JP2005187319A - 合成石英ガラス製造用バーナー及び合成石英ガラスインゴットの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【効果】 本発明によれば、エキシマレーザー、特にはArFエキシマレーザー用に使用される光学用高均質合成石英ガラス部材用途、耐レーザー性に強い光学部材用途、あるいはその他エキシマレーザー等の光源が用いられる光学部材用途、紫外線用光ファイバー用途等に用いられる素材となる合成石英ガラスインゴットを提供することができる。
【選択図】 なし
Description
即ち、本発明者らは、上述した合成石英ガラスインゴットの有効部分を合成石英ガラスインゴットの全面領域まで広げることを狙ったものである。この合成石英ガラスインゴットの初期透過率を決定する製法因子は、直接火炎法を構成する重要要素であるバーナー(構造、セット状態)及びそこへ供給する原料シラン化合物、水素等の可燃性ガス、酸素等の支燃性ガス、これらのガスバランスによってほぼ決定される。これらの中でも特にバーナーの構造に依存するところが大変大きいことが判った。
請求項1:
シリカ原料化合物を供給する中心管、この中心管を囲繞し、支燃性ガスを供給する第1の包囲管、この第1の包囲管を囲繞し、可燃性ガスを供給する第2の包囲管を備えた少なくとも三重管構造を有する多重管と、この多重管を囲繞し、可燃性ガスを供給する外殻管と、この外殻管内に配設され、支燃性ガスを供給する複数のノズルから構成される主バーナーにおいて、該主バーナーの少なくとも先端口部側を包囲する二重管を設けるように構成してなることを特徴とする合成石英ガラス製造用バーナー。
請求項2:
二重管が外側管とその内側に配設された内側管とからなり、上記外側管が上記主バーナーの先端口部を包囲してこれより前方に突出していると共に、内側管の先端部が、該主バーナーの先端口部と同一位置又はこれより後部位置にあることを特徴とする請求項1記載の合成石英ガラス製造用バーナー。
請求項3:
該主バーナーを包囲する二重管内が、支燃性ガス通路として形成されたことを特徴とする請求項1又は2記載の合成石英ガラス製造用バーナー。
請求項4:
前記外殻管内に配設される複数のノズルのガス噴出し部の総断面積(ノズルの中空部における断面積の総和)が、多重管と外殻管との間のガス噴出し部の断面積(多重管と外殻管との間の中空部における断面積(第1のノズルが配設されていないとした場合の多重管と外殻管との間の中空部総面積))に占める比率として5〜20%である請求項1,2又は3記載の合成石英ガラス製造用バーナー。
請求項5:
シリカ原料化合物を供給する中心管、この中心管を囲繞し、支燃性ガスを供給する第1の包囲管、この第1の包囲管を囲繞し、可燃性ガスを供給する第2の包囲管を備えた少なくとも三重管構造を有する多重管と、この多重管を囲繞し、可燃性ガスを供給する外殻管と、この外殻管内に配設され、支燃性ガスを供給する複数のノズルから構成される主バーナー、及び該主バーナーの少なくとも先端口部側を包囲する二重管を設けた合成石英ガラス製造用バーナーを、回転する基体上に取り付けられた石英ガラス製ターゲットに向けて配設し、上記バーナーの中心管よりシリカ原料化合物を供給すると共に、第1の包囲管及びノズルから支燃性ガスを供給し、第2の包囲管及び外殻管から可燃性ガスを供給し、かつ二重管から支燃性ガスを供給し、上記支燃性ガスと可燃性ガスとから形成される酸水素火炎によってシリカ原料化合物を気相加水分解又は酸化分解することで得られるシリカ微粒子を上記ターゲット上に堆積させ、これを溶融ガラス化することを特徴とする合成石英ガラスインゴットの製造方法。
請求項6:
シリカ原料化合物がシラン又はシロキサン化合物であり、支燃性ガスが酸素であり、可燃性ガスが水素であり、バーナーに供給するシリカ原料化合物と酸素との割合として、シリカ原料化合物が酸素量論量の1.3倍モル以上であると共に、バーナーに供給するシリカ原料化合物と水素が必要とする酸素量論量に対する実酸素量のモル比が0.6〜1.3である請求項5記載の製造方法。
請求項7:
二重管から流通させる支燃性ガスの流速が0.5〜1.3m/secである請求項5又は6記載の製造方法。
請求項8:
インゴットの直径が150mm以上である請求項5,6又は7記載の製造方法。
即ち、従来のバーナー構造に対し、主バーナーの外殻管の周りに二重管を設けることで、合成石英ガラスインゴットを直接火炎法にて製造する際、インゴット成長面の中心部から外周部にかけての溶融面温度分布を見ると、中心部の高温領域が外周部まで拡がり均一な状態になる。これによりインゴット成長溶融面上のシリカ微粒子の堆積・溶融・ガラス化過程でのシリカ構造が中心部から外周部にかけて同一条件下で形成されることになり、インゴット外周部の初期透過率を中心部より低下させずに外周部の初期透過率と中心部の初期透過率との差を極力抑えることが可能になった。また、同時に溶融面積が広がることにより合成石英ガラスインゴットを大口径化することが可能になったものである。
(R1)nSi(OR2)4-n (1)
(式中、R1、R2はそれぞれ同一又は異種の脂肪族一価炭化水素基、水素原子又はハロゲン原子を示し、nは0〜4の整数を示す。)
上記第1の包囲管を流れる支燃性ガス流量は0.3〜2.5Nm3/hr、第2の包囲管を流れる可燃性ガス流量は12〜15Nm3/hr、外殻管を流れる可燃性ガス流量は20〜25Nm3/hr、ノズルを流れる支燃性ガスの総流量は10〜16Nm3/hr、また、上記二重管には支燃性ガス流量2〜5Nm3/hrにおいて供給することが好ましく、そのガス流速は0.5〜1.3m/secとすることが好ましい。
内部透過率:紫外分光光度法により測定した(バリアン社製、Cary400)。
原料としてメチルトリメトキシシランを本発明の合成石英ガラス製造用バーナー(図1)と従来型の合成石英ガラス製造用バーナー(図3)に供給し、酸水素火炎にて酸化又は燃焼分解させてシリカ微粒子を生成させ、これを回転している石英製ターゲット上に堆積すると同時に溶融ガラス化して合成石英ガラス部材を得た。
2 中心管
3 第1の包囲管
4 第2の包囲管
5 外殻管
6 ノズル
7 主バーナー
8 石英製二重管
9 石英製二重管外側管
10 石英製二重管の内側管
11 耐熱性基材
12 合成石英ガラス製ターゲット
13 原料蒸発器
14 メチルトリメトキシシラン
15 アルゴンガス
16 酸素ガス
17 主バーナー
18 酸素ガス
19 水素ガス
20 水素ガス
21 酸素ガス
22 酸素ガス
23 酸水素火炎
24 シリカ微粒子
25 合成石英ガラスインゴット
Claims (8)
- シリカ原料化合物を供給する中心管、この中心管を囲繞し、支燃性ガスを供給する第1の包囲管、この第1の包囲管を囲繞し、可燃性ガスを供給する第2の包囲管を備えた少なくとも三重管構造を有する多重管と、この多重管を囲繞し、可燃性ガスを供給する外殻管と、この外殻管内に配設され、支燃性ガスを供給する複数のノズルから構成される主バーナーにおいて、該主バーナーの少なくとも先端口部側を包囲する二重管を設けるように構成してなることを特徴とする合成石英ガラス製造用バーナー。
- 二重管が外側管とその内側に配設された内側管とからなり、上記外側管が上記主バーナーの先端口部を包囲してこれより前方に突出していると共に、内側管の先端部が、該主バーナーの先端口部と同一位置又はこれより後部位置にあることを特徴とする請求項1記載の合成石英ガラス製造用バーナー。
- 該主バーナーを包囲する二重管内が、支燃性ガス通路として形成されたことを特徴とする請求項1又は2記載の合成石英ガラス製造用バーナー。
- 前記外殻管内に配設される複数のノズルのガス噴出し部の総断面積(ノズルの中空部における断面積の総和)が、多重管と外殻管との間のガス噴出し部の断面積(多重管と外殻管との間の中空部における断面積(第1のノズルが配設されていないとした場合の多重管と外殻管との間の中空部総面積))に占める比率として5〜20%である請求項1,2又は3記載の合成石英ガラス製造用バーナー。
- シリカ原料化合物を供給する中心管、この中心管を囲繞し、支燃性ガスを供給する第1の包囲管、この第1の包囲管を囲繞し、可燃性ガスを供給する第2の包囲管を備えた少なくとも三重管構造を有する多重管と、この多重管を囲繞し、可燃性ガスを供給する外殻管と、この外殻管内に配設され、支燃性ガスを供給する複数のノズルから構成される主バーナー、及び該主バーナーの少なくとも先端口部側を包囲する二重管を設けた合成石英ガラス製造用バーナーを、回転する基体上に取り付けられた石英ガラス製ターゲットに向けて配設し、上記バーナーの中心管よりシリカ原料化合物を供給すると共に、第1の包囲管及びノズルから支燃性ガスを供給し、第2の包囲管及び外殻管から可燃性ガスを供給し、かつ二重管から支燃性ガスを供給し、上記支燃性ガスと可燃性ガスとから形成される酸水素火炎によってシリカ原料化合物を気相加水分解又は酸化分解することで得られるシリカ微粒子を上記ターゲット上に堆積させ、これを溶融ガラス化することを特徴とする合成石英ガラスインゴットの製造方法。
- シリカ原料化合物がシラン又はシロキサン化合物であり、支燃性ガスが酸素であり、可燃性ガスが水素であり、バーナーに供給するシリカ原料化合物と酸素との割合として、シリカ原料化合物が酸素量論量の1.3倍モル以上であると共に、バーナーに供給するシリカ原料化合物と水素が必要とする酸素量論量に対する実酸素量のモル比が0.6〜1.3である請求項5記載の製造方法。
- 二重管から流通させる支燃性ガスの流速が0.5〜1.3m/secである請求項5又は6記載の製造方法。
- インゴットの直径が150mm以上である請求項5,6又は7記載の製造方法。
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