JP2005230335A

JP2005230335A - 除染装置ユニット

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Publication number: JP2005230335A
Application number: JP2004044612A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Kawasaki; 康司川崎; Minoru Miyamoto; 宮本　　実
Original assignee: Airex Co Ltd
Current assignee: Acous Corp
Priority date: 2004-02-20
Filing date: 2004-02-20
Publication date: 2005-09-02
Anticipated expiration: 2024-02-20
Also published as: JP4388831B2

Abstract

【課題】例えばクリーンルーム内に既に設置されている医薬品製造設備（除染対象物）を、クリーンルーム内に過酸化水素ガスを漏らすことなく除染することができる除染装置ユニットを提供する。
【解決手段】
除染装置ユニット１は、下底が開放された長方形状の組立て筐体２を備え、この組立て筐体２により除染対象物Ｘを囲繞する。前記組立て筐体２の筐壁は、内壁２ａ及び外壁２ｂとで構成され、組立て筐体内部９に供給した過酸化水素ガスを内壁２ａに形成した排気口７を介して両壁の間隙であるガス案内間隙４に案内するようにした。そして、そのガスをガス案内間隙４を通じて送風装置３ａに案内し、再度組立て筐体内部９に供給するようにした。このとき、外気用排気口８は開閉扉２０により遮閉状態としておく。かかる構成とすることにより、送風装置３ａと組立て筐体２との間で過酸化水素ガスを循環させることが可能となり、過酸化水素ガスを外界（クリーンルーム内）に漏らすことなく組立て筐体２に内在する除染対象物Ｘを除染することができる。
【選択図】図２

Description

本発明は、過酸化水素ガスなどの除染用ガスを除染対象物の外表面に接触させて、当該除染対象物を除染する除染装置ユニットに関する。

従来、医薬品製造設備の、特に高い除染処理が必要な部品（例えば、パーツフィーダのボウル部等）については、当該部品を一旦設備から取り外し、別途滅菌装置に搬送して除染し、その後、無菌状態を維持したまま元の位置に取り付けるようにしていた。しかし、部品の取り付け作業、及び無菌状態を維持したままの搬送作業は、非常に煩わしく面倒であって、多大な時間と労力をロスしてしまうという問題があった。また、搬送時に除染済みの部品が汚染されてしまう可能性もあった。

一方、かかる問題に鑑み、医薬品製造設備を、室内が気密遮閉されたアイソレータ内に設置し、過酸化水素ガス等の除染用ガスをこのアイソレータに供給することにより、当該医薬品製造設備全体を除染する構成が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。かかる構成とすることにより、上記問題が解消されることとなる。

特開２００１−５４７３９号公報

しかしながら、上述のアイソレータに医薬品製造設備を設置する構成は、医薬品製造設備を新規に設置する場合は可能であるが、既にクリーンルーム等に設置されて操業を行っている医薬品製造設備については、適用することができなかった。

一方、医薬品製造設備のあるクリーンルーム全体を密閉状態として当該クリーンルーム内に過酸化水素ガスを投入し、室内全体を除染することにより設備を除染する構成が提案され得る。しかし、かかる構成は、室内の気密性を確保する等の別の作業負担が大きくなる問題があった。また、無駄な過酸化水素ガスを大量に投入しなければならず、極めて除染時間が長くなり、経済的にも大きな問題があった。

そこで、本発明は、これらの問題を解消し得る除染装置ユニットを提供することを目的とする。

本発明は、下底が開放され、所定位置に載置された除染対象物を囲繞する組立て筐体と、除染用ガスを発生させて該除染用ガスを組立て筐体内部に供給するガス供給手段と、組立て筐体の筐壁に形成された、組立て筐体内部のガスを排気する排気口と、排気口から排気されたガスを、ガス供給手段に案内するガス案内路とを備え、ガス供給手段が、ガス案内路により案内されたガスを再び組立て筐体内部に供給することにより、ガス供給手段と組立て筐体内部との間で除染用ガスを循環させ、組立て筐体内部にある除染対象物を除染するものであることを特徴とする除染装置ユニットである。

かかる構成にあっては、所定の部品群からなる組立て筐体により、床面等に固定された不動の除染対象物を囲繞することが可能となる。したがって、除染が必要な部品を取り外すことなく、既設の設備や装置全体を除染対象物として除染できる。しかも、除染用ガスは、除染装置ユニット内で循環して外部、すなわち既設設備のある室内に放出されないため、除染不要な周囲に除染用ガスを漏らすことがない。なお、本発明にかかる組立て筐体は、除染対象物を容易に囲繞できるように下底の他にも適宜開放部を設けた構成としても良い。これにより、所定位置に様々な形態で固定された設備や装置に対して幅広く対応可能となる。なお、除染とは、化学Ｔ期除染、無菌、殺菌、滅菌等が含まれる。

ここで、ガス供給手段が、除染用ガスを発生させるガス発生装置と、該ガス発生装置と連通し、かつ組立て筐体に装架された、ガス発生装置が発生させた除染用ガスを組立て筐体内部に供給する送風装置とからなると共に、組立て筐体の筐壁が、互いに離間する内壁及び外壁とで構成された除染装置ユニットにあって、前記両壁間に形成されたガス案内間隙と送風装置とを連通する循環用連通口が設けられ、かつガス案内間隙と内壁に形成された排気口とが接続され、当該ガス案内間隙がガス案内路とされた構成が提案される。ここで、組立て筐体内部とは、ガス案内間隙を含まず、内壁に囲繞される空間をいう。

このように、二重構造である組立て筐体に送風装置を装架し、かつガス案内間隙を介して除染用ガスを循環させる構成とすることにより、全体として装置が一体的に構成され、配管構造も不要となり、装置全体がコンパクトとなる。

また、内壁に形成された排気口と対向するように外壁に形成された、ガス案内間隙と外界とを連通する外気用排気口と、組立て筐体に装架された、外界及び組立て筐体内部に比してガス案内間隙を陰圧とする内圧制御手段、及び外気を清浄化して組立て筐体内部に清浄外気を供給する外気供給装置とを備え、除染用ガス供給時は、内圧制御手段によりガス案内間隙を陰圧とし、除染用ガスを供給せず清浄外気を供給する時は、ガス案内間隙を陰圧としない構成が提案される。

かかる構成にあっては、除染時は、除染用ガスを含む組立て筐体内部のガスが負圧作用によりガス案内間隙に吸引されることとなる。このため、供給された除染用ガスが外界に漏れることがない。一方、清浄外気供給時は、当該外気が外気用排気口から外界に排出されるため、組立て筐体内部に一方向流が形成され、汚染物質の侵入を防止でき、除染済みの内部空間を好適に清浄維持できる。

一方、内壁に形成された排気口と対向するように外壁に形成された、ガス案内間隙と外界とを連通する外気用排気口と、外気用排気口に配設された、外界と組立て筐体内部とを連通する開放状態又は外界と組立て筐体内部とを遮断する遮閉状態のいずれかに変換する開閉扉と、組立て筐体に装架された、外気を清浄化して組立て筐体内部に清浄外気を供給する外気供給装置とを備え、除染用ガス供給時は、開閉扉を遮閉状態とし、除染用ガスを供給せず清浄外気を供給する時は、開閉扉を開放状態とする構成としても良い。

かかる構成にあっては、除染時は、組立て筐体内部は閉じた空間になるため、除染用ガスが外界に漏れることがない。また、清浄外気供給時は、組立て筐体内部から外気用排気口へ流れる一方向流を形成でき、除染済みの内部空間を好適に清浄維持できる。

また、組立て筐体に、ガス発生装置が装架された構成が提案される。

かかる構成とすることにより、除染用ガスを供給するための配管構造等が不要となり、装置全体がコンパクトとなる。

本発明の除染装置ユニットは、所定位置に載置された除染対象物を囲繞する組立て筐体により構成し、当該組立て筐体内部に除染用ガスを供給し、かつ循環させて除染対象物を除染するものとしたため、既設された除染対象物について除染できることとなり、無菌状態維持したまま除染が必要な部品を無菌庫に搬送等する必要がなくなり、簡便性・有用性が飛躍的に向上すると共に、搬送時の汚染のおそれも解消できる優れた利点がある。しかも、除染不要な周囲に除染用ガスを漏らすことがないため、安全面、又は経済的な観点からも優れた効果がある。

また、送風装置を組立て筐体に装架すると共に、組立て筐体の筐壁を内外壁で構成し、内外壁間に形成されたガス案内間隙を介してガスを循環させる構成とした場合は、複雑かつ煩雑な配管構造が省かれ、全体として装置がコンパクトとなる効果がある。また、ガス案内路として配管を用いた構成に比して、循環させるガス流量を飛躍的に増大させることが可能となる。さらに、送風装置の取付けが、組立て筐体のあらゆる部分で可能となるため、設計の自由度が増す効果もある。

また、組立て筐体に内圧制御手段及び外気供給装置を装架し、除染用ガス供給時はガス案内間隙を陰圧とし、清浄外気を供給する時はガス案内間隙を陰圧としない構成とした場合は、内圧制御機能及び外気供給機能を有する装置がユニット化されて取り扱いが容易となると共に、除染時に、除染用ガスを含む組立て筐体内部のガスをガス案内間隙に吸引して外界に漏れることを防止できる利点がある。一方、清浄外気供給時には、組立て筐体内部に一方向流を形成することができ、外界から汚染物質が侵入することを防止できる利点がある。

さらに、外気用排気口に開閉扉を設け、除染用ガス供給時は開閉扉を遮閉状態とし、清浄外気供給時は開放状態とする構成とした場合は、除染時に組立て筐体内部を閉じた空間として、除染用ガスの漏れを確実に防ぐことができる。また、清浄外気供給時には、組立て筐体内部に一方向流を形成できるため、外界から汚染物質が侵入することを防止できる利点がある。

また、組立て筐体に、ガス発生装置が装架された構成とした場合は、装置全体がコンパクトとなり、除染用ガスを供給するための配管構造等が不要となる利点がある。

<第一実施形態例>
本発明にかかる除染装置ユニット１は、例えばクリーンルーム内（クラスＢの無菌管理区域）の床面等に着脱不能に載置された医薬品製造設備等を除染対象物として除染するものである。この除染装置ユニット１によれば、クリーンルーム内に除染用ガスとしての過酸化水素ガスを漏らすことなく、また、除染を要する部品等を取り外す作業をすることなく、除染処理できる。

具体的な構成としては、図１に示されるように、床面Ｇに載置された除染対象物Ｘを囲繞する組立て筐体２を備えている。この組立て筐体２は、所定の部品（壁用パネル等）群を組み立てることによりなるものであって、本実施形態例にあっては直方体形状としている。また、図２に示されるように、組立て筐体２の下底は開放した構成としている。これにより、床面Ｇに固定された除染対象物Ｘを囲繞できる。なお、この除染対象物Ｘが内在する空間が組立て筐体内部９となる。

また、組立て筐体２の筐壁は、所定間隔を置いて一体的に固定された内壁２ａ及び外壁２ｂとで構成されている。すなわち、組立て筐体２は、二重構造となっている。そして、両壁２ａ，２ｂ間に形成された間隙を、後述するガス案内間隙４としている。

一方、組立て筐体内部９の天井位置には、ＨＥＰＡフィルタ１１と整流板１２とがそれぞれ上下の位置関係となるように、各々ほぼ水平に架けわたされている。

また、図１，２に示されるように、組立て筐体２の外壁２ｂには、送風装置３ａが外方に張り出して装架されている。この送風装置３ａは、ボックス１３とその内部に備えられた循環ファン１０、排気用ファン２５、外気導入用ダンパー１４、排気用ダンパー２６、及び供給管１５等で構成されている。さらに、この送風装置３ａには、当該クリーンルームの外に置かれたガス発生装置３ｂが接続されている。

かかる構成にあって、予め外気導入用ダンパー１４を閉鎖しておき、ガス発生装置３ｂに過酸化水素ガスを発生させると、当該過酸化水素ガスは管路（図示省略）を通じてボックス１３内に供給される。そして、循環ファン１０を駆動させることにより、内外壁２ａ，２ｂを貫く供給管１５を介して、過酸化水素ガスが組立て筐体内部９に供給される。ここで、供給管１５は組立て筐体内部９の最上位置に配設することとし、最上位置から流入した過酸化水素ガスは、ＨＥＰＡフィルタ１１と整流板１２とによりそれぞれ清浄化及び整流化されて下方へ流れ、除染対象物Ｘの周囲に放出される。

ここで、前記ガス発生装置３ｂは、フラッシュ蒸発技術を利用した公知のものが好適に採用される。また、ガス発生装置３ｂをクリーンルームの外に置くことにより、作業者が過酸化水素水の残量を常時管理でき、過酸化水素ガスを組立て筐体内部９に継続して供給できる。なお、本実施形態例にかかるガス発生装置３ｂ及び送風装置３ａにより、本発明にかかるガス供給手段が構成される。

一方、送風装置３ａは、過酸化水素ガスの供給を中止し、前記外気導入用ダンパー１４を開放操作し、かつ循環ファン１０を駆動することにより、上記と同様の経路に従って組立て筐体内部９に清浄化かつ整流化された清浄外気を導入することもできる。なお、本実施形態例にかかる送風装置３ａとＨＥＰＡフィルタ１１とにより、本発明にかかる外気供給装置が構成される。

また、組立て筐体２の内壁２ａの下端部には、組立て筐体内部９のガスを外へ排気するための排気口７が開口している。なお、本実施形態例にあっては、正面対向位置にも設けている。

さらに、外壁２ｂの下端部のうち、前記排気口７と対向する位置には、排気口７とほぼ同じ大きさの外気用排気口８が開口している。すなわち、排気口７及び外気用排気口８により、組立て筐体内部９、ガス案内間隙４、及び外界（すなわちクリーンルーム内）とがそれぞれ連通することとなる。

さらに、外気用排気口８には、当該開口部を開放・遮閉する開閉扉２０が配設されている。さらに詳述すると、図３に示されるように、開閉扉２０は、アルミ材からなる平板状のシャッタ２１と、水平方向に伸縮可能に設置されたシリンダ２２とで構成されている。そして、シリンダ２２の可動先端部にシャッタ２１が接続され、シリンダ２２の可動に従ってシャッタ２１と外気用排気口８とが離間して外界と組立て筐体２とが連通する開放状態、又はシャッタ２１が外気用排気口８を塞いで外界と組立て筐体２とを遮断する遮閉状態のいずれかに変換可能としている。なお、シリンダ２２は、排気口７の周囲に配設された支持台２３により、その開口を塞がないように支持されている。また、シャッタ２１が当接する外壁２ｂ表面部にはパッキン２４が配設されており、確実に遮閉し得るようにしている。

また、前記ガス案内間隙４は、上述のように、組立て筐体２を構成する内壁２ａ及び外壁２ｂとの間に形成され、図２に示されるように、外壁２ｂと送風装置３ａとの接続面に形成された循環用連通口６を介して前記送風装置３ａと連通している。なお本実施形態例にかかるガス案内間隙４により、本発明にかかるガス案内路が構成される。なお、ガス案内間隙４（ガス案内路）には、オリフィスなどの絞りを設け、当該間隙４（ガス案内路）の負圧を増加させる内圧調整手段を設けることもできる。

かかる構成にあって、除染対象物Ｘの除染は、以下のように実行される。
所定の生産現場或いは設置現場で組み立てられた組立て筐体２に、前記所要の装置３ａ等を装架して除染装置をユニット化し、クリーンルーム内にある除染対象物Ｘを囲繞した後、開閉扉２０を遮閉状態とする。そして、組立て筐体内部９を閉鎖状態とする。

そして次に、外気導入用ダンパー１４を閉鎖した状態で、循環用ファン１０を駆動させて、過酸化水素ガスを組立て筐体内部９に供給する。過酸化水素ガスは、順に供給管１５、ＨＥＰＡフィルタ１１、及び整流板１２を介して除染対象物Ｘの周囲に放出され、除染対象物Ｘの除染が開始される。なお、除染前に、乾燥エアーを組立て筐体内部９に供給し、内部空間を除湿処理しておく構成としても良い。

ここで、組立て筐体内部９に供給された過酸化水素ガスを含むガスは、その後排気口７を介してガス案内間隙４内に流出して排気されることとなる。そして、排気口７からガス案内間隙４に案内されたガスは、循環用連通口６を介して再び送風装置３ａのボックス１３内に供給される。

そして、送風装置３ａに案内されたガスは、再び循環ファン１０により組立て筐体内部９に供給される。すなわち、送風装置３ａと組立て筐体２との間で過酸化水素ガスを含むガスが循環することとなる。この過酸化水素ガスの循環を所定時間継続することにより、除染対象物Ｘを除染することが可能となる。ここで、除染態様としては、除染対象物Ｘの外表面に過酸化水素ガスを凝縮させる構成が好適である。このように、除染対象物Ｘ外表面に凝縮液層を形成することにより、除染効果が向上する。

除染が完了したと判断した場合は、次にエアレーションを実行する。すなわち、過酸化水素ガスの供給を中止し、送風装置３ａ内に備えられた排気用ファン２５を駆動し、過酸化水素ガスを水と酸素に分解する分解フィルタ２７を介して排気用ダンパー２６からガスを排気する。

次に、エアレーション実行後、除染後の無菌状態を維持しながら、除染対象物Ｘ（医薬品製造設備）を操業する際の態様を説明する。
組立て筐体内部９を清浄維持するために、除染装置ユニット１は、外気導入用ダンパー１４、及び開閉扉２０を開放すると共に、かかる状態で循環ファン１０を駆動させる。かかる構成とすることにより、組立て筐体内部９に供給された清浄外気が外気用排気口８を介して外界（クリーンルーム内）に放出されることとなる。すなわち、組立て筐体内部９に上方から下方への一方向流が形成され、汚染物質が組立て筐体内部９に侵入することなく、除染対象物Ｘを清浄維持することができる。なお、勿論、排気されるガスに、過酸化水素ガス成分は含まれていない。

<第二実施形態例>
また、別の実施形態が提案される。
第二実施形態例にかかる除染装置ユニット１ａは、図４，５に示されるように、上記開閉扉２０に代えて、ガス案内間隙４にあって、排気口７及び外気用排気口８に臨む位置に内圧制御機構２３を設置した構成である。なお、本実施形態例にかかる内圧制御機構２３により、本発明にかかる内圧制御手段が構成される。

ガス案内間隙４の床面Ｇに立設した内圧制御機構２３は、床面Ｇに固定された本体２５と、上下動する可動頭部２４とからなる。かかる構成にあって、可動頭部２４は、排気口７の上縁と可動頭部２４との距離が可及的に小さくなる位置を最高位置とし（図４参照）、これに対し、排気口７と外気用排気口８とが十分に連通する位置を最低位置としている（図５参照）。

ここで、除染対象物Ｘを除染する際は、内圧制御機構２３を駆動して可動頭部２４を最高位置にする。すなわち、可動頭部２４と排気口７の上縁との間にわずかな隙間を生じさせるようにすると、組立て筐体内部９の内圧との関係ではガス案内間隙４が陰圧状態となり、そのわずかな隙間から組立て筐体内部９のガスがガス案内間隙４内に吸引されることとなる。これにより、ガス案内間隙４をガス案内路として、過酸化水素ガスを循環させることが可能となる。なお、厳密に言えば、可動頭部２４が最高位置にあっても組立て筐体内部９と外界（クリーンルーム内）とは連通していることになるが、上記のような負圧作用により、過酸化水素ガスを外界に漏らすことなく、除染対象物Ｘを除染することが可能となる。

一方、除染対象物Ｘ（医薬品製造設備）を操業する時は、可動頭部２４を最低位置に移動させ、可動頭部２４と排気口７上縁との隙間を拡大し、排気口７及び外気用排気口８とを十分に連通させる。このようにしてガス案内間隙４を陰圧とする負圧作用が生じないようにし、かかる状態で清浄外気を組立て筐体内部９に導入する。これにより、組立て筐体内部９に上方から供給された清浄外気は、排気口７，８を介して外に放出されることとなり、組立て筐体内部９に一方向流を形成することが可能となる。これにより、汚染物質が組立て筐体内部９に侵入することを防止できる。

<第三実施形態例>
また、簡易に移動可能とした除染装置ユニット１ｂが提案される。
図６に示されるように、組立て筐体２を床面Ｇに対して脱着可能な構成とし、組立て筐体２の下端にキャスター３２を複数配設し、除染装置ユニット１ｂ本体を容易に移動させることができる構成としても良い。かかる構成にあって、組立て筐体２の側壁部に除染対象物Ｘ（医薬品製造設備）が通過可能な搬入用開口部３０と、この搬入用開口部３０を遮閉する搬入用扉３１とを設けた構成が好適である。かかる構成とすることにより、除染装置ユニット１を手押しして除染対象物Ｘが設置された位置まで移動させ、搬入用開口部３０を介して除染対象物Ｘを組立て筐体内部９に位置させて、除染対象物Ｘを囲繞した状態とすることが可能となる。かかる構成によれば、組立て筐体２を持ち上げることなく、簡便かつ迅速に組立て筐体２に除染対象物Ｘを内在させ、除染を実行することが可能となる。

<第四実施形態例>
また、図７に示されるように、一重構造の組立て筐体２’を用いた構成も提案され得る。かかる構成にあっては、ガス案内路を、組立て筐体２ａの外部に設けられたガス案内管４ａにより構成する。このガス案内管４ａは、筐壁２ｃに形成された排気口７と送風装置３ａに形成された循環用連通口６ａとにそれぞれ接続されている。

なお、これまで述べたように、本発明にかかる組立て筐体２は、特定の除染対象物Ｘを囲繞した状態で所定期間使用されるものであるが、所定位置に固定的に載置された除染対象物Ｘに対して転々と移動し得る移動組立て筐体としたものを排除するものではない。

なお、各実施形態例にあって、ガス発生装置３ｂも、組立て筐体２，２’に装架させた構成としても良い。また、組立て筐体２，２’の外形は様々に変更できる。

また、除染用ガスとしては、ホルムアルデヒド、エチレンオキサイド、過酢酸水溶液、オゾン水等の除染剤をガス化したものが例示される。

第一実施形態例にかかる除染装置ユニット１の正面図である。除染装置ユニット１の縦断面図である。開閉扉２０の開閉態様を示す説明図である。第二実施形態例にかかる除染装置ユニット１ａの縦断面図である。内圧制御機構２３の駆動態様を示す説明図である。第三実施形態例にかかる除染装置ユニット１ｂの使用態様図である。第四実施形態例にかかる除染装置ユニット１ｃの縦断面図である。

符号の説明

１，１ａ，１ｂ，１ｃ除染装置ユニット
２，２’ 組立て筐体
２ａ内壁
２ｂ外壁
２ｃ筐壁
３ａ送風装置
３ｂガス発生装置
４ガス案内間隙
４ａガス案内管
６，６ａ循環用連通口
７排気口
８外気用排気口
９組立て筐体内部
２０開閉扉
２３内圧制御機構
Ｘ除染対象物

Claims

下底が開放され、所定位置に載置された除染対象物を囲繞する組立て筐体と、
除染用ガスを発生させて該除染用ガスを組立て筐体内部に供給するガス供給手段と、
組立て筐体の筐壁に形成された、組立て筐体内部のガスを排気する排気口と、
排気口から排気されたガスを、ガス供給手段に案内するガス案内路とを備え、
ガス供給手段が、ガス案内路により案内されたガスを再び組立て筐体内部に供給することにより、ガス供給手段と組立て筐体内部との間で除染用ガスを循環させ、組立て筐体内部にある除染対象物を除染するものであることを特徴とする除染装置ユニット。
ガス供給手段が、除染用ガスを発生させるガス発生装置と、該ガス発生装置と連通し、かつ組立て筐体に装架された、ガス発生装置が発生させた除染用ガスを組立て筐体内部に供給する送風装置とからなると共に、組立て筐体の筐壁が、互いに離間する内壁及び外壁とで構成された除染装置ユニットにあって、
前記両壁間に形成されたガス案内間隙と送風装置とを連通する循環用連通口が設けられ、かつガス案内間隙と内壁に形成された排気口とが接続され、当該ガス案内間隙がガス案内路とされたことを特徴とする請求項１記載の除染装置ユニット。
内壁に形成された排気口と対向するように外壁に形成された、ガス案内間隙と外界とを連通する外気用排気口と、
組立て筐体に装架された、外界及び組立て筐体内部に比してガス案内間隙を陰圧とする内圧制御手段、及び外気を清浄化して組立て筐体内部に清浄外気を供給する外気供給装置とを備え、
除染用ガス供給時は、内圧制御手段によりガス案内間隙を陰圧とし、除染用ガスを供給せず清浄外気を供給する時は、ガス案内間隙を陰圧としないものであることを特徴とする請求項２記載の除染装置ユニット。
内壁に形成された排気口と対向するように外壁に形成された、ガス案内間隙と外界とを連通する外気用排気口と、
外気用排気口に配設された、外界と組立て筐体内部とを連通する開放状態又は外界と組立て筐体内部とを遮断する遮閉状態のいずれかに変換する開閉扉と、
組立て筐体に装架された、外気を清浄化して組立て筐体内部に清浄外気を供給する外気供給装置とを備え、
除染用ガス供給時は、開閉扉を遮閉状態とし、除染用ガスを供給せず清浄外気を供給する時は、開閉扉を開放状態とするものであることを特徴とする請求項２記載の除染装置ユニット。
組立て筐体に、ガス発生装置が装架されたことを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれかに記載の除染装置ユニット。