JP2005134113A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 振動子7によりカンチレバー4を共振点又はその近傍の周波数で振動させ、そのときに光検出器13の二分割受光面13U、13Lでカンチレバー4からの反射光を受け各受光光量に基づく検出信号を出力する。演算器17は総受光光量に対応した信号S1、両受光面の受光光量の差分の直流成分の信号S2及び交流成分の信号S3を算出し、表示器21はこれをそれぞれ独立に表示する。オペレータはこの表示を見ながら、信号S1、S3が大きくS2が小さくなるように、レーザ光源8及び光検出器13の位置を調整する。これによって、簡便に且つ確実に光学系を最良に近い状態に調整することができる。
【選択図】 図1
Description
a)前記カンチレバーをその共振点又はその近傍の周波数で振動させる加振手段と、
b)該加振手段による加振時に前記受光手段の各受光面により検出される複数の受光信号の差分の直流成分に応じた信号及びその交流成分の振幅に応じた信号、並びに、前記受光手段による総受光光量に応じた信号を求める信号取得手段と、
c)操作者が前記変位検出手段とカンチレバーとの相対位置関係を調整するためにその参考に供するべく、前記信号取得手段により得られた各信号の数値表示、又はその数値を反映した若しくはその各信号に基づいた表示又は報知を行う情報提示手段と、
を備えることを特徴としている。
2…スキャナ
3…モータ
4…カンチレバー
5…探針
6…レーザスポット
7…振動子
8…レーザ光源
9…レーザ光源ホルダ
10、11…位置調整ネジ
12…ミラー
13…光検出器
13U…上側受光面
13L…下側受光面
14…光検出器ホルダ
15、16…位置調整ネジ
17…演算器
18…制御/処理部
19…入力部
20…記憶部
21…表示器
21a…レベルインジケータ
21b…表示灯
Claims (4)
- 試料表面を走査する探針が取り付けられたカンチレバーと、該カンチレバーの変位を検出するために、該カンチレバーに光を照射する照射手段、及びその照射光に対する反射光を受光する複数に分割された受光面を有する受光手段を含む変位検出手段と、備える走査型プローブ顕微鏡において、
a)前記カンチレバーをその共振点又はその近傍の周波数で振動させる加振手段と、
b)該加振手段による加振時に前記受光手段の各受光面により検出される複数の受光信号の差分の直流成分に応じた信号及びその交流成分の振幅に応じた信号、並びに、前記受光手段による総受光光量に応じた信号を求める信号取得手段と、
c)操作者が前記変位検出手段とカンチレバーとの相対位置関係を調整するためにその参考に供するべく、前記信号取得手段により得られた各信号の数値表示、又はその数値を反映した若しくはその各信号に基づいた表示又は報知を行う情報提示手段と、
を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記情報提示手段は、前記信号取得手段により得られる信号の少なくとも1つを所定の判定基準値と比較する判定手段を含み、その判定結果によって前記相対位置関係の調整状態を判断するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記判定手段により前記相対位置関係の調整が不十分であると判定されたときに、前記カンチレバーと試料とが近接する動作を禁止する制御手段を備えることを特徴とする請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 測定のために前記カンチレバーと試料とを近接させる途中の状態にあるとき、又はカンチレバーと試料とが近接した測定中の状態にあるとき、前記判定手段は、前記受光手段による総受光光量に応じた信号を判定基準値と比較し、前記制御手段は、その判定結果によって総受光光量が不足していると判断したときにカンチレバーと試料とが近接する動作を停止する又はカンチレバーと試料とを離間させる動作を実行することを特徴とする請求項3に記載の走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003366748A JP4165368B2 (ja) | 2003-10-28 | 2003-10-28 | 走査型プローブ顕微鏡 |
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JP4165368B2 JP4165368B2 (ja) | 2008-10-15 |
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Country | Link |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010190590A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡及びその動作方法 |
JP2011220723A (ja) * | 2010-04-06 | 2011-11-04 | Kao Corp | ナノ粒子の表面粗さ測定方法 |
RU2472165C2 (ru) * | 2008-10-27 | 2013-01-10 | ЗАО "Нанотехнология МДТ" | Сканирующий зондовый микроскоп для биологических применений |
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2003
- 2003-10-28 JP JP2003366748A patent/JP4165368B2/ja not_active Expired - Fee Related
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RU2472165C2 (ru) * | 2008-10-27 | 2013-01-10 | ЗАО "Нанотехнология МДТ" | Сканирующий зондовый микроскоп для биологических применений |
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JP4165368B2 (ja) | 2008-10-15 |
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