JP2005118348A

JP2005118348A - 放射線撮像装置

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Publication number: JP2005118348A
Application number: JP2003357780A
Authority: JP
Inventors: Shigeya Asai; 重哉浅井; Keiichi Fujii; 圭一藤井; Susumu Adachi; 晋足立; Shinya Hirasawa; 伸也平澤; Toshinori Yoshimuta; 利典吉牟田; Koichi Tanabe; 晃一田邊; Shoichi Okamura; 昇一岡村; Akihiro Nishimura; 暁弘西村
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2003-10-17
Filing date: 2003-10-17
Publication date: 2005-05-12
Anticipated expiration: 2023-10-17
Also published as: JP4773049B2

Abstract

【課題】フラットパネル型放射線検出器でのバイアス高電圧の供給開始時の信号取り出し回路の破損を防止する。
【解決手段】この発明の装置は、電源出力供給開始制御部７により常にフラットパネル型放射線検出器（ＦＰＤ）２の信号取り出し回路５が先に動作中となって安定な回路状態に入った後でＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が始まるので、バイアス高電圧の供給開始の際にＴＦＴ（薄膜電界効果トランジスタ）に電荷が過剰に蓄積されず、バイアス高電圧供給開始時のＦＰＤ２の信号取り出し回路の破損が確実に防止できる。又、電源出力供給停止制御部８により常にＦＰＤ２の信号取り出し回路５が動作中で安定な回路状態にある間にＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が止められるので、バイアス高電圧の供給停止の際にＴＦＴに電荷が過剰に蓄積されず、バイアス高電圧供給停止時のＦＰＤの信号取り出し回路の破損も確実に防止できる。
【選択図】図１

Description

この発明は、直接変換タイプのフラットパネル型放射線検出器に係り、特に、前記検出器への放射線入射に伴って検出器から出力される電気信号にしたがって放射線画像が作成される放射線撮像装置に係り、特に放射線検出用としての直接変換タイプの検出器の共通電極へのバイアス高電圧の供給開始の際に起こる検出器の信号取り出し回路の破損を防ぐための技術に関する。

従来の放射線撮像装置のひとつである直接変換型のフラットパネル型放射線検出器（以下、適宜「ＦＰＤ」と記載）を備えたＸ線透視撮影装置では、直接変換タイプのＦＰＤが、Ｘ線（放射線）が先ずいったん光に変換された後で変換光がさらに光電変換で電気信号に変換される間接タイプの場合とは異なり、入射したＸ線をＸ線感応型（放射線感応型）半導体で直に電気信号に変換する。Ｘ線撮影の際は、ＦＰＤのＸ線感応型半導体のＸ線入射側に設けられているバイアス高電圧印加用の共通電極に数千ボルト〜数万ボルトのバイアス高電圧が印加され、Ｘ線入射によりＸ線感応型半導体に生成された電気信号が、ＦＰＤの信号取り出し回路によってＸ線感応型半導体のＸ線非入射側に２次元状マトリックス配列で設けられた収集電極経由で取り出されて出力される。そして、ＦＰＤの後段では、ＦＰＤから出力される電気信号にしたがってＸ線画像（例えばＸ線透視画像）が作成される。

つまり、従来の装置に配備されているＦＰＤの場合、２次元状マトリックス配列の各収集電極がそれぞれＸ線画像の各画素に対応する電極（画素電極）になっていて、ＦＰＤのＸ線検出面に投影される入射Ｘ線の２次元強度分布に応じたＸ線画像を作成できるＸ線検出信号がＦＰＤから出力されるのである。

しかしながら、前記の従来装置の場合、ＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給開始の際にＦＰＤの信号取り出し回路が破損し易いという問題がある。

直接変換タイプのＦＰＤでは、特にＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給を開始する際、低電圧電力で動作する信号取り出し回路の状況によってはＦＰＤを構成するＴＦＴ（薄膜電界効果トランジスタ）に電荷が過剰に蓄積されてしまい、トランジスタなどの回路素子が破壊される可能性がある。そのため、Ｘ線撮影が全く行えなくなる。

この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、放射線検出用としての直接変換タイプのフラットパネル型放射線検出器の共通電極へのバイアス高電圧の供給開始の際に起こる検出器の信号取り出し回路の破損を確実に防止することができる放射線撮像装置を提供することを目的とする。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明に係る放射線撮像装置は、入射放射線を直に電気信号に変換する放射線感応型半導体と、前記放射線感応型半導体の放射線入射側に設けられているバイアス高電圧印加用の共通電極と、前記放射線感応型半導体の放射線非入射側に１次元状ないし２次元状マトリックス配列で設けられている複数の収集電極と、放射線入射により放射線感応型半導体に生成された電気信号を収集電極経由で取り出す信号取り出し回路とを有する直接変換タイプのフラットパネル型放射線検出器を備えるとともに、前記検出器の共通電極にバイアス高電圧を出力するバイアス高電圧供給用電源と、検出器の信号取り出し回路に駆動用低電圧電力を出力する信号取り出し回路駆動用低電圧電源と、検出器の信号取り出し回路への駆動用低電圧電力の供給を開始した後で検出器の共通電極へのバイアス高電圧の供給を開始する電源出力供給開始制御手段とを備え、検出器への放射線入射に伴って検出器から出力される電気信号にしたがって放射線画像が作成されることを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項1に記載の放射線撮像装置を稼動させる場合、電源出力供給開始制御手段により、信号取り出し回路への駆動用低電圧電力の供給を開始した後でフラットパネル型放射線検出器（ＦＰＤ）の共通電極へのバイアス高電圧の供給を開始する。そして、放射線撮影が始まるとＦＰＤでは、放射線入射により放射線感応型半導体に生成された電気信号が信号取り出し回路によって放射線感応型半導体のＸ線非入射側に１次元状ないし２次元状マトリックス配列で設けられた収集電極経由で取り出される一方、ＦＰＤの後段ではＦＰＤから出力される電気信号にしたがって放射線画像が作成される。

このように、請求項１の発明の放射線撮像装置では、電源出力供給開始制御手段により常に、ＦＰＤの信号取り出し回路への駆動用低電圧電力の供給が先に始まって信号取り出し回路が先に動作中となって安定な回路状態に入った後でＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給が開始されるので、ＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給開始の際、ＦＰＤを構成するＴＦＴ（薄膜電界効果トランジスタ）に電荷が過剰に蓄積される事態が全くなくなり、その結果、ＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給開始の際のＦＰＤの信号取り出し回路の破損を確実に防止できる。

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の放射線撮像装置において、前記検出器の共通電極へのバイアス高電圧の供給を停止した後で信号取り出し回路への駆動用低電圧電力の供給を停止する電源出力供給停止制御手段を備えているものである。

［作用・効果］請求項２の発明の場合、電源出力供給停止制御手段により常に、ＦＰＤの信号取り出し回路への駆動用低電圧電力の供給によって信号取り出し回路がなお動作中で安定な回路状態にある間にＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給が停止されるので、ＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給停止の際、ＴＦＴに電荷が過剰に蓄積される事態が全くなくなる。その結果、ＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給停止時のＦＰＤの信号取り出し回路の破損を確実に防止できる。

今少し付言すれば、もしＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給停止の際、誤って最初に駆動用低電圧電力の供給を停止してしまって信号取り出し回路が先に非動作中となって不安定な回路状態になった段階でＦＰＤの共通電極へバイアス高電圧が供給されたままとなると、ＴＦＴに電荷が過剰に蓄積される事態が起こるのである。

また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の放射線撮像装置において、装置稼働用電源の停電時に装置稼働用電力を供給する非常用電源を備えていて、停電時には非常用電源によって電源出力供給停止制御手段が自動的に作動させられるものである。

［作用・効果］請求項３の発明の場合、停電時も非常用電源によって装置稼働用電力が供給されると同時に電源出力供給停止制御手段が自動的に作動し、ＦＰＤの信号取り出し回路が駆動用電力の供給により動作中で安定状態にある間にＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の印加を停止されられるので、停電時のＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給停止の際も、ＦＰＤの信号取り出し回路が破損することを防ぐことができる。

また、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の放射線撮像装置において、停電時に電源出力供給停止制御手段の作動が完了した後に制御・処理用駆動電源を自動的に停止させる制御処理用電源停止手段を備えているものである。

［作用・効果］請求項４の発明の場合、停電時に制御処理用電源停止手段が電源出力供給停止制御手段の作動が完了した後に制御・処理用駆動電源を自動的に停止させるので、停電時のＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給停止の際のＦＰＤの信号取り出し回路の破損を確実に防止すると同時に、制御・処理用駆動電源を速やかに停止させることができる。

この発明に係る放射線撮像装置の場合、電源出力供給開始制御手段により常に、ＦＰＤの信号取り出し回路への駆動用低電圧電力の供給が先に始まって信号取り出し回路が動作中で安定な回路状態に入った後でＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給が開始されるので、ＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給開始の際に、ＴＦＴ（薄膜電界効果トランジスタ）に電荷が過剰に蓄積される事態が全くなくなる。

よって、この発明の放射線撮像装置によれば、放射線検出用としての直接変換タイプのＦＰＤの共通電極へのバイアス高電圧の供給開始の際に起こるＦＰＤの信号取り出し回路の破損を確実に防止することができる。

この発明の放射線撮像装置の実施例を図面を参照して説明する。図１は実施例に係るＸ線透視撮影装置の要部構成を示すブロック図、図２は実施例装置のＦＰＤの要部構成を示す断面図、図３は実施例装置のＦＰＤのアクティブマトリックス基板まわりの電気回路を示すブロック図、図４は実施例装置のＦＰＤのアクティブマトリックス基板の構成を示す模式的断面図である。

実施例のＸ線透視撮影装置は、図１に示すように、被検体ＭにＸ線を照射するＸ線管１と、被検体Ｍからの透過Ｘ線を検出する直接変換タイプのＦＰＤ２と、ＦＰＤ２のバイアス高電圧印加用の共通電極３にバイアス高電圧を供給するバイアス高電圧供給用電源（以下、適宜「高電圧供給用電源」と略記）４と、ＦＰＤ２の信号取り出し回路５に駆動用電力を供給する信号取り出し回路駆動用低電圧電源（以下、適宜「駆動用低電圧電源」と略記）６とを備えているのに加えて、ＦＰＤ２の信号取り出し回路５への駆動用低電圧電力の供給を開始した後でＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給を開始する電源出力供給開始制御部７と、ＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給を停止した後で信号取り出し回路５への駆動用低電圧電力の供給を停止する電源出力供給停止制御部８とを備えている他、ＦＰＤ２の後段に、Ｘ線照射制御部１Ａのコントロールを受けてＸ線管１が行うＸ線照射に伴ってＦＰＤ２から出力される電気信号にしたがってＸ線画像を作成する信号処理部・制御部９や、信号処理部・制御部９で作成されたＸ線画像を表示する画像モニタ１０などを備えている。また、信号処理部・制御部９は電源出力供給停止制御部８に電源の供給停止の指令を与える。信号処理部・制御部９は、この発明における制御・処理用駆動電源の機能を備えるとともに、停電時に電源出力供給停止制御部８の作動が完了した後に信号処理部・制御部９自身を自動的に停止させる、この発明における制御処理用電源停止手段の機能をも備えている。

直接変換タイプのＦＰＤ２は、図２〜図４にも示すように、Ｘ線の入射により電気信号（電荷）を生成する例えば高純度アモルファスセレン（ａ−Ｓｅ）のようなＸ線感応型半導体１１と、Ｘ線感応型半導体１１にバイアス高電圧を印加するためにＸ線感応型半導体１１のＸ線入射側に設けられている共通電極３と、Ｘ線感応型半導体１１のＸ線非入射側に２次元状マトリックス配列で設けられている多数の収集電極１２と、Ｘ線入射によりＸ線感応型半導体１１に生成された電気信号を収集電極１２経由で取り出して出力する信号取り出し回路５とを有する。また、ＦＰＤ２の場合、信号取り出し回路５は、各収集電極１２で収集される電荷の蓄積・放出用電気回路１３と、ゲートドライバ回路１４と、電荷電圧変換型増幅回路１５と、マルチプレクサ回路１６と、Ａ／Ｄ変換回路１７などから構成されている。

収集電極１２および蓄積・放出用電気回路１３はアクティブマトリックス基板１８に形成されており、蓄積・放出用電気回路１３はコンデンサ１３Ａやスイッチング素子としてのＴＦＴ（薄膜電界効果トランジスタ）１３Ｂおよびゲート線１３ａ，データ線１３ｂなどからなり、各収集電極１２ごとに１個のコンデンサ１３Ａと１個のＴＦＴ１３Ｂが配備されている。

なお、ゲートドライバ回路１４〜Ａ／Ｄ変換回路１７までの各回路は別デバイスとして外付けのかたちで配備されているが、ゲートドライバ回路１４〜Ａ／Ｄ変換回路１７の一部または全部が外付けではなくて、アクティブマトリックス基板１８に搭載のかたちで配設されていてもよい。

高電圧供給用電源４は出力をオン・オフする機能を備えていて、電源出力供給開始制御部７により出力がオンされるとＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が開始され、電源出力供給停止制御部８により出力がオフされるとＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が停止される。高電圧供給用電源４の出力電圧は例えば数千ボルト〜数万ボルトの直流高電圧である。

また、駆動用低電圧電源６も出力をオン・オフする機能を備えていて、電源出力供給開始制御部７により出力がオンされるとＦＰＤ２の信号取り出し回路５への駆動用低電圧電力の供給が開始され、電源出力供給停止制御部８により出力がオフされるとＦＰＤ２の信号取り出し回路５への駆動用低電圧電力の供給が停止される。駆動用低電圧電源６の出力電圧は例えば数ボルト〜数十ボルト程度の直流低電圧である。

そして、電源出力供給開始制御部７は常に先に駆動用低電圧電源６をオンしてＦＰＤ２の信号取り出し回路５への駆動用低電圧電力の供給を開始した後で高電圧供給用電源４をオンしてＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給を開始する。したがって、ＦＰＤ２では必ず、ＦＰＤ２の信号取り出し回路５への駆動用低電圧電力の供給が始まって信号取り出し回路５が動作中で安定な回路状態に入った後でＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が開始される。

また、電源出力供給停止制御部８は常に先に高電圧供給用電源４をオフしてＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給を停止した後に駆動用低電圧電源６をオフしてＦＰＤ２の信号取り出し回路５への駆動用低電圧電力の供給を停止する。したがって、ＦＰＤ２では必ず、ＦＰＤ２の信号取り出し回路５への駆動用低電圧電力の供給によって信号取り出し回路５が動作中で安定な回路状態にある間にＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が停止される。

実施例装置のＦＰＤ２のＸ線検出の際は、高電圧供給用電源４から出力されるバイアス高電圧が共通電極３からＸ線感応型半導体１１に供給（印加）される。バイアス高電圧が印加された状態で、検出対象のＸ線入射に伴ってＸ線感応型半導体１１で電荷（電気信号）が生成されるとともにＸ線感応型半導体１１で生じた電荷が（詳しくは各収集電極１２へ移動することで収集電極１２に電荷が誘起するかたちで）各収集電極１２ごとに収集される一方、各収集電極１２で収集される電荷は、信号取り出し回路５によってＸ線感応型半導体１１で生じた電気信号として取り出されて出力される。

具体的には、ゲートドライバ回路１４からゲート線１３ａ経由で読み出し信号が各ＴＦＴ１３Ｂのゲートに順番に与えられると同時に、読み出し信号が与えられている各ＴＦＴ１３Ｂのソースに繋がっているデータ線１３ｂがマルチプレクサ回路１６に順に切り換え接続されるのにしたがって、コンデンサ１３Ａに蓄積された電荷が、ＴＦＴ１３Ｂからデータ線１３ｂを経て電荷電圧変換型増幅回路１５で増幅された上でマルチプレクサ回路１６により各収集電極１２毎のＸ線検出信号としてＡ／Ｄ変換回路１７に送り出されてディジタル化されてから出力される。

つまり、実施例のＦＰＤ２は、２次元状マトリックス配列の各収集電極１２がそれぞれＸ線画像の各画素に対応する電極（画素電極）となっていて、ＦＰＤ２のＸ線検出面に投影されるＸ線の２次元強度分布に応じたＸ線画像（例えばＸ線透視画像）を作成できるＸ線検出信号が取り出せる２次元アレイタイプの検出器である。

さらに、実施例のＸ線透視撮影装置は、装置稼働用電源として、図１に示すように、無停電電源（ＵＳＰ）２０を装備している。この無停電電源２０は、蓄電池式非常用電源を内蔵していて、停電時には停電を自己検知して直ちに内部で蓄電池式非常用電源に切り換えて電力を（非常用電源の蓄電池の寿命の期間だけ）供給を続ける。したがって、実施例のＸ線透視撮影装置は、非停電時は規定の商用交流電源によって装置が稼働し、停電時には非常用電源である蓄電池に自動的に切り換えられて装置は稼働を続けることができる。

無停電電源２０は、停電を検知すると、停電検知信号を信号処理部・制御部９へ出力する。

停電検知信号を受信した信号処理部・制御部９は直ちに作動を開始し、電源出力供給停止制御部８に指令し高電圧供給用電源４をオフしてＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給を停止し、続いて駆動用低電圧電源６をオフしてＦＰＤ２の信号取り出し回路５への駆動用低電圧電力の供給を停止する。

停電検知信号を受信した信号処理部・制御部９は、電源出力供給停止制御部８の作動が完了したタイミングで信号処理部・制御部９自身を強制的に停止する。

したがって、停電が起きた時も、実施例装置では電源出力供給停止制御部８が作動して、ＦＰＤ２の信号取り出し回路５が駆動用電力の供給によって動作中で安定状態にある間にＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が停止されると同時に、バイアス高電圧の供給が停止されるのに続いて、信号処理部・制御部９が速やかに停止される。

なお、実施例装置の場合、Ｘ線撮影に必要な各種指令やデータの入力は操作部１９によって行われる。さらに電源出力供給開始制御部７と電源出力供給停止制御部８は、装置の稼働・停止に伴って自動的に作動する構成となっているのに加え、操作部１９による入力指令によって電源出力供給開始制御部７や電源出力供給停止制御部８を随時作動させることもできる構成となっている。

続いて、上述した実施例装置における電源出力供給開始・停止動作を図面を参照しながら説明する。図５は実施例装置の電源出力供給開始・停止プロセスを示すフローチャートである。以下、装置稼働用電源としての無停電電源２０の投入が完了した時点から説明する。

〔ステップＳ１〕実施例装置の稼働開始に伴って最初に信号処理部・制御部９の投入が済むととともに高電圧供給用電源４や駆動用低電圧電源６も立ち上げられて出力がオンするのを待つ（待機）段階に移行する。

〔ステップＳ２〕電源出力供給開始制御部７が作動し、ＦＰＤ２の信号取り出し回路５への駆動用低電圧電力の供給が始まるのに続いて、ＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が始まる。

〔ステップＳ３〕停電発生の有無がチェックされる。停電が発生した場合は、後のステップＳ５へ飛ぶ。停電が発生していない場合は、次のステップＳ４へ進む。

〔ステップＳ４〕実施例装置の稼働停止指令の有無をチェックし、稼働停止指令がある場合は、次のステップＳ５へ進む。稼働停止指令がない（稼働継続の）場合は、ステップＳ３へ戻る。

〔ステップＳ５〕電源出力供給停止制御部８が作動し、ＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が停止されるのに続いて、ＦＰＤ２の信号取り出し回路５への駆動用低電圧電力の供給が停止される。

〔ステップＳ６〕電源出力供給停止制御部８が作動完了後、高電圧供給用電源４と駆動用低電圧電源６および信号処理部・制御部９が完全に停止され、電源出力供給開始・停止動作は終了となる。

なお、ステップＳ２より後〜ステップＳ５より前の期間中に操作部１９から電源出力供給開始制御部７や電源出力供給停止制御部８を作動させる入力指令があった場合は、電源出力供給開始制御部７や電源出力供給停止制御部８が直ちに作動し、高電圧供給用電源４および駆動用低電圧電源６の出力供給の開始ないし停止が行われる。

以上に詳述したように、実施例装置の場合、電源出力供給開始制御部７により常にＦＰＤ２の信号取り出し回路５が先に動作中となって安定な回路状態に入った後でＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が開始されるので、ＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給開始の際にＴＦＴ１３Ｂに電荷が過剰に蓄積される事態が全くなくなり、バイアス高電圧供給開始時のＦＰＤの信号取り出し回路の破損を確実に防止できる。加えて、実施例装置の場合、電源出力供給停止制御部８により常にＦＰＤ２の信号取り出し回路５が動作中で安定な回路状態にある間にＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が停止されるので、ＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給停止の際にＴＦＴ１３Ｂに電荷が過剰に蓄積される事態が全くなくなり、バイアス高電圧供給停止時のＦＰＤ２の信号取り出し回路の破損を確実に防止できる。

また、実施例装置では、停電時も無停電電源２０によって装置稼働用電力が供給されると同時に電源出力供給停止制御部８が自動的に作動し、ＦＰＤ２の信号取り出し回路５が駆動用電力の供給により動作中で安定な回路状態にある間にＦＰＤ２の共通電極３へのバイアス高電圧の供給が停止させられるので、停電時でもバイアス高電圧供給停止の際のＦＰＤ２の信号取り出し回路の破損を確実に防止できる。

さらに、実施例装置では、停電時に信号処理部・制御部９が電源出力供給停止制御部８の作動が完了した後に信号処理部・制御部９自身を自動的に停止させるので、停電の際もバイアス高電圧供給停止時のＦＰＤ２の信号取り出し回路の破損を確実に防止すると同時に、信号処理部・制御部９を速やかに停止させることができる。

この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）実施例装置のＦＰＤ２は、２次元アレイタイプであったが、この発明の放射線撮像装置のＦＰＤの場合、１次元状マトリックス配列で形成されている１次元アレイタイプであってもよい。

（２）実施例のＦＰＤ２の場合、ゲートドライバ回路１４、電荷電圧変換型増幅回路１５、マルチプレクサ回路１６、および、Ａ／Ｄ変換回路１７が配備されていたが、この発明の装置に装備されるＦＰＤは、ゲートドライバ回路１４、電荷電圧変換型増幅回路１５、マルチプレクサ回路１６、および、Ａ／Ｄ変換回路１７の一部または全部が配備されていない構成であってもよい。

（３）実施例の場合、放射線はＸ線であったが、この発明は、Ｘ線以外の放射線に対しても適用することができる。

実施例のＸ線透視撮影装置の要部構成を示すブロック図である。実施例装置のＦＰＤの要部構成を示す断面図である。実施例装置のＦＰＤのアクティブマトリックス基板まわりの電気回路を示すブロック図である。実施例装置のＦＰＤのセンサ部およびアクティブマトリックス基板の構成を示す模式的断面図である。実施例装置の電源出力供給開始・停止プロセスを示すフローチャートである。

符号の説明

１ …Ｘ線管
２ …ＦＰＤ（フラットパネル型放射線検出器）
３ …共通電極
４ …バイアス高電圧供給用電源
５ …信号取り出し回路
６ …信号取り出し回路駆動用低電圧電源
７ …電源出力供給開始制御部（電源出力供給開始制御手段）
８ …電源出力供給停止制御部（電源出力供給停止制御手段）
９ …信号処理部・制御部（制御・処理用駆動電源／制御処理用電源停止手段）
１１ …Ｘ線感応型半導体（放射線感応型半導体）
１２ …収集電極
２０ …無停電電源

Claims

入射放射線を直に電気信号に変換する放射線感応型半導体と、前記放射線感応型半導体の放射線入射側に設けられているバイアス高電圧印加用の共通電極と、前記放射線感応型半導体の放射線非入射側に１次元状ないし２次元状マトリックス配列で設けられている複数の収集電極と、放射線入射により放射線感応型半導体に生成された電気信号を収集電極経由で取り出す信号取り出し回路とを有する直接変換タイプのフラットパネル型放射線検出器を備えるとともに、前記検出器の共通電極にバイアス高電圧を出力するバイアス高電圧供給用電源と、検出器の信号取り出し回路に駆動用低電圧電力を出力する信号取り出し回路駆動用低電圧電源と、検出器の信号取り出し回路への駆動用低電圧電力の供給を開始した後で検出器の共通電極へのバイアス高電圧の供給を開始する電源出力供給開始制御手段とを備え、検出器への放射線入射に伴って検出器から出力される電気信号にしたがって放射線画像が作成されることを特徴とする放射線撮像装置。
請求項１に記載の放射線撮像装置において、前記検出器の共通電極へのバイアス高電圧の供給を停止した後で信号取り出し回路への駆動用低電圧電力の供給を停止する電源出力供給停止制御手段を備えている放射線撮像装置。
請求項２に記載の放射線撮像装置において、装置稼働用電源の停電時に装置稼働用電力を供給する非常用電源を備えていて、停電時には非常用電源によって電源出力供給停止制御手段が自動的に作動させられる放射線撮像装置。
請求項３に記載の放射線撮像装置において、停電時に電源出力供給停止制御手段の作動が完了した後に制御・処理用駆動電源を自動的に停止させる制御処理用電源停止手段を備えている放射線撮像装置。