JP2005166614A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 収束レンズの設定値を複数変化させ、一次電子ビームの電流量を変化させることで、分解能とSN比が異なる複数の画像31,32,33を取得し、各画像及びその分解能又はSN比を比較できるように表示し、表示画面上で最適な画質の画像の選択、あるいは最適な画像になるように調整をする。
【選択図】 図4
Description
Claims (7)
- 電子銃と、前記電子銃から放出される一次電子ビームを収束する収束レンズと、前記一次電子ビームを試料上に走査する偏向器と、前記一次電子ビームを試料上に合焦する対物レンズと、前記一次電子ビームの照射により試料から発生する二次信号を検出する検出器と、前記二次信号を試料画像として表示する手段とを含む走査電子顕微鏡において、
前記収束レンズの制御設定値を複数の値に変化させる手段と、前記複数の制御設定値における試料画像を記憶する手段と、前記記憶した複数の試料画像を一画面に並べて表示する手段とを備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1記載の走査電子顕微鏡において、前記試料画像に対応付けて前記収束レンズの制御設定値を記憶する手段と、前記表示された複数の試料画像の中から1枚の試料画像を選択する手段とを有し、前記収束レンズの制御設定値を選択された試料画像に対応する制御設定値に設定することを特徴とした走査電子顕微鏡。
- 請求項2記載の走査電子顕微鏡において、前記選択された試料画像に対応する収束レンズの制御設定値を基準として前記収束レンズの制御設定値を前回と異なる複数の値に変化させ、当該複数の制御設定値における複数の試料画像を再度並べて表示することを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1〜3のいずれか1項記載の走査電子顕微鏡において、取得した試料画像の分解能を測定する手段及び/又はSN比を測定する手段を有し、一方の軸が分解能及び/又はSN比を表し他方の軸が前記収束レンズの制御設定値を表すグラフにより前記複数の試料画像の分解能及び/又はSN比を比較表示することを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項4記載の走査電子顕微鏡において、前記SN比を測定する手段は、前記複数の試料画像のうち前記収束レンズの制御設定値が一次電子ビームの電流量が最も多くなる設定値である試料画像と、その他の試料画像との共分散によりSN比を求めることを特徴とする走査電子顕微鏡
- 請求項4又は5記載の走査電子顕微鏡において、前記グラフ上で前記収束レンズの制御設定値を指定する手段を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項6記載の走査電子顕微鏡において、前記指定した制御設定値を基準として前記収束レンズの制御設定値を前回と異なる複数の値に変化させ、当該複数の制御設定値における複数の試料画像を再度並べて表示することを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003407914A JP4292066B2 (ja) | 2003-12-05 | 2003-12-05 | 走査電子顕微鏡 |
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JP2007206030A (ja) * | 2006-02-06 | 2007-08-16 | Ricoh Co Ltd | 感光体性能測定装置および画像形成装置 |
JP2015149203A (ja) * | 2014-02-07 | 2015-08-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビーム装置 |
JP2020004557A (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-09 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡 |
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