JP2005221459A - X線透視装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 試料ステージの位置決め精度を高精度化したり厳密な調整を行うことなく、試料の部分画像を接合して得られる全景画像に、試料像のずれが生じることのないX線透視装置を提供する。
【解決手段】 試料ステージ3をX線光軸Axに直交する平面上で移動させて撮影した部分画像を接合して全景画像を合成するに当たり、互いに隣接する部分画像について、相互に接合すべき辺X1,X2の近傍の画素情報を用いて、辺X1,X2の近傍でこれらの辺X1,X2に沿う方向への試料像の境界位置を判定し、その境界位置が双方の部分画像で一致するように、各部分画像の辺X1,X2に直交する方向への接合位置を決定することで、試料ステージ3の位置決め精度が悪くても試料像のずれのない全景画像を得ることを可能とする。
【選択図】 図2

Description

本発明は、各種工業製品等の内部欠陥等の有無をX線を用いて透視検査等を行うためのX線透視装置に関する。
例えば回路基板をはじめとする各種工業製品などの透視検査を行うためのX線透視装置においては、一般に、X線源に対向して、イメージインテンシファイアとCCDカメラなどを組み合わせてなるX線撮影装置を配置し、これらの間に、透視対象物である試料を搭載する試料ステージを配置した構成を採る。この構成において、試料ステージは、通常、X線源とX線撮影装置とを結ぶX線光軸方向を含む互いに直交する3軸方向に移動できるようになっており、X線光軸方向に移動させることによって撮影倍率を変化させることができ、またそのX線光軸に直交する方向に移動させることによって、X線撮影装置の視野を変化させ得るようになっている。
このようなX線透視装置を用いて試料の透視検査を行うに当たり、例えば透視倍率を最小に設定しても試料がX線撮影装置の視野内に収まらない場合、図6に例示するように、試料ステージをX線光軸に直交する平面上で互いに直交する2方向(x,y方向)に1画面相当分ずつ移動させて試料の部分画像1〜4を個別に撮影し、その各部分画像1〜4を繋ぎ合わせることによって試料の全景画像を構築することが行われる。このような全景画像を構築して、表示器の画面内に収まるように適当に縮小して表示することにより、その全景画像の表示を見ながら、試料上で注目すべき部位が視野中心にくるように試料ステージを移動させるなどによって、注目部位の拡大透視像などを速やかに得ることが可能となるなどの利点がある。
このような部分画像の撮影に当たり、前もって試料の境界に対応するx,y方向への走査範囲を入力しておくことにより、試料テーブルを自動的にx,y方向に順次1画面相当分ずつ移動させて部分画像を撮影していく技術が提案されている(例えば特許文献1参照)。また、本発明者は、前もって走査範囲を入力することなく、上記と同様に試料テーブルを移動させながら撮影した部分画像中における輝度の統計的情報を用いることにより、各部分画像中に試料像の一部が存在しているか否かを判定し、自動的に走査方向を変更ないしは撮影を終了する技術を提案している(特許文献2参照)。
特開2000−97881号公報 特開2003−28812号公報
ところで、以上のような部分画像の撮影の後、これらを接合して全景画像を構築したとき、その全景画像は理想的には図6に示したように接合部分で試料像がずれることなく連続していることが望ましい。しかしながら、実際には、試料ステージの位置決め精度などが原因となって、部分画像を合成した全景画像には、図7に例示するように、部分画像の接合部分において試料像にずれが生じることが多い。この問題を解決するためには、試料ステージを移動させる機構の精度を高くすればよいのであるが、その場合には機構のコストが上昇するばかりでなく、厳密な調整が必要となり、その調整作業が困難となるなどの新たな問題も生じる。
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、試料ステージの位置決め精度を高精度化したり厳密な調整を行うことなく、試料の部分画像を接合して得られる全景画像に、試料像のずれが生じることのないX線透視装置を提供することをその課題としている。
上記の課題を解決するため、本発明のX線透視装置は、互いに対向配置されたX線源とX線撮像装置との間に、透視すべき試料を搭載してX線光軸方向を含む互いに直交する3軸方向に移動可能な試料ステージが設けられ、上記X線撮像装置からの出力を用いて、試料のX線透視像を表示器に表示するX線透視装置において、上記試料ステージをX線光軸に直交する平面上で設定された量ずつ自動的に移動させつつ試料の部分画像を撮影して記憶する部分画像撮影手段と、その各部分画像を接合して試料の全景画像を構築する全景画像合成手段を備えるとともに、上記全景画像合成手段は、互いに隣接する部分画像の接合時に、双方の部分画像について、相互に接合すべき辺の近傍の画素情報を用いて、当該辺の近傍での試料像の当該辺に沿う方向の境界位置を判定し、その境界位置が双方の部分画像で一致するように、各部分画像の当該辺に直交する方向への接合位置を決定することによって特徴づけられる(請求項1)。
ここで、本発明においては、互いに隣接する部分画像に一部重複する領域が生じるよう、上記部分画像撮影手段による部分画像の撮影時における試料ステージの移動量が設定されている構成(請求項2)を好適に採用することができる。
また、本発明において、全景画像合成手段による各部分画像の接合位置の決定の具体的手法として、各部分画像の接合すべき辺の近傍の画素情報を用いた当該辺に沿った方向への複数のラインプロファイルを用い、互いに接合すべき部分画像のラインプロファイルどうしを比較して、互いに最も近いラインプロファイルの位置で接合するようにする構成(請求項3)を採用することができる。
本発明は、撮影した部分画像を直接的に接合するのではなく、各部分画像どうしを接合する辺の近傍で試料像の境界位置を判定し、接合箇所において試料像のずれがないような位置で部分画像どうしを接合することによって、所期の目的を達成しようとするものである。
すなわち、撮影した部分画像について、互いに隣接する部分画像に対して接合すべき辺の近傍における試料像の境界位置は、当該辺の近傍の画素情報を用いることによって求めることができる。そこで、隣接する部分画像の接合すべき辺について、当該辺に沿う方向への試料像の境界位置を求め、両者の試料像の境界位置が一致するように、その辺に直交する方向への接合位置を決定することにより(図3参照)、当該直交する方向への試料ステージの位置決め精度に起因する試料像のずれを解消することができる。
また、このような手法により各部分画像を接合するとき、請求項2に係る発明のように、互いに隣接する部分画像に一部重複する領域を意図的に生じさせることによって、互いに接合すべき辺の近傍で当該辺に双方向への試料像の境界位置が一致する部位を見いだすことができる。
そして、以上のような全景画像接合手段による部分画像の接合位置の決定手法の具体的で好適な例としては、請求項3に係る発明のように、互いに隣接する部分画像について、接合すべき辺の近傍の画素情報を用いた当該辺に沿った複数のラインプロファイルどうしを比較し、最も近いラインプロファイルの位置で接合する方法を挙げることができ、この方法により、比較的簡単なデータ処理によって確実に接合位置を決定することができる。
本発明によれば、撮影した各部分画像のうち、互いに隣接する部分画像における接合すべき辺の近傍の画素情報を用いて試料像の境界位置を判定して、接合部分において試料像にずれが生じないように自動的に最適な接合位置を決定したうえで、各部分画像を接合して全景画像を合成するので、試料ステージに位置決め精度を高精度化したり、厳密な調整を行うことなく、従って殆どコストアップを伴うことなく、かつ、調整作業に時間を要することなく、部分画像の接合位置において試料像のずれを生じない全景画像を得ることができる。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
X線源1はそのX線光軸Axを鉛直上方に向けた状態で配置されており、このX線源1に対向して、例えばイメージインテンシファイアとCCDカメラとを組み合わせてなるX線カメラ2が設けられている。また、これらのX線源1とX線カメラ2の間には、透視対象物である試料Wを載せるための試料ステージ3が配置されている。
試料ステージ3は、ステージ移動機構4の駆動により、X線光軸Axの方向(z方向)と、そのz方向に直交する水平面上で互いに直交するx,y方向の合計3軸方向に独立的に移動可能となっている。また、X線カメラ2はカメラ移動機構5によってz方向に移動可能となっている。
X線カメラ2の各画素出力は画像取込回路6を介してパーソナルコンピュータ7に取り込まれる。パーソナルコンピュータ7では、その各画素出力を用いてX線カメラ2による試料WのX線透視像を構築し、表示器7aに表示する。前記したステージ移動機構4およびカメラ移動機構5は、このパーソナルコンピュータ7の制御下に置かれており、当該パーソナルコンピュータ7に接続されているキーボード7bないしはマウス7cを手動操作することによって、パーソナルコンピュータ7からインターフェース8を通じてステージ移動機構4およびカメラ移動機構5に駆動制御信号が供給され、試料ステージ3およびX線カメラ2を所望の方向に移動させることができるように構成されている。
また、このパーソナルコンピュータ7には、以下に示すような部分画像の自動撮影・合成プログラムがインストールされており、このプログラムはキーボード7bないしはマウス7cを操作することによって選択することができる。
図2はその部分画像自動撮影・合成プログラムの内容を示すフローチャートである。このプログラムにおいては、まず、試料ステージ3に試料Wを載せた状態で、前記した特許文献2に記載の技術などの公知の手法により、部分画像を撮影して記憶する。この部分画像の撮影に当たっては、試料ステージ3のxおよびy方向への移動量を、1画面に対応する距離をそれぞれx0 およびy0 とすると、その距離よりも所定量だけ短いx0 −αおよびy0 −αとする。これにより、得られる各部分画像は、互いに隣接するものどうしで一部重複する領域が生じたものとなる。
次に、撮影した各部分画像を接合して全景画像を合成する動作に移行する。この全景画像の合成に当たっては、互いに隣接する部分画像のそれぞれについて、相互に接合すべき辺の近傍の画素情報を用いて、その辺に沿った複数のラインプロファイルを取得し、記憶する。すなわち、例えばy方向に隣接する部分画像どうしの接合について説明すると、図3(A)および図4(A)に示すように、部分画像1と部分画像2がy方向に隣接するものであれば、これらの画像はx方向に沿った辺X1とX2とで互いに接合されることになる。部分画像1については、図3(B)に同図(A)の部分拡大図を示すように、辺X1の近傍におけるx方向に沿ったラインL11,L12,・・・・についてのラインプロファイルP11,P12,・・・・を取得する。その例を同図(C)に示す。一方、部分画像2については、図4(B)に同図(A)の部分拡大図を示すように、辺X2の近傍におけるx方向に沿ったラインL21,L22,・・・・についてのラインプロファイルP21,P22,・・・・を取得する。その例を同図(C)に示す。
次に、部分画像1および部分画像2の各ラインプロファイルP11,P12,・・・・とP21,P22,・・・・を相互に比較し、最も類似しているラインプロファイルを探し出す。その手法としては、例えば部分画像1と2のプロファイルを一つずつ比較し、その差分を積算し、その値が最も小さくなるプロファイルどうしを選択する手法を挙げることができ、他の手法としては、部分画像1と2のプロファイルを一つずつパターンマッチングを行って類似度を数値化し、最も類似しているプロファイルどうしを選択する手法を採用することもできる。
このようにして部分画像1と2で互いに最も類似しているラインプロファイルP1iとP2jを見いだした後、部分画像1および2について、図5(A)に示すように、ラインプロファイルP1iないしはP2jに対応するラインL1iないしはL2jより外側(辺X1ないしは辺X2側)の画素を削除し、同図(B)に示すように部分画像1のラインL1jと部分画像2のラインL2jとが重なるようにこれらの部分画像1と2を接合する。
以上の動作を互いに隣接する全ての部分画像について行うことにより、部分画像の接合部分において試料像のずれの生じない全景画像を得ることができる。
なお、以上の実施の形態においては、各部分画像において相互に接合すべき辺の近傍のラインプロファイルを比較してその類似度により接合位置を決定したが、相互に接合すべき辺の近傍で当該辺に沿った複数のライン上で、一定のしきい値濃度を越える点を求め、その点の位置が双方の部分画像で一致するラインを接合位置としてもよい。
本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。 本発明の実施の形態のパーソナルコンピュータにインストールされている部部画像自動撮影・合成プログラムの内容を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態において、隣接する部分画像どうしの接合位置を決定するための、一方の部分画像1で取得されるラインプロファイルの説明図である。 本発明の実施の形態において、隣接する部分画像どうしの接合位置を決定するための、他方の部分画像2で取得されるラインプロファイルの説明図である。 本発明の実施の形態において、隣接する部分画像1と2の接合の仕方の説明図である。 複数の部分画像の接合により全景画像を構築する手法の説明図である。 従来のX線透視装置により構築された全景画像の問題点の説明図である。
符号の説明
1 X線源
2 X線カメラ
3 試料ステージ
4 ステージ移動機構
5 カメラ移動機構
6 画像取込回路
7 パーソナルコンピュータ
7a 表示器
8 インターフェース
Ax X線光軸
W 試料

Claims (3)

  1. 互いに対向配置されたX線源とX線撮像装置との間に、透視すべき試料を搭載してX線光軸方向を含む互いに直交する3軸方向に移動可能な試料ステージが設けられ、上記X線撮像装置からの出力を用いて、試料のX線透視像を表示器に表示するX線透視装置において、
    上記試料ステージをX線光軸に直交する平面上で設定された量ずつ自動的に移動させつつ試料の部分画像を撮影して記憶する部分画像撮影手段と、その各部分画像を接合して試料の全景画像を構築する全景画像合成手段を備えるとともに、
    上記全景画像合成手段は、互いに隣接する部分画像の接合時に、双方の部分画像について、相互に接合すべき辺の近傍の画素情報を用いて、当該辺の近傍での試料像の当該辺に沿う方向の境界位置を判定し、その境界位置が双方の部分画像で一致するように、各部分画像の当該辺に直交する方向への接合位置を決定することを特徴とするX線透視装置。
  2. 互いに隣接する部分画像に一部重複する領域が生じるよう、上記部分画像撮影手段による部分画像の撮影時における試料ステージの移動量が設定されていることを特徴とする請求項1に記載のX線透視装置。
  3. 上記全景画像合成手段による各部分画像の接合位置の決定に、各部分画像の接合すべき辺の近傍の画素情報を用いた当該辺に沿った方向への複数のラインプロファイルを用い、互いに接合すべき部分画像のラインプロファイルどうしを比較して、互いに最も近いラインプロファイルの位置で接合するように構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のX線透視装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009047440A (ja) * 2007-08-13 2009-03-05 Central Res Inst Of Electric Power Ind 非破壊検査装置及び非破壊検査方法
JP2010281688A (ja) * 2009-06-04 2010-12-16 Shimadzu Corp Tftアレイ検査装置およびピクセル座標位置決定方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000097881A (ja) * 1998-09-24 2000-04-07 Hitachi Constr Mach Co Ltd X線検査装置、x線検査用画像処理装置、x線検査装置用画像処理プログラムが格納された記録媒体
JP2000275761A (ja) * 1999-03-23 2000-10-06 Fuji Photo Film Co Ltd 放射線画像の連結処理方法および放射線画像処理装置
JP2003004666A (ja) * 2001-06-25 2003-01-08 Shimadzu Corp X線透視撮影装置
JP2003028812A (ja) * 2001-07-17 2003-01-29 Shimadzu Corp X線透視装置
JP2004037386A (ja) * 2002-07-05 2004-02-05 Shimadzu Corp X線透視装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000097881A (ja) * 1998-09-24 2000-04-07 Hitachi Constr Mach Co Ltd X線検査装置、x線検査用画像処理装置、x線検査装置用画像処理プログラムが格納された記録媒体
JP2000275761A (ja) * 1999-03-23 2000-10-06 Fuji Photo Film Co Ltd 放射線画像の連結処理方法および放射線画像処理装置
JP2003004666A (ja) * 2001-06-25 2003-01-08 Shimadzu Corp X線透視撮影装置
JP2003028812A (ja) * 2001-07-17 2003-01-29 Shimadzu Corp X線透視装置
JP2004037386A (ja) * 2002-07-05 2004-02-05 Shimadzu Corp X線透視装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009047440A (ja) * 2007-08-13 2009-03-05 Central Res Inst Of Electric Power Ind 非破壊検査装置及び非破壊検査方法
JP2010281688A (ja) * 2009-06-04 2010-12-16 Shimadzu Corp Tftアレイ検査装置およびピクセル座標位置決定方法

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