JP2011220723A - ナノ粒子の表面粗さ測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】原子間力顕微鏡を用いてナノ粒子の表面粗さを測定する方法は、表面にアミノ基を有する基板上にナノ粒子分散液を塗布して乾燥させることにより基板上にナノ粒子を固定する工程1と、工程1でナノ粒子を固定した基板を原子間力顕微鏡の試料台に設置する工程2と、工程2で原子間力顕微鏡の試料台に設置した基板上に固定されたナノ粒子の表面粗さをプローブを用いて測定する工程3とを含む。
【選択図】なし
Description
工程1では、表面にアミノ基を有する基板上にナノ粒子分散液を塗布して乾燥させることにより基板上にナノ粒子を固定する。
本実施形態に係るナノ粒子の表面粗さ測定方法では、測定精度を向上させるようにナノ粒子を基板に固定する観点から、表面にアミノ基を有する基板を用いる。ここで、アミノ基を有する基板とは表面にアミノ基が露出した基板を意味する。
測定対象であるナノ粒子は、高い測定精度を得ることができるという観点から、その平均粒径が10nm以上であることが好ましく、20nm以上であることがさらに好ましい。また、高い測定精度を得ることができると共に測定時間を短くすることができるという観点から、平均粒径が200nm以下であることが好ましく、100nm以下であることがさらに好ましい。これらの観点を総合すると、ナノ粒子の平均粒径は10〜200nmであることが好ましく、20〜100nmであることがさらに好ましい。ナノ粒子の平均粒径は、動的光散乱測定法により測定することができる。また、ナノ粒子は、基板に密に固定することにより測定時間を短くすることができるという観点から、粒径分布が狭いことが好ましい。
基板へのナノ粒子の固定は、表面にアミノ基を有する基板にナノ粒子を強固に密着させることを意味し、これにより、工程3の原子間力顕微鏡を用いた表面粗さの測定時にナノ粒子がプローブとの接触により動かないようにすることができる。
工程2では、工程1でナノ粒子を固定した基板を原子間力顕微鏡の試料台に設置する。具体的には、一般に基板表面の形状像を測定するのと同様に、基板を原子間力顕微鏡の試料台上に載せればよい。なお、一般的に試料台は永久磁石で形成されている場合が多いので、その場合には、強磁性体であるスチール板等に測定する基板を固定することが好ましい。基板のスチール板への固定には、十分な固定力を得られればよいので、接着剤、修正液、カーボンテープ等を使用すればよい。
工程3では、工程2で原子間力顕微鏡の試料台に設置した基板上のナノ粒子の表面粗さをプローブを用いて測定する。
各々、固形分濃度が30質量%であるシリカナノ粒子を含むシリカナノ粒子分散液1(pH=9.3)、シリカナノ粒子分散液2(pH=9.1)、及びシリカナノ粒子分散液3(pH=10.2)(いずれも日揮触媒化成株式会社製)を準備した。そして、シリカナノ粒子分散液1〜3のそれぞれについて、以下の方法により比表面積及び平均粒径を測定した。その結果を表1に示す。また、シリカナノ粒子分散液1〜3にそれぞれ含まれるシリカナノ粒子1〜3を図1〜3に示す。
200mLビーカーにシリカナノ粒子分散液を5g入れ、それをイオン交換水100mLで希釈した。
ここで、Aはサンプル水溶液の滴定に要した水酸化ナトリウム水溶液の消費量である。Bは空試験の滴定に要した水酸化ナトリウム水溶液の消費量である。26.5は滴定により得られた水酸化ナトリウム水溶液の消費量を窒素吸着法(BET法)で得られる値に換算するときの係数である。
シリカナノ粒子分散液にイオン交換水を加えて1質量%に希釈した。
装置名:Zetasizer Nano ZS(Malvern社製)
測定モード:散乱強度分布モード
粒子:シリカ(Refractive index:1.45、Absorption:0.01)
分散媒:水(Viscosity:0.8872cp、Refractiove index:1.330)
解析方法:Cumulant法
(実施例1)
−表面にアミノ基を有する基板の作成−
30mLビーカーに超純水を溶媒に用いた3−アミノプロピルトリエトキシシラン(ACROS ORGANICS社製)の1vol%水溶液10mLを調製した。
シリカナノ粒子分散液1〜3のそれぞれを表面処理されたマイカ基板に滴下し、スピンコーター(エイブル社製 型番:ASS-303L)を用いて、回転数2000rpm及び回転時間20秒のスピンコート条件で基板を回転させた後、25℃、大気圧下で5時間静置して乾燥させることにより、表面処理されたマイカ基板にシリカナノ粒子を固定した。
シリカナノ粒子が固定されたマイカ基板を、スチール板(Veeco社製、品番:SD-102)上に、ペン修正液(ぺんてる株式会社製)を接着剤として接着固定した。
シリカナノ粒子固定基板として、3−アミノプロピルトリエトキシシランで表面処理されたマイカ基板にシリカナノ粒子分散液を滴下してスピンコートを行わずに10分間静置し、超純水で30秒間流水洗浄した後、25℃、大気圧下で5時間静置して乾燥させたものを用いたこと、及びシリカナノ粒子の算術平均粗さ(Ra)の平均値をN=50個の平均値として算出したことを除いて、実施例1と同様の操作を行った。なお、シリカナノ粒子1〜3のいずれも50個のシリカナノ粒子の算術平均粗さ(Ra)を得るために形状像が7枚必要であった。従って、80個のシリカナノ粒子の算術平均粗さ(Ra)を得るためには形状像が11枚必要となる。
プローブとして、先端曲率半径が10nm及びバネ定数が42N/mであるVeeco社製のNCHVを用いたことを除いて、実施例1と同様の操作を行った。なお、シリカナノ粒子1〜3のいずれも80個のシリカナノ粒子の算術平均粗さ(Ra)を得るために形状像が8枚必要であった。
基板として、3−アミノプロピルトリエトキシシランで表面処理されていない未処理マイカ基板を用いたことを除いて、実施例1と同様の操作を行った。なお、シリカナノ粒子1〜3のいずれも80個のシリカナノ粒子の算術平均粗さ(Ra)を得るために形状像が8枚必要であった。
シリカナノ粒子固定基板として、3−アミノプロピルトリエトキシシランで表面処理されていない未処理マイカ基板上に接着剤(コニシ株式会社製 商品名:SU)を薄く延ばし、その上にシリカナノ粒子分散液を100μl滴下した後、ブロー(ホーザン株式会社製 型番:Z-263)により余分な液を飛ばし、25℃、大気圧下で24間静置して乾燥させたものを用いたことを除いて、実施例1と同様の操作を行ったが、形状像が不鮮明なため、シリカナノ粒子1〜3のいずれも算術平均粗さ(Ra)を測定することができなかった。
Claims (5)
- 原子間力顕微鏡を用いてナノ粒子の表面粗さを測定する方法であって、
表面にアミノ基を有する基板上にナノ粒子分散液を塗布して乾燥させることにより該基板上にナノ粒子を固定する工程1と、
上記工程1でナノ粒子を固定した基板を原子間力顕微鏡の試料台に設置する工程2と、
上記工程2で原子間力顕微鏡の試料台に設置した基板上に固定されたナノ粒子の表面粗さをプローブを用いて測定する工程3と、
を含むナノ粒子の表面粗さ測定方法。 - 上記工程1において、表面にアミノ基を有する基板として、ベース基板をアミノ基を有する表面改質剤で表面処理したものを用いる請求項1に記載されたナノ粒子の表面粗さ測定方法。
- 上記工程1において、基板上へのナノ粒子分散液の塗布をスピンコート法により行う請求項1又は2に記載されたナノ粒子の表面粗さ測定方法。
- 上記工程3において、先端曲率半径が5nm以下であるプローブを用いる請求項1乃至3のいずれかに記載されたナノ粒子の表面粗さ測定方法。
- 測定対象のナノ粒子が粒子表面にマイナス電荷を有する請求項1乃至4のいずれかに記載されたナノ粒子の表面粗さ測定方法。
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