JP2005167108A - 積層型電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも導電性粉末と熱分解性を有する樹脂粒子を含有した導電性ペーストを使用してセラミック層上に内部電極5aとなるべき導電層を形成すると共に、導電層が形成されたセラミック層を積層して積層体を作製する。そして、酸素含有量が0.1〜10体積%の低酸素雰囲気で前記積層体に焼成処理を施し、セラミック素体1と内部電極5aとの界面に空隙4a、4a′を形成する。
【選択図】図3
Description
(2)樹脂粒子の含有量が、導電性粒子の含有量に対し体積比率で0.5〜1.0
(3)樹脂粒子及び導電性粒子の含有量総計が、体積%で30〜60vol%
(4)導電性粒子及び樹脂粒子の粒子形状が略球形状であって、長軸に対する短軸の比率が共に0.7〜1.0
(5)導電性粒子の50%径D50が1.0〜4.0μm、樹脂粒子の50%径D50が0.25〜6.0μm
(6)導電性粒子及び樹脂粒子の粒度分布が、共にD10≧D50/2、D90≦2D50
次に、上記(1)〜(6)について詳述する。
比重の軽い樹脂粒子を導電性粒子と混合させることにより成形密度が下がるため、内部導体の収縮量を大きくすることができ、これにより内部導体とセラミック素体との間に空隙を形成することができるが、樹脂粒子の50%径D50が導電性粒子の50%径D50に対し0.25未満になると、樹脂粒子の粒径が導電性粒子の粒径に対して相対的に小さくなりすぎ、このため樹脂粒子が導電性粒子の隙間に入り込んで成形密度を下げることができず、所望の高収縮を得ることができない。
樹脂粒子の含有量が、導電性粒子に対し体積比率で0.5未満になると、導電性ペースト中に含有される樹脂粒子も過度に少なくなり、上記(1)と同様、成形密度を下げることができず、所望の高収縮を得ることができない。
導電性ペーストは、導電性粒子と樹脂粒子と有機ビヒクルとから構成されるが、固形分である樹脂粒子及び導電性粒子の含有量総計が60vol%を超えると有機ビヒクルの含有量が少なくなりすぎてペースト状とすることができない。
成形密度を下げて収縮量を大きくする観点からは、導電性粒子と樹脂粒子の粒子形状は共に球形状であって、長軸に対する短軸の比率(以下、この比率を「真球度」という)は1.0であるのが望ましいが、導電性粒子と樹脂粒子の真球度を全て1.0とするのは現状では生産技術的に困難である。
内部導体5の連続性を考慮すると、導電性粒子は内部導体5中に均一に分散させるのが好ましいが、導電性粒子の50%径D50が1.0μm未満になると導電性粒子が微細になりすぎて凝集し、均一に分散し難くなり、また焼成処理で導電性粒子が拡散し易くなる。一方、導電性粒子の50%径D50が4.0μmを超えると内部導体5の厚み方向に導電性粒子のみ又は樹脂粒子のみが配されたり、或いは導電性粒子或いは樹脂粒子の一方が極端に少ない部分が生じ、均一な分散が損なわれ、このため所望の高収縮が得られなかったり、内部導体5の連続性が低下する。
粒度分布が広い場合は、大きな粒子間に小さな粒子が容易に入り込み、成形密度が増加して高収縮を得ることができなくなる。すなわち、導電性粒子及び樹脂粒子の粒度分布は狭い範囲で揃っているのが好ましく、斯かる観点から本実施の形態では、導電性粒子及び樹脂粒子の粒度分布が、D10≧D50/2、D90≦2D50となるようにしている。
本発明者らは、Fe2O3が49.0mol、ZnOが29.0mol、NiOが14.0mol、CuOが8.0molとなるようにFe2O3、ZnO、NiO、及びCuOを秤量し、さらにBi2O3が0.25wt%、Mn3O4が0.15wt%となるようにBi2O3、Mn3O4を秤量した。
酸素含有量を5vol%、焼成温度を850℃とした以外は、実施例1と同様の方法・手順で実施例2の積層型インダクタを作製した。
酸素含有量を10.0vol%、焼成温度を860℃とした以外は、実施例1と同様の方法・手順で実施例3の積層型インダクタを作製した。
酸素含有量を0.1vol%、焼成温度を830℃とした以外は、実施例1と同様の方法・手順で実施例4の積層型インダクタを作製した。
酸素含有量を0.01vol%、焼成温度を820℃とした以外は、実施例1と同様の方法・手順で実施例5の積層型インダクタを作製した。
焼成温度を870℃、保持時間を30分とした以外は、実施例1と同様の方法・手順で実施例6の積層型インダクタを作製した。
焼成温度を870℃とした以外は、実施例1と同様の方法・手順で実施例7の積層型インダクタを作製した。
酸素含有量を20.7vol%(大気雰囲気)、焼成温度を870℃とした以外は、実施例1と同様の方法・手順で比較例1の積層型インダクタを作製した。
酸素含有量を20.7vol%(大気雰囲気)とした以外は、実施例1と同様の方法・手順で比較例2の積層型インダクタを作製した。
酸素含有量を0.001vol%、焼成温度を820℃とした以外は、実施例1と同様の方法・手順で比較例3の積層型インダクタを作製した。
酸素含有量を15.0vol%、焼成温度を870℃とした以外は、実施例1と同様の方法・手順で比較例4の積層型インダクタを作製した。
Ag粒子の含有量が33.7vol%、有機ビヒクルの含有量が66.3vol%となるように、Ag粒子及び有機ビヒクルを秤量した後、Ag粒子を有機ビヒクルに混ぜて3本ロールミルで十分に混練し、PMMA樹脂(樹脂粒子)を含有しない導電性ペーストを作製した。
比較例5の導電性ペーストを使用して実施例1と同様の方法・手順で磁性体シートを作製し、酸素含有量を20.7vol%(大気雰囲気)、温度840℃で90分間保持して焼成処理を行ない、比較例6の積層型インダクタを作製した。
比較例5の導電性ペーストを使用して実施例1と同様の方法・手順で磁性体シートを作製した以外は、実施例1と同様の方法・手順で比較例7の積層型インダクタを作製した。
比較例5の導電性ペーストを使用して実施例1と同様の方法・手順で磁性体シートを作製し、焼成温度を870℃とした以外は、実施例1と同様の方法・手順で比較例8の積層型インダクタを作製した。
4 空隙
4′ 空隙
5 内部導体(内部導体)
Claims (6)
- 内部導体となるべき導電層とセラミック層とを交互に積層して積層体を形成した後、該積層体に焼成処理を施してセラミック素体を作製し、前記セラミック素体内部に内部導体を具備した積層型電子部品を製造する積層型電子部品の製造方法において、
前記セラミック層を構成するセラミック材料よりも熱収縮する導電性ペーストを使用して前記導電層を形成すると共に、前記焼成処理を酸素含有量が体積%で0.1〜10%の低酸素雰囲気で行い、前記セラミック素体と前記内部導体との界面に空隙を形成することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 前記導電性ペーストが、少なくとも導電性粒子と熱分解性を有する樹脂粒子とを含有することを特徴とする請求項1記載の積層型電子部品の製造方法。
- 積算ふるい上分布で前記樹脂粒子の50%径D50が、前記導電性粒子の50%径D50に対し0.25〜1.50であり、前記樹脂粒子の含有量が前記導電性粒子の含有量に対し体積比率で0.5〜1.0であることを特徴とする請求項2記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記樹脂粒子及び前記導電性粒子の含有量総計が体積%で30〜60%であることを特徴とする請求項2又は請求項3記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記導電性粒子及び前記樹脂粒子の粒子形状は略球形状であって、長軸に対する短軸の比率が共に0.7〜1.0であることを特徴とする請求項2乃至請求項4のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記導電性粒子の50%径D50が1.0〜4.0μmであって、前記樹脂粒子の50%径D50が0.25〜6.0μmであり、
かつ、積算ふるい上分布で前記導電性粒子及び前記樹脂粒子の10%径D10が、共に前記50%径D50に対し0.5以上であり、前記導電性粒子及び前記樹脂粒子の90%径D90が、共に前記50%径D50に対し2.0以下であることを特徴とする請求項2乃至請求項5のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021125596A (ja) * | 2020-02-06 | 2021-08-30 | 株式会社村田製作所 | 積層コイル部品 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63275814A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-14 | Koyo Seiko Co Ltd | ラジアル磁気軸受の制御装置 |
JPH02122511A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-10 | Taiyo Yuden Co Ltd | 積層セラミックコンデンサとその製造方法 |
JPH02122598A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-10 | Taiyo Yuden Co Ltd | セラミック多層配線基板とその製造方法 |
JPH0465807A (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-02 | Tdk Corp | 積層型インダクタおよび積層型インダクタの製造方法 |
JPH0620014B2 (ja) * | 1988-10-31 | 1994-03-16 | 太陽誘電株式会社 | 積層チップインダクタとその製造方法 |
JPH07326537A (ja) * | 1994-05-30 | 1995-12-12 | Murata Mfg Co Ltd | セラミック積層電子部品の製造方法 |
JP2001035747A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-09 | Taiyo Yuden Co Ltd | 積層セラミックコンデンサ |
JP2002329638A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-15 | Kyocera Corp | 積層型電子部品およびその製法 |
JP2003323816A (ja) * | 2002-05-01 | 2003-11-14 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 導体組成物 |
JP3956136B2 (ja) * | 2002-06-19 | 2007-08-08 | 株式会社村田製作所 | 積層型インダクタの製造方法 |
JP4020131B2 (ja) * | 2002-06-19 | 2007-12-12 | 株式会社村田製作所 | 積層型電子部品 |
JP4403488B2 (ja) * | 2002-06-20 | 2010-01-27 | 株式会社村田製作所 | 導電性ペースト及び積層型電子部品 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6029629A (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-15 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 半導体容量形圧力センサ |
-
2003
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63275814A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-14 | Koyo Seiko Co Ltd | ラジアル磁気軸受の制御装置 |
JPH02122511A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-10 | Taiyo Yuden Co Ltd | 積層セラミックコンデンサとその製造方法 |
JPH02122598A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-10 | Taiyo Yuden Co Ltd | セラミック多層配線基板とその製造方法 |
JPH0620014B2 (ja) * | 1988-10-31 | 1994-03-16 | 太陽誘電株式会社 | 積層チップインダクタとその製造方法 |
JPH0465807A (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-02 | Tdk Corp | 積層型インダクタおよび積層型インダクタの製造方法 |
JPH07326537A (ja) * | 1994-05-30 | 1995-12-12 | Murata Mfg Co Ltd | セラミック積層電子部品の製造方法 |
JP2001035747A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-09 | Taiyo Yuden Co Ltd | 積層セラミックコンデンサ |
JP2002329638A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-15 | Kyocera Corp | 積層型電子部品およびその製法 |
JP2003323816A (ja) * | 2002-05-01 | 2003-11-14 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 導体組成物 |
JP3956136B2 (ja) * | 2002-06-19 | 2007-08-08 | 株式会社村田製作所 | 積層型インダクタの製造方法 |
JP4020131B2 (ja) * | 2002-06-19 | 2007-12-12 | 株式会社村田製作所 | 積層型電子部品 |
JP4403488B2 (ja) * | 2002-06-20 | 2010-01-27 | 株式会社村田製作所 | 導電性ペースト及び積層型電子部品 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021125596A (ja) * | 2020-02-06 | 2021-08-30 | 株式会社村田製作所 | 積層コイル部品 |
JP7230837B2 (ja) | 2020-02-06 | 2023-03-01 | 株式会社村田製作所 | 積層コイル部品 |
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