JP6851345B2 - 荷電粒子線装置および画像取得方法 - Google Patents
荷電粒子線装置および画像取得方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6851345B2 JP6851345B2 JP2018099657A JP2018099657A JP6851345B2 JP 6851345 B2 JP6851345 B2 JP 6851345B2 JP 2018099657 A JP2018099657 A JP 2018099657A JP 2018099657 A JP2018099657 A JP 2018099657A JP 6851345 B2 JP6851345 B2 JP 6851345B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle beam
- charged particle
- image
- pixel
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
- G01N23/2251—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/90—Determination of colour characteristics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/22—Treatment of data
- H01J2237/221—Image processing
- H01J2237/225—Displaying image using synthesised colours
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2446—Position sensitive detectors
- H01J2237/24465—Sectored detectors, e.g. quadrants
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/24495—Signal processing, e.g. mixing of two or more signals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2803—Scanning microscopes characterised by the imaging method
- H01J2237/2804—Scattered primary beam
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
- H01J2237/2814—Measurement of surface topography
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
荷電粒子線で試料上を走査し、前記試料から放出される荷電粒子を検出して走査像を取得する荷電粒子線装置であって、
前記試料から放出される荷電粒子を検出する複数の検出部と、
前記複数の検出部から出力される複数の検出信号に基づいて、前記走査像を生成する画像処理部と、
を含み、
前記画像処理部は、
荷電粒子線の照射位置ごとに、前記複数の検出信号に基づいて、試料表面の傾斜方向および前記試料表面の傾斜角を算出する処理と、
算出された前記傾斜方向および前記傾斜角に応じて前記走査像の画素の色を決定する処理と、
を行い、
前記画像処理部は、前記傾斜方向を前記画素の色相として表し、前記複数の検出部の向きと前記色相との関係が一定となるように、荷電粒子線の走査方向に基づいて前記色相を変化させる。
このような荷電粒子線装置では、試料表面の凹凸が色で表される走査像を取得できるため、組成のコントラストと凹凸のコントラストを容易に判別できる。
荷電粒子線で試料上を走査し、前記試料から放出される荷電粒子を検出して走査像を取得する荷電粒子線装置であって、
前記試料から放出される荷電粒子を検出する複数の検出部と、
前記複数の検出部から出力される複数の検出信号に基づいて、前記走査像を生成する画像処理部と、
を含み、
前記画像処理部は、
荷電粒子線の照射位置ごとに、前記複数の検出信号に基づいて、試料表面の傾斜方向および前記試料表面の傾斜角を算出する処理と、
算出された前記傾斜方向および前記傾斜角に応じて前記走査像の画素の色を決定する処理と、
を行い、
前記画像処理部は、前記複数の検出信号の信号量の総和を算出する処理を行い、
前記傾斜方向を前記画素の色相として表し、前記傾斜角を前記画素の彩度として表し、前記複数の検出信号の信号量の総和を前記画素の明度として表す。
このような荷電粒子線装置では、試料表面の凹凸が色で表される走査像を取得できるため、組成のコントラストと凹凸のコントラストを容易に判別できる。
荷電粒子線で試料上を走査し、前記試料から放出される荷電粒子を複数の検出部で検出して走査像を取得する荷電粒子線装置における画像取得方法であって、
荷電粒子線の照射位置ごとに、前記複数の検出部から出力される複数の検出信号に基づいて、試料表面の傾斜方向および前記試料表面の傾斜角を算出する工程と、
算出された前記傾斜方向および前記傾斜角に応じて前記走査像の画素の色を決定する工程と、
を含み、
前記画素の色を決定する工程では、前記傾斜方向を前記画素の色相として表し、前記複数の検出部の向きと前記色相との関係が一定となるように、荷電粒子線の走査方向に基づいて前記色相を変化させる。
このような画像取得方法では、試料表面の凹凸が色で表される走査像を取得できるため、組成のコントラストと凹凸のコントラストを容易に判別できる。
荷電粒子線で試料上を走査し、前記試料から放出される荷電粒子を複数の検出部で検出して走査像を取得する荷電粒子線装置における画像取得方法であって、
荷電粒子線の照射位置ごとに、前記複数の検出部から出力される複数の検出信号に基づいて、試料表面の傾斜方向および前記試料表面の傾斜角を算出する工程と、
算出された前記傾斜方向および前記傾斜角に応じて前記走査像の画素の色を決定する工程と、
を含み、
前記画素の色を決定する工程では、前記複数の検出信号の信号量の総和を算出し、前記傾斜方向を前記画素の色相として表し、前記傾斜角を前記画素の彩度として表し、前記複数の検出信号の信号量の総和を前記画素の明度として表す。
このような画像取得方法では、試料表面の凹凸が色で表される走査像を取得できるため、組成のコントラストと凹凸のコントラストを容易に判別できる。
まず、本実施形態に係る走査電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る走査電子顕微鏡100の構成を示す図である。
24と、画像処理部30と、を含む。
子検出器8は、試料101から放出された反射電子を検出することができればその位置は特に限定されない。
の明度を決定する処理を行う。
まず、画像処理部30で生成される走査像について説明する。図3は、画像処理部30で生成された走査像102の一例を示している。図3において、領域Rは赤系の色の領域であり、領域Gは緑系の色の領域であり、領域Bは青系の色の領域である。なお、図3では、便宜上、各領域を区画する破線を引いたが、隣り合う領域間において色相は連続的に変化している。
次に、画像処理部30における処理を説明する。以下では、走査像は第gの画素(g=0,1,2,・・・,m−1)として表される第1〜第mの画素で構成されており、検出領域は第kの画素(k=0,1,2,3,・・・,n−1)として表される第0〜第n−1の検出領域で構成されているものとして説明する。
走査電子顕微鏡100は、例えば、以下の特徴を有する。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
Claims (9)
- 荷電粒子線で試料上を走査し、前記試料から放出される荷電粒子を検出して走査像を取得する荷電粒子線装置であって、
前記試料から放出される荷電粒子を検出する複数の検出部と、
前記複数の検出部から出力される複数の検出信号に基づいて、前記走査像を生成する画像処理部と、
を含み、
前記画像処理部は、
荷電粒子線の照射位置ごとに、前記複数の検出信号に基づいて、試料表面の傾斜方向および前記試料表面の傾斜角を算出する処理と、
算出された前記傾斜方向および前記傾斜角に応じて前記走査像の画素の色を決定する処理と、
を行い、
前記画像処理部は、前記傾斜方向を前記画素の色相として表し、前記複数の検出部の向きと前記色相との関係が一定となるように、荷電粒子線の走査方向に基づいて前記色相を変化させる、荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記画像処理部は、前記複数の検出信号の信号量の総和を算出する処理を行い、
前記傾斜角を前記画素の彩度として表し、前記複数の検出信号の信号量の総和を前記画素の明度として表す、荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線で試料上を走査し、前記試料から放出される荷電粒子を検出して走査像を取得する荷電粒子線装置であって、
前記試料から放出される荷電粒子を検出する複数の検出部と、
前記複数の検出部から出力される複数の検出信号に基づいて、前記走査像を生成する画像処理部と、
を含み、
前記画像処理部は、
荷電粒子線の照射位置ごとに、前記複数の検出信号に基づいて、試料表面の傾斜方向および前記試料表面の傾斜角を算出する処理と、
算出された前記傾斜方向および前記傾斜角に応じて前記走査像の画素の色を決定する処理と、
を行い、
前記画像処理部は、前記複数の検出信号の信号量の総和を算出する処理を行い、
前記傾斜方向を前記画素の色相として表し、前記傾斜角を前記画素の彩度として表し、前記複数の検出信号の信号量の総和を前記画素の明度として表す、荷電粒子線装置。 - 請求項2または3において、
前記画像処理部で生成された画像を表示する表示部を含み、
前記画像処理部は、前記走査像と、前記傾斜方向と前記色相との関係を示す色相環と、を前記表示部に表示させる制御を行う、荷電粒子線装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記傾斜方向および前記傾斜角を算出する処理では、
前記検出信号の信号量をベクトルの大きさとし、基準位置に対する前記検出部の方向をベクトルの向きとして、前記複数の検出部に対応する複数のベクトルの和を求め、
前記和の方向に基づき前記傾斜方向を求め、前記和の大きさに基づき前記傾斜角を求める、荷電粒子線装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記画像処理部は、荷電粒子線の走査と並行して、前記傾斜方向および前記傾斜角を算出する処理および前記画素の色を決定する処理を行う、荷電粒子線装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記複数の検出部は、光軸に関して対称に配置されている、荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線で試料上を走査し、前記試料から放出される荷電粒子を複数の検出部で検出して走査像を取得する荷電粒子線装置における画像取得方法であって、
荷電粒子線の照射位置ごとに、前記複数の検出部から出力される複数の検出信号に基づいて、試料表面の傾斜方向および前記試料表面の傾斜角を算出する工程と、
算出された前記傾斜方向および前記傾斜角に応じて前記走査像の画素の色を決定する工程と、
を含み、
前記画素の色を決定する工程では、前記傾斜方向を前記画素の色相として表し、前記複数の検出部の向きと前記色相との関係が一定となるように、荷電粒子線の走査方向に基づいて前記色相を変化させる、画像取得方法。 - 荷電粒子線で試料上を走査し、前記試料から放出される荷電粒子を複数の検出部で検出して走査像を取得する荷電粒子線装置における画像取得方法であって、
荷電粒子線の照射位置ごとに、前記複数の検出部から出力される複数の検出信号に基づいて、試料表面の傾斜方向および前記試料表面の傾斜角を算出する工程と、
算出された前記傾斜方向および前記傾斜角に応じて前記走査像の画素の色を決定する工程と、
を含み、
前記画素の色を決定する工程では、前記複数の検出信号の信号量の総和を算出し、前記傾斜方向を前記画素の色相として表し、前記傾斜角を前記画素の彩度として表し、前記複数の検出信号の信号量の総和を前記画素の明度として表す、画像取得方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018099657A JP6851345B2 (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | 荷電粒子線装置および画像取得方法 |
EP19176244.2A EP3573086A1 (en) | 2018-05-24 | 2019-05-23 | Charged particle beam apparatus and image acquisition method |
US16/420,466 US10763077B2 (en) | 2018-05-24 | 2019-05-23 | Charged particle beam apparatus and image acquisition method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018099657A JP6851345B2 (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | 荷電粒子線装置および画像取得方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019204706A JP2019204706A (ja) | 2019-11-28 |
JP6851345B2 true JP6851345B2 (ja) | 2021-03-31 |
Family
ID=66647146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018099657A Active JP6851345B2 (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | 荷電粒子線装置および画像取得方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10763077B2 (ja) |
EP (1) | EP3573086A1 (ja) |
JP (1) | JP6851345B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7323574B2 (ja) | 2021-06-03 | 2023-08-08 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置および画像取得方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2786207B2 (ja) * | 1988-08-26 | 1998-08-13 | 株式会社日立製作所 | 走査型顕微鏡における表面形状算出方法 |
JPH0765775A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-10 | Topcon Corp | 荷電粒子線装置の検出器 |
US7613335B2 (en) * | 2003-02-12 | 2009-11-03 | The University Of Iowa Research Foundation | Methods and devices useful for analyzing color medical images |
JP4276473B2 (ja) * | 2003-06-03 | 2009-06-10 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 画像作成方法及びプログラム及び記録媒体、画像作成装置、斜面ベクトル図 |
US7439977B2 (en) * | 2003-08-27 | 2008-10-21 | Komarechka Robert G | Method of displaying three-dimensional vector orientations on a two-dimensional surface |
US8604427B2 (en) * | 2012-02-02 | 2013-12-10 | Applied Materials Israel, Ltd. | Three-dimensional mapping using scanning electron microscope images |
JP6759021B2 (ja) * | 2016-09-09 | 2020-09-23 | 日本電子株式会社 | 電子検出装置及び電子顕微鏡装置 |
-
2018
- 2018-05-24 JP JP2018099657A patent/JP6851345B2/ja active Active
-
2019
- 2019-05-23 US US16/420,466 patent/US10763077B2/en active Active
- 2019-05-23 EP EP19176244.2A patent/EP3573086A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190362934A1 (en) | 2019-11-28 |
US10763077B2 (en) | 2020-09-01 |
EP3573086A1 (en) | 2019-11-27 |
JP2019204706A (ja) | 2019-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7417227B2 (en) | Scanning interference electron microscope | |
US7705304B2 (en) | Scanning electron microscope and three-dimensional shape measuring device that used it | |
JP4790567B2 (ja) | ロンチグラムを用いた収差測定方法及び収差補正方法及び電子顕微鏡 | |
US10720304B2 (en) | Charged particle beam apparatus and image acquisition method | |
JP6851345B2 (ja) | 荷電粒子線装置および画像取得方法 | |
US9779911B2 (en) | Electron microscope and method of measuring aberrations | |
JP6343508B2 (ja) | コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
CN111146062B (zh) | 电子显微镜和图像处理方法 | |
US10714308B2 (en) | Measurement method and electron microscope | |
JP7323574B2 (ja) | 荷電粒子線装置および画像取得方法 | |
JP6770482B2 (ja) | 荷電粒子線装置および走査像の歪み補正方法 | |
JP4011455B2 (ja) | 透過電子顕微鏡による試料観察方法 | |
JP4431624B2 (ja) | 荷電粒子線調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
US20230127255A1 (en) | Electron Microscope and Image Acquisition Method | |
JP7018365B2 (ja) | 荷電粒子線装置および分析方法 | |
JP2007287561A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
US20230178332A1 (en) | Method of generating a crystalline orientation map of a surface portion of a sample and computer program product | |
US20230115486A1 (en) | Charged Particle Beam System and Control Method Therefor | |
JPH0636726A (ja) | 走査形顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201208 |
|
R155 | Notification before disposition of declining of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R155 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210309 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6851345 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |