JP2005200058A - ガラス基板搬送用ボックス - Google Patents

Abstract

【課題】サイズが異なるガラス基板に対しても、側板の移動調節を伴うことなく共通の搬送ボックス内に確実で、かつ効率的に支持させることができるガラス基板搬送用ボックスを提供すること。
【解決手段】 ボックス本体２を構成する底面板３と一方の側壁６ａ内に複数のガラス基板Ｇを支持する複数の支持溝を有した基板受体１６，１８を複数設け、底面板３に対してガラス基板Ｇが傾斜して載置し得るように基板受体１６，１８にガラス基板Ｇの底端部と一方の側端部を支持溝に支持させると共に、一方の側壁６ａと対設する他方の側壁６ｂ内にガラス基板Ｇの他方の側端部を押圧する押圧体２８を設けた構成とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、有底のボックス本体と蓋体とから成るガラス基板搬送用ボックスに関する。

従来、素板ガラス、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ハイブリッドＩＣセラミックス基板、ウエハなどの各種の基板、あるいはこれら基板を用いて製造した完成パネル等（以下単に「ガラス基板」という）を例えば、ガラスメーカからデバイスメーカに移送する場合に用いられる搬送用ボックスとして、有底のボックス本体と、このボックス本体の開口を開閉可能な蓋体とから成るボックスが知られていた（特許文献１、２参照）。

図５は、従来知られているガラス基板搬送用ボックスの外観斜視図であり、ガラス基板搬送用ボックス０１は、有底の本体部０２と蓋体（図示せず）で構成され、本体部０２内にはガラス基板支持用の支持溝０４を有した側板が一対挿入されている。ガラス基板Ｇの両側端部は対向する側板の支持溝０４間内に一枚ずつ係合支持され、上部より蓋体をガラス基板Ｇの上端縁を押さえるようにして本体部０２上にかぶせて搬送に供される。

特開平８−３０１３５４号公報（段落００２７、第５図） 特開平９−５８７７０号公報（第５，６図）

しかしながら、上記特許文献に記載の従来のガラス基板搬送用ボックスにあっては、ガラス基板を支持する側板の位置がボックス本体部０２の側壁面に固定されているため、ガラス基板のサイズ、特に、ガラス基板の支持される両側端間の距離が異なると、そのサイズに合わせた搬送ボックスを用意しなければならず、コスト高になる欠点を有していた。

そこで、本出願人はこのような事態を回避するために、ガラス基板の両側端部を支持す側板を移動可能に装架して、ガラス基板の支持される両側端間の距離が異なる各種のガラス基板に対し、共通の搬送ボックスで対応させるようにしたガラス基板搬送用ボックスを既に開発している。しかしながら、ガラス基板のサイズが異なる毎に側板を移動調節しなければならず、ガラス基板の積み込み作業に時間と労力を要した。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、サイズが異なるガラス基板に対しても、側板の移動調節を伴うことなく共通の搬送ボックス内に確実で、かつ効率的に支持させることができるガラス基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックスは、有底のボックス本体と蓋体とから成るガラス基板搬送用ボックスであって、前記ボックス本体を構成する底面板と左右側壁の一方側壁内に、複数のガラス基板を支持する複数の支持溝を有した基板受体を複数設け、前記底面板に対して前記ガラス基板が傾斜して載置し得るように、前記複数の基板受体のいくつかを選択してガラス基板の底端部と一方の側端部を前記支持溝に支持させるとともに、前記左右側壁の他方側壁内に、ガラス基板の他方の側端部を押圧する押圧体が設けられていることを特徴としている。
この特徴によれば、サイズの異なるガラス基板を搬送する場合に、ガラス基板の底端部と一方の側端部を基板受体に支持させるだけであるので、細かな調節作業を伴うことなく共通の搬送ボックス内に効率的に支持させることができる。また、ガラス基板の他方の側端部は押圧体で押圧されているので、搬送中のガラス基板の移動も確実に阻止される。

本発明の請求項２に記載のガラス基板搬送用ボックスは、請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックスであって、前記押圧体は前記底面板からの高さ位置が調整可能に構成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、押圧体の底面板からの高さ位置を調整することで、サイズの異なるガラス基板に対して確実に押圧作用を付与することができる。

本発明の請求項３に記載のガラス基板搬送用ボックスは、請求項１または２に記載のガラス基板搬送用ボックスであって、前記押圧体は押圧位置と退避位置に移動自在の押圧支持具に保持されていることを特徴としている。
この特徴によれば、ガラス基板を搬送用ボックスに一枚ずつ搬入出する際は、押圧支持具を退避位置に移動させることにより、その搬入出が容易に行うことができる。

本発明の請求項４に記載のガラス基板搬送用ボックスは、請求項１ないし３のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスであって、前記ボックス本体は、その前後側壁の少なくとも一方の側壁が開放自在であることを特徴としている。
この特徴によれば、前後側壁の少なくとも一方の側壁が開放自在であるので、ガラス基板の搬入出が容易に行える。

本発明の請求項５に記載のガラス基板搬送用ボックスは、請求項１ないし４のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスであって、前記蓋体には複数のガラス基板の頂部を押圧する伸縮自在の当接部材が設けられていることを特徴としている。
この特徴によれば、ガラス基板が周囲４箇所で支持されているので、搬送中のガラス基板の移動がより確実に阻止できる。

本発明の請求項６に記載のガラス基板搬送用ボックスは、請求項５に記載のガラス基板搬送用ボックスであって、前記当接部材は流体により膨張収縮する袋体で構成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、各種サイズのガラス基板に対し、袋体に導入する流体量により当接部材の位置を調整できる。

本発明の実施例を以下に説明する。

本発明の実施例を図面に基づいて説明すると、先ず図1は本発明の実施例１におけるガラス基板搬送用ボックスであって、蓋体を取外したボックス本体の断面図、図２は同じくボックス本体の斜視図である。

先ず図1及び２において、本発明の実施例１としての蓋体を取外して上部を開放したガラス基板搬送用ボックス１が示されており、このガラス基板搬送用ボックス１は、複数のガラス基板Ｇを、例えばガラスメーカからデバイスメーカに移送する場合に用いられる搬送用ボックスとして使用するものであって、横長直方体で上部が開口した有底のボックス本体２と図示しない蓋体とから成り、ボックス本体２は底面板３と左右のボックス側壁板６ａ，６ｂ及び前後の側壁板８ａ，８ｂ（図２参照）とを組み合わせて構築されており、底面板３下面の四隅には４個のキャスタＣ１，Ｃ２が固定されている。

４枚の側壁板６ａ，６ｂ及び８ａ，８ｂないし底面板３は、両側が発泡スチロール樹脂（例えば発泡ポリエチレン樹脂）を両側からアルミ複合板で挟んだ断面構造となっており、アルミ複合板の最外面と最内面は導電処理のためにポリエステル樹脂系の焼き付け塗料が塗布されている。

また、ボックス本体２の内部には、複数枚の各種サイズから成るガラス基板Ｇの下端部と側端部を所定角度傾斜させた状態で載置する傾斜載置台５が設置されている。この傾斜載置台５は、ベース体９とＬ字状の支持フレーム１４と基板受体１６，１８とベース体９を安定状態に保持するＬ字形のスペーサ１０とから構成されている。

ベース体９は底面板３上面に支持される水平板９ａと一方の側壁板６ａ内面に当接する垂直板９ｂを直角に接合してＬ字状に形成され、水平板９ａの上面には複数の脚柱１２ａ，１２ｂ，１２ｃ立設支持され、また、垂直板９ｂの内側面からは脚柱１２ｄが斜めに延出し、下部フレーム１４ａと側部フレーム１４ｂからなるＬ字状の支持フレーム１４を所定角度に傾斜保持している。

下部フレーム１４ａの上面には互いに離間して平行に貼着され基板受体１６が、側部フレーム１４ｂ上面には互いに離間して平行に貼着された基板受体１８が設けられている。基板受体１６にはガラス基板Ｇの底端部を支持する複数の支持溝が形成され、基板受体１８にはガラス基板Ｇの一方の側端部を支持する複数の支持溝が形成されているので、ガラス基板Ｇは傾斜配置が可能である。

基板受体１６、１８は、例えばポリプロピレン系発泡体より成る所定厚みを有する直方体に形成され、その上面には、断面山形の、例えば１４ｍｍピッチ間隔の平行な支持溝（不図示）を構成するリブが形成されている。

そして、上記のように構築された傾斜載置台５上には、図１の破線で一部示した如く、各種サイズのガラス基板Ｇ１（３００幅Ｗ×５００高さＨ×０．５厚さｔ），Ｇ２（３５０Ｗ×６００Ｈ×０．５ｔ），Ｇ３（４００Ｗ×７００Ｈ×０．５ｔ），Ｇ４（５００Ｗ×９００Ｈ×０．５ｔ）から成るガラス基板Ｇが傾斜状態で載置されるようになっている。

ボックス本体２の他方の側壁板６ｂ内面には、ガラス基板Ｇの他方の側端部を押圧する押圧体２８を保持する押圧支持具２０が固設されている。この押圧支持具２０は、図２に示すように、他方の側壁板６ｂの内面前後に配置された一対のブラケット２２の支持軸２２ａに揺動可能に軸支された一対の揺動アーム２４ａ，２４ｂと、これら揺動アーム２４ａ，２４ｂ先端に跨設された連結板２６と、この連結板２６の下面に取着され当接部が円弧状の弾性体で形成される押圧体２８とから構成されている。

この押圧支持具２０は、側壁板６ｂ内面の長手方向中間部位上部に縦方向に取付けられたガイドベース３２に上下方向に案内され上部に操作部材３５を設けたスライドベース３４と、スライドベース３４下方におけるブラケット３６の支持軸３８に一端が軸支されると共に他端が両揺動アーム２４ａ，２４ｂを連結する長軸４１の中央にそれぞれ枢支される押圧付勢体３０とを具備している。

押圧付勢体３０は、内部に圧縮バネＳＰを内装した状態で有底の開口端部同士を向き合わせて大径円筒キャップ体３０ａ内に小径円筒キャップ体３０ｂを摺動可能に挿嵌し、両者は長孔の範囲で移動し得るように連結ピン３３で連結されており、圧縮バネＳＰの付勢力により押圧体２８を各種ガラス基板Ｇ１〜Ｇ４の他方の側端部を押圧するように構成されている。

また、操作部材３５は、スライドベース３４の上部に設けたブラケット３９の支持軸に枢支された操作レバー４０と、この操作レバー４０他端側のアーム４２下面に設けた係合ピン４２Ａで構成され、このアーム４２は支持軸に巻回された図示しないコイルバネにより下面に設けた係合ピン４２Ａをガイドベース３２側へ押圧付勢している。

そして、ガイドベース３２の底面中央には複数の係合孔４４が縦方向に所定間隔で列設されており、これら係合孔４４には、操作レバー４０の揺動操作によってスライドベース３４に形成された挿通孔を挿通したアーム４２下面の係合ピン４２Ａがスライドベース３４の上下スライド位置に応じて選択的に挿嵌可能に構成されている。

次に、ガラス基板Ｇの他方の側端部を押圧する押圧支持具２０の操作方法に付き図１、図２を参照して説明する。

先ず、ガラス基板Ｇが挿入される前の初期の状態では、スライドベース３４が操作レバー４０による揺動と引上げ操作によりガイドベース３２の最上端まで引上げられると、この引上げ動作に追従して押圧付勢体３０も上方に引上げられ、押圧支持具２０の退避位置となる。

この退避位置では、押圧体２８は、大きなガラス基板Ｇ４の他方の側端部を押圧することのできない上方位置にあり、アーム４２下面の係合ピン４２Ａをスライドベース３４上方に形成された係合孔４４に係合することでこの状態が保持され、ガラス基板Ｇが搬送用ボックスに対し搬入出可能となる。

次いで、ボックス本体２内部に設置された傾斜載置台５の基板受体１６，１８の支持溝に複数のガラス基板Ｇが順次載置される。図１には、最大サイズのガラス基板Ｇ４を載置した状態が示されており、複数のガラス基板Ｇ４が基板受体１６，１８の支持溝に載置されると、操作レバー４０を起立方向に揺動させて係合ピン４２Ａを係合孔４４から離脱し、操作レバー４０によりスライドベース３４を下降させて押圧体２８をガラス基板Ｇ４の他方の側端部に当接させる。

更にスライドベース３４を下降させることで、押圧体２８が押圧付勢体３０の圧縮バネＳＰの付勢力により複数のガラス基板Ｇ４の側端部を強く押圧し、押圧支持具２０が押圧位置となる。そして操作レバー４０の揺動操作によって係合ピン４２Ａが対応する係合孔４４に係合するとこの状態が保持される。

尚、サイズが小さいガラス基板Ｇ１〜Ｇ３を押圧体２８によって押圧する際は、図１の仮想線で示すように、操作レバー４０の操作によってスライドベース３４を下降移動させることで、一対の揺動アーム２４ａ，２４ｂを支持軸２２ａを中心として下方に揺動させ、ガラス基板Ｇ１〜Ｇ３の他方の側端部を適切な押圧力を与えることができる。

従って、実施例１によれば、サイズの異なるガラス基板Ｇを搬送する場合に、ガラス基板Ｇの底端部と一方の側端部を基板受体１６，１８に支持させるだけであるので、細かな調節作業を伴うことなく共通のガラス基板搬送用ボックス１内に効率的に支持させることができる。また、ガラス基板Ｇの他方の側端部は押圧体２８で押圧されているので、搬送中のガラス基板Ｇの移動も確実に阻止される。

また、押圧体２８は、底面板３からの高さ位置が調整可能に構成されているので、サイズの異なるガラス基板Ｇ１〜Ｇ４に対して確実に押圧作用を付与することができる。

次に、実施例２に付き、図３を参照して説明する。図３は本発明の実施例１におけるガラス基板搬送用ボックスであって、前側壁が開放されたボックス本体の斜視図である。尚、前記実施例１の構成と同一構成部分に付いては同一符合を付してその説明を省略する。

本実施例２におけるガラス基板搬送用ボックス４６のボックス本体４８は、上部が開放されると共に前側壁が開放されており、これら両開放部は図示しない蓋体によって搬送時に閉塞されるように構成されている。

このように構成されたボックス本体４８の内部には、実施例１と同じ構成の傾斜載置台５が設置されると共に、傾斜載置台５に載置された各種サイズのガラス基板Ｇにおける他方の側端部を押圧する押圧体２８を備えた押圧支持具２０が収容設置されている。

従って、実施例２におけるボックス本体４８は、上部と共に前側壁が開放されるように構成されているので、各種ガラス基板Ｇの搬入、搬出を容易に行うことができる。

次に、実施例３に付き図４を参照して説明する。図４は実施例３におけるガラス基板搬送用ボックスであって、蓋体を閉じた状態の図２に対応するボックス本体の断面図である。尚，同一構成部材に付いては同一符号を付してその説明を省略する。

本実施例３におけるガラス基板搬送用ボックス５６は、実施例１と同じ構成のボックス本体２とこのボックス本体２の開放された上部開口を閉塞する蓋体６０で構成され、ボックス本体２の内部には実施例１、２と同じ構成の傾斜載置台５が設置されると共に、傾斜載置台５に載置されたガラス基板Ｇにおける他方の側端部を押圧する押圧体２８ないし、この押圧体２８を操作する操作部材３５等が収容設置されている。

また、蓋体６０の天板６３裏面の略中央には、傾斜載置台５に載置された複数のガラス基板Ｇの頂部を押圧する当接部材６２が垂直下方に向けて伸縮自在に設けられている。

この当接部材６２は、前記各実施例１、２の当接部が円弧状の弾性体で形成される押圧体２８と同じ構成であって、前後方向に延びる当接パッドとなる中空弾性体６４と、この中空弾性体６４を気体圧力によって伸縮自在に保持すべく上端が分配器６６の下面に取付けられて、その下端が中空弾性体６４の長手方向前後上面に液密に接続された蛇腹状中空袋体６５とで構成されている。

分配器６６は天板６３裏面に取着保持され、上面に手動操作可能な気体圧抜き弁６６が取付けられ、側面の連通口には連通管６７の一端が接続され、連通管６７の他端部には逆止弁７０を備えた気体充填口６８ａが設けられている。

そこで、例えば、ボックス本体２の内部に設置された傾斜載置台５の基板受体１６，１８の支持溝に最大サイズの複数のガラス基板Ｇ４を載置した場合、先ず前記実施例１、２のようにスライドベース３４を下降させて押圧体２８でガラス基板Ｇ４の他方の側端部を押圧させる。

次に、図示しない圧縮器のノズルから気体充填口６８を介して蓋体６０裏面の当接部材６２に圧縮気体を充填し、一対の蛇腹状中空袋体６５を膨出させて中空弾性体６４がガラス基板Ｇ１の頂部に対し圧縮代を見込んだ長さまで下方に向けて伸長させる。

そして、ボックス本体２の開放口を蓋体６０により閉塞し、図示しない連結具を使用してボックス本体２の開放口に蓋体６０がロックされることで、ガラス基板Ｇ４の周囲４箇所が支持される。

即ち、実施例３によれば、ガラス基板Ｇの底端部と一方の側端部の２箇所を傾斜状態で支持する基板受体１６，１８と、他方の側端部を押圧する押圧体２８に加え、ガラス基板Ｇの頂部を押圧する伸縮自在の当接部材６２により、ガラス基板Ｇは周囲４箇所で支持されているので、搬送中のガラス基板Ｇの移動がより確実に阻止できる。

また、中空弾性体６４は、流体により膨張収縮する袋体で構成されているので、各種サイズのガラス基板Ｇに対し、蛇腹状中空袋体６５に導入する流体量によりその当接位置を調整できる。

以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、例えば、傾斜載置台を設けずに、搬送ボックスから直接基板受け体を設け、それにガラス基板を支持させるようにしても良い。

本発明の実施例１におけるガラス基板搬送用ボックスであって、蓋体を取外したボックス本体の断面図、図２は蓋体を取外したボックス本体の斜視図である。 蓋体を取外したボックス本体の斜視図である。 本発明の実施例１におけるガラス基板搬送用ボックスであって、前側壁が開放されたボックス本体の斜視図である。 実施例３におけるガラス基板搬送用ボックスであって、蓋体を閉じた状態のボックス本体の断面図である。 従来のガラス基板搬送用ボックスの外観斜視図である。

符号の説明

１ ガラス基板搬送用ボックス
２ ボックス本体
３ 底面板
５ 傾斜載置台
６ａ，６ｂ 左右の側壁板
８ａ，８ｂ 前後の側壁板
９ ベース体
９ａ 水平板
９ｂ 垂直板
１０ スペーサ
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ 脚柱
１２ｄ 脚柱
１４ 支持フレーム
１４ａ 下部フレーム
１４ｂ 側部フレーム
１６，１８ 基板受体
２０ 押圧支持具
２２ ブラケット
２２ａ 支持軸
２４ａ，２４ｂ 揺動アーム
２６ 連結板
２８ 押圧体
３０ 押圧付勢体
３０ａ 大径円筒キャップ体
３０ｂ 小径円筒キャップ体
３２ ガイドベース
３３ 連結ピン
３４ スライドベース
３５ 操作部材
３６，３９ ブラケット
３８ 支持軸
４０ 操作レバー
４１ 長軸
４２ アーム
４２Ａ 係合ピン
４４ 係合孔
４６ ガラス基板搬送用ボックス
４８ ボックス本体
５６ ガラス基板搬送用ボックス
６０ 蓋体
６２ 当接部材
６３ 天板
６４ 中空弾性体
６５ 蛇腹状中空袋体
６６ 分配器
６６ａ 気体圧抜き弁
６７ 連通管
６８ 気体充填口
７０ 逆止弁
Ｃ１，Ｃ２ キャスタ
Ｇ，Ｇ１〜Ｇ４ ガラス基板
ＳＰ 圧縮バネ

Claims (6)

1. 有底のボックス本体と蓋体とから成るガラス基板搬送用ボックスであって、前記ボックス本体を構成する底面板と左右側壁の一方側壁内に、複数のガラス基板を支持する複数の支持溝を有した基板受体を複数設け、前記底面板に対して前記ガラス基板が傾斜して載置し得るように、前記複数の基板受体のいくつかを選択してガラス基板の底端部と一方の側端部を前記支持溝に支持させるとともに、前記左右側壁の他方側壁内に、ガラス基板の他方の側端部を押圧する押圧体が設けられていることを特徴とするガラス基板搬送用ボックス。
2. 前記押圧体は前記底面板からの高さ位置が調整可能に構成されている請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックス。
3. 前記押圧体は押圧位置と退避位置に移動自在の押圧支持具に保持されている請求項１または２に記載のガラス基板搬送用ボックス。
4. 前記ボックス本体は、その前後側壁の少なくとも一方の側壁が開放自在である請求項１ないし３のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックス。
5. 前記蓋体には複数のガラス基板の頂部を押圧する伸縮自在の当接部材が設けられている請求項１ないし４のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックス。
6. 前記当接部材は流体により膨張収縮する袋体で構成されている請求項５に記載のガラス基板搬送用ボックス。

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