JP2023078073A - 搬送パレット - Google Patents

Abstract

【課題】膜体が取り付けられた中間板を、縦置きの状態で搬送可能であり、かつ平置きの状態で取り出せる搬送パレットを提供する。【解決手段】膜体が取り付けられた中間板を搬送するための搬送パレット１００は、基台１０と、基台１０の上面に設けられ、中間板２２０を載置する載置台２０と、載置台２０の背面に設けられた支持部３０と、を備える。基台１０と、載置台２０の一端部は、第一ヒンジ部５１で結合され、載置台２０の背面と、支持部３０の一端部は、第二ヒンジ部５２で結合される。第一ヒンジ部５１及び第二ヒンジ部５２の回動により、支持部３０を基台１０と載置台２０の背面との間に格納した平置き状態と、支持部３０の他端部が基台１０に当接した状態において、支持部３０が載置台２０を支持する傾斜状態とを切り替える。【選択図】図２

Description

本発明は、ガラス基板の研磨装置に用いられる、膜体が取り付けられた中間板を搬送する、搬送パレットに関する。

基板、特にＬＣＤ（Liquid Crystal Display）やＯＬＥＤ（Organic Light-Emitting Diode）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用に使用されるガラス基板を研磨する場合、ガラス基板を研磨装置の保持部で保持し、保持されたガラス基板を、研磨定盤に押し付けて研磨する研磨装置が用いられることがある（特許文献１参照）。

研磨装置の保持部には、枠体、膜体、中間板、吸着シートがこの順で設けられている。カンバス等の膜体が取り付けられた中間板は、搬送パレットに収納され、例えば部材メーカーから、ガラス基板を研磨するガラスメーカーに搬送される。膜体が取り付けられた中間板は、ガラスメーカーにて前記膜体が枠体に取り付けられ、さらに吸着シートが中間板に取り付けられ、研磨装置の保持部として用いられる。ガラスメーカーに搬送された搬送パレットは、その後ガラスメーカーから部材メーカーに返送される。

特許第５０１３２００号公報

ところで、近年ＦＰＤ用のガラス基板は、大型化のニーズが高まっている。ガラス基板の大型化に伴い、保持部もまた大型化することとなる。大型のガラス基板用の膜体及び中間板は、その大きさ故、平置きの状態で搬送することは困難である。そのため、膜体を取り付けた中間板は縦置きの状態で搬送パレットに収納され、天井部分が解放されたオープントップコンテナに収容され、搬送される。

縦置きの状態で収納した場合、膜体を取り付けた中間板を平置きの状態から取り出す装置が使用できないため、円滑に取り出せず、搬送パレットを傾斜させる設備が必要となる。

本発明は、前記事情に鑑みてなされたものであって、大型のガラス基板を研磨する際に利用される、膜体が取り付けられた中間板を、縦置きの状態で搬送可能であり、かつ平置きの状態で取り出せる搬送パレットを提供することを目的とする。

本発明の搬送パレットは、膜体が取り付けられた中間板を搬送するための搬送パレットであって、
基台と、
前記基台の上面に設けられ、前記中間板を載置する載置台と、
前記載置台の背面に設けられた支持部と、
を備え、
前記基台と、前記載置台の一端部は、第一ヒンジ部で結合され、前記載置台が前記基台に対して回動可能に構成されており、
前記載置台の背面と、前記支持部の一端部は、第二ヒンジ部で結合され、前記支持部が前記載置台に対して回動可能に構成されており、
前記基台と前記第二ヒンジ部とが近接し、前記支持部を前記基台と前記載置台の背面との間に格納されることで、前記載置台が平置き状態となり、
前記基台と前記第二ヒンジ部とが離間し、前記支持部の他端部が前記基台に当接した状態において、前記支持部が前記載置台を支持することで、前記載置台が傾斜状態となる。

本発明の搬送パレットにおいて、たとえば、前記載置台は、第一小片と、第二小片と、第三小片と、を備え、前記第一小片の一端部と、前記基台は、前記第一ヒンジ部で結合され、前記第一小片が前記基台に対して回動可能に構成されており、前記第一小片の他端部と、前記第二小片の一端部は、第三ヒンジ部で結合され、前記第二小片が前記第一小片に対して回動可能に構成されており、前記第二小片の他端部と、前記第三小片の一端部は、第四ヒンジ部で結合され、前記第三小片が前記第二小片に対して回動可能に構成されており、前記第一小片の載置面と、前記第三小片の載置面と、を近接させて向かい合わせることで、前記載置台が収納状態となり、前記第一小片、前記第二小片、及び前記第三小片の各載置面を同一平面上に位置させることで、前記載置台が使用状態となる。

本発明の搬送パレットにおいて、たとえば、前記載置台は、前記使用状態において前記第一小片及び前記第三小片を跨ぐ位置に移動可能な閂を備え、前記第一小片は、前記使用状態において前記閂と係合する第一係合部を備え、前記第三小片は、前記使用状態において前記閂と係合する第三係合部を備え、前記閂を前記第一係合部及び前記第三係合部に係合させることで、前記第一小片に対する前記第三小片の動きを抑制する。

本発明の搬送パレットにおいて、たとえば、前記載置台は、前記収納状態において前記第一小片及び前記第二小片を跨ぐ位置に移動可能な閂を備え、前記第一小片は、前記収納状態において前記閂と係合する第一係合部を備え、前記第二小片は、前記収納状態において前記閂と係合する第二係合部を備え、前記閂を前記第一係合部及び前記第二係合部に係合させることで、前記第一小片に対する前記第二小片の動きを抑制する。

本発明の搬送パレットにおいて、たとえば、前記載置台は、前記膜体の主面に対して垂直な方向から見たときに、前記中間板の外側で、前記膜体を貫通する柱を有する。

本発明の搬送パレットにおいて、たとえば、前記支持部の他端部には、回転可能なローラーが設けられ、前記基台の上面には、レールが設けられ、前記平置き状態及び前記傾斜状態との間の変形時において、前記ローラーが前記レール上を回転しつつ移動する。

本発明の搬送パレットにおいて、たとえば、前記基台の上面であって、前記レールのない位置にロック機構が設けられ、前記ロック機構は、前記傾斜状態において、前記支持部の他端部に係合して前記支持部をロックする。

本発明によれば、膜体が取り付けられた中間板を、縦置きの状態で搬送可能であり、かつ平置きの状態で取り出せる。

図１は、搬送パレットが搬送する中間板の利用態様を示す図であり、図１（ａ）は研磨ヘッド、枠体、中間板、研磨パッドの配置関係を示す分解斜視図であり、図１（ｂ）は枠体と、膜体及び中間板を分解した状態を示す図である。 図２は、本発明の実施形態に係る搬送パレットの前方斜視図である。 図３は、実施形態に係る搬送パレットの後方斜視図である。 図４は、実施形態に係る搬送パレットの概略側面図であり、（ａ）は載置台の傾斜状態における側面図、（ｂ）は載置台の平置き状態における側面図である。 図５は、図４（ｂ）の平置き状態における斜視図である。 図６は、実施形態に係る搬送パレットの概略側面図であり、（ａ）は載置台の使用状態における側面図、（ｂ）は載置台の収納状態における側面図である。 図７は、図６（ｂ）の収納状態における斜視図である。 図８は、実施形態に係る搬送パレットの使用状態における概略側面図であって、特に閂を示す図である。 図９は、実施形態に係る搬送パレットの収納状態における概略側面図であって、特に閂を示す図である。 図１０は、中間板を載置した載置台の上面図である。 図１１は、図３のＸ領域内の要部を拡大した拡大図である。 図１２は、ブルーシートで梱包した搬送パレットをオープントップコンテナに積載した状態を示す図である。 図１３は、図１２の状態から、搬送パレットに他のブルーシートを被せた状態を示す図である。

以下、本発明に係る搬送パレットの実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。図１は搬送パレットが搬送する中間板２２０の利用態様を示す図であり、図１（ａ）は研磨ヘッド２００、枠体２１２、中間板２２０、研磨パッド３００の配置関係を示す分解斜視図であり、図１（ｂ）は枠体２１２と、膜体２１４及び中間板２２０を分解した状態を示す図である。

図１（ａ）に示す研磨ヘッド２００、枠体２１２、中間板２２０、及び研磨パッド３００は、ガラス基板２４０を研磨する研磨装置に設けられる。図示せぬ研磨装置は、大型のガラス基板２４０の片面をＦＰＤに必要な平坦度に研磨する研磨装置である。ガラス基板２４０は、例えば、一辺が３０００ｍｍ を超え、厚み０．４ｍｍ～１．１ｍｍである。

研磨装置においては、ガラス基板２４０が、中間板２２０、背面パッド２３０を介して枠体２１２に取り付けられる。さらに枠体２１２及びガラス基板２４０が研磨ヘッド２００に保持され、研磨パッド３００に所定の圧力をもって押し付けられる。研磨装置が、研磨パッド３００にスラリーＳを供給しつつ、研磨ヘッド２００が回転し、ガラス基板２４０の研磨が実施される。

図１（ｂ）に示すように、枠体２１２には、中間板２２０の上面に設けられる膜体２１４が取り付けられる。膜体２１４の下面は、たとえば、発泡ポリウレタン製の吸着シートが接着されるとともに、この吸着シートが、中間板２２０、背面パッド２３０とともに、ガラス基板２４０を自己吸着することにより、ガラス基板２４０が枠体２１２に取り付けられる。なお、図１（ｂ）においては、膜体２１４は中間板２２０の外側にはみ出していないが、膜体２１４のサイズを大きくし、膜体２１４が中間板２２０の外側にはみ出してもよい。このような例については、図１０を参照して後述する。

図２は、本発明の実施形態に係る搬送パレット１００の前方斜視図であり、図３は、搬送パレット１００の後方斜視図である。搬送パレット１００は、図１に示した膜体２１４が取り付けられた中間板２２０を搬送するためのパレットである。中間板２２０は、例えばアルミニウム製の板より構成されるが、ポリカーボネートのような樹脂製の板より構成してもよく、その材料は限定されない。以下、膜体２１４が取り付けられた中間板２２０を、単に中間板２２０と称する。搬送パレット１００は、基台１０と、基台１０の上面に設けられ、中間板２２０を載置する載置台２０と、載置台２０の背面に設けられた支持部３０と、を備える。

基台１０は、搬送パレット１００を床面に配置するための台座に相当する部材である。本実施形態において、基台１０は複数のフレームを組み合わせることにより構成されているが、板状の部材によって構成してもよく、具体的な構成は特に限定されない。

載置台２０は、基台１０の上面に設けられ、中間板２２０を載置する平板状の部材である。図２及び図３において、載置台２０は傾斜状態とされており、この傾斜状態において、載置台２０の上面に載置された中間板２２０の下端が、載置台２０の一端部に設けられた支持板２６によって支持される。この状態で、搬送パレットはコンテナに搭載されて搬送される。しかしながら、Ｇ１１サイズといった大きなガラス板を研磨するために用いられる中間板２２０を傾斜状態で載置する搬送パレット１００は高さが非常に大きく、天井が解放されていない一般的なコンテナに搭載することは困難である。よって、中間板２２０を載置した搬送パレット１００は、天井が解放されたコンテナであるオープントップコンテナに積載されて搬送されるのが一般的である。載置台２０の一側面には閂４０が設けられているが、閂４０の詳細は図８及び図９を参照して後述する。

支持部３０は、載置台２０の背面に設けられており、傾斜状態にある載置台２０を、その背面から支持する部材である。本実施形態において、支持部３０は複数のフレームを組み合わせることにより構成されているが、板状の部材によって構成してもよく、具体的な構成は特に限定されない。

図４は、搬送パレット１００の概略側面図であり、図４（ａ）は載置台２０の傾斜状態における側面図、図４（ｂ）は載置台２０の平置き状態における側面図である。図５は、図４（ｂ）の平置き状態における斜視図である。本実施形態の搬送パレット１００は、複数の形態に変形可能である。特に載置台２０及び支持部３０が、搬送パレット１００の使用状況に応じて変形することにより、搬送パレット１００の搬送にかかる費用を抑えるとともに、中間板２２０の取扱いに関する利便性を向上させている。

搬送パレット１００の変形を可能とする構成について説明する。基台１０と、載置台２０の一端部は、第一ヒンジ部５１で結合され、載置台２０が基台１０に対して回動可能に構成されている。これにより、載置台２０は、第一ヒンジ部５１を回動中心として、基台１０に対し、相対的に回動可能となっている。本実施形態の第一ヒンジ部５１は、基台１０と載置台２０の一端部を回動ピンによって接続する一般的な構成を有している。基台１０と載置台２０の相対的な回動を可能にするものであれば、第一ヒンジ部５１の具体的な構成は特に限定されない。

載置台２０の背面と、支持部３０の一端部は、第二ヒンジ部５２で結合され、支持部３０が載置台２０に対して回動可能に構成されている。これにより、支持部３０は、第二ヒンジ部５２を回動中心として、載置台２０に対し、相対的に回動可能となっている。本実施形態の第二ヒンジ部５２は、載置台２０の背面と支持部３０の一端部を回動ピンによって接続する一般的な構成を有している。載置台２０と支持部３０の相対的な回動を可能にするものであれば、第二ヒンジ部５２の具体的な構成は特に限定されない。

図４（ａ）の傾斜状態において、第一ヒンジ部５１は開いており、基台１０と第二ヒンジ部５２とは離間している。すなわち、基台１０と載置台２０における第二ヒンジ部５２が取付られた箇所とは、離間している。傾斜状態において、第二ヒンジ部５２も開いており、載置台２０と支持部３０とは離間している。一方、図４（ｂ）の平置き状態において、第一ヒンジ部５１は閉じており、基台１０と第二ヒンジ部５２とは近接している。すなわち、基台１０と載置台２０における第二ヒンジ部５２が取付られた箇所とは、近接している。平置き状態において、第二ヒンジ部５２も閉じており、載置台２０と支持部３０は近接している。

すなわち、載置台２０が図４（ａ）の傾斜状態にある場合、作業者が、矢印Ｂの閉じ方向に第二ヒンジ部５２を閉じるとともに矢印Ａの閉じ方向に第一ヒンジ部５１を閉じる。これにより、載置台２０が図４（ｂ）の平置き状態となり、支持部３０を基台１０と載置台２０の背面との間に格納できる。

一方、載置台２０が図４（ｂ）の平置き状態にある場合、作業者が、矢印Ｃの開き方向に第一ヒンジ部５１を開くとともに矢印Ｄの開き方向に第二ヒンジ部５２を開く。これにより、載置台２０が図４（ａ）の傾斜状態となり、支持部３０の他端部が基台１０に当接した状態において、支持部３０が載置台２０を支持できる。

作業者は、搬送パレット１００について、傾斜状態と平置き状態の二つの状態を、使用状況に応じて切り替えられる。中間板２２０の搬送時においては、搬送パレット１００を傾斜状態とすることで、搬送パレット１００を天井が解放されたコンテナに搭載し、中間板２２０をガラスメーカー等に搬送できる。

傾斜状態とされた搬送パレット１００から中間板２２０を取り出そうとすると、円滑な取り出しが困難であるが、本実施形態では、第一ヒンジ部５１及び第二ヒンジ部５２の回動により、搬送パレット１００を平置き状態に容易に切り替えられる。よって、搬送パレット１００を傾斜させるための設備を用いることなく、平置き状態の搬送パレット１００から円滑に中間板２２０を取り出せる。

また、搬送パレット１００を、平置き状態と傾斜状態とに切り替えることにより、中間板２２０の積み込み作業及び積み下ろし作業が容易になり、中間板２２０の取扱いに関する利便性を向上できる。

図６は、搬送パレット１００の概略側面図であり、図６（ａ）は載置台２０の使用状態における側面図、図６（ｂ）は載置台２０の収納状態における側面図である。図７は、図６（ｂ）の収納状態における斜視図である。本実施形態の搬送パレット１００は、図４及び図５の形態に加えて、更に他の形態に変形可能である。本開示において、「使用状態」は、載置台２０に中間板２２０を載置可能な状態を意味し、前述の平置き状態及び傾斜状態を含み、「収納状態」は、載置台２０に中間板２２０を載置不能な状態を意味する。図６（ａ）は、載置台２０の傾斜状態を示す。

載置台２０は、第一小片２１と、第二小片２２と、第三小片２３と、を備えている。支持板２６の側から見て、第一小片２１、第二小片２２、第三小片２３が、この順で並べられている。本実施形態においては、第一小片２１及び第三小片２３がそれぞれ一枚の板で形成されている。第二小片２２は、三つの小片の並び方向に直交する方向において分割した複数の板とこれらの板を繋ぐ棒状の部材により構成されている。ただし、各小片の具体的な構成は特に限定されない。

第一小片２１の一端部と、基台１０とは、上述した第一ヒンジ部５１で結合されている。さらに本実施形態においては、第一小片２１の他端部と、第二小片２２の一端部は、第三ヒンジ部５３で結合されている。これにより、第二小片２２は、第三ヒンジ部５３を回動中心として、第一小片２１に対し、相対的に回動可能となっている。本実施形態の第三ヒンジ部５３は、第一小片２１の他端部と第二小片２２の一端部を回動ピンによって接続する一般的な構成を有している。第一小片２１と第二小片２２の相対的な回動を可能にするものであれば、第三ヒンジ部５３の具体的な構成は特に限定されない。

また、第二小片２２の他端部と、第三小片２３の一端部は、第四ヒンジ部５４で結合されている。これにより、第三小片２３は、第四ヒンジ部５４を回動中心として、第二小片２２に対し、相対的に回動可能となっている。本実施形態の第四ヒンジ部５４は、第二小片２２の他端部と第三小片２３の一端部を回動ピンによって接続する一般的な構成を有している。第二小片２２と第三小片２３の相対的な回動を可能にするものであれば、第四ヒンジ部５４の具体的な構成は特に限定されない。

図６（ａ）の使用状態において、第一ヒンジ部５１、第二ヒンジ部５２に加えて、第三ヒンジ部５３も開いており、第一小片２１の載置面と第二小片２２の載置面が同一平面上に位置している。また、第四ヒンジ部５４も開いており、第二小片２２の載置面と第三小片２３の載置面が同一平面上に位置している。結果的に、第一小片２１、第二小片２２、及び第三小片２３の各載置面が同一平面上に位置している。

一方、図６（ｂ）の収納状態において、第一ヒンジ部５１、第二ヒンジ部５２に加えて、第三ヒンジ部５３も閉じており、第一小片２１の載置面と第二小片２２の載置面が互いに直交した状態とされている。また、第四ヒンジ部５４も閉じており、第二小片２２の載置面と第三小片２３の載置面が互いに直交した状態とされている。結果的に、第一小片２１の載置面と第三小片２３の載置面が、近接して向かい合わせの状態とされている。

すなわち、載置台２０が図６（ａ）の使用状態にある場合、作業者が、矢印Ｂの閉じ方向に第二ヒンジ部５２を閉じるとともに矢印Ａの閉じ方向に第一ヒンジ部５１を閉じることで、載置台２０は、図４（ｂ）に示す平置き状態とされる。さらに作業者が、矢印Ｅの閉じ方向に第三ヒンジ部５３を閉じるとともに矢印Ｆの閉じ方向に第四ヒンジ部５４を閉じる。これにより、載置台２０が図６（ｂ）の収納状態となり、第一小片２１の載置面と、第三小片２３の載置面と、を向かい合わせの状態にできる。

一方、載置台２０が図６（ｂ）の収納状態にある場合、作業者が、矢印Ｇの開き方向に第三ヒンジ部５３を開くとともに矢印Ｈの開き方向に第四ヒンジ部５４を開くことで、載置台２０は図４（ｂ）に示す平置き状態とされる。さらに作業者が、矢印Ｃの開き方向に第一ヒンジ部５１を開くとともに矢印Ｄの開き方向に第二ヒンジ部５２を開く。これにより、載置台２０が図６（ａ）の使用状態となり、第一小片２１、第二小片２２、及び第三小片２３の各載置面を同一平面上に位置させられる。

作業者は、搬送パレット１００について、使用状態と収納状態の二つの状態を、使用状況に応じて切り替えられる。中間板２２０の搬送時においては、搬送パレット１００を使用状態とすることで、搬送パレット１００を天井が解放されたコンテナに搭載し、中間板２２０をガラスメーカー等に搬送できる。

このような天井が解放されたコンテナは、一般的に利用費用が高い。しかしながら、中間板２２０の搬送後は、搬送パレット１００を収納状態とすることで高さを抑え、搬送パレット１００を天井が解放されていない一般的なコンテナに搭載し、搬送パレット１００を運送会社等に返却できる。よって、返却時の費用を抑え、トータルの搬送にかかる費用を抑えられる。特に図６（ｂ）の収納状態は、図４（ｂ）の平置き状態に比べて、水平方向の寸法を抑えられ、コンテナへの搭載に際しての利便性を向上できる。

図８は、搬送パレット１００の使用状態における概略側面図であって、特に閂４０を示す図である。図８は、載置台２０の傾斜状態を示す。載置台２０は、使用状態において第一小片２１及び第三小片２３を跨ぐ位置に、移動可能な閂４０を備える。閂４０は、載置台２０の少なくとも一側面に設けられた長尺状の部材である。

第一小片２１は、使用状態において、閂４０と係合する第一係合部４１を備え、第三小片２３は、使用状態において、閂４０と係合する第三係合部４３を備えている。第一係合部４１及び第三係合部４３は、それぞれ第一小片２１及び第三小片２３の一側面に形成されている。第一係合部４１及び第三係合部４３は、たとえば閂４０が通過可能な穴を有するタブ状の部材により構成される。

作業者は、閂４０をスライドさせ、第一係合部４１及び第三係合部４３の穴を通過させることにより、閂４０を第一係合部４１及び第三係合部４３に係合させられる。これにより、閂４０が第一小片２１及び第三小片２３を拘束し、第一小片２１に対する第三小片２３の動きを抑制できる。

上記構成により、閂４０は、使用状態において、第一小片２１、第二小片２２、第三小片２３の各載置面を同一平面上で固定でき、中間板２２０を円滑に載置できる。また、閂４０と第一係合部４１または第三係合部４３との係合により、閂４０の移動が制限されるため、使用状態であっても閂４０の抜け等の不具合を防止できる。

図９は、搬送パレット１００の収納状態における概略側面図であって、特に閂４０を示す図である。載置台２０は、収納状態において第一小片２１及び第二小片２２を跨ぐ位置に移動可能な閂４０を備える。閂４０は、載置台２０の一側面に設けられた長尺状の部材である。

第一小片２１は、収納状態において、閂４０と係合する第一係合部４１を備え、第二小片２２は、収納状態において、閂４０と係合する第二係合部４２を備えている。第一係合部４１及び第二係合部４２は、それぞれ第一小片２１及び第二小片２２の一側面に形成されている。第一係合部４１及び第二係合部４２は、たとえば閂４０が通過可能な穴を有するタブ状の部材により構成される。

作業者は、閂４０をスライドさせ、第一係合部４１及び第二係合部４２の穴を通過させることにより、閂４０を第一係合部４１及び第二係合部４２に係合させられる。これにより、閂４０が第一小片２１及び第二小片２２を拘束し、第一小片２１に対する第二小片２２の動きを抑制できる。

上記構成により、使用状態から収納状態への変形が容易となる。すなわち、使用状態から収納状態への変形の際、第三ヒンジ部５３及び第四ヒンジ部５４が回動する際、作業者は、たとえば第三ヒンジ部５３の回動を抑えながら第四ヒンジ部５４を閉じ方向に回動させる必要がある。このような作業は困難な場合があり、作業効率性を低下させるおそれがある。しかしながら、閂４０が第一小片２１及び第二小片２２を拘束することにより、作業者は、容易に第四ヒンジ部５４を閉じ方向に回動できる。なお、図８の第三係合部４３が図９において図示されていないが、図９において第三小片２３に第三係合部４３を設けてもよい。また、図８に示す搬送パレット１００において、第二小片２２に第二係合部４２を設けてもよい。

図１０は、中間板２２０を載置した載置台２０の上面図である。本例において、中間板２２０は、図１のものと異なり、中間板２２０の外側に膜体２１４がはみ出ている。よって、図１０に示すように、膜体２１４の主面に対して垂直な方向から見たときに、中間板２２０の外側で膜体２１４がはみ出し部分を有する。このはみだし部分には、予め柱２７が貫通可能な孔が複数設けられている。

図２及び図１０に示すように、載置台２０は、その縁部にピン状の柱２７を複数有している。柱２７は載置台２０に取り外し可能な状態で固定されているが、完全固定であってもよい。そして、中間板２２０を載置台２０に載置した際に、柱２７は、中間板２２０の外側で、膜体２１４の孔を貫通する。これにより、柱２７は膜体２１４の動きを抑制できる。

図１１は、図３のＸ領域内の要部を拡大した拡大図である。支持部３０の一端部とは逆側の他端部である下端部には、回転可能なローラー３２が設けられている。一方、基台１０の上面には、レール１２が設けられている。そして、平置き状態と傾斜状態との間の変形時において、ローラー３２がレール１２上を回転しつつ移動する。これにより、支持部３０の移動が円滑となり、作業者は、搬送パレット１００の変形作業を円滑に行える。

また、基台１０の上面であって、レール１２のない位置にはロック機構１４が設けられている。ロック機構１４は、傾斜状態において、支持部３０の他端部に係合して支持部３０をロックする機能を有する。例えば、ロック機構１４は、水平方向に移動可能な棒状部材を有している。支持部３０の他端部は、ロック機構１４の棒状部材の移動方向に沿って図示せぬ貫通孔が設けられている。作業者が、棒状部材を水平方向に移動させることで、棒状部材が支持部３０の貫通孔に嵌合される。これにより、支持部３０の他端部が、傾斜状態において、ロック機構１４に係合することにより、基台１０に安定的に当接した状態を維持し、搬送パレット１００の傾斜状態が安定的に維持される。

中間板２２０の搬送作業について説明する。作業者は、まず、搬送パレット１００の載置台２０を、図４（ｂ）及び図５に示す平置き状態にし、中間板２２０を載置台２０に載置する。作業者は、中間板２２０にビニルシートをかけた後、載置台２０の柱２７を、中間板２２０の外側にはみ出た膜体２１４に予め設けられた孔に挿通して、中間板２２０を位置決めする。作業者は、平置き状態の載置台２０において、柱２７を孔に挿通することで、円滑に中間板２２０を載置できる。

次に作業者は、搬送パレット１００の載置台２０を、図２～図４（ａ）、図６（ａ）、及び図８の傾斜状態に変形し、ブルーシートで梱包し、コンテナに積み込み輸送する。コンテナの目的地への到着後、作業者は搬送パレット１００をコンテナから降ろして、ブルーシートを取り外す。作業者は、再び載置台２０を平置き状態にして、中間板２２０を取り出す。作業者は、平置き状態の載置台２０から、円滑に中間板２２０を取り出せる。さらに作業者は、中間板２２０のない載置台２０を折り畳んで、図６（ｂ）及び図７に示す収納状態に変形する。

図１２は、ブルーシート４２０で梱包した搬送パレット１００をオープントップコンテナ４００に積載した状態を示す図である。傾斜状態の搬送パレット１００の頂部が、オープントップコンテナ４００の上面から突出している。搬送時に搬送パレット１００がずれないよう、コンテナ４００の底面に配置された固定枠４３０が、搬送パレット１００の動きを抑制している。傾斜状態の搬送パレット１００は高さ方向の寸法が大きく、天井が解放されたオープントップコンテナに積載されて搬送するのが一般的である。このようなオープントップコンテナは、一般的な天井のあるコンテナに比べて利用料金が高い。

図１３は、図１２の状態から、さらにオープントップコンテナ４００を覆うようにブルーシート４５０を設けた状態を示す図である。最後に被せられるブルーシート４５０は、搬送パレット１００を保護する役割を果たす。

しかしながら、図６（ｂ）及び図７の収納状態において、搬送パレット１００は水平方向にも高さ方向にもサイズが小さくなり、互いに積み重ねることもでき、積み重ねた状態で、通常のコンテナに載せられる。よって、作業者は中間板２２０を降ろした後、複数台の搬送パレット１００を積み重ねて、一つのコンテナに収容できるため、搬送パレット１００を運送会社等に返送する復路に要する輸送費を削減できる。

尚、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。その他、上述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数値、形態、数、配置箇所、等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。

１０ 基台
１２ レール
１４ ロック機構
２０ 載置台
２１ 第一小片
２２ 第二小片
２３ 第三小片
２７ 柱
３０ 支持部
３２ ローラー
４０ 閂
４１ 第一係合部
４２ 第二係合部
４３ 第三係合部
５１ 第一ヒンジ部
５２ 第二ヒンジ部
５３ 第三ヒンジ部
５４ 第四ヒンジ部
１００ 搬送パレット
２００ 研磨ヘッド
２１２ 枠体
２１４ 膜体
２２０ 中間板
３００ 研磨パッド

Claims (7)

1. 膜体が取り付けられた中間板を搬送するための搬送パレットであって、
   基台と、
   前記基台の上面に設けられ、前記中間板を載置する載置台と、
   前記載置台の背面に設けられた支持部と、
   を備え、
   前記基台と、前記載置台の一端部は、第一ヒンジ部で結合され、前記載置台が前記基台に対して回動可能に構成されており、
   前記載置台の背面と、前記支持部の一端部は、第二ヒンジ部で結合され、前記支持部が前記載置台に対して回動可能に構成されており、
   前記基台と前記第二ヒンジ部とが近接し、前記支持部が前記基台と前記載置台の背面との間に格納されることで、前記載置台が平置き状態となり、
   前記基台と前記第二ヒンジ部とが離間し、前記支持部の他端部が前記基台に当接した状態において、前記支持部が前記載置台を支持することで、前記載置台が傾斜状態となる、
   搬送パレット。
2. 前記載置台は、
   第一小片と、第二小片と、第三小片と、を備え、
   前記第一小片の一端部と、前記基台は、前記第一ヒンジ部で結合され、前記第一小片が前記基台に対して回動可能に構成されており、
   前記第一小片の他端部と、前記第二小片の一端部は、第三ヒンジ部で結合され、前記第二小片が前記第一小片に対して回動可能に構成されており、
   前記第二小片の他端部と、前記第三小片の一端部は、第四ヒンジ部で結合され、前記第三小片が前記第二小片に対して回動可能に構成されており、
   前記第一小片の載置面と、前記第三小片の載置面と、を近接させて向かい合わせることで、前記載置台が収納状態となり、
   前記第一小片、前記第二小片、及び前記第三小片の各載置面を同一平面上に位置させることで、前記載置台が使用状態となる、
   請求項１に記載の搬送パレット。
3. 前記載置台は、前記使用状態において前記第一小片及び前記第三小片を跨ぐ位置に移動可能な閂を備え、
   前記第一小片は、前記使用状態において前記閂と係合する第一係合部を備え、
   前記第三小片は、前記使用状態において前記閂と係合する第三係合部を備え、
   前記閂を前記第一係合部及び前記第三係合部に係合させることで、前記第一小片に対する前記第三小片の動きを抑制する、
   請求項２に記載の搬送パレット。
4. 前記載置台は、前記収納状態において前記第一小片及び前記第二小片を跨ぐ位置に移動可能な閂を備え、
   前記第一小片は、前記収納状態において前記閂と係合する第一係合部を備え、
   前記第二小片は、前記収納状態において前記閂と係合する第二係合部を備え、
   前記閂を前記第一係合部及び前記第二係合部に係合させることで、前記第一小片に対する前記第二小片の動きを抑制する、
   請求項２に記載の搬送パレット。
5. 前記載置台は、前記膜体の主面に対して垂直な方向から見たときに、前記中間板の外側で、前記膜体を貫通する柱を有する、
   請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送パレット。
6. 前記支持部の他端部には、回転可能なローラーが設けられ、
   前記基台の上面には、レールが設けられ、
   前記平置き状態と前記傾斜状態との間の変形時において、前記ローラーが前記レール上を回転しつつ移動する、
   請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送パレット。
7. 前記基台の上面であって、前記レールのない位置にロック機構が設けられ、
   前記ロック機構は、前記傾斜状態において、前記支持部の他端部に係合して前記支持部をロックする、
   請求項６に記載の搬送パレット。

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