Ｃｒ合金、Ｎｉ−Ｆｅ合金、Ｎｉ−Ｗ合金等を挙げることができる。また、金属薄膜３の厚みは、例えば、１〜４０μｍの範囲内で適宜設定することができる。

本発明の金属ガラス接合体１を構成する接合ガラス層４は、ガラスフリットが軟化固着したものであり、ガラス粒子含有金属膜５をガラス基体２に強固に接合する作用をなすものである。このような接合ガラス層４を構成するガラスフリットとしては、軟化点がガラス基体２の軟化点よりも低いものであり、その熱膨張係数がガラス基体２の熱膨張係数と金属薄膜３の熱膨張係数の中間に位置するものであれば特に制限はない。また、接合ガラス層４の厚みは、例えば、１００μｍ〜５ｍｍの範囲で適宜設定することができる。

本発明の金属ガラス接合体１を構成するガラス粒子含有金属膜５は、上記のように、分散含有されているガラス粒子７と、これらを保持する金属部位６とからなっており、金属薄膜３を接合ガラス層４に強固に接合する作用をなすものである。すなわち、ガラス粒子含有金属膜５の金属部位６が金属薄膜３と強固に接合しており、接合ガラス層４との界面に一部が突出しているガラス粒子７（後述する図２の例では、加工断面が接合ガラス層４との界面に露出しているガラス粒子７も含まれる）が接合ガラス層４と軟化固着することにより機械的アンカー作用が得られ、ガラス粒子含有金属膜５が接合ガラス層４に強固に接合されている。これにより、金属薄膜３がガラス粒子含有金属膜５と接合ガラス層４を介してガラス基体２に強固に接合されている。

このようなガラス粒子含有金属膜５は、その膜厚Ｔとガラス粒子７の平均粒径Ｄとの間に２Ｔ＞Ｄなる関係が成立することが好ましい。このような関係が存在することにより、上記のガラス粒子７による機械的アンカー作用が確実に得られることになる。ここで、膜厚Ｔとは金属部位６の厚みであり、金属部位６から接合ガラス層４側に突出しているガラス粒子７の突出部分は厚みに算入しない。

ガラス粒子含有金属膜５を構成する金属部位６の材質は特に制限されず、金属薄膜３と同じ材質でもよく、また、異なるものであってもよく、例えば、電鋳により形成される場合には、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｎｉ−Ｃｒ合金、Ｎｉ−Ｆｅ合金、Ｎｉ−Ｗ合金等を挙げることができる。また、ガラス粒子含有金属膜５に分散含有されるガラス粒子は、軟化点がガラス基体２の軟化点よりも低いものであり、その熱膨張係数がガラス基体２の熱膨張係数と金属薄膜３の熱膨張係数の中間に位置するものであれば特に制限はない。また、ガラス粒子７の平均粒径Ｄは、１〜５０μｍ、好ましくは１〜２０μｍの範囲内で適宜設定することができる。さらに、ガラス粒子含有金属膜５に含有されるガラス粒子７の分散密度は、例えば、２５〜１００００００個／ｃｍ²、好ましくは１００〜１００００個／ｃｍ²の範囲で適宜設定することができる。

上述のような本発明の金属ガラス接合体１は、ガラス粒子含有金属膜５を介して金属薄膜３が接合ガラス層４に強固に接合され、この接合ガラス層４がガラス基体２に強固に接合されているため、金属ガラス接合体１全体が強固に接合されたものである。また、金属ガラス接合体１は、有機物質を使用していないので真空高温度の環境下でもガス発生を生じることなく使用できる。
尚、本発明の金属ガラス接合体は上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、図２に示される金属ガラス接合体１１のように、金属薄膜３に溝部８を備えるものであってもよい。このような溝部８を備えることにより、ガラス粒子含有金属膜５と接合ガラス層４との接触面積が増大し、接合強度が更に向上する。

［金属薄膜とガラス基体との接合方法］
次に、本発明の金属薄膜とガラス基体との接合方法について説明する。
本発明の接合方法は、微細形状面を備えた金属薄膜をガラス基体上に接合する方法であり、少なくとも金属−ガラス複合めっき工程と接合工程とを有するものであり、さらに、金属−ガラス複合めっき工程と接合工程との間に、溝部形成工程および／またはパターニング工程を有するものである。

図３は本発明の接合方法の一実施形態を説明するための工程図である。
（金属−ガラス複合めっき工程）
まず、鋳型２１の成形面上に金属材を電鋳させることにより金属薄膜２２を形成する（図３（Ａ））。この金属薄膜２２は、鋳型２１に当接する面２２ａに、鋳型の微細形状に対応した微細形状が形成されたものである。この微細形状面２２ａは、例えば、ナノメートルオーダーの超微細形状部位であってもよい。使用する鋳型は、その材質に制限はなく、例えば、Ｎｉ、Ｎｉ−Ｐ、Ｎｉ−Ｂ、Ｔｉ、Ｗ等の金属、酸化珪素等の無機酸化物、ガラス、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、スチレン樹脂等の有機樹脂のいずれであってもよい。尚、電気絶縁性の材料からなる鋳型の場合、電鋳用通電膜を表面に形成する。

電鋳に使用する電鋳液や電鋳の条件（液温、電流密度、通電時間等）は、特に制限はなく、従来公知の電鋳液を適宜選択し、形成する金属薄膜２２に応じて適宜条件を設定することができる。金属薄膜２２を形成するための金属材としては、例えば、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｎｉ−Ｃｒ合金、Ｎｉ−Ｆｅ合金、Ｎｉ−Ｗ合金等を挙げることができる。また、形成する金属薄膜２２の厚みは１〜４０μｍの範囲内で設定することが好ましく、厚みが１μｍ未満であると、後工程で金属薄膜２２が破損することがあり、４０μｍを超えると、例えば、微細なパターンを形成することが困難となり好ましくない。

次に、鋳型２１から金属薄膜２２を剥離し、微細形状面２２ａと反対側に、金属−ガラス複合めっきによりガラス粒子含有金属膜２３を形成する（図３（Ｂ））。このガラス粒子含有金属膜２３は、後述の接合工程における金属薄膜２２とガラス基体２５との接合強度を向上させる目的で形成されるものであり、ガラス粒子を含有する電鋳液を用いて金属薄膜２２上に形成することができる。形成されたガラス粒子含有金属膜２３は、金属部位において金属膜２２と強固に接合される。この場合、ガラス粒子含有金属膜２３の金属部位の材質は特に制限はなく、金属薄膜２２と同じ材質でもよく、また、異なるものであってもよい。例えば、本実施形態のように、後加工として、金属薄膜２２とガラス粒子含有金属膜２３との積層体に溝部２４を形成する溝部形成工程を有し、この工程においてエッチングにより溝部２４を形成する場合には、ガラス粒子含有金属膜２３の金属部位の材質は金属薄膜２２と同じ材質であること好ましい。

形成したガラス粒子含有金属膜２３は、その膜厚Ｔと、含有するガラス粒子の平均粒径Ｄとの間に２Ｔ＞Ｄなる関係が成立することが好ましい。このような関係が存在することにより、ガラス粒子含有金属膜２３の表面（金属薄膜２２に接合している面の反対面）にガラス粒子の一部が突出し、後工程である接合工程にて、ガラス粒子による機械的アンカー作用が得られ、ガラスフリット層との強固な接合が可能となる。ここで、上記の膜厚Ｔとは、ガラス粒子含有金属膜２３の金属部位の厚みであり、形成されたガラス粒子含有金属膜２３から突出しているガラス粒子の突出部分は厚みに算入しない。

ガラス粒子含有金属膜２３に分散含有されるガラス粒子は、軟化点が後述のガラス基体２５の軟化点よりも低いものであり、その熱膨張係数が金属薄膜２２の熱膨張係数とガラス基体２５の熱膨張係数との中間に位置するものであれば特に制限はない。また、ガラス粒子の平均粒径Ｄは、１〜５０μｍ、好ましくは１〜２０μｍの範囲内で適宜設定することができる。さらに、ガラス粒子含有金属膜２３に含有されるガラス粒子の分散密度は、例えば、２５〜１００００００個／ｃｍ²、好ましくは１００〜１００００個／ｃｍ²の範囲で適宜設定することができる。

（溝部形成工程）
次に、金属薄膜２２に形成されたガラス粒子含有金属膜２３上に所望のパターンでレジスト層を設け、このレジスト層をマスクとして金属薄膜２２とガラス粒子含有金属膜２３との積層体をエッチングして溝部２４を形成し、その後、レジスト層を除去する（図３（Ｃ））。
レジスト層の形成は、従来公知のレジスト材料を使用して行うことができ、特に制限はない。例えば、感光性レジスト材料を使用する場合、レジスト材料をガラス粒子含有金属膜２３上に塗布し、所望のマスクを介して露光、現像することによりレジスト層を形成することができる。

レジスト層をマスクとした金属薄膜２２とガラス粒子含有金属膜２３との積層体のエッチングは、金属薄膜２２の材質、ガラス粒子含有金属膜２３の金属部位の材質を考慮して選択したエッチング液を用いて行うことができる。例えば、ニッケル系の金属薄膜２２とガラス粒子含有金属膜２３との積層体をエッチングする場合、硫酸−過酸化水素系、塩化第二鉄溶液等のエッチング液を使用することができる。エッチングは、浸漬法、塗布法、スプレー法等、公知の方法により行うことができる。

（接合工程）
次いで、上述の溝部形成工程で溝部２４が形成されたガラス粒子含有金属膜２３側を、ガラスフリット層２６を介してガラス基体２５に接合する（図３（Ｄ））。ガラスフリット層２６は、スラリー化したガラスフリットをガラス粒子含有金属膜２３上、あるいは、ガラス基体２５上、あるいは、ガラス粒子含有金属膜２３上とガラス基体２５上の双方に塗布することにより形成することができる。使用するガラスフリットは、軟化点がガラス基体２５の軟化点よりも低いものであり、その熱膨張係数が金属薄膜２２の熱膨張係数とガラス基体２５の熱膨張係数との中間に位置するものであれば特に制限はない。また、ガラスフリットの平均粒径は、１〜５００μｍ、好ましくは１〜２００μｍの範囲内で適宜設定することができる。

この接合工程は、ガラスフリット層２６のガラスフリットと、ガラス粒子含有金属膜２３に分散含有されるガラス粒子とが軟化し、かつ、ガラス基体２５が軟化しない温度に加熱して行われ、その後、徐冷される。徐冷速度は、５０℃／時以下、好ましくは２５℃／時以下であり、５０℃／時を超える場合、接合強度の低下を生じることがあり好ましくない。

尚、ガラス基体２５の接合面に予め粗面化処理を施してもよい。この粗面化処理は、例えば、ブラスト処理、エッチング処理等により行うことができる。
また、後述する実施形態と同様に、支持材層、保護材層を使用してもよい。
図４および図５は本発明の接合方法の他の実施形態を説明するための工程図である。

（金属−ガラス複合めっき工程）
まず、鋳型３１の成形面上に金属材を電鋳させることにより金属薄膜３２を形成する（図４（Ａ））。この金属薄膜３２は、鋳型３１に当接する面３２ａに、鋳型の微細形状に対応した微細形状が形成されたものである。この微細形状面３２ａは、例えば、ナノメートルオーダーの超微細形状部位であってもよい。使用する鋳型３１や、電鋳に使用する電鋳液や電鋳の条件（液温、電流密度、通電時間等）は、上述の実施形態と同様とすることができる。また、金属薄膜３２を形成するための金属材、金属薄膜３２の厚みは、上述の実施形態における金属薄膜２２と同様とすることができる。

次に、鋳型３１に形成された金属薄膜３２の露出面３２ｂ上に支持材層３８を設け、この支持材層３８に金属薄膜３２を保持した状態で、鋳型３１から金属薄膜３２を剥離する（図４（Ｂ））。支持材層３８は、薄く物理的強度が低い金属薄膜３２に強度補強するためのものである。この支持材層３８の材質は特に制限はなく、後工程にて金属薄膜３２の形状を変化させることなく除去可能なものであればよく、例えば、銅、銀、アルミニウム等の金属、エポキシ樹脂等の有機樹脂等を使用することができる。また、支持材層３８として、金属薄膜３２を構成する金属材に対する選択エッチングが可能な金属材料を使用することができる。例えば、金属薄膜３２がニッケルである場合、支持材層３８を銅で形成することができる。尚、支持材層３８を金属材料で形成する場合、金属薄膜３２を給電層として電鋳により形成することができる。

次いで、支持材層３８に保持された金属薄膜３２の微細形状面３２ａに保護材層３９を設ける（図４（Ｃ））。この段階で、金属薄膜３２は支持材層３８と保護材層３９とで挟持された状態となる。その後、支持材層３８を除去して露出した金属薄膜３２の露出面３２ｂ上に、金属−ガラス複合めっきによりガラス粒子含有金属膜３３を形成する（図４（Ｄ））。このガラス粒子含有金属膜３３は、後述の接合工程における金属薄膜３２とガラス基体３５との接合強度を向上させる目的で形成されるものであり、ガラス粒子を含有する電鋳液を用いて金属薄膜３２上に形成することができる。形成されたガラス粒子含有金属膜３３は、金属部位において金属膜３２と強固に接合される。このガラス粒子含有金属膜３３は、上述の実施形態におけるガラス粒子含有金属膜２３と同様にして形成することができ、ここでの説明は省略する。

（パターニング工程）
次に、金属薄膜３２に形成されたガラス粒子含有金属膜３３上に所望のパターンでレジスト層を設け、このレジスト層をマスクとして金属薄膜３２とガラス粒子含有金属膜３３との積層体をエッチングしてパターン３４を形成し、その後、レジスト層を除去する（図５（Ａ））。レジスト層の形成は、従来公知のレジスト材料を使用して行うことができ、特に制限はない。例えば、感光性レジスト材料を使用する場合、レジスト材料をガラス粒子含有金属膜３３上に塗布し、所望のマスクを介して露光、現像することによりレジスト層を形成することができる。

レジスト層をマスクとした金属薄膜３２とガラス粒子含有金属膜３３との積層体のエッチングは、金属薄膜２３の材質、ガラス粒子含有金属膜３３の金属部位の材質を考慮して選択したエッチング液を用いて行うことができる。例えば、ニッケル系の金属薄膜３２とガラス粒子含有金属膜３３との積層体をエッチングする場合、硫酸−過酸化水素系、塩化第二鉄溶液等のエッチング液を使用することができる。エッチングは、浸漬法、塗布法、スプレー法等、公知の方法により行うことができる。本実施形態では、上述のように、金属薄膜３２の微細形状面３２ａが保護材層３９により保護されているので、工程中における酸化等による劣化や損傷の発生が防止される。

（接合工程）
次いで、上述のパターニング工程で形成された金属薄膜３２のパターン３４を、ガラス粒子含有金属膜３３とガラスフリット層３６を介してガラス基体３５に接合し（図５（Ｂ））、徐冷した後、保護材層３９を除去する（図５（Ｃ））。
ガラスフリット層３６は、上述の実施形態におけるガラスフリット層２６と同様にして形成することができ、ここでの説明は省略する。尚、ガラス基体３５の接合面に予め粗面化処理を施してもよい。この粗面化処理は、例えば、ブラスト処理、エッチング処理等により行うことができる。

この接合工程は、ガラスフリット層３６のガラスフリットと、ガラス粒子含有金属膜３３に分散含有されるガラス粒子とが軟化し、かつ、ガラス基体３５が軟化しない温度に加熱して行う。接合後の徐冷における速度は、５０℃／時以下、好ましくは２５℃／時以下であり、５０℃／時を超える場合、接合強度の低下を生じることがあり好ましくない。
保護材層３９の除去は、金属薄膜３２を構成する金属材に対する選択エッチングを利用した溶解除去、金属薄膜３２を構成する金属材との融点の相違を利用した溶融除去等、金属薄膜３２を損傷させることなく除去可能な方法を適宜用いることができる。

尚、本実施形態のパターニング工程後、パターン３４に上述の実施形態における溝部形成工程により微細な溝部を形成してもよい。
また、パターン３４は特に制限はなく、例えば、配線や、撮像デバイス、表示デバイス用のパターン等である。

次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
［実施例１］
（金属−ガラス複合めっき工程）
まず、異方性エッチング等により超微細加工を施したシリコンウエハーを鋳型として準備し、このシリコンウエハーを市販の脱脂液（メルテックス（株）製 メルプレートＩＴＯ−１７０）に７０℃で５分間超音波をあてながら浸漬した。水洗後、このシリコンウエハーを４５ｇ／Ｌの水酸化カリウム水溶液に７０℃で５分間超音波をあてながら浸漬した。このシリコンウエハーを水洗した後、市販の表面調整剤（メルテックス（株）製 メルプレートコンディショナー４８０）に室温にて５分間浸漬した。

次いで、離型剤としてアミノ系シランカップリング剤であるγ−アミノプロピルトリエトキシシラン（日本ユニカー（株）製 Ａ−１１００）を１０ｇ／Ｌ溶解した離型剤水溶液にシリコンウエハーを室温で２分間浸漬して離型剤膜を形成した。水洗後、シリコンウエハーを市販の触媒液（メルテックス（株）製 メルプレートアクチベータ４４０）に２分間浸漬し水洗して触媒を付与した。その後、市販の無電解ニッケルめっき液（メルテックス（株）製 メルプレートＮＩ−８６７）に５分間浸漬（浴温７０℃）し、Ｎｉを析出させて電鋳用通電膜を成膜した。

次に、電鋳用通電膜を成膜したシリコンウエハーを水洗し、その後、ニッケル電鋳液（メルテックス（株）製 メルプレートＥＦ−２２０１）を使用し、電鋳用通電膜に電流密度１０Ａ／ｄｍ²で８分間の通電を行って、電鋳によりニッケルを析出させ、ニッケル薄膜（厚み１５μｍ）を形成した。このニッケル薄膜の熱膨張係数は１３０×１０^-7／℃であった。

次いで、水洗後、鋳型から剥離しない状態の上記ニッケル薄膜上に、一般的な銅電鋳液（硫酸銅５水塩：２２０ｇ／Ｌ、硫酸：７０ｇ／Ｌ、塩素イオン：６０ｇ／Ｌ）を使用し、電鋳用通電膜に電流密度１０Ａ／ｄｍ²で４０分間の通電を行って、電鋳により銅を析出させ、支持材層（厚み７０μｍ）を形成した。その後、この支持材層とニッケル薄膜とを同時にシリコンウエハーから剥離した。剥離されたニッケル薄膜は、その表面に超微細形状を有するものであった。

次いで、支持材層に担持された状態のニッケル薄膜の超微細形状面側に保護材層を形成した。ここでは、一般的な銅電鋳液（硫酸銅５水塩：２２０ｇ／Ｌ、硫酸：７０ｇ／Ｌ、塩素イオン：６０ｇ／Ｌ）を使用し、銅支持材層に電流密度１０Ａ／ｄｍ²で４０分間の通電を行って、電鋳により銅を析出させ、厚み７０μｍの保護材層を形成した。この段階で、ニッケル薄膜は銅の支持材層と保護材層とで挟持された状態となった。
次いで、上記の支持材層を、市販のアンモニアアルカリ系のエッチング液（メルテックス（株）製 エープロセス）を用いて溶解除去した。

上記のようにして支持体層が除去され露出したニッケル薄膜面上に、ニッケル−ガラス複合めっきによりガラス粒子含有ニッケル膜を形成した。すなわち、市販のスルファミン酸ニッケル電鋳液（メルテックス（株）製 メルプレートＥＦ−２２０１）に、ジメチルベンジルアルキルアンモニウムクロライド０．５ｇ／Ｌと、アルキルジ（アミノエチル）グリシン０．５ｇ／Ｌを添加し、さらに、市販のガラスフリット（旭テクノグラス（株）製 ＡＴＧ ＡＦ−１０３（平均粒径＝１５μｍ、熱膨張係数＝１１８×１０^-7／℃、軟化点＝３４０℃））を１０ｇ／Ｌ添加したものを電鋳液として使用し、保護材層に電流密度１０Ａ／ｄｍ²で５分間の通電を行って、ガラス粒子含有ニッケル膜（金属部位の厚み４０μｍ）を形成した。

（パターニング工程）
次に、ガラス粒子含有ニッケル膜上に市販の感光性レジスト（東京応化工業（株）製 オーディル）を塗布し、所望のフォトマスクを介して露光し、現像することによりレジスト層を形成した。このレジスト層は、最小線幅が４０μｍ、最大線幅が５ｍｍであり、レジスト層の間隙の最小幅が４０μｍ、最大幅が２０ｍｍであった。
その後、レジスト層をマスクとしてガラス粒子含有ニッケル膜側から塩化第二鉄溶液（塩化第二鉄２３０ｇ／Ｌ、塩酸５０ｇ／Ｌ）を用いてガラス粒子含有ニッケル膜とニッケル薄膜を同時にエッチングしてパターニングを行った。次いで、３％水酸化ナトリウム水溶液を用いてレジスト層を除去した。

（接合工程）
次に、市販のガラス基体（旭硝子（株）製 ＰＤ２００（熱膨張係数＝８３×１０^-7／℃、軟化点＝８３０℃））上にスラリー化したガラスフリット（旭テクノグラス（株）製 ＡＴＧ Ｔ−２１４（熱膨張係数＝１２５×１０^-7／℃、軟化点＝４３５℃））を塗布してガラスフリット層を形成した。このガラスフリット層上に、パターニングされたニッケル薄膜を、ガラス粒子含有ニッケル膜側が当接されるようにして４００℃で１時間圧着することにより接合した。次いで、３０℃／時の徐冷速度で冷却し、室温に到達した後、保護材層を、市販のアンモニアアルカリ系のエッチング液（メルテックス（株）製 エープロセス）を用いて溶解除去した。
以上により、ガラス基体上にガラスフリット層とガラス粒子含有ニッケル膜とを介してニッケル薄膜パターンを接合した金属ガラス接合体が得られた。

［実施例２］
ガラス粒子含有ニッケル膜に含有させるガラスフリットとして、市販のガラスフリット（旭テクノグラス（株）製 ＡＴＧＴ０１５（平均粒径５０μｍ、熱膨張係数＝１１０×１０^-7／℃、軟化点＝３６５℃））を使用した他は、実施例１と同様にして、金属ガラス接合体を作製した。

［比較例１］
ガラス粒子含有ニッケル膜を形成せずに、ニッケル薄膜をガラスフリット層のみを介してガラス基体上に接合した他は、実施例１と同様にして、金属ガラス接合体を作製した。

［比較例２］
ガラス粒子含有ニッケル膜に含有させるガラスフリットとして、市販のガラスフリット（日本電気硝子（株）製 ＧＫ−１９／５５０−３０（平均粒径５００μｍ、熱膨張係数＝９４×１０^-7／℃））を使用した他は、実施例１と同様にして、金属ガラス接合体を作製した。

［接合強度の評価］
上述の実施例１、２および比較例１，２で作製された各金属ガラス接合体について、下記の条件での評価方法により接合強度の評価を行った。その結果、実施例１、２の金属ガラス接合体は、粘着テープによる剥離がなく、高い接合強度が得られていることが確認された。
しかし、比較例１の金属ガラス接合体は、保護材層を溶解除去する段階で、ガラス基体とニッケル薄膜の剥離が一部に生じ、両者の接合強度が不充分なことが確認された。
また、比較例２は、粘着テープによりニッケル薄膜がガラス基体から剥離し、実施例１、２に比べて接合強度が低いものであった。

（接合強度の評価方法）
粘着テープ（ニチバン（株）製 セロテープ（１５ｍｍ幅））をニッケル薄膜上
に強く貼り付け、ニッケル薄膜面に対して垂直方向に急激に剥離して、ニッケル
薄膜の剥離の有無を観察する。

本発明は金属薄膜をガラス基体上に強固に接合することを可能とするものであり、真空封止して使用可能な配線、デバイス等の製造に有用である。

本発明の金属ガラス接合体の一実施形態を示す概略断面図である。 本発明の金属ガラス接合体の他の実施形態を示す概略断面図である。 本発明の金属薄膜とガラス基体との接合方法の一実施形態を説明するための工程図である。 本発明の金属薄膜とガラス基体との接合方法の他の実施形態を説明するための工程図である。 本発明の金属薄膜とガラス基体との接合方法の他の実施形態を説明するための工程図である。

符号の説明

１，１１…金属ガラス複合体
２…ガラス基体
３…金属薄膜
４…接合ガラス層
５…ガラス粒子含有金属膜
６…金属部位
７…ガラス粒子
８…溝部
２１，３１…鋳型
２２，３２…金属薄膜
２２ａ，３２ａ…微細形状面
２３，３３…ガラス粒子含有金属膜
２４…溝部
３４…パターン
２５，３５…ガラス基体
２６，３６…ガラスフリット層
３８…支持材層
３９…保護材層

Claims (16)

1. ガラス基体上に金属薄膜を接合した金属ガラス接合体において、
   ガラス基体と金属薄膜との間にガラス基体側から接合ガラス層とガラス粒子含有金属膜とを備えることを特徴とする金属ガラス接合体。
2. 前記ガラス粒子含有金属膜の膜厚Ｔと、含有するガラス粒子の平均粒径Ｄとの間に２Ｔ＞Ｄなる関係が成立することを特徴とする請求項１に記載の金属ガラス接合体。
3. 前記ガラス粒子含有金属膜に含有されるガラス粒子の平均粒径Ｄが１〜５０μｍの範囲内であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の金属ガラス接合体。
4. 前記接合ガラス層は、ガラスフリットが軟化固着したものであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の金属ガラス接合体。
5. 前記金属薄膜は表面に微細形状を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の金属ガラス接合体。
6. 前記ガラス粒子含有金属膜に含有されるガラス粒子および前記接合ガラス層の熱膨張係数は、前記ガラス基体の熱膨張係数と前記金属薄膜の熱膨張係数の中間に位置するものであることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の金属ガラス接合体。
7. 微細形状面を備えた金属薄膜をガラス基体上に接合する方法において、
   前記金属薄膜の微細形状面と反対側の面にガラス粒子含有金属膜を形成する金属−ガラス複合めっき工程と、
   スラリー化したガラスフリットを前記ガラス粒子含有金属膜上および／またはガラス基体上に塗布してガラスフリット層を形成し、該ガラスフリット層と前記ガラス粒子含有金属膜を介して前記金属薄膜をガラス基体に接合する接合工程と、を有することを特徴とする金属薄膜とガラス基体との接合方法。
8. 前記金属−ガラス複合めっき工程では、膜厚Ｔと前記ガラス粒子の平均粒径Ｄとの間に２Ｔ＞Ｄなる関係が成立するガラス粒子含有金属膜を形成することを特徴とする請求項７に記載の金属薄膜とガラス基体との接合方法。
9. 前記接合工程では、前記ガラスフリットと前記ガラス粒子が軟化し、かつ、前記ガラス基体が軟化しない温度で加熱が行われることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の金属薄膜とガラス基体との接合方法。
10. 前記ガラス粒子含有金属膜に含有させるガラス粒子および前記ガラスフリットは、その熱膨張係数がガラス基体の熱膨張係数と金属薄膜の熱膨張係数の中間に位置するものを使用することを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれかに記載の金属薄膜とガラス基体との接合方法。
11. 前記金属−ガラス複合めっき工程は、前記金属薄膜の微細形状面に保護材層を形成し、その後、前記ガラス粒子含有金属膜を形成するものであり、前記接合工程でガラス基体への金属薄膜の接合完了後に前記保護材層を除去することを特徴とする請求項７乃至請求項１０のいずれかに記載の金属薄膜とガラス基体との接合方法。
12. 前記保護材層は、前記金属薄膜を構成する金属材に対する選択エッチングが可能な金属材料を用いて電鋳により形成することを特徴とする請求項１１に記載の金属薄膜とガラス基体との接合方法。
13. 前記金属−ガラス複合めっき工程と前記接合工程との間に、前記ガラス粒子含有金属膜側から前記金属薄膜に溝部を形成する溝部形成工程を有することを特徴とする請求項７乃至請求項１２のいずれかに記載の金属薄膜とガラス基体との接合方法。
14. 前記金属−ガラス複合めっき工程と前記接合工程との間に、前記金属薄膜と前記ガラス粒子含有金属膜との積層体を所望のパターンに加工するパターニング工程を有することを特徴とする請求項７乃至請求項１２のいずれかに記載の金属薄膜とガラス基体との接合方法。
15. 前記ガラス基体の接合面に予め粗面化処理を施すことを特徴とする請求項７乃至請求項１４のいずれかに記載の金属薄膜とガラス基体との接合方法。
16. 前記接合工程におけるガラス基体への金属薄膜の接合完了後の徐冷速度は５０℃／時以下とすることを特徴とする請求項７乃至請求項１５のいずれかに記載の金属薄膜とガラス基体との接合方法。

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