JP2005197600A - 半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 処理容器にミスト流路を設け、またミストを発生させるためのミスト発生手段と、ここで発生したミストを前記ミスト流路に通流させるためのキャリアガス供給部とを設ける。そしてミスト流路により冷却されることになる部位の温度を温度センサで検出し、温度検出値が所定温度を越えたときに前記ミスト流路に例えば水のミストを流入させ、その気化熱によって処理容器を冷却する。このため速やかに処理容器の温度が降温し、安定した温度雰囲気でプラズマ処理することができる。
【選択図】 図2
Description
(実験例1)
既述したプラズマ処理装置のアンテナ本体42に設けられた温度センサ49を用いて、処理容器2の上面部の温度センサ49が設けられている部位において、ヒータ38、48をオンにして120℃に加熱し、ミスト流路5に空気(比較例1)又はミストを含んだ空気(実施例1)を種々の流量で通流させたときの定常状態になる温度を調べた。また同様に、加熱温度が180℃である場合についてもミスト流路5に空気(比較例2)又はミストを含んだ空気(実施例2)を通流させたときの定常状態になる温度を調べた。その結果を図8に示す。図8中の縦軸は温度[℃]、横軸は流量[l/min]である。図8から分かるように、当該流路に50l/minの空気又はミストを含む空気を通流させた場合、ミストを含んだ空気の方が降温の効果が大きいことが理解できる。
(実験例2)
既述したプラズマ処理装置を構成する処理容器2の上面部に設けられた流路に空気50l/minにミスト1g/minを含ませて、これを通流させ、処理容器2の上面部の4箇所(TC1〜TC4)の温度変化を調べた。これを実施例3とし、図9(a)に結果を示す。図9(a)中の縦軸は温度[℃]であり、横軸は時間[min]である。
3 断熱部材
41 アンテナ部
42 アンテナ本体
49 温度センサ
5 第1のミスト流路
51 流入路
52 排出路
53 第2のミスト流路
54 流入路
55 排出路
6 第1のミスト供給部
61 第2のミスト供給部
62 ガス供給部
63 流量調整部
64 ミスト発生手段
65 気液分離部
66 回収液貯槽部
7 制御部
Claims (10)
- 半導体装置製造用の基板を処理するための半導体製造装置において、
装置構成部材を冷却するためのミスト流路と、
このミスト流路に接続され、ミストを発生させるためのミスト発生手段と、
前記ミスト流路に接続され、前記ミスト発生手段で発生したミストを前記ミスト流路に通流させるためのキャリアガス供給部と、
前記ミスト流路に流入したミストの気化熱によって、装置構成部材に発生した熱を奪って冷却することを特徴とする半導体製造装置。 - 装置構成部材は基板を処理するための処理容器であることを特徴とする請求項1記載の半導体製造装置。
- 処理容器内で基板に対して行われる処理は、プラズマによる処理であることを特徴とする請求項2記載の半導体製造装置。
- 前記ミスト流路により冷却される部位を加熱するためのヒータを備え、このヒータは、少なくともプラズマが発生していないときにはオンになっていることを特徴とする請求項3記載の半導体製造装置。
- ミスト流路により冷却される部位の温度を検出する温度検出部と、この温度検出部の温度検出値が設定値以上のときにミスト流路にミストを供給するための制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の半導体製造装置。
- 制御部は、温度検出部の温度検出値が設定値以下のときには、キャリアガスの供給を停止するための制御信号を出力することを特徴とする請求項5記載の半導体製造装置。
- 温度検出部の温度検出値が設定値以下のときであってもキャリアガスはミスト流路を通流していることを特徴とする請求項5記載の半導体製造装置。
- 制御部は、ミストがミスト流路を通流しているときに、温度検出部からの温度検出値に基づいて、ミストの流量及びキャリアガスの流量の少なくとも一方を制御する機能を備えたことを特徴とする請求項5ないし7のいずれか一つに記載の半導体製造装置。
- 処理容器は、加熱炉の中に設けられていて基板を加熱して所定の処理を行うためのものであり、
ミスト流路は、処理容器と加熱炉との間の隙間により形成されており、
処理された基板を処理容器から搬出する前にミスト流路にミストを通流して処理容器内を冷却することを特徴とする請求項2記載の半導体製造装置。 - ミスト流路を通流したミストを液体として回収するミスト回収部を備え、ミスト発生部は、前記ミスト回収部で回収された液体からミストを発生させることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか一つに記載の半導体製造装置。
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