JP2007234799A - 圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 積層型圧電素子の一例である圧電素子30は、直方体状の積層体31と、この積層体31の対向する端面に形成された一対の外部電極37A,37Bとを備えている。積層体31は、圧電体層32を介して内部電極層(電極層)33A,33Bを交互に積層してなる素体34と、この素体34をその積層方向の両端面側から挟み込むように設けられた一対の保護層35,36とから構成される。保護層35,36は、主に圧電材料から構成され、かかる圧電材料はリン元素を含む。
【選択図】 図3
Description
[圧電素子の製造]
まず、図2に示すステップS11〜S16を実施して、圧電材料の原料組成物の粉体を得た。この際、原料組成物中の圧電体セラミックスの原料化合物は、焼成後に(Pb0.96 Sr0.04)[Ti0.465 Zr0.535]O3+0.5質量%WO3の組成を有する圧電体セラミックスが得られるように調製した。また、圧電材料中のリン元素の原料化合物としては、P2O5を用いた。
圧電体セラミックスの原料化合物を、Pb[(Zn1/3 Nb2/3)0.1 Ti0.435 Zr0.465]O3の組成を有する圧電体セラミックスが得られるように調製したこと以外は、製造例1と同様にして圧電体層上に電極層を備えるサンプルを得た。この製造例2においても、製造例1と同様に、原料組成物におけるP2O5の添加量を0、20、50、200、500、1000及び1500ppmに変化させて、No.1〜7のサンプルを製造した。
電極ペースト中の金属として、Ag:Pd=7:3の比率を有する金属に代え、Cuを用いたこと以外は、製造例1と同様にして圧電体層上に電極層を備えるサンプルを得た。これにより、金属としてCuのみを含む電極層が形成された。この製造例3においては、P2O5の添加量を0又は200ppmとして、No.1及び2のサンプルを製造した。
[特性評価]
製造例1及び製造例2でそれぞれ得られた各種のサンプルを用い、以下に示すようにして、これらの圧電体層における厚さ方向の焼結度の差を確認した。すなわち、サンプルの端面(積層方向に平行な面)について、その幅方向の中央付近における、(1)電極層近傍領域、(2)厚さ方向の中央領域、及び、(3)電極層と反対側の端面近傍領域、の3つ領域を、それぞれ走査型電子顕微鏡で観察した。かかる観察により、各領域に形成されている粒子の平均粒子径をそれぞれ求めた。
製造例1のNo.1及びNo.4のサンプルについて、蛍光X線分析により、圧電体層中のAg含有量を厚さ方向に分析した。その結果、No.1のサンプルでは、電極層と反対側の端面近傍領域のAg含有量は、電極層近傍領域に対して30%程度であった。これに対し、No.4のサンプルでは、電極層近傍領域と、電極層と反対側の端面近傍領域とで、ほぼ同じAg含有量であった。
Claims (4)
- 主として圧電材料から構成される圧電体層と、
前記圧電体層を挟むように配置された金属を含む一対の電極層と、を少なくとも備え、
前記圧電材料は、リン元素を含む、
ことを特徴とする圧電素子。 - 前記リン元素は、前記圧電材料中、P2O5に換算して50〜1000ppm含まれている、ことを特徴とする請求項1記載の圧電素子。
- 主として圧電材料から構成される圧電体層、及び、前記圧電体層を挟むように配置された金属を含む一対の電極層を少なくとも備える素体と、
前記素体の積層方向の少なくとも一方の端面に設けられた、主として圧電材料から構成される保護層と、を備え、
前記保護層における前記圧電材料は、リン元素を含む、
ことを特徴とする圧電素子。 - 前記リン元素は、前記保護層における前記圧電材料中、P2O5に換算して50〜1000ppm含まれている、ことを特徴とする請求項3記載の圧電素子。
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