JP2005203456A - 加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハー加熱装置1は、ウエハーWを支持および加熱するための支持面2cを備えている基板部2aと、ウエハーWの側周面を包囲するように設けられている側壁部2bとを備えている。側壁部2bの支持面2cからの高さDがウエハーWの厚さC以上である。
【効果】広範囲の設定温度に対して、ウエハーWの温度の均一性が良好である。特に設定温度が500℃以上の高温域になっても均熱性の変化が小さい。
【選択図】図1
Description
特許文献1においては、セラミックヒーターの抵抗発熱体を、高融点金属などからなる複数の回路パターンによって構成している。そして、一つの回路パターンの折れ目や折り返し部などに、他の回路パターンを重ね合わせている。
図2の加熱装置11においては、側壁部2b内にも発熱体4Bが埋設されている。発熱体4Bは端子5Bに対して接続されており、端子5Bは、ケーブル6Bを介して電源7Bに接続されている。従って、発熱体4Bを発熱させることによって、側壁部2bの内壁面2eから発熱し、ウエハーWの側周部Waを加熱し、ウエハーWの温度分布を調整することができる。
図3の加熱装置15においては、図2の加熱装置において、側壁部2bの上面2fに蓋体10が設置されている。蓋体10の下側に、支持面2cおよび内壁面2eによって包囲された空間3が形成され、空間3内にウエハーWが収容される。この例によれば、ウエハーWから外側への輻射伝熱に起因するウエハーの温度均一性の低下が、一層効果的に抑制される。
また、図4(a)は、設定温度600℃のときの、上記本発明例の加熱装置上のウエハーWの温度分布を示す図面であり、図4(b)は、設定温度600℃のときの、上記比較例の加熱装置上のウエハーWの温度分布を示す図面である。本発明例では、明らかに径方向の温度分布が低減されていることが分かる。
Claims (9)
- ウエハーを支持および加熱するための支持面を備えている基板部と、前記ウエハーの側周面を包囲するように設けられている側壁部とを備えており、前記基板部と側壁部は前記基板部又は側壁部に設けられた発熱体により加熱され、かつ前記側壁部の前記支持面からの高さDが前記ウエハーの厚さC以上であることを特徴とする、ウエハー加熱装置。
- 前記側壁部に前記発熱体が設けられていることを特徴とする、請求項1記載の加熱装置。
- 前記側壁部内に前記発熱体が埋設されていることを特徴とする、請求項2記載の加熱装置。
- 前記側壁部に設けられた発熱体の発熱密度が、基板部に設けられた発熱体の発熱密度より大きいことを特徴とする、請求項2記載の加熱装置。
- 前記ウエハーの上面を被覆し、貫通孔を有する蓋体を備えていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の加熱装置。
- 前記基板部と側壁部がそれぞれ別の基体からなる、請求項1〜5のいずれか一つの請求項に記載の加熱装置。
- 前記基板部と側壁部が一体となっていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一つの請求項に記載の加熱装置。
- 前記基板部もしくは側壁部が、高周波電極や静電チャック電極を有する事を特徴とする、請求項1〜7のいずれか一つの請求項に記載の加熱装置。
- 前記基板部もしくは側壁部に2つ以上の発熱体が設置されており、マルチゾーン制御可能であることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一つの請求項に記載の加熱装置。
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