JP2005209799A - 電子装置の設計方法および製造方法、電子装置 - Google Patents
電子装置の設計方法および製造方法、電子装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005209799A JP2005209799A JP2004013220A JP2004013220A JP2005209799A JP 2005209799 A JP2005209799 A JP 2005209799A JP 2004013220 A JP2004013220 A JP 2004013220A JP 2004013220 A JP2004013220 A JP 2004013220A JP 2005209799 A JP2005209799 A JP 2005209799A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- area
- area ratio
- polishing
- small
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 117
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 123
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 95
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 44
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims description 34
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 28
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 21
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 16
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000005457 optimization Methods 0.000 abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 75
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 29
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 29
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 26
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 24
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 10
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 8
- 238000012938 design process Methods 0.000 description 7
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 6
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
- G06F30/30—Circuit design
- G06F30/39—Circuit design at the physical level
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/31051—Planarisation of the insulating layers
- H01L21/31053—Planarisation of the insulating layers involving a dielectric removal step
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Geometry (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Element Separation (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 基板表面を第1の小領域に分割し、前記第1の小領域において難研磨領域の面積率を前記第1の小領域に対応する第1の所定範囲に最適化し、さらに基板表面を前記第1の小領域とは異なる大きさの第2の小領域に分割し、前記第2の小領域において前記難研磨領域の面積率を前記第2の小領域に対応する第2の所定範囲に最適化する電子装置の設計方法において、短辺が5μm以下のパターンを予め最適化から除外する。
【選択図】 図15
Description
最初に本発明の原理を、図8(A)〜(F)および図9を参照しながら説明する。
[実施例]
図14は、本発明の一実施例による半導体集積回路装置の設計プロセスを示すフローチャートである。
前記第1の小領域について、前記難研磨領域が占める面積率を第1の面積率として求める手順と、前記化学機械研磨プロセスによる研磨プロセスの後、平坦度を確保するために前記第1の小領域中に前記難研磨領域が占めてよい第1の許容面積率と前記第1の面積率を比較する手順と、前記第1の面積率が前記第1の許容面積率よりも大きければ前記易研磨領域の面積を増大させ、前記第1の許容面積率よりも小さければ前記難研磨領域の面積を増大させる手順とよりなる第1のレイアウト手順と、
前記レイアウト領域から、前記第1の小領域よりも大きい第2の小領域を抽出する第2の抽出手順と、
前記第2の小領域について、前記難研磨領域が占める面積率を第2の面積率として求める手順と、前記化学機械研磨プロセスによる研磨プロセスの後、平坦度を確保するために前記第2の小領域中に前記難研磨領域が占めてよい第2の許容面積率と前記第2の面積率を比較する手順と、前記第2の面積率が前記第2の許容面積率よりも大きければ易研磨領域の面積を増大させ、前記第2の許容最大面積率よりも小さければ前記難研磨領域の面積を増大させる手順とよりなる第2のレイアウト手順とを含む電子装置の設計方法であって、
前記第1および第2の抽出手順に先立って、前記レイアウト領域から短辺が5μm以下の難研磨領域を除外する手順を設けたことを特徴とする電子装置の設計方法。
前記第2の抽出手段は、前記第2の小領域を前記レイアウト領域から順次抽出する手順を含むことを特徴とする付記1〜6のうち、いずれか一項記載の電子装置の設計方法。
前記第2の抽出手順は、前記レイアウト領域に、前記第2の小領域に対応する第2の枠を適用し、前記第2の枠内の領域を前記第2の小領域として抽出する手段と、前記第2の枠を前記レイアウト領域上において、前記第2の枠の一辺の3/4以下の距離ずつ移動させることにより、前記レイアウト領域を走査する手順とを含むことを特徴とする付記7記載の電子装置の設計方法。
前記基板表面から第1の大きさの第1の小領域を抽出する第1の抽出手順と、前記第1の小領域について、前記難研磨領域が占める面積率を第1の面積率として求め、前記化学機械研磨プロセスによる研磨プロセスの後、平坦度を確保するために前記第1の小領域中に前記難研磨領域が占めてよい第1の許容面積率と前記第1の面積率を比較し、前記第1の面積率が前記第1の許容面積率よりも大きければ前記易研磨領域の面積を増大させ、前記第1の許容面積率よりも小さければ前記難研磨領域の面積を増大させる手順とよりなる第1のレイアウト手順と、前記基板表面から、前記第1の小領域よりも大きい第2の小領域を抽出する第2の抽出手順と、前記第2の小領域について、前記難研磨領域が占める面積率を第2の面積率として求め、前記化学機械研磨プロセスによる研磨プロセスの後、平坦度を確保するために前記第2の小領域中に前記難研磨領域が占めてよい第2の許容面積率と前記第2の面積率を比較し、前記第2の面積率が前記第2の許容面積率よりも大きければ易研磨領域の面積を増大させ、前記第2の許容最大面積率よりも小さければ前記難研磨領域の面積を増大させる第2のレイアウト手順とよりなるレイアウト工程と、
前記レイアウト工程の後、前記基板表面に、前記易研磨領域に対応して凹部を形成する工程と、
前記基板表面に絶縁膜を、高密度プラズマCVDプロセスにより、前記凹部を充填するように堆積する工程と、
前記絶縁膜を化学機械研磨法により、前記基板表面から除去する工程とを含む電子装置の製造方法であって、
前記レイアウト工程では、前記第1および第2の抽出手順に先立って、短辺が5μm以下の難研磨領域を除外する手順を設けたことを特徴とする電子装置の製造方法。
前記基板上に前記素子分離領域に対応して凹部を形成する工程と、
前記基板上に前記凹部を充填するように絶縁膜を、高密度プラズマCVD法により堆積する工程と、
前記絶縁膜を前記基板表面から、化学機械研磨法により除去する工程とを含み、
前記素子領域は、前記基板上100μm角の領域中において短辺が5μm以下のパターンを除外して求めた面積率が、70%以下になるように形成されており、
前記短辺が5μm以下のパターンは、前記基板上前記100μm角の領域中における面積率が70%以上になるように形成されていることを特徴とする電子装置の製造方法。
前記素子領域は、前記基板上100μm角の領域中において短辺が5μm以下のパターンを除外して求めた面積率が、70%以下になるように形成されており、
前記短辺が5μm以下のパターンは、前記基板上前記100μm角の領域中における面積率が70%以上になるように形成されていることを特徴とする電子装置。
12,15,102a 熱酸化膜
13,36,102b シリコン窒化膜
14,101A 素子分離溝
16 CVD酸化膜
17,32,34,35,103A 素子分離絶縁膜パターン
18,31,33、101B 素子領域
51,52 小領域
53,54,56,57 大領域
103 HDP−CVD酸化膜
203 PCVD酸化膜
301 研磨ヘッド
302 研磨布
303 研磨テーブル
304 スラリー供給ノズル
Claims (8)
- 化学機械研磨プロセスにおいて大きな研磨速度を示す易研磨領域と前記化学機械研磨プロセスにおいてより小さな研磨速度を示す難研磨領域とが形成されるレイアウト領域から第1の小領域を抽出する第1の抽出手順と、
前記第1の小領域について、前記難研磨領域が占める面積率を第1の面積率として求める手順と、前記化学機械研磨プロセスによる研磨プロセスの後、平坦度を確保するために前記第1の小領域中に前記難研磨領域が占めてよい第1の許容面積率と前記第1の面積率を比較する手順と、前記第1の面積率が前記第1の許容面積率よりも大きければ前記易研磨領域の面積を増大させ、前記第1の許容面積率よりも小さければ前記難研磨領域の面積を増大させる手順とよりなる第1のレイアウト手順と、
前記レイアウト領域から、前記第1の小領域よりも大きい第2の小領域を抽出する第2の抽出手順と、
前記第2の小領域について、前記難研磨領域が占める面積率を第2の面積率として求める手順と、前記化学機械研磨プロセスによる研磨プロセスの後、平坦度を確保するために前記第2の小領域中に前記難研磨領域が占めてよい第2の許容面積率と前記第2の面積率を比較する手順と、前記第2の面積率が前記第2の許容面積率よりも大きければ易研磨領域の面積を増大させ、前記第2の許容最大面積率よりも小さければ前記難研磨領域の面積を増大させる手順とよりなる第2のレイアウト手順とを含む電子装置の設計方法であって、
前記第1および第2の抽出手順に先立って、前記レイアウト領域から短辺が5μm以下の難研磨領域を除外する手順を設けたことを特徴とする電子装置の設計方法。 - 前記第1の小領域は50〜300μm角の大きさを有し、前記第2の小領域は250〜1000μm角の大きさを有することを特徴とする請求項1記載の電子装置の設計方法。
- 前記第1の許容面積率は、前記第1の小領域が100μm角の大きさを有する場合、70%以下になるように設定され、また前記第1の小領域が300μm角の大きさを有する場合、60%以下になるように設定されることを特徴とする請求項1または2記載の電子装置の設計方法。
- 前記第2の許容面積率は、前記第2の小領域が300μm角の大きさを有する場合、60%以下になるように設定され、また前記第2の小領域が1000μm角の大きさを有する場合、50%以下になるように設定されることを特徴とする請求項3記載の電子装置の設計方法。
- 基板表面に、化学機械研磨プロセスにおいて大きな研磨速度を示す易研磨領域とより小さな研磨速度を示す難研磨領域とを含む電子装置の製造方法であって、
前記基板表面から第1の大きさの第1の小領域を抽出する第1の抽出手順と、前記第1の小領域について、前記難研磨領域が占める面積率を第1の面積率として求め、前記化学機械研磨プロセスによる研磨プロセスの後、平坦度を確保するために前記第1の小領域中に前記難研磨領域が占めてよい第1の許容面積率と前記第1の面積率を比較し、前記第1の面積率が前記第1の許容面積率よりも大きければ前記易研磨領域の面積を増大させ、前記第1の許容面積率よりも小さければ前記難研磨領域の面積を増大させる手順とよりなる第1のレイアウト手順と、前記基板表面から、前記第1の小領域よりも大きい第2の小領域を抽出する第2の抽出手順と、前記第2の小領域について、前記難研磨領域が占める面積率を第2の面積率として求め、前記化学機械研磨プロセスによる研磨プロセスの後、平坦度を確保するために前記第2の小領域中に前記難研磨領域が占めてよい第2の許容面積率と前記第2の面積率を比較し、前記第2の面積率が前記第2の許容面積率よりも大きければ易研磨領域の面積を増大させ、前記第2の許容最大面積率よりも小さければ前記難研磨領域の面積を増大させる第2のレイアウト手順とよりなるレイアウト工程と、
前記レイアウト工程の後、前記基板表面に、前記易研磨領域に対応して凹部を形成する工程と、
前記基板表面に絶縁膜を、高密度プラズマCVDプロセスにより、前記凹部を充填するように堆積する工程と、
前記絶縁膜を化学機械研磨法により、前記基板表面から除去する工程とを含む電子装置の製造方法であって、
前記レイアウト工程では、前記第1および第2の抽出手順に先立って、短辺が5μm以下の難研磨領域を除外する手順を設けたことを特徴とする電子装置の製造方法。 - 基板上に素子領域と素子分離領域とを有する電子装置であって、
前記素子領域は、前記基板上100μm角の領域中において短辺が5μm以下のパターンを除外して求めた面積率が、70%以下になるように形成されており、
前記短辺が5μm以下のパターンを含めた全パターンは、前記基板上前記100μm角の領域中における面積率が70%以上になるように形成されていることを特徴とする電子装置。 - 前記素子領域は、前記基板上300μm角の領域中において短辺が5μm以下のパターンを除外して求めた面積率が、60%以下になるように形成されていることを特徴とする請求項6記載の電子装置。
- 前記素子領域は、前記基板上1000μm角の領域中において短辺が5μm以下のパターンを除外して求めた面積率が、50%以下になるように形成されていることを特徴とする請求項6または7記載の電子装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004013220A JP2005209799A (ja) | 2004-01-21 | 2004-01-21 | 電子装置の設計方法および製造方法、電子装置 |
US10/849,368 US7017133B2 (en) | 2004-01-21 | 2004-05-20 | Designing a semiconductor device layout using polishing regions |
US11/333,212 US7424688B2 (en) | 2004-01-21 | 2006-01-18 | Designing and fabrication of a semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004013220A JP2005209799A (ja) | 2004-01-21 | 2004-01-21 | 電子装置の設計方法および製造方法、電子装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005209799A true JP2005209799A (ja) | 2005-08-04 |
Family
ID=34747354
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004013220A Pending JP2005209799A (ja) | 2004-01-21 | 2004-01-21 | 電子装置の設計方法および製造方法、電子装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7017133B2 (ja) |
JP (1) | JP2005209799A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013131006A (ja) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Fujitsu Semiconductor Ltd | レイアウトプログラム、レイアウト装置、レイアウト方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7723242B2 (en) * | 2004-03-15 | 2010-05-25 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Enhanced thin-film oxidation process |
JP2005209799A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Fujitsu Ltd | 電子装置の設計方法および製造方法、電子装置 |
JP4488837B2 (ja) * | 2004-08-20 | 2010-06-23 | 株式会社東芝 | 半導体装置並びにそのパターン設計方法及びパターン設計用プログラム |
US7512924B2 (en) * | 2006-01-17 | 2009-03-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device structure and methods of manufacturing the same |
US20070269908A1 (en) * | 2006-05-17 | 2007-11-22 | Hsin-Kun Chu | Method for in-line controlling hybrid chemical mechanical polishing process |
JP5185560B2 (ja) * | 2006-05-23 | 2013-04-17 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の設計方法 |
JP5171907B2 (ja) * | 2010-09-13 | 2013-03-27 | 株式会社東芝 | 情報処理装置、情報処理プログラム |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11214498A (ja) * | 1998-01-26 | 1999-08-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003347406A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-05 | Fujitsu Ltd | 電子装置の設計方法および製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6584095B1 (en) * | 1998-04-08 | 2003-06-24 | Siemens Information & Communication Networks, Inc. | Method and system for supporting wireless communications within an internetwork |
JP3645129B2 (ja) | 1999-06-25 | 2005-05-11 | Necエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP3551877B2 (ja) * | 2000-01-18 | 2004-08-11 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
US7146593B2 (en) * | 2003-11-04 | 2006-12-05 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method of implementing polishing uniformity and modifying layout data |
JP2005209799A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Fujitsu Ltd | 電子装置の設計方法および製造方法、電子装置 |
US20050224358A1 (en) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Lsi Logic Corporation | Method for improved local planarity control during electropolishing |
-
2004
- 2004-01-21 JP JP2004013220A patent/JP2005209799A/ja active Pending
- 2004-05-20 US US10/849,368 patent/US7017133B2/en active Active
-
2006
- 2006-01-18 US US11/333,212 patent/US7424688B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11214498A (ja) * | 1998-01-26 | 1999-08-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003347406A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-05 | Fujitsu Ltd | 電子装置の設計方法および製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013131006A (ja) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Fujitsu Semiconductor Ltd | レイアウトプログラム、レイアウト装置、レイアウト方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060113628A1 (en) | 2006-06-01 |
US7424688B2 (en) | 2008-09-09 |
US7017133B2 (en) | 2006-03-21 |
US20050160381A1 (en) | 2005-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5923993A (en) | Method for fabricating dishing free shallow isolation trenches | |
KR20010060349A (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
US7424688B2 (en) | Designing and fabrication of a semiconductor device | |
US6117748A (en) | Dishing free process for shallow trench isolation | |
CN101425477A (zh) | 浅沟槽隔离结构的形成方法及半导体结构的研磨方法 | |
JP5069109B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP4318892B2 (ja) | 電子装置の設計方法および製造方法 | |
US7491621B2 (en) | Method of forming isolation structures in a semiconductor manufacturing process | |
KR100430377B1 (ko) | 반도체장치의 제조방법 및 반도체장치의 설계방법 | |
KR100726746B1 (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
US20050170661A1 (en) | Method of forming a trench structure | |
US6969687B2 (en) | Method of planarizing a semiconductor die | |
KR100361102B1 (ko) | 트렌치 아이솔레이션의 형성방법 | |
US7279393B2 (en) | Trench isolation structure and method of manufacture therefor | |
KR100835406B1 (ko) | 반도체 소자의 소자 분리막 제조 방법 | |
KR100618802B1 (ko) | 세리아 슬러리를 사용하는 반도체 소자의 평탄화 방법 | |
US6897121B2 (en) | Method of removing HDP oxide deposition | |
TWI240360B (en) | Forming method of trench isolation region | |
KR100622588B1 (ko) | 반도체장치의 제조방법 | |
JP5489609B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR20090051894A (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 | |
JP2003152073A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US20070269985A1 (en) | Two-step chemical mechanical polishing process | |
JP2002110781A (ja) | 浅溝槽分離区の平坦化方法 | |
KR20100045060A (ko) | 산화물 cmp에서의 층간절연막 및 이를 이용한 산화물 cmp 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060623 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080530 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20080728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100518 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100714 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100817 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101015 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110222 |