JP5175008B2 - ミクロ断面加工方法 - Google Patents
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Description
そこで、断面観察用の試料を傾斜させて集束イオンビームを照射し、試料の断面を露出させた後、集束イオンビーム装置の走査イオン顕微鏡機能を用いて断面を観察(計測、分析)する技術が知られている(特許文献1)。
一方、試料にダメージを与えない方法として、従来から機械的な劈開で断面出しを行って、鮮明な断面SEM像を得る方法が知られている。しかし、微小な特定箇所を劈開することは非常に難しい。
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、微小な特定箇所を劈開して断面を得ることができるミクロ断面加工方法の提供を目的とする。
このような構成とすると、集束イオンビームによる観察対象のダメージが抑制される。
このような構成とすると、集束イオンビームによる観察対象のダメージが抑制される。
このような構成とすると、集束イオンビーム装置でミクロ断面加工を行う際、断面予想位置を容易に観察して作業が容易となる。
図1は本発明の実施形態に係るミクロ断面加工方法に用いることができる、集束イオンビーム装置100の全体構成を示すブロック図である。図1において、集束イオンビーム装置100は、真空室10と、イオンビーム照射系20と、電子ビーム照射系30と、アルゴンイオンビーム照射系40と、ナノピンセット50と、試料ステージ60と、二次荷電粒子検出器70と、マイクロプローブ80と、制御部90とを備えている。真空室10の内部は所定の真空度まで減圧され、集束イオンビーム装置100の各構成部分の一部又は全部が真空室10内に配置されている。
又、制御部90は、二次荷電粒子検出器70で検出された二次荷電粒子を輝度信号に変換して試料表面を表す画像データを生成し、この画像データを基に試料画像を生成する。試料画像は、制御部90に接続された表示装置91に出力され、さらに表示装置91上で、オペレータがミクロ断面加工を行うことができるようになっている。
なお、制御部90には、オペレータの入力指示を取得するキーボード等の入力手段92が接続されている。
イオン光学系22は、例えば、イオンビーム20Aを集束するコンデンサーレンズと、イオンビーム20Aを絞り込む絞りと、イオンビーム20Aの光軸を調整するアライナと、イオンビーム20Aを試料に対して集束する対物レンズと、試料上でイオンビーム20Aを走査する偏向器とを備えて構成される。
なお、試料表面を表す試料画像を取得するため、イオンビーム20Aの照射による二次荷電粒子(二次イオンや二次電子)を用いてもよく、電子ビーム30Aの照射による二次荷電粒子(二次電子)を用いてもよい。但し、本発明においては、イオンビーム20Aの照射による試料のダメージを抑制するため、試料の観察は電子ビーム照射系30による二次電子を用いることが好ましい。
二次荷電粒子検出器70は、試料2へイオンビーム20A又は電子ビーム30Aが照射された際に、試料2から反射される二次荷電粒子(二次電子や二次イオン)を検出する。
図2は、試料表面2a上に、観察対象3が含まれる線状の断面予想位置3Lを決定する加工予想位置決定工程を示す。断面予想位置3Lは、後述する劈開面となり得る断面の位置を示し、オペレータが表示装置91上で断面予想位置3Lの位置を指定する。制御部90は、表示装置91上における断面予想位置3Lの座標を取得して記憶すると共に、加工中に表示装置91に断面予想位置3Lを表示する。
試料2としては、例えば半導体デバイス等が挙げられる。又、観察対象3としては、例えば半導体デバイス内部の不良部分が挙げられる。
本発明によって加工される試料2の加工部(劈開面)の大きさは特に限定されないが、例えば、幅と深さとが数μm以下(例えば、1.5〜2μm以下)程度の領域を劈開することができる。
一方、観察対象3が試料2内部に位置する場合には、加工予想位置決定工程の前に、観察対象3の位置を試料表面2aに表示させてもよい(観察対象位置表示工程)。観察対象3の位置は、例えば試料表面2aの2箇所にレーザマーカ4を刻印し、各レーザマーカ4を結ぶ線分を断面予想位置3Lとして制御部90に記憶させることができ、又、表示装置91で各レーザマーカ4を結ぶ線分をオペレータが認識することができる。又、CADリンケージを用いて、観察対象3の位置を試料表面2aに表示させてもよい。
観察対象位置表示工程により、後述する各種工程において、オペレータは表示装置91を見ながら、イオンビーム20aによるエッチング加工が断面予想位置3Lを越えないように調整することができる。
断面10は試料表面2aに対して直角にすることができ、試料表面2aから上記傾斜角を持って試料内部に向かって斜面が形成され、断面10に至っている。断面10の深さ10bは、試料表面2から観察対象3までの深さより深く、又、断面10は幅10aをなしている。
又、断面予想位置3Lが劈開面となるよう、断面予想位置3Lの前方(例えば、断面予想位置3Lより0.5μm〜数μm手前)までを断面加工して断面10を形成する。又、断面10の幅10aを、例えば劈開面とする幅より左右に数μmずつ大きくなるように断面加工を行うとよい。断面10の深さ10bは、例えば劈開面より数μm深くするとよい。
側面切込み12、12は、例えば断面予想位置3Lより0.5〜数μm後方(断面10より後ろ側)まで入れればよい。側面切込み12、12の深さは、観察対象3より例えば数μm程度深くすればよい。側面切込み12、12は断面10の底部に接続してもよく、断面10の底部より浅くてもよい。各側面切込み12の幅は、例えば0.5μm〜数μmとすることができる。
側面切込み12、12を入れることにより、後述する劈開を行う部位2xを試料2の本体から切り離して、劈開をし易くする。
これにより、後述する劈開を行う部位2xを試料2の底部から切り離し、この部位2xが試料2の後面のみで保持されることで、劈開をし易くする。
なお、底部切込み加工工程におけるイオンビーム20Aの照射角度は特に限定されないが、断面加工工程における照射角度とほぼ同一とすると加工がし易い。
但し、楔16を形成する際にイオンビーム20Aが観察対象3にダメージを与えないよう、楔16の先端と観察対象3との距離16Sを0.5〜1μm程度離間させることが好ましい。
以上のように、劈開を行う部位2xの周囲(側面及び底部)がすべて除去されると共に、楔16を形成することにより断面予想位置3Lに沿って劈開面が生じ易くなり、微小な領域であっても特定位置(断面予想位置3L近傍)を劈開することが可能となる。
これにより、図8に示すように、断面予想位置3L近傍に劈開面Sが露出する(観察断面加工工程)。
なお、部位2xに衝撃を加える方法として、該部位2xをナノピンセット50で把持して上下左右にナノピンセット50を動かしてもよい。
以上にようにして、微小な(例えば、縦横数μm以下)特定箇所を劈開して断面を得ることができる。なお、劈開後の断面にイオンビーム20Aが照射されないよう、観察断面加工工程での試料2の観察を電子ビーム照射系30によって行うことが好ましい。
例えば、観察対象3が試料2の深部に存在し、劈開を行う部位が試料表面2aより深い部分に位置する場合、予め試料表面2aをイオンビーム20Aで削っておくとよい。
2a 試料表面
2x 試料の断面予想位置より前方の部位
3 観察対象
10 断面
12 側面切込み
14 底部切込み
16 楔
20A 集束イオンビーム
100 集束イオンビーム装置
Claims (4)
- 集束イオンビーム装置を用いて集束イオンビームを試料に照射し、試料の断面加工を行う方法であって、
前記試料表面上に、観察対象が含まれる線状の断面予想位置を決定する加工予想位置決定工程と、
前記断面予想位置に対して、前記集束イオンビームをその入射方向が前記試料表面に対して垂直または傾斜角を持って照射させ、前記断面予想位置の前方の位置で断面を形成する断面加工工程と、
前記断面の両端部に前記集束イオンビームを照射させ、各両端部に前記断面予想位置より後方の位置まで延びる側面切込みを形成する側面切込み加工工程と、
前記断面表面でかつ前記観察対象より深い位置に前記集束イオンビームを照射させ、前記断面予想位置より後方の位置まで延びると共に前記側面切込みに接続する底部切込みを形成する底部切込み加工工程と、
前記側面切込みから前記断面予想位置に沿って前記集束イオンビームを照射させ、前記断面の両端部からそれぞれ内側に延び前記底部切込みに接続する楔を形成する楔加工工程と、
前記試料の前記断面予想位置より前方の部位に衝撃を加え、前記楔で挟まれた前記断面予想位置の近傍を劈開させ、劈開面を形成する観察断面加工工程と
を有するミクロ断面加工方法。 - 前記観察対象が前記試料表面に位置する場合に、前記集束イオンビームを照射する前に、前記観察対象を覆う保護膜を前記試料表面に形成する保護膜形成工程をさらに有する請求項1記載のミクロ断面加工方法。
- 前記楔加工工程において、前記楔の先端を前記観察対象から0.5μm以上離間させる請求項1または2記載のミクロ断面加工方法。
- 前記観察対象が前記試料内部に位置する場合に、前記加工予想位置決定工程の前に、前記観察対象の位置を前記試料表面に表示させる観察対象位置表示工程をさらに有する請求項1〜3のいずれかに記載のミクロ断面加工方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009037310A JP5175008B2 (ja) | 2009-02-20 | 2009-02-20 | ミクロ断面加工方法 |
US12/708,896 US8304721B2 (en) | 2009-02-20 | 2010-02-19 | Micro cross-section processing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009037310A JP5175008B2 (ja) | 2009-02-20 | 2009-02-20 | ミクロ断面加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010190809A JP2010190809A (ja) | 2010-09-02 |
JP5175008B2 true JP5175008B2 (ja) | 2013-04-03 |
Family
ID=42631206
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009037310A Expired - Fee Related JP5175008B2 (ja) | 2009-02-20 | 2009-02-20 | ミクロ断面加工方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8304721B2 (ja) |
JP (1) | JP5175008B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011054497A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Sii Nanotechnology Inc | 断面加工観察方法および装置 |
US20130050431A1 (en) * | 2011-08-29 | 2013-02-28 | Shiseido Company, Ltd. | Method of observing cross-section of cosmetic material |
WO2013082181A1 (en) * | 2011-11-29 | 2013-06-06 | Kla-Tencor Corporation | Systems and methods for preparation of samples for sub-surface defect review |
TWI628702B (zh) * | 2012-10-05 | 2018-07-01 | Fei公司 | 高「高寬比」結構之分析 |
JP6261178B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2018-01-17 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム装置、荷電粒子ビーム装置を用いた試料の加工方法、及び荷電粒子ビーム装置を用いた試料の加工コンピュータプログラム |
JP2015041673A (ja) * | 2013-08-21 | 2015-03-02 | 三菱電機株式会社 | 観察方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2973211B2 (ja) * | 1989-11-27 | 1999-11-08 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 断面観察方法 |
JPH10227728A (ja) * | 1997-02-13 | 1998-08-25 | Nec Corp | 表面分析用試料及びその作製方法 |
EP1209737B2 (en) * | 2000-11-06 | 2014-04-30 | Hitachi, Ltd. | Method for specimen fabrication |
JP4283432B2 (ja) * | 2000-11-06 | 2009-06-24 | 株式会社日立製作所 | 試料作製装置 |
JP2004301557A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Tdk Corp | 観察対象物の加工方法及び微細加工方法 |
DE10358036B4 (de) * | 2003-12-11 | 2011-05-26 | Qimonda Ag | Verfahren zum Charakterisieren einer Tiefenstruktur in einem Substrat |
US7442924B2 (en) * | 2005-02-23 | 2008-10-28 | Fei, Company | Repetitive circumferential milling for sample preparation |
-
2009
- 2009-02-20 JP JP2009037310A patent/JP5175008B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-02-19 US US12/708,896 patent/US8304721B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100215868A1 (en) | 2010-08-26 |
US8304721B2 (en) | 2012-11-06 |
JP2010190809A (ja) | 2010-09-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111206 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20121122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121128 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130103 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160111 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160111 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |