JP2003199701A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 低可干渉光源と、
   前記低可干渉光源から出射した光を、観察光光路と、参照光光路に分離する光分離手段と、
   前記観察光光路と参照光光路の少なくとも一方に設けられた光路長可変手段と、
   前記観察光光路の前記分離手段とは他端側に設けられた集光手段と、
   前記集光手段より出射した光が測定対象物に照射され、反射もしくは散乱した光を受光する受光光学系と、
   前記受光光学系で受けた光を伝送する観察光戻り光路と、
   前記観察光戻り光路と、前記参照光光路を結合する光結合手段と、
   前記光結合手段よりの光を電気信号に変換する光検出手段と、
   前記光検出手段で検出した信号より、観察対象物の画像を生成する画像化手段と、
   前記測定対象物に対し光を走査する光走査手段と、
   前記参照光光路に設けられ、前記光結合手段での干渉状態を変化させる光伝達状態変化手段と、
   前記集光手段から光の照射を受ける位置で、前記集光手段に対する距離を可変できる基準部材と、
   前記光伝達状態変化手段を操作し前記参照光光路の伝達効率を落とした状態で、前記光検出手段で検出した信号を元に、前記基準部材の前記集光手段に対する位置を特定する焦点位置検出手段と、
   前記光伝達状態変化手段を操作し前記光結合手段で干渉がおこる状態で前記光分離手段から前記観察光光路、前記集光手段、前記焦点位置検出手段で特定された前記基準部材の位置、前記受光光学系、前記観察光戻り光路、前記光結合手段と経由される光路と、前記参照光光路との光学的長さが略一致する様、前記光検出手段で検出した信号を元に、前記光路長可変手段を操作する光路長調整手段と、
   を有することを特徴とする走査型観察装置。
2. 低可干渉光源と、
   前記低可干渉光源から出射した光を、観察光光路と、参照光光路に分離する光分離手段と、
   前記観察光光路と参照光光路の少なくとも一方に設けられた光路長可変手段と、
   前記観察光光路の前記分離手段とは他端側に設けられた集光手段と、
   前記集光手段より出射した光が測定対象物に照射され、反射もしくは散乱した光を受光する受光光学系と、
   前記受光光学系で受けた光を伝送する観察光戻り光路と、
   前記観察光戻り光路と、前記参照光光路を結合する光結合手段と、
   前記光結合手段よりの光を電気信号に変換する光検出手段と、
   前記光検出手段で検出した信号より、観察対象物の画像を生成する画像化手段と、
   前記測定対象物に対し光を走査する光走査手段とを有する走査型観察装置により、
   前記参照光光路の伝達効率を低下させる第１ステップと、
   基準部材を前記光検出手段の出力を参照し、前記集光手段の焦点位置近傍に、基準部材を位置決めする第２ステップと、
   前記参照光光路の伝達効率を回復させる第３のステップと、
   前記基準部材を第２ステップで位置決めした状態で、前記光分離手段から前記観察光光路、前記集光手段、前記焦点位置検出手段で特定された前記基準部材位置、前記受光光学系、前記観察光戻り光路、前記光結合手段と経由される光路Ａとし、前記光検出手段で検出した信号を参照し、前記光路長可変手段を操作し、前記光路Ａと、前記参照光光路との光学的長さを略一致させる第４のステップと、
   からなる走査型観察装置の設定方法。
3. 体腔内に挿入される光プローブと、
   被検部に光を照射するための光を発生する光源と、
   前記光を前記被検部に集光して照射する集光手段と、
   前記集光手段によって前記被検部を前記集光手段の光軸方向と直交する方向に走査する光走査手段と、
   前記被検部に集光された焦点の位置を前記集光手段の光軸方向に沿って変更可能とする焦点移動手段と、
   前記被検部からの戻り光を検出する光検出手段と、
   前記光プローブの軸方向に設けられたフレキシブルな動力伝達手段とを有し、
   前記動力伝達手段によって前記焦点移動手段が駆動されることを特徴とする光走査プローブ装置。
4. 体腔内に挿入される光プローブと、
   被検部に光を照射するための光を発生する光源と、
   前記光を前記被検部に集光して照射する集光手段と、
   前記集光手段によって前記被検部を前記集光手段の光軸方向と直交する方向に走査する光走査手段と、
   前記被検部に集光された焦点の位置を前記集光手段の光軸方向に沿って変更可能とする焦点移動手段と、
   前記被検部からの戻り光を検出する光検出手段とを有し、
   前記焦点移動手段は、前記集光手段と前記被検体の間に設けられた可動ミラーを有することを特徴とする光走査プローブ装置。
5. 体腔内に挿入される光プローブと、
   被検部に光を照射するための低コヒーレンス光を発生する光源と、
   前記光を前記被検部に集光して照射する集光手段と、
   前記集光手段によって前記被検部を前記集光手段の光軸方向と直交する方向に走査する光走査手段と、
   前記被検部に集光された焦点の位置を前記集光手段の光軸方向に沿って変更可能とする焦点移動手段と、
   前記被検部からの戻り光を検出する光検出手段と、
   前記集光手段と前記被検体の間に前記集光手段と前記被検体の間隔を変更可能であって、前記被検体と略同一の屈折率を有する屈折率整合物質を有する屈折率整合手段とを有することを特徴とする光走査プローブ装置。