JP2005197764A - 磁気抵抗効果センサ、磁気抵抗検出システム、および磁気記憶システム - Google Patents
磁気抵抗効果センサ、磁気抵抗検出システム、および磁気記憶システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005197764A JP2005197764A JP2005081789A JP2005081789A JP2005197764A JP 2005197764 A JP2005197764 A JP 2005197764A JP 2005081789 A JP2005081789 A JP 2005081789A JP 2005081789 A JP2005081789 A JP 2005081789A JP 2005197764 A JP2005197764 A JP 2005197764A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- film
- free layer
- magnetoresistive
- magnetoresistive effect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】 フリー層3とフリー層3上に形成されたバリア層4とバリア層4上に形成された固定層5の組合わせを基本構成とする磁気抵抗効果膜20を用いた、センス電流が当該磁気抵抗効果膜に対し略垂直に流れるタイプのシールド型磁気抵抗効果素子25が使用され、且つ下シールド1にアモルファス材料もしくは微結晶材料が使用されている磁気抵抗効果センサ30が示されている。
【選択図】 図1
Description
また、第二の態様は、フリー層とバリア層と固定層とがこの順で形成され、前記フリー層に縦バイアスを印加する縦バイアス層を有するシールド型トンネリング磁気抵抗効果素子であって、前記フリー層と前記固定層の幅をABS面に投影した場合の各層の幅が前記固定層の幅よりも前記フリー層の幅の方が広く、前記縦バイアス層の端部近傍で、前記フリー層パターンと縦バイアス層とが接しており、且つ下部導電層がTa、Ti、Zr、Hf、Ru、Rh、Tc、Os、Y、Re、Nb、V、W、Cr、Mn、Pd、Ir、Mo、Ptの単層もしくは積層からなる、アモルファスもしくは微結晶からなることを特徴とするトンネリング磁気抵抗効果センサである。
本発明に係る当該磁気抵抗効果センサは、上記した様な技術構成を採用しているので、下シールド層または下部導電層のラフネスを小さくする事が出来るので、従来構造と比較して再生出力、S/N、及びビットエラーレートの値が良好な磁気抵抗効果センサを得る事が可能であり、又当該磁気抵抗効果センサを使用して、再生出力、S/N、及びビットエラーレートの値が良好な再生ヘッド、および記録再生システムを得ることができる。また、この構造を用いることにより、磁気抵抗効果膜部をセンス電流がきちんと流れることと、フリー層に縦バイアスをきちんと印加することを両立することができる。
図3に示した構造においては、基板40上に形成された下シールド1上に下部導電層22を形成し、その上に磁気抵抗効果膜20のパターンを形成する。
基 体
アルチック、SiC、アルミナ、アルチック/アルミナ、SiC/アルミナ
下シールド層
CoZr、またはCoFeB、CoZrMo、CoZrNb、CoZr、CoZrTa、CoHf、CoTa、CoTaHf、CoNbHf、CoZrNb、CoHfPd、CoTaZrNb、CoZrMoNi合金、FeAlSi、窒化鉄系材料からなる単体、多層膜、および混合物
特には、当該下シールドが、CoZrTa及びCoZrTaCr合金をベースとする材料からなる事が好ましい。
下部導電層
Au、Ag、Cu、Mo、W、Y、Ti、Zr、Hf、V、Cr、Mn、Nb、Tc、Ru、Rh、Pd、Re、Os、Ir、Ta、Ptからなる単体、多層膜、および混合物
上電極層
Au、Ag、Cu、Mo、W、Y、Ti、Zr、Hf、V、Cr、Mn、Nb、Tc、Ru、Rh、Pd、Re、Os、Ir、Ta、Ptからなる単体、多層膜、および混合物
上シールド層
NiFe、CoZr、またはCoFeB、CoZrMo、CoZrNb、CoZr、CoZrTa、CoHf、CoTa、CoTaHf、CoNbHf、CoZrNb、CoHfPd、CoTaZrNb、CoZrMoNi合金、FeAlSi、窒化鉄系材料、MnZnフェライト、NiZnフェライト、MgZnフェライトからなる単体、多層膜、および混合物
絶縁層
Al酸化物、Si酸化物、窒化アルミニウム、窒化シリコン、ダイヤモンドライクカーボンからなる単体、多層膜、および混合物
下ギャップ層
Al酸化物、Si酸化物、窒化アルミニウム、窒化シリコン、ダイヤモンドライクカーボンからなる単体、多層膜、および混合物
上ギャップ層
Al酸化物、Si酸化物、窒化アルミニウム、窒化シリコン、ダイヤモンドライクカーボンからなる単体、多層膜、および混合物
上部層
Au、Ag、Cu、Mo、W、Y、Ti、Zr、Hf、V、Cr、Mn、Nb、Tc、Ru、Rh、Pd、Re、Os、Ir、Ta、Ptからなる単体、多層膜、および混合物
縦バイアス層
CoCrPt、CoCr、CoPt、CoCrTa、FeMn、NiMn、Ni酸化物、NiCo酸化物、Fe酸化物、NiFe酸化物、IrMn、PtMn、PtPdMn、ReMn、Coフェライト、Baフェライトからなる単体、多層膜、および混合物
磁気抵抗効果膜としては以下の構成のものを用いることができる。
・基体/下地層/フリー層/第1MRエンハンス層/バリア層/第2MRエンハンス層/固定層/固定させる層/保護層
・基体/下地層/固定させる層/固定層/第1MRエンハンス層/バリア層/第2MRエンハンス層/フリー層/保護層
・基体/(下地層/フリー層/第1MRエンハンス層/バリア層/第2MRエンハンス層/固定層/固定させる層/保護層)をN回繰り返し積層した層
・基体/(下地層/固定させる層/固定層/第1MRエンハンス層/バリア層/第2MRエンハンス層/フリー層/保護層)をN回繰り返し積層させた層
・基体/下地層/第1固定させる層/第1固定層/第1MRエンハンス層/バリア層/第2MRエンハンス層/フリー層/第3MRエンハンス層/バリア層/第4MRエンハンス層/第2固定層/第2固定させる層/保護層
・基体/下地層/(固定層/第1MRエンハンス層/バリア層/第2MRエンハンス層/フリー層/バリア層)N回繰り返し積層した層(Nは1以上)/固定層/保護層
・基体/下地層/(フリー層/第1MRエンハンス層/バリア層/第2MRエンハンス層/固定層/バリア層)をN回繰り返し積層した層(Nは1以上)/フリー層/保護層
・基体/下地層/固定層/第1MRエンハンス層/バリア層/第2MRエンハンス層/フリー層/保護層
・基体/下地層/フリー層/第1MRエンハンス層/バリア層/第2MRエンハンス層/固定層/保護層下地層としては、Ta、Hf、Zr、W、Cr、Ti、Mo、Pt、Ni、Ir、Cu、Ag、Co、Zn、Ru、Rh、Re、Au、Os、Pd、Nb、Vからなる単層膜、混合物膜、または多層膜を用いる。添加元素として、Ta、Hf、Zr、W、Cr、Ti、Mo、Pt、Ni、Ir、Cu、Ag、Co、Zn、Ru、Rh、Re、Au、Os、Pd、Nb、Vを用いることもできる。
基 体…厚さ2mmのアルチック上にアルミナを3μm積層したもの
下シールド層…厚さ1μmのNiFe、CoFeB、CoZrMo、CoZrNb、CoZr、CoZrTa、CoZrTaCr、CoHf、CoTa、CoTaHf、CoNbHf、CoZrNb、CoHfPd、CoTaZrNb、CoZrMoNi
下部導電層
Au(15nm) 、Ag(15nm) 、Cu(15nm) 、Mo(15nm)、W(15nm)、Y(15nm)、Ti(15nm)、Zr(15nm) 、Hf(15nm) 、V(15nm)、Cr(15nm) 、Mn(15nm) 、Nb(15nm) 、Tc(15nm) 、Ru(15nm) 、Rh(15nm) 、Pd(15nm) 、Re(15nm) 、Os(15nm) 、Ir(15nm) 、Ta(15nm) 、Pt(15nm)、Ta(5nm)/Ti(5nm)/Ta(5nm)、Ta(5nm)/Zr(5nm)/Ta(5nm)、Ta(5nm)/Hf(5nm)/Ta(5nm)、Zr(5nm)/Ta(5nm)/Zr(5nm)、Zr(5nm)/Hf(5nm)/Zr(5nm)、Ti(5nm)/Zr(5nm)/Ta(5nm)、
上シールド層 厚さ1μmのCo89Zr4Ta4Cr3
絶縁層 厚さ30nmのアルミナ
縦バイアス層 Cr(10nm)/Co74、5Cr10、5Pt15(25nm)
下ギャップ層 なし
上ギャップ層 なし
上部層 なし
このヘッドを図11のような記録再生一体型ヘッドに加工およびスライダ加工し、CoCrTa系媒体上にデータを記録再生した。この際、書き込みトラック幅は3μm、書き込みギャップは0.2μm、読み込みトラック幅は2μmとした。TMR素子部の加工にはI線を用いたフォトレジスト工程、およびミリング工程を用いた。書き込みヘッド部のコイル部作成時のフォトレジスト硬化工程は250℃、2時間とした。
2…下ギャップ層
3…フリー層
4…バリア層
5…固定層
6…固定する層
7…上部層、保護層8…フリー層
9…縦バイアス層
17…上電極層
18…上ギャップ層
19、12…上シールド層
20…磁気抵抗効果膜
22…下部導電層
25…シールド型磁気抵抗効果素子
30…磁気抵抗効果センサ
40…基板
41…コイル
42…基体
43…磁極
44…上磁極4
5…再生ヘッド
46…ABS 面
50…記録ヘッド
51…再生ヘッド
52…ヘッドスライダーを兼ねる基板
53…記録媒体
54…媒体からの漏れ磁界
55…記録ヘッド
60…下電極用穴部
61…磁気ヘッド70…電極端子
72…ベース
73…ヘッド駆動回路
74…信号処理回路
75…入出力インターフェイス
76…バスライン
77…ロータリーアクチュエータ
78…ディスク回転用スピンドル直結モータ
80…磁気ディスク
100…ディスク装置
Claims (6)
- フリー層とバリア層と固定層とがこの順で形成され、前記フリー層に縦バイアスを印加する縦バイアス層を有するシールド型トンネリング磁気抵抗効果素子であって、
前記フリー層と前記固定層の幅をABS面に投影した場合の各層の幅が前記固定層の幅よりも前記フリー層の幅の方が広く、
前記縦バイアス層の端部近傍で、前記フリー層パターンと縦バイアス層とが接しており、
かつ下シールドがアモルファス材料もしくは微結晶材料からなることを特徴とするトンネリング磁気抵抗効果センサ。 - 前記下シールドに用いる微結晶の結晶粒径が6.2nm以下であることを特徴とする、請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。
- フリー層とバリア層と固定層とがこの順で形成され、前記フリー層に縦バイアスを印加する縦バイアス層を有するシールド型トンネリング磁気抵抗効果素子であって、
前記フリー層と前記固定層の幅をABS面に投影した場合の各層の幅が前記固定層の幅よりも前記フリー層の幅の方が広く、
前記縦バイアス層の端部近傍で、前記フリー層パターンと縦バイアス層とが接しており、
且つ下部導電層がTa、Ti、Zr、Hf、Ru、Rh、Tc、Os、Y、Re、Nb、V、W、Cr、Mn、Pd、Ir、Mo、Ptの単層もしくは積層からなる、アモルファスもしくは微結晶からなることを特徴とするトンネリング磁気抵抗効果センサ。 - 前記下部導電層を形成する微結晶の結晶粒径が5.4nm以下であることを特徴とする請求項3記載の磁気抵抗効果センサ。
- 請求項1乃至4の何れか一項に記載のトンネリング磁気抵抗効果センサと,該トンネリング磁気抵抗センサを通る電流を生じる手段と,検出される磁界の関数として上記トンネリング磁気抵抗効果センサの抵抗率変化を検出する手段とを備えた事を特徴とする磁気抵抗検出システム。
- データ記録のための複数個のトラックを有する磁気記憶媒体と,磁気記憶媒体上にデータを記憶させるための磁気記録システムと、請求項5記載の磁気抵抗検出システムと、磁気記録システムおよび磁気抵抗検出システムを前記磁気記憶媒体の選択されたトラックへ移動させるために、磁気記録システム及び磁気抵抗変換システムとに結合されたアクチュエータ手段とからなる磁気記憶システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005081789A JP2005197764A (ja) | 2005-03-22 | 2005-03-22 | 磁気抵抗効果センサ、磁気抵抗検出システム、および磁気記憶システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005081789A JP2005197764A (ja) | 2005-03-22 | 2005-03-22 | 磁気抵抗効果センサ、磁気抵抗検出システム、および磁気記憶システム |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000142527A Division JP2001325704A (ja) | 2000-05-15 | 2000-05-15 | 磁気抵抗効果センサ、磁気抵抗効果センサの製造方法、磁気抵抗検出システム、および磁気記憶システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005197764A true JP2005197764A (ja) | 2005-07-21 |
Family
ID=34824883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005081789A Pending JP2005197764A (ja) | 2005-03-22 | 2005-03-22 | 磁気抵抗効果センサ、磁気抵抗検出システム、および磁気記憶システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005197764A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7969693B2 (en) | 2006-09-21 | 2011-06-28 | Alps Electric Co., Ltd. | Tunnel magnetoresistive sensor in which at least part of pinned layer is composed of CoFeB layer and method for manufacturing the tunnel magnetoresistive sensor |
US8045300B2 (en) | 2007-03-14 | 2011-10-25 | Tdk Corporation | Tunneling magnetic sensing element and method for producing same |
JP2020038742A (ja) * | 2018-09-04 | 2020-03-12 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2020038743A (ja) * | 2018-09-04 | 2020-03-12 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10163545A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法 |
JPH11316919A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-16 | Hitachi Ltd | スピントンネル磁気抵抗効果型磁気ヘッド |
JP2000106462A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-04-11 | Toshiba Corp | 磁気素子とそれを用いた磁気メモリおよび磁気センサ |
-
2005
- 2005-03-22 JP JP2005081789A patent/JP2005197764A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10163545A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法 |
JPH11316919A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-16 | Hitachi Ltd | スピントンネル磁気抵抗効果型磁気ヘッド |
JP2000106462A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-04-11 | Toshiba Corp | 磁気素子とそれを用いた磁気メモリおよび磁気センサ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7969693B2 (en) | 2006-09-21 | 2011-06-28 | Alps Electric Co., Ltd. | Tunnel magnetoresistive sensor in which at least part of pinned layer is composed of CoFeB layer and method for manufacturing the tunnel magnetoresistive sensor |
US8045300B2 (en) | 2007-03-14 | 2011-10-25 | Tdk Corporation | Tunneling magnetic sensing element and method for producing same |
JP2020038742A (ja) * | 2018-09-04 | 2020-03-12 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2020038743A (ja) * | 2018-09-04 | 2020-03-12 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP7068109B2 (ja) | 2018-09-04 | 2022-05-16 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP7071900B2 (ja) | 2018-09-04 | 2022-05-19 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6798626B2 (en) | Magnetoresistive effect element having a ferromagnetic tunnel junction film with an oxide or nitride of a metallic material | |
US6724585B2 (en) | Magnetoresistive element and device utilizing magnetoresistance effect | |
US6114850A (en) | Magnetoresistance effect element, and magnetoresistance effect sensor and magnetic information recording and playback system using same | |
KR100456197B1 (ko) | 자기저항 효과 센서, 자기저항 효과 센서의 제조 방법,자기저항 검출 시스템 및 자기 저장 시스템 | |
JP3114683B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法、ならびにこの磁気抵抗効果素子を用いた磁気抵抗効果センサ,磁気抵抗検出システムおよび磁気記憶システム | |
US7064936B2 (en) | Magnetoresistance effect device | |
JP2001176027A (ja) | 磁気抵抗効果ヘッド及びこれを用いた磁気記憶装置 | |
JP2000215415A (ja) | 磁気抵抗効果素子 | |
JP3446720B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、その製造方法、及びそれを用いた磁気記録装置 | |
JP2000228004A (ja) | 磁気抵抗効果素子、再生ヘッド、および記録再生システム | |
JPH11161921A (ja) | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法 | |
JPH1174121A (ja) | 磁気抵抗効果膜並びにこれを利用した磁気抵抗効果センサ及び磁気記憶装置 | |
JP3367477B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果ヘッド及び磁気抵抗検出システム並びに磁気記憶システム | |
JP2005197764A (ja) | 磁気抵抗効果センサ、磁気抵抗検出システム、および磁気記憶システム | |
US6552882B1 (en) | Information reproduction head apparatus and information recording/reproduction system | |
JP2000293823A (ja) | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法、磁気抵抗効果ヘッド並びに磁気記録再生装置 | |
JP2001056908A (ja) | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果ヘッド及び磁気抵抗検出システム並びに磁気記憶システム | |
JP2002141583A (ja) | 磁気抵抗効果素子、再生ヘッド、および記録再生システム | |
JP3204223B2 (ja) | 情報再生ヘッド装置及び情報記録再生システム | |
JP2950284B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、並びにこれを用いた磁気抵抗効果センサ、磁気抵抗検出システム及び磁気記憶システム | |
JP2993483B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子の製造方法、及び磁気抵抗効果センサ | |
JP2000076623A (ja) | 強磁性トンネル結合素子、磁気センサ及び磁気記憶システム | |
JP2001298227A (ja) | 強磁性トンネル接合素子、磁気センサ及び磁気記憶システム | |
JP2005191577A (ja) | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果ヘッド、磁気抵抗変換システム及び磁気記録システム | |
JP2000163716A (ja) | 強磁性トンネル接合素子、再生ヘッド、および記録再生システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20070119 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070420 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20080613 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20090511 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100323 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100325 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100727 |