JP2005217412A - 半導体素子の配線方法及び配線構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体素子の配線方法は、半導体基板上に層間絶縁膜104を形成することを含み、該層間絶縁膜104は炭素ドーピングされた低誘電率膜で形成される。該層間絶縁膜104上に酸化防止膜106を形成する。該酸化防止膜106上に酸化物キャッピング層108を形成する。前記酸化物キャッピング層108、前記酸化防止膜106及び前記層間絶縁膜104を貫通するビアホールを形成する。該ビアホール内に導電膜パターン116’を形成する。
【選択図】 図4
Description
本発明が解決しようとする他の技術的課題は、前記半導体素子の配線方法による半導体素子の配線構造体を提供することにある。
また、本発明によると、半導体素子の配線の形成において、層間絶縁膜として使われる前記炭素ドーピングされた低誘電膜の特性が工程中に変わることを防止して、全体的な半導体素子の信頼性を向上させることができる。
図1に示すように、まず半導体基板100上に層間絶縁膜104を形成する。前記半導体基板100には、導電領域102が形成される。前記導電領域102は、半導体基板内にP型またはN型の不純物イオンを注入して形成された不純物拡散領域でもある。前記層間絶縁膜104は、炭素ドーピングされた低誘電膜で形成する。前記低誘電膜は、およそ4の誘電率を有するシリコン酸化膜よりも低い誘電率を有する誘電膜を意味する。好ましくは、前記炭素ドーピングされた低誘電膜は、化学組成物SiOCまたはSiOCHとして簡略に表されるOSG膜でもある。また、前記炭素ドーピングされた低誘電膜は、例えば米国ミシガン州ミドルランド所在のDow Chemicals社から入手できる商品名SiLKTM(登録商標)のような有機スピンオンポリマー(organic spin on polymer)膜でもあり、その他に炭素を含む低誘電膜として当業者によって適用できる低誘電膜を含む。以下、本明細書で使われる「炭素ドーピングされた低誘電膜」という用語は、同じ意味で使われる。前記層間絶縁膜104を前記OSG膜で形成する場合に前記OSG膜は、好ましくはPECVD(plasma enhenced CVD)法を適用して形成することができる。この際、前駆物質としては、例えば米国カリフォルニア州サンホセ所在のNovellus社の商品名CORAL(登録商標)、米国カリフォルニア州サンタクララ所在のApplied Materials社の商品名Black Diamond(登録商標)、米国サンタクララに所在するSumitomo Chemical America社の商品名Sumika Film(登録商標)、または日本のASM InternaTional社の商品名AURORA(登録商標)などが使われる。
本発明の第1実施形態による半導体素子の配線構造体は、半導体基板100、及び前記半導体基板100上に形成された層間絶縁膜104を備える。該層間絶縁膜104は、炭素ドーピングされた低誘電膜で形成される。前記半導体基板100と前記層間絶縁膜104との間には、エッチング停止膜(図示せず)を介在させることができる。前記層間絶縁膜104上に酸化防止膜106が形成される。該酸化防止膜106はSiCN膜でもある。また、該酸化防止膜106は、およそ100Å以下の厚さ、好ましくは、およそ50Å以下の厚さを有することができる。前記酸化防止膜106は、前記炭素ドーピングされた低誘電膜からなった前記層間絶縁膜104の上部が酸化されることを防止する役目をする。前記酸化防止膜106上に酸化物キャッピング層108が形成される。前記酸化物キャッピング層108、前記酸化防止膜106及び前記層間絶縁膜104を貫通するビアホール112内に該ビアホール112を埋める導電膜パターン116′が形成される。前記ビアホール112の内壁と前記導電膜パターン116′との間に拡散障壁層114がさらに介在する。
図5に示すように、半導体基板300上にエッチング停止膜304を形成する。前記半導体基板300には導電領域302が形成される。該導電領域302は、半導体基板内にP型またはN型の不純物イオンを注入して形成された不純物拡散領域でもある。前記エッチング停止膜304は、シリコン窒化膜(SiN)、シリコンカーバイド膜(SiC)または窒化シリコンカーバイド膜(SiCN)で形成することができる。前記エッチング停止膜304は、後続のビアホール形成のための異方性エッチング工程の時、または湿式洗浄時に前記導電領域302が露出されて電気的特性が損傷されることを防ぐために形成する。次に、前記本発明の第1実施形態と同様な方法、及び同様な物質を適用して前記エッチング停止膜304上に炭素ドーピングされた低誘電膜からなる層間絶縁膜306、酸化防止膜308、及び酸化物キャッピング層310を順に形成する。前記酸化防止膜308は、SiCN膜で形成することができ、およそ100Å以下の厚さを有するように形成することができる。好ましくは、前記酸化防止膜308は、およそ50Å以下の厚さを有するように形成することができる。
半導体基板300上に層間絶縁膜306が形成される。前記層間絶縁膜306は、炭素ドーピングされた低誘電膜で形成される。前記半導体基板300と前記層間絶縁膜306との間には、エッチング停止膜304が介在することができる。前記層間絶縁膜306上に酸化防止膜308が形成される。前記酸化防止膜308はSiCN膜でもある。また、前記酸化防止膜308は、およそ100Å以下の厚さを有することができ、好ましくは、およそ50Å以下の厚さを有することができる。前記酸化防止膜308は、前記炭素ドーピングされた低誘電膜からなる前記層間絶縁膜306の上部が酸化されることを防止する役目をする。前記酸化防止膜308上に酸化物キャッピング層310がさらに配置される。前記酸化物キャッピング層310、前記酸化防止膜308及び前記層間絶縁膜306内にそれらを貫通するデュアルダマシーンパターン322が形成される。該デュアルダマシーンパターン322を埋めるように導電膜パターン326′が配置される。前記デュアルダマシーンパターン322は、前記層間絶縁膜306の上部領域及び下部領域に連続的に形成されて、前記半導体基板300、もっと詳しくは、前記半導体基板300の導電領域302を露出させるトレンチ320及びビアホール314を含む。前記デュアルダマシーンパターン322の内壁と前記導電膜パターン326′との間に拡散障壁層324が介在される。
図12に示すように、導電領域502を有する半導体基板500上に下部エッチング停止膜504、第1層間絶縁膜506、上部エッチング停止膜508及び第2層間絶縁膜510を順に形成する。前記下部エッチング停止膜504及び前記上部エッチング停止膜508は、それぞれSiN膜、SiC膜またはSiCN膜で形成することができる。前記第1層間絶縁膜506は、前記本発明の第1実施形態で説明したような炭素ドーピングされた低誘電膜で形成することもできるが、これに限定されるのではない。例えば、前記第1層間絶縁膜506は、前記炭素ドーピングされた低誘電膜よりも高い誘電率を有するが、より強化された機械的特性を有する物質で形成することができる。前記第1層間絶縁膜506は、前記炭素ドーピングされた低誘電膜以外に、例えば、通常のCVD法によるシリコン酸化膜、PSG(phosphor silicate glass)膜、USG膜、FSG膜、HDP(high density plasma)膜、TEOS膜、またはSOG(spin on glass)膜で形成されることができ、これに限定されない。前記第2層間絶縁膜510は、前記本発明の第1実施形態で説明したような炭素ドーピングされた低誘電膜で形成する。次に、前記本発明の第1実施形態で説明したような方法及び物質を適用して、前記第2層間絶縁膜510上に酸化防止膜512及び酸化物キャッピング層514を形成する。
図14Aに示すように、比較例では、従来のように半導体基板10上にOSG膜12、及びキャッピング層としてのUSG膜14を順に形成した。以後、前記USG膜14及び前記OSG膜12を連続的にパターニングして前記OSG膜12内にトレンチ16を形成した後、LAL溶液(HF溶液及びNH4Cl溶液の混合溶液)を使って90秒間の湿式洗浄を実施した。その結果、図14Aに示すように前記トレンチ16上部の前記OSG膜12にアンダーカット(U)が発生することを確認できた。
Claims (31)
- 半導体基板上に層間絶縁膜を形成し、該層間絶縁膜は炭素ドーピングされた低誘電膜で形成される段階と、
前記層間絶縁膜上に酸化防止膜を形成する段階と、
前記酸化防止膜上に酸化物キャッピング層を形成する段階と、
前記酸化物キャッピング層、前記酸化防止膜及び前記層間絶縁膜を貫通するビアホールを形成する段階と、
前記ビアホール内に導電膜パターンを形成する段階と、
を含むことを特徴とする半導体素子の配線方法。 - 前記炭素ドーピングされた低誘電膜は、OSG膜または有機スピンオンポリマー膜であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記酸化防止膜は、100Å以下の厚さに形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記酸化防止膜は、SiCN膜で形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記導電膜パターンを形成する段階は、
前記ビアホールを埋める導電膜を形成する段階と、
前記酸化物キャッピング層が露出されるように前記導電膜を研磨する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の配線方法。 - 前記導電膜を研磨する段階は、前記層間絶縁膜が露出されるように前記酸化物キャッピング層及び前記酸化防止膜を研磨する段階を含むことを特徴とする請求項5に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記層間絶縁膜を形成する前にエッチング停止膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記ビアホールを形成する間に前記エッチング停止膜を除去する段階をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記ビアホールを形成した後に湿式エッチング工程を用いて前記エッチング停止膜を除去する段階をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記酸化物キャッピング層上と、前記ビアホールの内壁上とに拡散障壁層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の配線方法。
- 半導体基板上に層間絶縁膜を形成し、該層間絶縁膜は炭素ドーピングされた低誘電膜で形成される段階と、
前記層間絶縁膜上に酸化防止膜を形成する段階と、
前記酸化防止膜上に酸化物キャッピング層を形成する段階と、
前記酸化物キャッピング層、前記酸化防止膜及び前記層間絶縁膜を貫通するデュアルダマシーンパターンを形成する段階と、
前記デュアルダマシーンパターン内に導電膜パターンを形成する段階と、
を含むことを特徴とする半導体素子の配線方法。 - 前記炭素ドーピングされた低誘電膜は、OSG膜または有機スピンオンポリマー膜であることを特徴とする請求項11に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記酸化防止膜は、100Å以下の厚さに形成されることを特徴とする請求項11に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記酸化防止膜は、SiCN膜で形成することを特徴とする請求項11に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記導電膜パターンを形成する段階は、
前記デュアルダマシーンパターンを埋める導電膜を形成し、
前記酸化物キャッピング層が露出するように前記導電膜を研磨する段階と、
を含むことを特徴とする請求項11に記載の半導体素子の配線方法。 - 前記導電膜を研磨する段階は、前記層間絶縁膜が露出するように前記酸化物キャッピング層及び前記酸化防止膜を研磨する段階を含むことを特徴とする請求項15に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記層間絶縁膜を形成する前にエッチング停止膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載の半導体素子の配線方法。
- 前記酸化物キャッピング層上と、前記デュアルダマシーンパターンの内壁上とに拡散障壁層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載の半導体素子の配線方法。
- 半導体基板上に積層絶縁膜を形成し、該積層絶縁膜は順に積層された下部エッチング停止膜、第1層間絶縁膜、上部エッチング停止膜及び第2層間絶縁膜を含み、少なくとも前記第2層間絶縁膜は炭素ドーピングされた低誘電膜で形成される段階と、
前記第2層間絶縁膜上に酸化防止膜を形成する段階と、
前記酸化防止膜上に酸化物キャッピング層を形成する段階と、
前記酸化物キャッピング層内、前記酸化防止膜内及び前記積層絶縁膜内にデュアルダマシーンパターンを形成する段階と、
前記デュアルダマシーンパターン内に導電膜パターンを形成する段階と、
を含むことを特徴とする半導体素子の配線方法。 - 半導体基板上に形成されている炭素ドーピングされた低誘電膜と、
前記炭素ドーピングされた低誘電膜上に形成されている酸化防止膜と、
前記酸化防止膜内、及び前記炭素ドーピングされた低誘電膜内の開口部と、
前記開口部を埋める導電膜パターンと、
を備えることを特徴とする半導体素子の配線構造体。 - 前記酸化防止膜は、100Å以下の厚さを有することを特徴とする請求項20に記載の半導体素子の配線構造体。
- 前記酸化防止膜は、SiCN膜であることを特徴とする請求項20に記載の半導体素子の配線構造体。
- 前記開口部は、前記酸化防止膜内、及び前記炭素ドーピングされた低誘電膜内のビアホールであることを特徴とする請求項20に記載の半導体素子の配線構造体。
- 前記半導体基板と前記炭素ドーピングされた低誘電膜との間に介在しているエッチング停止膜と、
前記炭素ドーピングされた低誘電膜上に配置された酸化物キャッピング層と、
前記ビアホールの内壁をコンフォーマルに覆う拡散障壁層と、
をさらに備えることを特徴とする請求項23に記載の半導体素子の配線構造体。 - 前記開口部は、前記炭素ドーピングされた低誘電膜の上部領域内及び下部領域内に連続的に形成されたトレンチ及びビアホールを有するデュアルダマシーンパターンであることを特徴とする請求項20に記載の半導体素子の配線構造体。
- 半導体基板上に配置され、順に積層された下部エッチング停止膜、第1層間絶縁膜、上部エッチング停止膜及び第2層間絶縁膜を含み、少なくとも前記第2層間絶縁膜は炭素ドーピングされた低誘電膜からなる積層絶縁膜と、
前記第2層間絶縁膜上に形成された酸化防止膜と、
前記酸化防止膜内及び前記積層絶縁膜内のデュアルダマシーンパターンと、
前記デュアルダマシーンパターンを埋める導電膜パターンと、
を備えることを特徴とする半導体素子の配線構造体。 - 前記炭素ドーピングされた低誘電膜上に形成された酸化物キャッピング層と、
前記デュアルダマシーンパターンの内壁をコンフォーマルに覆う拡散障壁層と、
をさらに備えることを特徴とする請求項26に記載の半導体素子の配線構造体。 - 前記酸化防止膜は、100Å以下の厚さを有することを特徴とする請求項26に記載の半導体素子の配線構造体。
- 前記酸化防止膜は、SiCN膜であることを特徴とする請求項26に記載の半導体素子の配線構造体。
- 前記第1層間絶縁膜は、4以上の誘電率を有する絶縁膜であることを特徴とする請求項26に記載の半導体素子の配線構造体。
- 前記第1層間絶縁膜は、炭素ドーピングされた低誘電膜であることを特徴とする請求項26に記載の半導体素子の配線構造体。
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