JP2005226131A - 酸化亜鉛膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 成膜室でイオンプレーティング法により酸化亜鉛膜を形成する。このとき、予め把握した酸化亜鉛の電子密度と成膜室の酸素分圧の関係に基づいて、酸素分圧を調整して電子密度を制御する。
【選択図】 なし
Description
Claims (3)
- 成膜室で酸化亜鉛膜を形成する酸化亜鉛膜の製造方法において、
予め把握した酸化亜鉛の電子密度と成膜室の酸素分圧の関係に基づいて、酸素分圧を調整して電子密度を制御することを特徴とする酸化亜鉛膜の製造方法。 - 前記電子密度と前記酸素分圧の負相関式に基づいて該酸素分圧を調整することを特徴とする請求項1記載の酸化亜鉛膜の製造方法。
- イオンプレーティング法により成膜して前記酸化亜鉛膜を形成することを特徴とする請求項1または2記載の酸化亜鉛膜の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012119477A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 太陽電池モジュールの製造方法及び成膜装置 |
TWI750711B (zh) * | 2019-06-27 | 2021-12-21 | 日商住友重機械工業股份有限公司 | 成膜方法及成膜裝置 |
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