JP2003131116A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 測定光を被検体に対し集光スポットとして照射するとともに、前記被検体から反射した反射光を受光手段で受光し、該受光手段の出力により前記被検体面の合焦を検出する焦点検出装置において、
   前記測定光の投影像と光学的に共役の位置に配置された指標と、
   前記指標を照明する可視光域の光を発光する光源と、を具備し、
   前記光源により照明された前記指標の像の光を前記測定光の光路を通して前記被検体に対し照射するとともに、前記被検体から反射した前記指標の像を前記被検体上に照射される前記測定光の集光スポットとして観察可能にしたことを特徴とする焦点検出装置。
2. 前記測定光は、レーザー光からなり、前記指標は円形又は十字線パターンのピンホールからなることを特徴とする請求項１記載の焦点検出装置。
3. 測定光を被検体に対し集光スポットとして照射するとともに、前記被検体から反射した反射光を受光手段で受光し、該受光手段の出力により前記被検体面の合焦を検出する焦点検出装置において、
   前記測定光の投影像と光学的に共役の位置に出射端が配置されるとともに、前記出射端より可視光域の光を発する光ファイバを具備し、
   前記光ファイバの出射端からの光を前記測定光の光路を通して前記被検体に対し照射するとともに、前記被検体から反射した前記出射端の像を前記被検体上に照射される前記測定光の集光スポットとして観察可能にしたことを特徴とする焦点検出装置。