JP2005126291A - セラミック板の焼成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係るセラミック板12の焼成方法は、下セッター10B上に、セラミック板12を載置するステップと、下セッター10B上に、焼成過程の際に収縮する複数の支柱部材14を載置するステップと、下セッター10B上に、セラミック板12の周囲に位置するように、焼成過程前の高さが、焼成過程前の支柱部材14の高さよりも低く、且つ、焼成過程を経た後の高さが、焼成過程を経たセラミック板12の高さよりも高いスペーサ16を載置するステップと、複数の支柱部材14上に、セラミック板12及びスペーサ16を覆う上セッター10Aを搭載するステップと、セッター10A,10Bの間に介在するセラミック板12を焼成するステップとを有することを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
Claims (11)
- 第1のセッター上に、セラミック板と、複数の支柱部材と、前記セラミック板を焼成する焼成過程前の高さが該焼成過程前の前記支柱部材の高さよりも低く、且つ、前記焼成過程を経た後の高さが前記焼成過程を経た前記セラミック板の高さよりも高いスペーサとを載置するステップと、
前記複数の支柱部材上に、前記セラミック板及び前記スペーサを覆う第2のセッターを搭載するステップと、
前記第1及び第2のセッターの間に介在する前記セラミック板を焼成するステップとを有する、セラミック板の焼成方法。 - 前記第1のセッター上に前記スペーサを複数個載置する、請求項1に記載のセラミック板の焼成方法。
- 前記焼成過程を経た複数の前記スペーサの高さが同一である、請求項2に記載のセラミック板の焼成方法。
- 前記複数のスペーサは、前記セラミック板を挟む位置に配置されている、請求項2又は3に記載のセラミック板の焼成方法。
- 前記セラミック板は一方向に延びており、前記セラミック板を挟むように2つの前記スペーサが前記セラミック板の長手方向に並んでいる、請求項4に記載のセラミック板の焼成方法。
- 前記焼成過程前の前記スペーサの高さは、前記焼成過程前の前記セラミック板の高さよりも低い、請求項1〜5のいずれか一項に記載のセラミック板の焼成方法。
- 前記セラミック板を焼成する際、その周囲を包囲部材で包囲した状態で該セラミック板を焼成する、請求項1〜6のいずれか一項に記載のセラミック板の焼成方法。
- 前記セラミック板上に位置する前記第2のセッター上に、さらに前記セラミック板、前記支柱部材及び前記スペーサを載置して、該支柱部材上に新たなセッターを搭載するステップをさらに有し、
このステップを複数回繰り返した後、複数の前記セラミック板を焼成する、請求項1〜7のいずれか一項に記載のセラミック板の焼成方法。 - 前記支柱部材は、前記焼成過程における収縮特性が、前記セラミック板の材料と略同じである材料で構成されている、請求項1〜8のいずれか一項に記載のセラミック板の焼成方法。
- 前記支柱部材は、前記セラミック板の材料と同じ材料で構成されている、請求項1〜9のいずれか一項に記載のセラミック板の焼成方法。
- 前記セラミック板が鉛を含む、請求項1〜10のいずれか一項に記載のセラミック板の焼成方法。
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