JPS63178807U - - Google Patents

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JPS63178807U
JPS63178807U JP7030987U JP7030987U JPS63178807U JP S63178807 U JPS63178807 U JP S63178807U JP 7030987 U JP7030987 U JP 7030987U JP 7030987 U JP7030987 U JP 7030987U JP S63178807 U JPS63178807 U JP S63178807U
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dark
lens
mirror
optical axis
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は明暗視野切換スライドを示す正面図、第３図
は従来の落射照明装置の要部を示す斜視図である
。 １４……対物レンズ、１５……暗視野照明レン
ズ、２１……照明用ミラー、２１Ａ……リング状
完全反射部、２１Ｂ……ハーフミラー部、２２…
…照明光源、２４……照明レンズ、３１……明暗
視野切換スライド、３１Ａ……リング状透光部、
３１Ｂ……円形状透光部、５１……検査対象物。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 観察光軸上に対物レンズおよび暗視野照明
    レンズを有する顕微鏡の落射照明装置において、 前記観察光軸上に設けられかつ暗視野照明用の
    リング状完全反射ミラー部内に明視野照明用のハ
    ーフミラー部を有する照明用ミラーと、 照明光源からの光を略平行光線として前記照明
    用ミラーの完全反射ミラー部およびハーフミラー
    部に照射する照明レンズと、 この照明レンズと照明用ミラーとの間にこれら
    の光軸に対して直交する方向へスライド可能に設
    けられ前記完全反射ミラー部に照射される暗視野
    照明光のみを通過させるリング状透光部と前記ハ
    ーフミラー部に照射される明視野照明光のみを通
    過させる円形状透光部とをスライド方向に有する
    明暗視野切換スライドと、を備え、 明暗視野切換スライドの切換操作によつてリン
    グ状透光部を光軸上に切り換えたとき、そのリン
    グ状透光部を通過した光を前記完全反射ミラー部
    および暗視野照明レンズを介して検査対象物に、
    明暗視野切換スライドの切換操作によつて円形状
    透光部を光軸上に切り換えたとき、その円形状透
    光部を通過した光を前記ハーフミラー部および対
    物レンズを介して検査対象物に、それぞれ照射で
    きるよう構成した、 ことを特徴とする顕微鏡の落射照明装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項において、
    前記照明レンズは、中央部と周辺部とで焦点距離
    が異なるツバサレンズであることを特徴とする顕
    微鏡の落射照明装置。
JP7030987U 1987-05-11 1987-05-11 Pending JPS63178807U (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001154103A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Mitsutoyo Corp 光学器械の照明装置
JP2005227371A (ja) * 2004-02-10 2005-08-25 Mitsutoyo Corp 照明装置及び画像測定機
JP2012055910A (ja) * 2010-09-07 2012-03-22 Mitsutoyo Corp レーザ加工装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001154103A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Mitsutoyo Corp 光学器械の照明装置
JP2005227371A (ja) * 2004-02-10 2005-08-25 Mitsutoyo Corp 照明装置及び画像測定機
JP4564762B2 (ja) * 2004-02-10 2010-10-20 株式会社ミツトヨ 照明装置及び画像測定機
JP2012055910A (ja) * 2010-09-07 2012-03-22 Mitsutoyo Corp レーザ加工装置

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