JP2005205469A - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ加工装置は、レーザビームを出射するレーザ光源1と、レーザ光源1から出射したレーザビームを、第1のレーザビームと第2のレーザビームとに分岐させ、第1及び第2のレーザビームの強度比を変化させることができる分岐器2と、分岐器2から出射した第1及び第2のレーザビームが入射し、第1及び第2のレーザビームを、同一の光軸に沿って進行するように合成する合成器6と、第1のレーザビームの、分岐器2から合成器6までの光路上に配置され、第1のレーザビームの断面の大きさ及び形状及びビーム断面内の強度分布のうち少なくとも1つを変化させる光学装置5a、5bと、分岐器2を制御し、第1及び第2のレーザビームの強度比を、少なくとも3段階または連続的に変化させる制御装置3とを有する。
【選択図】図1
Description
2 ビーム分岐器
2a 電気光学変調素子
2b 偏光ビームスプリッタ
3 制御装置
4a、4b 折り返しミラー
5a、5b ビーム整形器
6 偏光ビームスプリッタ
7 強度分布調節器
8、15 折り返しミラー
9 ガルバノスキャナ
10 fθレンズ
11 加工対象物
12 XYステージ
Claims (10)
- レーザビームを出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射したレーザビームを、第1のレーザビームと第2のレーザビームとに分岐させ、該第1及び第2のレーザビームの強度比を変化させることができる分岐器と、
前記分岐器から出射した第1及び第2のレーザビームが入射し、該第1及び第2のレーザビームを、同一の光軸に沿って進行するように合成する合成器と、
前記第1のレーザビームの、前記分岐器から前記合成器までの光路上に配置され、該第1のレーザビームの断面の大きさ及び形状及びビーム断面内の強度分布のうち少なくとも1つを変化させる光学装置と、
前記分岐器を制御し、前記第1及び第2のレーザビームの強度比を、少なくとも3段階または連続的に変化させる制御装置と
を有するレーザ加工装置。 - 前記光学装置が、前記第1のレーザビームの断面の大きさを変化させ、前記合成器に入射する前記第1及び第2のレーザビームの断面の大きさが互いに異なり、
前記制御装置が、前記合成器に入射する第1及び第2のレーザビームのうち、断面が大きい方の強度が時間の経過とともに大きくなるように、該第1及び第2のレーザビームの強度比を変化させる請求項1に記載のレーザ加工装置。 - (a)レーザビームで加工される素材からなる第1の層と、該第1の層の表面に積層された樹脂からなる第2の層とを含み、該第2の層の表面へレーザビームを照射したとき、レーザビームの一部が該第2の層を透過して、該第1の層の表面に到達する加工対象物の、該第2の層の表面へレーザビームを照射し、該第2の層を貫通し、該第1の層の少なくとも表層が除去された凹部を形成する工程と、
(b)前記工程(a)の後、前記加工対象物に、該工程(a)で照射されたレーザビームより太いレーザビームを照射し、該工程(a)で形成された凹部の内径を拡大する工程と
を含むレーザ加工方法。 - 前記第2の層がポリエチレンテレフタレートで構成され、前記工程(a)で照射されるレーザビームの波長が、300nm以上である請求項3に記載のレーザ加工方法。
- 前記第1の層が、表面に金属層が形成された絶縁性の基板の表面に積層されており、前記凹部の底面に該金属層が露出する請求項3または4に記載のレーザ加工方法。
- レーザ光源から出射したレーザビームを、第1及び第2のレーザビームに分岐させ、該第1及び第2のレーザビームの直径が互いに異なるように調節した後、該第1及び第2のレーザビームが同一の光軸に沿って進行するように合成し、該第1及び第2のレーザビームの強度比を変化させることにより、同一光軸上に合成されたレーザビームの直径を変化させる装置を用いて、前記工程(a)及び工程(b)において、レーザビームの直径を調節する請求項3〜5のいずれかに記載のレーザ加工方法。
- 前記工程(b)においてレーザビームを照射した後、さらに、該工程(b)で照射されたレーザビームより太いレーザビームを照射して、凹部の内径を拡大する請求項3〜6のいずれかに記載のレーザ加工方法。
- レーザビームを出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射したレーザビームを、第1のレーザビームと第2のレーザビームとに分岐させ、該第1及び第2のレーザビームの強度比を変化させることができる分岐器と、
前記分岐器から出射した第1及び第2のレーザビームが入射し、該第1及び第2のレーザビームを、同一の光軸に沿って進行するように合成する合成器と、
前記第1のレーザビームの、前記分岐器から前記合成器までの光路上に配置され、該第1のレーザビームの直径を変化させる光学装置と、
前記合成器から出射したレーザビームが入射するように配置され、ビーム断面内の強度分布がガウス分布で第1のビーム直径を有するレーザビームが入射した場合は、ビーム断面内の強度分布を、強度がビーム断面内で一定である分布に近づけ、ビーム断面内の強度分布がガウス分布で該第1のビーム直径よりも太い第2のビーム直径を有するレーザビームが入射した場合は、ビーム断面内の強度分布を、強度がビーム断面の周辺で高く、ビーム断面の中心で低い分布にする該強度分布調節器と
を有するレーザ加工装置。 - レーザビームを出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射したレーザビームを、第1のレーザビームと第2のレーザビームとに分岐させ、該第1及び第2のレーザビームの強度比を変化させることができる分岐器と、
前記分岐器から出射した第1及び第2のレーザビームが入射し、該第1及び第2のレーザビームを、同一の光軸に沿って進行するように合成する合成器と、
前記第1のレーザビームの、前記分岐器から前記合成器までの光路上に配置され、該第1のレーザビームの直径を変化させる光学装置と、
前記合成器から出射したレーザビームの断面の中心部分の光を拡散させ、周辺部分の光を収束させる第1の非球面レンズと、前記第1の非球面レンズから出射したレーザビームの断面の中心部分の光を収束させ、周辺部分の光を拡散させる第2の非球面レンズとからなる強度分布調節器と
を有するレーザ加工装置。 - (a)第1のレーザビームを加工対象物に照射して、該加工対象物の表面に凹部を形成する工程と、
(b)第1のレーザビームより太く、強度がビーム断面の周辺で高く、ビーム断面の中心で低い第2のレーザビームを、前記工程(a)で形成された凹部の開口近傍に強度の高い部分が照射されるよう、前記加工対象物に入射させて、該凹部の開口近傍に付着したデブリを除去する工程と
を含むレーザ加工方法。
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