JP2005157053A - マスクおよびその作製方法、フォトマスクおよびその作製方法、並びに露光方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】異なる露光方式を用いるミックスアンドマッチ露光において、パターンの合わせ精度を向上することができるマスクおよびその作製方法、フォトマスクおよびその作製方法、並びに露光方法を提供する。
【解決手段】ステンシルマスクの位置歪のうち、偏向による補正量を越える位置歪を抽出し(ステップST24)、抽出された位置歪に合わせたパターン位置をもつフォトマスクを作製することにより(ステップST26)、ステンシルマスクのマスクパターンのうち補正量を越える位置歪を解消する。そして、ミックスアンドマッチ露光において、電子線露光時にステンシルマスクの残りの位置歪を副偏向により補正することにより、フォトマスクを用いて光露光により形成される露光パターンと、ステンシルマスクを用いて電子線露光により形成される露光パターンとが合わせられる。
【選択図】図7
【解決手段】ステンシルマスクの位置歪のうち、偏向による補正量を越える位置歪を抽出し(ステップST24)、抽出された位置歪に合わせたパターン位置をもつフォトマスクを作製することにより(ステップST26)、ステンシルマスクのマスクパターンのうち補正量を越える位置歪を解消する。そして、ミックスアンドマッチ露光において、電子線露光時にステンシルマスクの残りの位置歪を副偏向により補正することにより、フォトマスクを用いて光露光により形成される露光パターンと、ステンシルマスクを用いて電子線露光により形成される露光パターンとが合わせられる。
【選択図】図7
Description
本発明は、特に、異なる露光方式を組み合わせるミックスアンドマッチ露光に使用されるマスクおよびその作製方法、フォトマスクおよびその作製方法、並びに露光方法に関する。
近年、半導体集積回路の高集積化、チップサイズの縮小化に伴い、より微細化が重要になってきている。露光方式に関しても現在、KrF、ArFなどの光リソグラフィが中心であるが、100nm以下の線幅に対しては、光リソグラフィであればF2 リソグラフィ、またその他にも電子線露光技術、X線露光技術、EUVなど様々な露光方式が提案されている。
本来であれば光技術の延長であるF2 リソグラフィが本命になりそうではあるが、装置の硝材の問題、157nmという短波長のため空気中での吸収により今までの光学系を構成することが難しいという問題等から、次世代の技術の1候補としての位置付けで開発が進められている。
電子線露光技術としては直接描画技術に加えて、低エネルギー電子ビームを用いたリソグラフィ技術の開発が始まっている(特許文献1参照)。本方式は、2kV程度の加速電圧を用いて、等倍のステンシルマスクで近接露光するという方式で100nm以降の世代の露光技術の有力な方式として開発されている。また、4倍に縮小される電子光学系を利用し100kVの加速電圧を用いて露光するEPL技術なども開発されている。
EUVは13nmの極紫外光を用いて露光する方法で日本ではASETが中心となり開発が進められている。
LEEPL、EPLのような次世代電子線リソグラフィでは、フォトリソグラフィに用いられていた石英マスクに代わり、描画エリアであるメンブレン(薄膜)領域をSiやSiC、ダイアモンドなどで構成し、メンブレン領域に貫通孔からなるパターンを形成したステンシルマスクを用いる。電子線は、ステンシルマスクの貫通孔の部分を通り、ウエハ上に予め塗られたレジスト上に到達し、ポジ型レジストであれば電子線の描画された部分が現像液に溶解しパターンが形成される。
特許第2951947号
LEEPLのような電子線露光装置が半導体デバイス等の電子装置の露光工程に採用されると考えた場合、光露光装置が100枚以上のスループットを有するのに対し、電子線露光装置のスループットが50枚程度であることもあり、電子線露光装置と光露光装置とのミックスアンドマッチ露光になることが想定される。
従来の光リソグラフィ技術においては、相互に合わせ精度の厳しい工程では、レンズディストーションの差による影響を極力抑えるため、1台の光露光装置で全ての工程を処理することが行われていた。
しかしながら、上記したように、高解像に対する要求を満たし、かつ、経済的側面を背景とした生産性の観点からは、露光装置をミックスアンドマッチで構成して使用することが前提となり、電子線露光装置1台で全ての工程を処理することは困難である。
従って、今後、ミッスクアンドマッチ露光を採用する場合において、より高精度に重ね合わせ精度を達成する必要がある。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、異なる露光方式を用いるミックスアンドマッチ露光において、パターンの合わせ精度を向上することができるマスクおよびその作製方法、フォトマスクおよびその作製方法、並びに露光方法を提供することにある。
上記の目的を達成するため、本発明のマスクの作製方法は、電子線露光工程を経てパターン加工される層と隣接する層を加工するための露光工程に使用され、前記電子線露光工程に使用される電子線用マスクよりも要求されるパターン位置精度が緩いマスクの作製方法であって、前記電子線用マスクのマスクパターンから特定の位置歪を抽出する工程と、前記抽出された位置歪に合わせてパターン位置を歪めた前記マスクを作製する工程とを有する。
上記の本発明のマスクの作製方法では、電子線用マスクよりも要求されるパターン位置精度が緩いマスクの作製において、電子線用マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせてパターン位置を歪めたマスクを作製することにより、電子線用マスクのマスクパターンの位置歪が解消される。
上記の目的を達成するため、本発明のフォトマスクの作製方法は、電子線露光工程を経てパターン加工される層と隣接する層を加工するための光露光工程に使用されるフォトマスクの作製方法であって、前記電子線用マスクのマスクパターンから特定の位置歪を抽出する工程と、前記抽出された位置歪に合わせてパターン位置を歪めた前記フォトマスクを作製する工程とを有する。
上記の本発明のフォトマスクの作製方法では、電子線用マスクよりもフォトマスクの方が要求されるパターン位置精度が緩いことから、電子線用マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせてパターン位置を歪めたフォトマスクを作製することにより、電子線用マスクのマスクパターンの位置歪が解消される。
上記の目的を達成するため、本発明の露光方法は、第1の層の加工のために電子線用マスクを用いて電子線露光を行う第1の露光工程と、前記第1の露光工程の前あるいは後であって、前記第1の層に隣接する第2の層の加工のために、前記電子線用マスクよりも要求されるパターン位置精度が緩いマスクを用いて、前記電子線露光とは異なる方式の露光を行う第2の露光工程と、を有し、前記第2の露光工程において、前記電子線マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせたパターン配置をもつマスクを使用する。
上記の本発明の露光方法では、電子線用マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせたパターン配置をもつマスクを第2の露光工程に使用する。
従って、第1の露光工程により露光される電子線用マスクのマスクパターンと、第2の露光工程により露光されるマスクのマスクパターンとの合わせずれが解消される。
従って、第1の露光工程により露光される電子線用マスクのマスクパターンと、第2の露光工程により露光されるマスクのマスクパターンとの合わせずれが解消される。
上記の目的を達成するため、本発明の露光方法は、第1の層の加工のために前記電子線用マスクを用いて電子線露光を行う電子線露光工程と、前記電子線露光工程の前あるいは後であって、前記第1の層に隣接する第2の層の加工のためにフォトマスクを用いて光露光を行う光露光工程と、を有し、前記光露光工程において、前記電子線用マスクのマスクパターンから抽出した特定の位置歪に合わせてパターン位置を歪めたフォトマスクを使用する。
上記の本発明の露光方法では、電子線用マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせたパターン配置をもつフォトマスクを光露光工程に使用する。
従って、電子線露光工程により露光される電子線用マスクのマスクパターンと、光露光工程により露光されるフォトマスクのマスクパターンとの合わせずれが解消される。
従って、電子線露光工程により露光される電子線用マスクのマスクパターンと、光露光工程により露光されるフォトマスクのマスクパターンとの合わせずれが解消される。
上記の目的を達成するため、本発明のマスクは、電子線露光工程を経てパターン加工される層と隣接する層を加工するための露光工程に使用され、前記電子線露光工程に使用される電子線用マスクよりも要求されるパターン位置精度が緩いマスクであって、前記電子線用マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせてパターン位置が歪められているものである。
上記の本発明のマスクによれば、電子線用マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせたパターン配置をもつマスクを露光工程に使用する。
従って、露光工程により当該マスクのパターンを露光することにより形成された露光パターンと、電子線露光工程により露光された電子線用マスクのマスクパターンに相当する露光パターンとの合わせずれが解消される。
従って、露光工程により当該マスクのパターンを露光することにより形成された露光パターンと、電子線露光工程により露光された電子線用マスクのマスクパターンに相当する露光パターンとの合わせずれが解消される。
上記の目的を達成するため、本発明のフォトマスクは、電子線露光工程を経てパターン加工される層と隣接する層を加工するための光露光工程に使用されるフォトマスクであって、前記電子線用マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせてパターン位置が歪められているものである。
上記の本発明のフォトマスクによれば、電子線用マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせたパターン配置をもつフォトマスクを光露光工程に使用する。
従って、光露光工程により当該フォトマスクのパターンを露光することにより形成された露光パターンと、電子線露光工程により電子線用マスクのマスクパターンを露光することにより形成された露光パターンとの合わせずれが解消される。
従って、光露光工程により当該フォトマスクのパターンを露光することにより形成された露光パターンと、電子線露光工程により電子線用マスクのマスクパターンを露光することにより形成された露光パターンとの合わせずれが解消される。
本発明のマスクおよびその作製方法、並びにフォトマスクおよびその作製方法によれば、異なる露光方式を用いるミックスアンドマッチ露光において、電子線用マスクと組み合わせて使用されるのに最適であり、かつ、パターンの合わせ精度を向上することができるマスクおよびフォトマスクを実現できる。また、上記のマスクおよびフォトマスクを用いた本発明の露光方法によれば、異なる露光方式を用いて露光された露光パターン同士の合わせ精度を向上することができる。
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は、ミックスアンドマッチ露光を適用した電子装置の製造方法のフローチャートである。
図1は、ミックスアンドマッチ露光を適用した電子装置の製造方法のフローチャートである。
ミックスアンドマッチ露光とは、例えば電子線露光と光露光、電子線露光の中でもLEEPL技術による露光とEPL技術による露光、光露光の中でもKrFエキシマレーザ露光とi線露光といったように異なる露光方式を組み合わせて電子装置のパターンを形成することを称する。なお、光露光としては、ArFエキシマレーザ露光や、F2 レーザ露光を採用することもできる。
ミックスアンドマッチ露光を採用する電子装置の製造方法として、例えば、光露光を用いて配線パターンを形成し、次に、配線パターンを覆う層間絶縁膜等に電子線露光を用いてコンタクトホールパターンを形成し、次に、コンタクトホールパターンを埋め込む配線パターンを光露光を用いて形成する例について説明する。
まず、半導体ウエハ等の基板に導電層からなる第1層を堆積し(ステップST1)、第1層上にフォトレジストからなる光露光層を形成する(ステップST2)。そして、光露光層のパターン形成箇所に光露光を行った後(ステップST3)、現像する(ステップST4)。
図2は、光露光について説明するための図である。
図2に示すように、第1層11上に形成された光露光層LRの光露光のため、フォトマスクFMが使用される。フォトマスクFMは、石英ガラス等からなる透明基板20にクロム等からなる遮光層21によりマスクパターンが形成されている。光露光では縮小投影露光を採用することから、フォトマスクFMに形成されるマスクパターンは光露光層LRに形成すべき露光パターンよりも数倍大きい。要求されるマスクパターン精度は、一般に倍率に反比例して緩くなる。フォトマスクFMに照射された光LTは、フォトマスクFMの透明基板20を通過し、遮光層21が形成されていない部分を通過して、縮小投影光学系23により光学像が縮小されて光露光層LRに結像される。
図2に示すように、第1層11上に形成された光露光層LRの光露光のため、フォトマスクFMが使用される。フォトマスクFMは、石英ガラス等からなる透明基板20にクロム等からなる遮光層21によりマスクパターンが形成されている。光露光では縮小投影露光を採用することから、フォトマスクFMに形成されるマスクパターンは光露光層LRに形成すべき露光パターンよりも数倍大きい。要求されるマスクパターン精度は、一般に倍率に反比例して緩くなる。フォトマスクFMに照射された光LTは、フォトマスクFMの透明基板20を通過し、遮光層21が形成されていない部分を通過して、縮小投影光学系23により光学像が縮小されて光露光層LRに結像される。
現像により、光露光層LRがポジ型であれば光照射部分が溶け、光露光層LRがネガ型であれば光照射部分が残る。これにより、光露光層LRに露光パターンが形成される。その後、光露光層LRをエッチングマスクとして、第1層11をエッチングすることにより、第1層11に配線パターンが形成される(ステップST5)。その後、光露光層LRを除去する。
次に、配線パターンが形成された基板10に、層間絶縁膜からなる第2層を堆積し(ステップST6)、第2層上に電子線レジストからなる電子線露光層を形成する(ステップST7)。そして、電子線露光層のパターン形成箇所に電子線露光を行った後(ステップST8)、現像する(ステップST9)。
図3は、電子線露光について説明するための図である。
図3に示すように、第2層12上に形成された電子線露光層ERの電子線露光のため、ステンシルマスク(電子線用マスク)SMが使用される。なお、図3の第2層12の下層には、図示はしないが、第1層の加工により形成された配線パターンが存在する。図3に示すステンシルマスクSMは、貫通孔30aからなるマスクパターンが形成されるメンブレン(薄膜)30と、メンブレン30を支える酸化シリコンからなるエッチングストッパ膜31とシリコン基板32により構成される。シリコン基板32とエッチングストッパ膜31が加工されて梁32aが形成されており、梁32aにより区画されたメンブレン30に、貫通孔30aによりマスクパターンが形成されている。
図3に示すように、第2層12上に形成された電子線露光層ERの電子線露光のため、ステンシルマスク(電子線用マスク)SMが使用される。なお、図3の第2層12の下層には、図示はしないが、第1層の加工により形成された配線パターンが存在する。図3に示すステンシルマスクSMは、貫通孔30aからなるマスクパターンが形成されるメンブレン(薄膜)30と、メンブレン30を支える酸化シリコンからなるエッチングストッパ膜31とシリコン基板32により構成される。シリコン基板32とエッチングストッパ膜31が加工されて梁32aが形成されており、梁32aにより区画されたメンブレン30に、貫通孔30aによりマスクパターンが形成されている。
図4は、ステンシルマスクを用いた相補露光を説明するための図であり、(a)は設計パターンを示す図であり、(b)はマスクパターンを示す図であり、(c)は露光パターンを示す図である。
ステンシルマスクSMのマスクパターンは、貫通孔により形成されることから、図4(a)に示すようにドーナツ形状の設計パターンSP1やリーフ形状の設計パターンSP2がある場合に、これをそのまま形成することができない。これは、ドーナツ形状の設計パターンSP1は、その中央部が支持できないからであり、リーフ形状の設計パターンSP2は中央部を支持する部分の強度が弱く破損する恐れがあるからである。
従って、図4(b)に示すように、ステンシルマスクSMの一つのブロックのメンブレン30に設計パターンSP1,SP2を分割した形状のマスクパターンP1−1,P2−1を貫通孔により形成し、他のブロックのメンブレン30に設計パターンSP1,SP2を分割した残りの形状に相当するマスクパターンP1−2,P2−2を貫通孔により形成する。
そして、一つのブロックのマスクパターンP1−1,P2−1を基板の電子線露光層に露光した後に、他のブロックのマスクパターンP1−2,P2−2を基板の同一位置における電子線露光層に露光する。これにより、図4(c)に示すように、電子線露光層ERに、設計パターンと同じドーナツ形状の露光パターンRP1とリーフ形状の露光パターンRP2が形成される。
上記のように相補露光を行った場合には、通常行われている下地層との重ね合わせに加えて、同層同士の重ね合わせを考慮する必要がある。例えば、要求される重ね合わせ精度が±20nmであるとすると、同層の重ね合わせ精度も加味して誤差を±20nmに抑える必要が生じ、相補露光を行わない光露光等に比べて、下地層に対してより高精度に重ね合わせをする必要がある。
電子線露光のうち、LEEPL(low energy electron beam proximity projection lithography)技術では等倍露光を採用することから、ステンシルマスクのマスクパターンは、基板10の電子線露光層ERに形成すべき露光パターンと同じ寸法である。このため、ステンシルマスクSMのマスクパターン精度がそのまま露光パターンの精度に反映されるので、高いマスクパターン精度が要求される。ステンシルマスクSMに照射された電子線EBは、ステンシルマスクSMの貫通孔30aを通過して、基板10上の電子線露光層ERに照射される。
現像により、電子線露光層ERがポジ型であれば電子線照射部分が溶け、電子線露光層ERがネガ型であれば電子線照射部分が残る。これにより、電子線露光層ERに露光パターンが形成される。その後、電子線露光層ERをエッチングマスクとして、第2層12をエッチングすることにより、第2層12にコンタクトホールが形成される(ステップST10)。その後、電子線露光層ERを除去する。
次に、コンタクトホールが形成された第2層上に、導電層からなる第3層を堆積し(ステップST11)、第3層上にフォトレジストからなる光露光層を形成する(ステップST12)。そして、光露光層のパターン形成箇所に光露光を行った後(ステップST13)、現像する(ステップST14)。
光露光については、上述したフォトマスクが用いられ、光露光層がポジ型であれば光照射部分が溶け、光露光層がネガ型であれば光照射部分が残る。これにより、光露光層に露光パターンが形成される。その後、光露光層をエッチングマスクとして、第3層をエッチングすることにより、第3層に配線パターンが形成される(ステップST15)。その後、光露光層を除去する。
以上のようにして、電子線露光と光露光とのミックスアンドマッチ露光により、配線パターン、コンタクトホールパターン、および配線パターンが形成される。
図5は、LEEPLに用いられる電子線露光装置の概略構成を示す図である。
図5に示す電子線露光装置100は、電子線EBを出射する電子銃101と、電子線EBを平行化するコンデンサレンズ102と、電子線EBを制限するアパーチャ103と、電子線EBが平行なままでラスターまたはベクトル走査モードのいずれかでかつステンシルマスクSMに垂直に入射するように偏向させる目的をもつ一対の主偏向器104,105と、電子線EBの照射位置の微調整を行うために電子線を偏向させる副偏向器106,107と、装置全体の動作を制御する制御部108とを有する。
図5に示すように、ステンシルマスクSMの貫通孔により形成されたマスクパターンを通過した電子線EBにより、ウエハ等の基板10上の不図示の電子線露光層が露光される。図5に示す電子線露光装置では、等倍露光を採用しており、ステンシルマスクSMと基板10は近接して配置される。
図6(a)は、主偏向器による電子線EBの走査の様子を示す図であり、図6(b)は副偏向器による電子線EBの入射角の調整の様子を示す図である。
図6(a)に示すように、主偏向器104,105により電子線EBが偏向されて、ステンシルマスクEM上で電子線EBが走査され、ステンシルマスクSMのマスクパターンが基板10の電子線露光層に露光される。マスクパターンに歪がない場合には、図6(b)に示すように、露光時においてステンシルマスクSMに対して垂直に電子線EBが照射され、マスクパターンに対応する位置に露光パターンが形成される。マスクパターンに歪が存在する場合には、図6(b)に示すように、歪に応じて副偏向器106,107により電子線EBの入射角を僅かに傾けた電子線EB’が照射される。これにより、マスク歪により正確な位置から変位しているマスクパターンが、基板10上の正しい位置に照射される。
上記の電子線露光方法では、電子線の副偏向機能による入射角の調整を利用した露光パターンの位置補正は、重要な合わせ精度向上機能であるが、副偏向には限界があり、ステンシルマスクのマスクパターンの全ての歪を補正することはできない。
そこで、本実施形態では、設定された補正量を越えるようなマスクパターンの位置歪を抽出して、抽出された位置歪に合わせてパターン位置を歪めたフォトマスクを前後に隣接する露光工程に使用することにより、合わせ精度を向上させる。ここでいうフォトマスクとは、電子線露光工程を経てパターン加工される第2層と隣接する第1層あるいは第3層を加工するための光露光工程に使用されるフォトマスクである。
図7は、本実施形態に係るミックスアンドマッチ露光に使用されるフォトマスクの作製方法を説明するための図である。
まず、図3に示す構造のステンシルマスクSMを作製する(ステップST20)。ステンシルマスクSMは、例えばSOIウエハを利用して形成される。図3に示すステンシルマスクは、SOIウエハのシリコン基板32と酸化シリコン膜からなるエッチングストッパ膜31を加工することにより梁32aを形成し、SOIウエハのシリコン層をメンブレン30として利用して、貫通孔30aからなるマスクパターンを形成することにより、作製される。
次に、作製したステンシルマスクSMのマスクパターンの位置を測定することにより、位置歪を求める(ステップST21)。このマスクパターンの位置の測定は、マスクパターンの位置を直接測定することの他、マスクパターンを電子線露光層に露光した露光パターンの位置を測定することにより行ってもよい。図8(a)は、ステンシルマスクのマスクパターンが理想的な格子に形成されている様子を示し、図8(b)はステンシルマスクのマスクパターンが理想的な格子から歪んで形成されている様子を示す図である。
マスクパターンは、通常、図8(b)に示すように理想的な格子から歪んで形成されてしまう。理想的な格子に形成されているとは、設計パターンからの位置ずれがなく形成されていることを意味する。
そして、図8(c)に点線で示す理想格子のマスクパターンFPをもつフォトマスクで露光した場合の露光パターンの位置をシミュレーションにより求める(ステップST22)。このシミュレーションでは、光露光に使用する光露光機のレンズディストーションの影響を考慮した露光パターンを求める。なお、フォトマスクは未だ作製していないため、図8(c)に示す理想格子のマスクパターンFPとは、マスクパターンを作製するためのパターンデータのことである。
ステップST21で計測されたステンシルマスクのマスクパターンの位置と、シミュレーションにより求められた露光パターンの位置から、フォトマスクによる露光パターンの位置に合わせるようにマスクパターンの歪を補正するのに必要な副偏向による補正量を算出する(ステップST23)。このときの補正量とは、ステンシルマスク上の座標毎に求められる。
副偏向機能による補正量よりも大きい歪を抽出する(ステップST24)。例えば、副偏向機能による補正量を100nmとした場合には、100nm以上の歪みを抽出する。ここで抽出する歪みとしては、必ずしも副偏向機能による補正量の限界に設定する必要はなく、副偏向機能により最も高精度で残留歪み(最終的には合わせ精度)を最小化できる許容歪以上の歪みを抽出すればよい。
次に、抽出された歪みに合わせて、フォトマスクのマスクパターンを理想格子から歪めたパターンデータを作製する(ステップST25)。例えば、図8(c)に示すように理想格子のマスクパターンFPから、抽出された歪みに合わせて歪めた補正マスクパターンFP’のパターンデータを作製する。なお、図8(c)に示す例では、図8(b)に示すステンシルマスクの全ての歪みに合わせて歪ませたフォトマスクのマスクパターンFP’を示すが、実際には設定された補正量よりも大きい歪みのみを抽出して、抽出された歪みに合わせた補正マスクパターンFP’を作製する。
次に、補正マスクパターンFP’をもつフォトマスクを作製する(ステップST26)。図9(a)〜図9(d)は、フォトマスクの作製の工程断面図である。
図9(a)に示すように、石英ガラス等からなる透明基板20上にクロム等を堆積することにより遮光層21aを形成し、遮光層21a上に電子線レジストからなる電子線露光層22aを形成する。
次に、図9(b)に示すように、マスク描画機を用いて、パターン形成箇所にのみ電子線EBを照射する。マスク描画機は、成形アパーチャで電子ビームを成形し、アパーチャ形状を切り換えて様々なビーム形状をつくり出すことにより、入力したパターンデータに応じたパターンを露光する、いわゆる可変成形方式を採用するものである。上述した補正マスクパターンFP’のパターンデータがマスク描画機により読み込まれて、補正マスクパターンが描画される。
次に、図9(c)に示すように、例えば電子線露光層22aがポジ型である場合には、電子線照射部分のみが現像後に溶解して、露光パターンが形成された電子線露光層22となる。なお、ネガ型の場合には、反対に電子線照射部分のみが残る。
次に、図9(d)に示すように、例えば電子線露光層22をエッチングマスクとして、遮光層21aをエッチングすることにより、マスクパターン形状の遮光層21に加工される。
以降の工程の後、電子線露光層22を除去することにより、図2に示すフォトマスクFMが完成する。
上記のようにして作製されたフォトマスクFMは、ミックスアンドマッチ露光において、電子線露光工程を経てパターン加工される第2層と、上下において隣接する第1層あるいは第3層を加工するための光露光工程に使用される。
このように、本実施形態に係るフォトマスクおよびその作製方法によれば、ステンシルマスクの位置歪のうち、偏向による補正量を越える位置歪を抽出し、抽出された位置歪に合わせたパターン位置をもつフォトマスクを作製することにより、ステンシルマスクのマスクパターンのうち補正量を越える位置歪を予め解消することができる。
このため、このようなフォトマスクを光露光に用いたミックスアンドマッチ露光では、電子線露光時にステンシルマスクの残りの位置歪を副偏向により補正することにより、フォトマスクを用いて光露光により形成される露光パターンと、ステンシルマスクを用いて電子線露光により形成される露光パターンの合わせ精度を向上することができる。
実際に、本実施形態に係る露光方法によれば、65nmノード対応の合わせ精度である23nmを実現することができた。
(第2実施形態)
本実施形態においても、ミックスアンドマッチ露光のうち、電子線露光に使用されるステンシルマスクの特定の位置歪を抽出し、抽出された位置歪に合わせてパターン位置を歪めたフォトマスクを作製して、当該フォトマスクを光露光に使用する点については、第1実施形態と同様である。
本実施形態においても、ミックスアンドマッチ露光のうち、電子線露光に使用されるステンシルマスクの特定の位置歪を抽出し、抽出された位置歪に合わせてパターン位置を歪めたフォトマスクを作製して、当該フォトマスクを光露光に使用する点については、第1実施形態と同様である。
第1実施形態では、ステンシルマスクの位置歪が補正量を越えるか否かを判断し、補正量を越える位置歪のみをフォトマスクのパターン位置に反映させていたが、本実施形態では、電子線露光による補正を考慮せずに、ステンシルマスクの特定の位置歪に合わせてパターン位置を歪めたフォトマスクを作製するものである。
図10は、本実施形態に係るミックスアンドマッチ露光に使用されるフォトマスクの作製方法を説明するための図である。
まず、図3に示す構造のステンシルマスクSMを作製する(ステップST30)。本工程は、第1実施形態と同様であり、例えば、ステンシルマスクSMは、SOIウエハを利用して形成される。
次に、作製したステンシルマスクSMのマスクパターンの位置を測定することにより、位置歪を求める(ステップST31)。このマスクパターンの位置の測定は、マスクパターンの位置を直接測定することの他、マスクパターンを電子線露光層に露光した露光パターンの位置を測定することにより行ってもよい。
次に、マスクパターンの残留歪を抽出する(ステップST32)。以下に、マスクパターンの残留歪としてどのようなものがあるかを説明する。
図11(a)は、ステンシルマスクの露光時の姿勢を示す図である。
図11(a)に示すように、電子線露光装置のマスク保持手段109によりメンブレン30が下向きとなるようにステンシルマスクSMを保持した状態で、電子線を走査することにより、ステンシルマスクSMのマスクパターンを基板10上の電子線露光層ERに露光する。
図11(a)に示すように、電子線露光装置のマスク保持手段109によりメンブレン30が下向きとなるようにステンシルマスクSMを保持した状態で、電子線を走査することにより、ステンシルマスクSMのマスクパターンを基板10上の電子線露光層ERに露光する。
このとき、メンブレン30は10nm〜10μm程度と薄いため、重力により撓むことにより、グローバルな変形を生ずる。ただし、ステンシルマスクのグローバルな変形により引き起こされるマスクパターンの位置歪をシミュレーションし、その情報をマスクパターンの作製にフィードバックすることが可能であるため、大きな残留歪とはならない。すなわち、重力によりメンブレン30が撓んだ状態においてマスクパターンの位置が理想位置にくるように、ステンシルマスクが作製される。
従って、ステンシルマスクの歪として、局所的な位置歪が残留する。図11(b)は、局所的な位置歪を説明するための図である。図11(b)では、ステンシルマスクのメンブレン30の要部平面図である。図3に示す梁32aによりメンブレン30が区画されている場合は、図11(b)に示すメンブレン30は梁32aにより囲まれた一つのメンブレン30の領域を示す。あるいは、梁32aがなくステンシルマスクの全領域にメンブレン30のみが形成されている場合には、図11(b)はステンシルマスクの全領域に形成されたメンブレン30を示す。
図11(b)に示すように、メンブレン30の左下の領域Ar1にパターン密度が80%でマスクパターンが形成されており、右上の領域Ar2にパターン密度が30%でマスクパターンが形成されているとする。
このように一つのメンブレン30の領域内にパターン密度が大きく異なると、グローバルな位置歪とは異なる局所的な位置歪が発生する。このようなパターンの疎密により発生する位置歪が残留歪の一つとして挙げられる。
好ましくは、上記のパターン密度の差異に起因する局所的な残留歪を低減するため、パターン密度を均等に近づけるようにダミーパターンを配置することが好ましい。ダミーパターンとは、デバイスパターンとはならないパターンを称する。ダミーパターンは、パターン密度を均等にするために設けるものであるが、他のマスクパターンと同様に電子線露光層に露光パターンが形成されてしまうことから、下層あるいは上層と繋がらないような位置に形成する必要がある。
上記のダミーパターンをステンシルマスクに形成する場合には、ダミーパターンを形成することによっても解消されない残留歪がステップST32により抽出される。
次に、抽出された歪みに合わせて、フォトマスクのマスクパターンを理想格子から歪めたパターンデータを作製する(ステップST33)。例えば、図8(c)に示すように理想格子のマスクパターンFPから、抽出された局所的な歪みに合わせて歪めた補正マスクパターンFP’のパターンデータを作製する。
次に、補正マスクパターンFP’をもつフォトマスクを作製する(ステップST34)。フォトマスクの作製については、図9(a)〜図9(d)を用いて説明したように、第1実施形態と同様である。
上記のようにして作製されたフォトマスクFMは、ミックスアンドマッチ露光において、電子線露光工程を経てパターン加工される第2層と、上下において隣接する第1層あるいは第3層を加工するための光露光工程に使用される。
このように、本実施形態に係るフォトマスクおよびその作製方法によれば、ステンシルマスクの位置歪のうち、ステンシルマスクのマスクパターン作製にフィードバック可能なグローバルな位置歪を除いた局所的な位置歪を抽出し、抽出された位置歪に合わせたパターン位置をもつフォトマスクを実現することができることから、ステンシルマスクのマスクパターンのうち局所的な位置歪による生ずる露光パターンの位置精度の誤差を小さくすることができる。
このため、このようなフォトマスクを光露光に用いたミックスアンドマッチ露光では、電子線露光時の副偏向による補正量を小さくすることができ、フォトマスクを用いて光露光により形成される露光パターンと、ステンシルマスクを用いて電子線露光により形成される露光パターンの合わせ精度を向上することができる。
実際に、本実施形態に係る露光方法によれば、65nmノード対応の合わせ精度である23nmを実現することができた。
本発明は、上記の実施形態の説明に限定されない。
本実施形態では、電子線露光のうちLEEPL露光と光露光とのミックスアンドマッチ露光について説明したが、EPLのような他の電子線露光と光露光とのミックスアンドマッチ露光についても同様に適用可能である。
本実施形態では、電子線露光のうちLEEPL露光と光露光とのミックスアンドマッチ露光について説明したが、EPLのような他の電子線露光と光露光とのミックスアンドマッチ露光についても同様に適用可能である。
本発明では、露光パターンと等倍のマスクパターンをもつステンシルマスクと、露光パターンより数倍大きいマスクパターンをもつフォトマスクでは、要求される位置精度がステンシルマスクの方が厳しいため、ステンシルマスクのマスクパターンの位置歪をフォトマスクのマスクパターンを歪めることにより解消しようとするものである。この意味では、例えば、LEEPLとEPLのような電子線露光同士のミックスアンドマッチ露光においても、LEEPLのような等倍露光に使用されるステンシルマスクと、EPLのような縮小投影露光に使用されるステンシルマスクとでは、要求される位置精度が異なることから、要求される位置精度が厳しい側のステンシルマスクの位置歪を解消するように、要求される位置精度が緩い側のパターン位置を歪めてステンシルマスクを作製してもよい。
同様に、LEEPLとEUVのミックスアンドマッチ露光、EPLとEUVのミックスアンドマッチ露光のように、65nmノード対応の露光方式を組み合わせたミックスアンドマッチ露光において、本発明のマスクの作製方法および露光方法を適用することも可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
10…基板、11…第1層、12…第2層、20…透明基板、21,21a…遮光層、22,22a…電子線露光層、30…メンブレン、30a…貫通孔、31…エッチングストッパ膜、32…シリコン基板、32a…梁、100…露光装置、101…電子銃、102…コンデンサレンズ、103…アパーチャ、104,105…主偏向器、106,107…副偏向器、108…制御部、109…マスク保持手段、Ar1,Ar2…領域、LR…光露光層、LT…光、ER…電子線露光層、EB…電子線、FM…フォトマスク、SM…ステンシルマスク、SP1,SP2…設計パターン、P1−1,P1−2,P2−1,P2−2…マスクパターン、RP1,RP2…露光パターン
Claims (15)
- 電子線露光工程を経てパターン加工される層と隣接する層を加工するための露光工程に使用され、前記電子線露光工程に使用される電子線用マスクよりも要求されるパターン位置精度が緩いマスクの作製方法であって、
前記電子線用マスクのマスクパターンから特定の位置歪を抽出する工程と、
前記抽出された位置歪に合わせてパターン位置を歪めた前記マスクを作製する工程と
を有するマスクの作製方法。 - 電子線露光工程を経てパターン加工される層と隣接する層を加工するための光露光工程に使用されるフォトマスクの作製方法であって、
前記電子線用マスクのマスクパターンから特定の位置歪を抽出する工程と、
前記抽出された位置歪に合わせてパターン位置を歪めた前記フォトマスクを作製する工程と
を有するフォトマスクの作製方法。 - 前記電子線露光工程において、電子線を偏向して前記電子線用マスクへの入射角を変えることにより、前記位置歪を補正して露光し、
前記電子線用マスクのマスクパターンから特定の位置歪を抽出する工程において、前記位置歪のうち前記偏向による前記位置歪の補正量を越える位置歪を抽出する
請求項2記載のフォトマスクの作製方法。 - 前記電子線露光工程において、貫通孔によりマスクパターンが形成されたステンシルマスクを用い、
前記電子線用マスクのマスクパターンから特定の位置歪を抽出する工程において、前記ステンシルマスクのグローバルな位置歪を除いた局所的な位置歪を抽出する
請求項2記載のフォトマスクの作製方法。 - 前記ステンシルマスクには、前記マスクパターンの密度が均一となるようにダミーパターンが形成されており、
前記電子線用マスクのマスクパターンから特定の位置歪を抽出する工程において、前記ステンシルマスクのグローバルな位置歪を除いた局所的な位置歪であって、前記ダミーパターンの形成後に残留する位置歪を抽出する
請求項4記載のフォトマスクの作製方法。 - 第1の層の加工のために電子線用マスクを用いて電子線露光を行う第1の露光工程と、
前記第1の露光工程の前あるいは後であって、前記第1の層に隣接する第2の層の加工のために、前記電子線用マスクよりも要求されるパターン位置精度が緩いマスクを用いて、前記電子線露光とは異なる方式の露光を行う第2の露光工程と、
を有し、
前記第2の露光工程において、前記電子線マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせたパターン配置をもつマスクを使用する
露光方法。 - 第1の層の加工のために前記電子線用マスクを用いて電子線露光を行う電子線露光工程と、
前記電子線露光工程の前あるいは後であって、前記第1の層に隣接する第2の層の加工のためにフォトマスクを用いて光露光を行う光露光工程と、
を有し、
前記光露光工程において、前記電子線用マスクのマスクパターンから抽出した特定の位置歪に合わせてパターン位置を歪めたフォトマスクを使用する
露光方法。 - 前記電子線露光工程において、前記電子線を偏向して前記電子線用マスクへの入射角を変えることにより、前記位置歪を補正して露光し、
前記光露光工程において、前記位置歪のうち、前記偏向による前記位置歪の補正量を越える位置歪に合わせてパターン位置を歪めたフォトマスクを使用する
請求項7記載の露光方法。 - 前記電子線露光工程において、貫通孔によりマスクパターンが形成されたステンシルマスクを用い、
前記光露光工程において、前記ステンシルマスクのグローバルな位置歪を除いた局所的な位置歪に合わせてパターン位置を歪めたフォトマスクを使用する
請求項7記載の露光方法。 - 前記ステンシルマスクには、前記マスクパターンの密度が均一となるようにダミーパターンが形成されており、
前記光露光工程において、前記ステンシルマスクのグローバルな位置歪を除いた局所的な位置歪であって、前記ダミーパターンの形成後に残留する位置歪に合わせてパターン位置を歪めたフォトマスクを使用する
請求項9記載の露光方法。 - 電子線露光工程を経てパターン加工される層と隣接する層を加工するための露光工程に使用され、前記電子線露光工程に使用される電子線用マスクよりも要求されるパターン位置精度が緩いマスクであって、
前記電子線用マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせてパターン位置が歪められた
マスク。 - 電子線露光工程を経てパターン加工される層と隣接する層を加工するための光露光工程に使用されるフォトマスクであって、
前記電子線用マスクのマスクパターンから抽出された特定の位置歪に合わせてパターン位置が歪められた
フォトマスク。 - 前記電子線露光工程において、前記電子線を偏向して前記電子線用マスクへの入射角を変えることにより、前記位置歪を補正して露光し、
前記特定の位置歪は、前記電子線用マスクのマスクパターンの位置歪のうち、前記偏向による前記位置歪の補正量を越える位置歪を含む
請求項12記載のフォトマスク。 - 前記電子線露光工程において、貫通孔によりマスクパターンが形成されたステンシルマスクを用い、
前記特定の位置歪は、前記ステンシルマスクのグローバルな位置歪を除いた局所的な位置歪を含む
請求項12記載のフォトマスク。 - 前記ステンシルマスクには、前記マスクパターンの密度が均一となるようにダミーパターンが形成されており、
前記特定の位置歪は、前記ステンシルマスクのグローバルな位置歪を除いた局所的な位置歪であって、前記ダミーパターンの形成後に残留する位置歪を含む
請求項14記載のフォトマスク。
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JP2003397057A JP2005157053A (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | マスクおよびその作製方法、フォトマスクおよびその作製方法、並びに露光方法 |
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JP2011176046A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 露光方法及び半導体装置の製造方法 |
CN103246171A (zh) * | 2012-02-08 | 2013-08-14 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 多栅格曝光方法 |
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2003
- 2003-11-27 JP JP2003397057A patent/JP2005157053A/ja active Pending
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