JP2005203383A5 - - Google Patents

Claims (1)

1. 試料を載置する試料台と、
   イオン源，イオンビームを集束するレンズ，イオンビーム走査偏向器、を備える集束イオンビーム光学系と、
   電子源，電子ビームを集束するレンズ，電子ビーム走査偏向器、を備える電子ビーム光学系と、
   該試料からの二次粒子を検出する検出器と、
   装置全体および試料加工観察評価の一連の処理を制御管理する操作制御部と、
   該試料を載置する試料台と、を備える微小試料加工観察装置において、
   集束イオンビームを用いて該試料から微小試料を分離する機能と、
   該微小試料を摘出するためのプローブを具備し摘出された該微小試料を前記電子ビームまたは前記集束イオンビームで観察する機能を有し、
   上記操作制御部において、上記集束イオンビームにより得られる二次電子像上で、観察断面の上辺となる部分と加工深さを設定することで、該設定値に基づいて上記試料台の駆動と上記イオンビームによる加工を自動的に行なう機能を有することを特徴とする微小試料加工観察装置。