JP2005227371A - 照明装置及び画像測定機 - Google Patents
照明装置及び画像測定機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005227371A JP2005227371A JP2004033873A JP2004033873A JP2005227371A JP 2005227371 A JP2005227371 A JP 2005227371A JP 2004033873 A JP2004033873 A JP 2004033873A JP 2004033873 A JP2004033873 A JP 2004033873A JP 2005227371 A JP2005227371 A JP 2005227371A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- illumination
- light source
- optical element
- shielding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
【課題】安価、かつ、コンパクトな構成で垂直落射照明と斜め照明との切り替えが可能な照明装置、及び、その照明装置を用いた画像測定機を提供すること。
【解決手段】光源111から受けた光をワークWに対して垂直に照射する対物レンズ131と、斜めに照射する反射鏡132と、照明切替プレート30とを備え、照明切替プレート30の基板31上に形成される垂直落射照明パターンとリング照明パターンとのいずれか一方を光源111から発せられる光の光路上に位置させることによって、垂直落射照明と斜め照明との切り替えを行う。
【選択図】 図3
Description
これは、被測定物を載置したテーブルを有する測定機本体と、光源からの光束を被測定物の真上から照射する垂直落射照明装置と、測定機本体に着脱可能に取り付けられ光源からの光束を被測定物に対して斜めから照射する斜め照明装置と、光源からの光束を垂直落射照明装置と斜め照明装置との間で切り替える切替手段とを備える構成である。
この構成によれば、切替手段を用いることによって、垂直落射照明と斜め照明との切り替えが可能である。
また、操作輪を手指で回すと、その回転は動力伝達部材によって従動輪へと伝達されるから、従動輪と同軸上に形成されている第4透光・遮光パターンが回転される。これにより、前記のように斜め照明の照射方向を変えることができる。
図1は本実施形態の照明装置を用いた測定顕微鏡の斜視図である。この測定顕微鏡は、本体1を備えている。本体1は、ベース2と、ベース2に垂直に立設されたコラム3とを有する。ベース2には、上面にワークWを載置するテーブル4が設けられているとともに、内部に透過照明装置(図示省略)が設けられている。テーブル4は、操作ハンドル5、6の回動操作によって、水平面内における直交二軸方向、つまり、左右方向(X軸方向)および前後方向(Y軸方向)へ移動可能となっている。コラム3には、操作ハンドル7の回動操作によって、上下方向(Z軸方向)へ昇降可能な本体鏡筒8が設けられているとともに、各軸方向(X、Y、Z軸方向)の移動量を表示する表示器9が取り付けられている。
例えば、斜め照明パターン35が、図7(A)のときは左下からの斜め照明、図7(B)のときは右下からの斜め照明、図7(C)のときは右上からの斜め照明、図7(D)のときは左上からの斜め照明である。
(1)斜め照明を得るためにLED照明装置やファイバー照明装置等の高価な斜め照明装置を用いていないから、安価である。
例えば、前記実施形態では、斜め照明パターン35は、円形の遮光部351を有することとしていたが、本発明では、この代わりに円形のNDフィルタによって形成される一部透光部を有するものであってもよい。この構成によると、一部透光部を透過された光は垂直落射照明を形成し、かつ、斜め照明用受光部352の透光部352Aを透過された光が特定方向からの斜め照明を形成するから、この両照明を併用した照明とすることができる。特に、照明光量が必要な低反射率のワークWの照明に便利である。
しかし、本発明では、照明切替プレートは、円板形状で、かつ、その円板形状の中心を回転中心として回転自在に設けられた基板を備え、この基板の上面に、その円周方向に沿って等間隔に各照明パターンが配置されるものであってもよい。この構成では、円板形状の基板を回転させることによって、各照明パターンを順次光源からの光の光路上に位置させることが可能であり、照明パターンの切り替えを行うことができる。
4…テーブル
8…本体鏡筒
22…集光レンズ
30…照明切替プレート
32…垂直落射照明パターン
33…リング照明パターン
34…垂直落射・リング照明併用パターン
35…斜め照明パターン
36…スライド操作つまみ
37…回転機構
111…光源
121…接眼レンズ
131…対物レンズ
132…反射鏡
133…対物レンズ格納筒
371…第1プーリ
372…ローラ
372A…ローラ露出部
373…第2プーリ
374…ベルト
Claims (6)
- 光源と、
この光源から受けた光をテーブルに載置されるワークに対して垂直に照射する垂直落射照明用光学素子と、
この垂直落射照明用光学素子の周囲に配置され、かつ、前記光源から受けた光を前記ワークに対して斜めに照射する斜め照明用光学素子と、
前記光源から発せられる光の光路上に設けられる照明切替部材とを備え、
この照明切替部材は、前記光源から前記垂直落射照明用光学素子に向けて照射される光を透過させる透光部と、この透光部の外側に形成され前記光源から前記斜め照明用光学素子に向けて照射される光を遮断する遮光部とを有する第1透光・遮光パターンと、
前記光源から前記垂直落射照明用光学素子に向けて照射される光を遮断する遮光部と、この遮光部の外側に形成され前記光源から前記斜め照明用光学素子に向けて照射される光を透過させる透光部とを有する第2透光・遮光パターンとを備え、
かつ、
前記照明切替部材は、前記第1透光・遮光パターンと前記第2透光・遮光パターンのいずれか一方を前記光源から発せられる光の光路上に位置させることによって、前記ワークに対して照射される光のパターンの切り替えを行うことを特徴とする照明装置。 - 請求項1に記載の照明装置において、前記垂直落射照明用光学素子および前記斜め照明用光学素子は、一つの格納筒内に格納されていることを特徴とする照明装置。
- 請求項1または請求項2に記載の照明装置において、前記照明切替部材は、前記光源から前記垂直落射照明用光学素子に向けて照射される光の一部を透過させる一部透光部と、この一部透光部の外側に形成され前記光源から前記斜め照明用光学素子に向けて照射される光を透過させる透光部とを有する第3透光・遮光パターンを備え、かつ、前記照明切替部材は、前記第1透光・遮光パターン、前記第2透光・遮光パターン及び前記第3透光・遮光パターンのいずれか一つを前記光源から発せられる光の光路上に位置させることによって、前記ワークに対して照射される光のパターンの切り替えを行うことを特徴とする照明装置。
- 請求項1から請求項3のいずれかに記載の照明装置において、前記照明切替部材は、前記光源から前記垂直落射照明用光学素子に向けて照射される光を遮断する円形の遮光部、あるいは、一部を透過させる円形の一部透光部と、この円形の遮光部あるいは一部透光部と同心の円輪形状で前記光源から前記斜め照明用光学素子に向けて照射される光を受光する、斜め照明用受光部とを有する第4透光・遮光パターンを備え、
前記斜め照明用受光部は、その円輪形状を2つの円弧部分に分割され、一方の円弧部分が透光部、他方の円弧部分が遮光部とされ、
かつ、前記斜め照明用受光部を、その円輪形状の中心を回転中心として回転させる回転機構が設けられ、
前記照明切替部材は、前記いずれかの透光・遮光パターンを前記光源から発せられる光の光路上に位置させることによって、前記ワークに対して照射される光のパターンの切り替えを行うことを特徴とする照明装置。 - 請求項4記載の照明装置において、前記照明切替部材は、一端にスライド操作つまみを備えるとともに、前記光源から発せられる光の光路に対してスライド可能に設けられ、
前記回転機構は、前記第4透光・遮光パターンと同軸上に設けられた従動輪と、前記スライド操作つまみ近傍に回転可能に設けられた操作輪と、この操作輪および前記従動輪にかけわたされた動力伝達部材とを含んで構成されることを特徴とする照明装置。 - 前記テーブルを備えるベースと、前記テーブルに対向され前記ワークの照明を行う請求項1から請求項5のいずれかに記載の照明装置と、前記テーブルに対向され前記ワークの画像測定を行う画像測定手段とを備えていることを特徴とする画像測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004033873A JP4564762B2 (ja) | 2004-02-10 | 2004-02-10 | 照明装置及び画像測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004033873A JP4564762B2 (ja) | 2004-02-10 | 2004-02-10 | 照明装置及び画像測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005227371A true JP2005227371A (ja) | 2005-08-25 |
JP4564762B2 JP4564762B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=35002155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004033873A Expired - Fee Related JP4564762B2 (ja) | 2004-02-10 | 2004-02-10 | 照明装置及び画像測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4564762B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012508397A (ja) * | 2008-11-07 | 2012-04-05 | エンデュア メディカル インコーポレイテッド | 顕微鏡用立体照明システム |
US9268125B2 (en) | 2008-11-07 | 2016-02-23 | Alcon Research, Ltd. | Retractable beam splitter for microscope |
JP2017530417A (ja) * | 2014-10-06 | 2017-10-12 | ライカ マイクロシステムズ (シュヴァイツ) アクチエンゲゼルシャフトLeica Microsystems (Schweiz) AG | 顕微鏡 |
JP2017532561A (ja) * | 2014-10-14 | 2017-11-02 | ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッドNanotronics Imaging,Inc. | 明視野暗視野対物レンズを使用する独自の斜角照明法及びそれに関連した撮像方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54103362A (en) * | 1978-01-31 | 1979-08-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical observation apparatus |
JPS6042729A (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-07 | Hitachi Ltd | 光学顕微鏡 |
JPS63178807U (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-18 | ||
JP2003098439A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Olympus Optical Co Ltd | 観察切り替え可能な顕微鏡 |
JP2004004174A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Sumitomo Chem Co Ltd | 光学顕微鏡装置および形態分析方法 |
-
2004
- 2004-02-10 JP JP2004033873A patent/JP4564762B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54103362A (en) * | 1978-01-31 | 1979-08-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical observation apparatus |
JPS6042729A (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-07 | Hitachi Ltd | 光学顕微鏡 |
JPS63178807U (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-18 | ||
JP2003098439A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Olympus Optical Co Ltd | 観察切り替え可能な顕微鏡 |
JP2004004174A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Sumitomo Chem Co Ltd | 光学顕微鏡装置および形態分析方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012508397A (ja) * | 2008-11-07 | 2012-04-05 | エンデュア メディカル インコーポレイテッド | 顕微鏡用立体照明システム |
US9268125B2 (en) | 2008-11-07 | 2016-02-23 | Alcon Research, Ltd. | Retractable beam splitter for microscope |
JP2017530417A (ja) * | 2014-10-06 | 2017-10-12 | ライカ マイクロシステムズ (シュヴァイツ) アクチエンゲゼルシャフトLeica Microsystems (Schweiz) AG | 顕微鏡 |
US10146037B2 (en) | 2014-10-06 | 2018-12-04 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Microscope |
JP2017532561A (ja) * | 2014-10-14 | 2017-11-02 | ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッドNanotronics Imaging,Inc. | 明視野暗視野対物レンズを使用する独自の斜角照明法及びそれに関連した撮像方法 |
US10437034B2 (en) | 2014-10-14 | 2019-10-08 | Nanotronics Imaging, Inc. | Unique oblique lighting technique using a brightfield darkfield objective and imaging method relating thereto |
US11561383B2 (en) | 2014-10-14 | 2023-01-24 | Nanotronics Imaging, Inc. | Unique oblique lighting technique using a brightfield darkfield objective and imaging method relating thereto |
US11846765B2 (en) | 2014-10-14 | 2023-12-19 | Nanotronics Imaging, Inc. | Unique oblique lighting technique using a brightfield darkfield objective and imaging method relating thereto |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4564762B2 (ja) | 2010-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW200848690A (en) | Apparatus with enhanced resolution for measuring structures on a substrate for semiconductor manufacture and use of apertures in a measuring apparatus | |
JP2001296469A (ja) | 焦点検出装置 | |
US10222598B2 (en) | Inverted microscope and light blocking device for inverted microscope | |
JP2003075725A (ja) | 透過照明装置 | |
JP2008298772A (ja) | 座標測定機および基板の構造化照明方法 | |
JP2008096895A (ja) | 顕微鏡用照明装置 | |
JP4564762B2 (ja) | 照明装置及び画像測定機 | |
JP2010243924A (ja) | 顕微鏡 | |
JP2014240936A (ja) | 共焦点レーザ走査型顕微鏡 | |
JP2004085796A (ja) | 顕微鏡用照明装置及び顕微鏡 | |
US6865021B2 (en) | Incident illumination unit and microscope to which incident illumination unit is applied | |
JP2015084061A (ja) | 光学部材切替装置およびそれを備える顕微鏡装置 | |
JP4608038B2 (ja) | 顕微鏡 | |
US7206128B2 (en) | Illumination unit of stereomicroscope | |
JP5389523B2 (ja) | 光学顕微鏡 | |
US3398630A (en) | Non-contact type of measuring microscope | |
US20080080045A1 (en) | Device for Modifying the Distance Between a Microscope Objective and a Microscope Table | |
JP2003131116A5 (ja) | ||
JP2003177325A (ja) | 全反射蛍光顕微鏡 | |
JP3876613B2 (ja) | 光学式変位計および光学式変位計に用いられるビーム変換アタッチメント | |
JPH05173078A (ja) | システム顕微鏡 | |
JP2011237549A (ja) | 顕微鏡照明装置における光源ユニット、およびそれを備える顕微鏡 | |
JP2010156847A (ja) | 顕微鏡 | |
JP2011033937A (ja) | 対物レンズ、顕微鏡 | |
JP2017009905A (ja) | 顕微鏡用照明装置および顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061130 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070703 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100317 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100518 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100610 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100727 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100802 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130806 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4564762 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |