JP2005116886A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体装置の製造方法において回路部を支持基板から容易に剥離できるようにする。
【解決手段】剥離性のよい材料であるステンレスを用いて形成した支持基板上に固着電極63及び取出し電極64を形成し、前記支持基板上の固着電極63上に導電性物質70で半導体素子65を接続し、前記半導体素子65の電極と前記取出し電極64とをボンディングし、かつこれらを樹脂封止することで半導体装置本体を形成する。次に、前記支持基板を前記固着電極63裏面、取出し電極64、並びに絶縁樹脂の裏面側界面から剥離し前記固着電極63裏面及び取出し電極64の裏面側にめっき膜68を施し、取出し電極64にはバンプ69を形成し、固着電極裏面63は大気に露出させて半導体装置を形成する。
【選択図】 図1
【解決手段】剥離性のよい材料であるステンレスを用いて形成した支持基板上に固着電極63及び取出し電極64を形成し、前記支持基板上の固着電極63上に導電性物質70で半導体素子65を接続し、前記半導体素子65の電極と前記取出し電極64とをボンディングし、かつこれらを樹脂封止することで半導体装置本体を形成する。次に、前記支持基板を前記固着電極63裏面、取出し電極64、並びに絶縁樹脂の裏面側界面から剥離し前記固着電極63裏面及び取出し電極64の裏面側にめっき膜68を施し、取出し電極64にはバンプ69を形成し、固着電極裏面63は大気に露出させて半導体装置を形成する。
【選択図】 図1
Description
本発明は高い放熱性を有した薄型の半導体装置及びその製造方法に関する。
半導体装置は、家電用機器、情報機器、自動車などの輸送機器等のきわめて広範な分野において、電子機器の小型化、薄型化に資するものとしてデータ処理の高速化、高機能、大容量化と共に小型化に向けた開発が進められてきている。
1例として、外径寸法が半導体チップ(素子)サイズと同等あるいはわずかに大きい半導体パッケージとしたいわゆるチップサイズパッケージ(CSP)が知られている。これは半導体ウエハ上に多数の半導体チップを形成し、その半導体ウエハの上部を樹脂封止し、その後ダイシングにより個々の半導体装置に分割して完成させたものである。
図12は従来のCSPによる半導体装置の1例を示す断面図である。この半導体装置では、半導体チップを支持する支持基板として樹脂フィルムを採用しその薄型化を図ったものである。この半導体装置は、熱可塑性樹脂フィルムを挟んで上下にそれぞれ電極となる導電箔を熱圧着して構成した支持基板81を形成し、この支持基板81上に固着電極85aと取出し電極85bとを形成して第1の電極となし、前記固着電極の上に導電ペーストを介して半導体チップ88が配置されている。また、両導電箔82,83は、前記支持基板81を熱圧着で一体化して支持基板80を形成する際に熱可塑性樹脂フィルム81に貫通設置した導電材87で電気的に接続されており、半導体チップ88と前記取出し電極85bとは導電性ワイヤ91でボンディングされている。
(従来技術1:特許文献1参照)。
1例として、外径寸法が半導体チップ(素子)サイズと同等あるいはわずかに大きい半導体パッケージとしたいわゆるチップサイズパッケージ(CSP)が知られている。これは半導体ウエハ上に多数の半導体チップを形成し、その半導体ウエハの上部を樹脂封止し、その後ダイシングにより個々の半導体装置に分割して完成させたものである。
図12は従来のCSPによる半導体装置の1例を示す断面図である。この半導体装置では、半導体チップを支持する支持基板として樹脂フィルムを採用しその薄型化を図ったものである。この半導体装置は、熱可塑性樹脂フィルムを挟んで上下にそれぞれ電極となる導電箔を熱圧着して構成した支持基板81を形成し、この支持基板81上に固着電極85aと取出し電極85bとを形成して第1の電極となし、前記固着電極の上に導電ペーストを介して半導体チップ88が配置されている。また、両導電箔82,83は、前記支持基板81を熱圧着で一体化して支持基板80を形成する際に熱可塑性樹脂フィルム81に貫通設置した導電材87で電気的に接続されており、半導体チップ88と前記取出し電極85bとは導電性ワイヤ91でボンディングされている。
(従来技術1:特許文献1参照)。
また、別の半導体装置として、上記半導体装置の支持基板を作製工程中に半導体装置から剥離した構成のものも知られている。即ち、図13に示された半導体装置では、複数の端子部103がその外部端子面103cが一平面をなすように配置され、この端子部103の配列の略中央に端子部103の外部端子面103cと外部表面102cが同一平面をなすようにダイパッド102が配置されている。
ダイパッド102の内部表面102b上には、電気絶縁性材料106を介して半導体素子105がその素子面と反対側を固着されて搭載されている。この半導体素子105の端子105aは、端子部103の内部端子面103bにワイヤ7によって接続されており、かつ、端子部103の外部端子面103cと、ダイパッド102の外部表面102cを外部に露出させるように、端子部103、ダイパッド102、半導体素子105、ワイヤ107が樹脂部材108により封止されている。また、外部に露出している端子部103の外部端子面103cには、半田ボール109が取り付けられている。
この半導体装置の製造に当たっては、まず、鉄−ニッケル合金、鉄−ニッケル−クロム合金、鉄−ニッケル−カーボン合金等の導電性基板、又は表面にCu、Ni、Ag、Pd、Auあるいはこれらの合金からなる導電性層を備えた絶縁性基板を使用し、基板上にレジストパターンを形成し、次に、電解めっき法により、レジストパターンを介して基板上に金属を析出させて、ダイパッド102と複数の端子部からなる回路部を形成する。半導体装置用回路部材のダイパッド102上に絶縁性部材106を介して半導体素子105を搭載する。次に、半導体素子105の端子105aと、半導体装置用回路部材の端子部の内部端子面103bとをワイヤ107を用いて接続する。その後、導電性基板上で、端子部、ダイパッド、半導体素子105、ワイヤ107を樹脂部材108により封止する。次いで、樹脂封止された半導体装置を導電性基板から剥離し、その後、端子部103の露出した外部端子面に半田ボール109を取り付ける。
本製造方法では、前記剥離工程において前記基板からの半導体装置の剥離が容易に行われるように、予めサンドブラスト処理により前記基板の一面に凹凸をつける表面処理を行い、かつ、基板の表面に酸化膜を形成して剥離性をもたせる剥離処理を行っている。(従来技術2:特許文献2参照)。
ダイパッド102の内部表面102b上には、電気絶縁性材料106を介して半導体素子105がその素子面と反対側を固着されて搭載されている。この半導体素子105の端子105aは、端子部103の内部端子面103bにワイヤ7によって接続されており、かつ、端子部103の外部端子面103cと、ダイパッド102の外部表面102cを外部に露出させるように、端子部103、ダイパッド102、半導体素子105、ワイヤ107が樹脂部材108により封止されている。また、外部に露出している端子部103の外部端子面103cには、半田ボール109が取り付けられている。
この半導体装置の製造に当たっては、まず、鉄−ニッケル合金、鉄−ニッケル−クロム合金、鉄−ニッケル−カーボン合金等の導電性基板、又は表面にCu、Ni、Ag、Pd、Auあるいはこれらの合金からなる導電性層を備えた絶縁性基板を使用し、基板上にレジストパターンを形成し、次に、電解めっき法により、レジストパターンを介して基板上に金属を析出させて、ダイパッド102と複数の端子部からなる回路部を形成する。半導体装置用回路部材のダイパッド102上に絶縁性部材106を介して半導体素子105を搭載する。次に、半導体素子105の端子105aと、半導体装置用回路部材の端子部の内部端子面103bとをワイヤ107を用いて接続する。その後、導電性基板上で、端子部、ダイパッド、半導体素子105、ワイヤ107を樹脂部材108により封止する。次いで、樹脂封止された半導体装置を導電性基板から剥離し、その後、端子部103の露出した外部端子面に半田ボール109を取り付ける。
本製造方法では、前記剥離工程において前記基板からの半導体装置の剥離が容易に行われるように、予めサンドブラスト処理により前記基板の一面に凹凸をつける表面処理を行い、かつ、基板の表面に酸化膜を形成して剥離性をもたせる剥離処理を行っている。(従来技術2:特許文献2参照)。
前記従来技術1の半導体装置では、支持基板81があるために半導体装置がその分の厚みを有することになるばかりではなく、製作時に第1の電極82(85a)と第2の電極83とを導電材87で接続する必要があるためその分製作が煩雑で時間を要するという問題がある。また、半導体チップ88が高機能化するにともなってその発熱量も大きくなるが、半導体チップの固着電極は直接大気に接触していないため、半導体装置を回路基板に実装したときにその放熱が十分に行えないという問題がある。
前記従来技術2の半導体装置では、上記従来技術1の持つ問題は解決し得るものの、導電性基板上に形成された樹脂封止された半導体装置を容易に剥離するために、基板面にサンドブラスト処理により基板の一面に凹凸をつける表面処理や、基板の表面に酸化膜を形成して剥離性をもたせる剥離処理を行っているため、その処理が煩雑であり処理時間やコストも掛かるという問題がある。
また、剥離性が良好でないため、半導体装置を導電性基板から剥離する際、加わる力によって封止用樹脂部分と回路部が剥離したり、回路部にクラックが入り易いことから、回路部の基板接触面と反対側の表面の周囲に突起部を形成しているが、横方向の突起部は面積が大きくなり、ファインピッチ、多ピン対応製品には向かず、しかも横方向の突起部を厚膜レジストの高さより多くめっきすることにより形成しているため、突起部の面積の制御が難しいという前記半導体装置固有の問題がある。
更に、前記半導体素子は内部端子上に電気絶縁材料を介して搭載されているため、半導体素子で発生した熱の放熱性が良くないという問題がある。
そこで、本発明の目的は半導体製造工程における剥離を容易かつ簡単な方法で行いしかも剥離性を向上させ、製作工程の時間及びコストを削減すると共に、放熱効率を一層向上させることである。
また、剥離性が良好でないため、半導体装置を導電性基板から剥離する際、加わる力によって封止用樹脂部分と回路部が剥離したり、回路部にクラックが入り易いことから、回路部の基板接触面と反対側の表面の周囲に突起部を形成しているが、横方向の突起部は面積が大きくなり、ファインピッチ、多ピン対応製品には向かず、しかも横方向の突起部を厚膜レジストの高さより多くめっきすることにより形成しているため、突起部の面積の制御が難しいという前記半導体装置固有の問題がある。
更に、前記半導体素子は内部端子上に電気絶縁材料を介して搭載されているため、半導体素子で発生した熱の放熱性が良くないという問題がある。
そこで、本発明の目的は半導体製造工程における剥離を容易かつ簡単な方法で行いしかも剥離性を向上させ、製作工程の時間及びコストを削減すると共に、放熱効率を一層向上させることである。
請求項1の発明は、半導体素子と、前記半導体素子と導電性物質で接続された放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極と、前記半導体素子、放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極の表面側は大気に露出しないように被覆すると共に前記放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極の裏面側は大気に露出するように被覆する絶縁樹脂から成り、前記放熱板を兼ねた固着電極は、該固着電極上に半導体素子を配置したときに平面視で該半導体素子の領域外となる放熱領域を有することを特徴とする半導体装置である。
請求項2の発明は、支持基板上に放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極を形成する工程と、前記支持基板上の放熱板を兼ねた固着電極上に導電性物質で半導体素子を接続する工程と、前記半導体素子の電極と前記取出し電極とをボンディングする工程と、前記支持基板上の半導体素子、放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極を絶縁樹脂で被覆する工程と、前記支持基板を放熱板を兼ねた前記固着電極裏面及び取出し電極、並びに絶縁樹脂の裏面側界面から剥離し前記放熱板を兼ねた固着電極裏面及び取出し電極の裏面側を大気に露出させる工程を有し、前記支持基板上に放熱板を兼ねた固着電極を形成する工程は、固着電極上に半導体素子を配置したとき平面視で半導体素子領域外となる放熱領域を有するように固着電極を形成する工程である事を特徴とする半導体装置の製造方法である。
請求項3の発明は、前記支持基板がステンレスであり、前記放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極がめっき法により形成されることを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法である。
請求項4の発明は、前記支持基板を前記放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極絶縁樹脂の裏面側界面から剥離し前記固着電極裏面及び取出し電極の裏面側を大気に露出させる工程が、前記支持基板上に形成された粘着剤と前記支持基板を前記放熱板を兼ねた固着電極裏面及び取出し電極並びに絶縁樹脂の裏面側との界面から剥離することにより、前記放熱板を兼ねた固着電極裏面及び取出し電極の裏面側を大気に露出させること特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法である。
請求項5の発明は、前記支持基板がガラスエポキシ樹脂であり、前記粘着剤がシリコーン樹脂であること特徴とする請求項2並びに請求項4記載の半導体装置の製造方法である。
請求項2の発明は、支持基板上に放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極を形成する工程と、前記支持基板上の放熱板を兼ねた固着電極上に導電性物質で半導体素子を接続する工程と、前記半導体素子の電極と前記取出し電極とをボンディングする工程と、前記支持基板上の半導体素子、放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極を絶縁樹脂で被覆する工程と、前記支持基板を放熱板を兼ねた前記固着電極裏面及び取出し電極、並びに絶縁樹脂の裏面側界面から剥離し前記放熱板を兼ねた固着電極裏面及び取出し電極の裏面側を大気に露出させる工程を有し、前記支持基板上に放熱板を兼ねた固着電極を形成する工程は、固着電極上に半導体素子を配置したとき平面視で半導体素子領域外となる放熱領域を有するように固着電極を形成する工程である事を特徴とする半導体装置の製造方法である。
請求項3の発明は、前記支持基板がステンレスであり、前記放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極がめっき法により形成されることを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法である。
請求項4の発明は、前記支持基板を前記放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極絶縁樹脂の裏面側界面から剥離し前記固着電極裏面及び取出し電極の裏面側を大気に露出させる工程が、前記支持基板上に形成された粘着剤と前記支持基板を前記放熱板を兼ねた固着電極裏面及び取出し電極並びに絶縁樹脂の裏面側との界面から剥離することにより、前記放熱板を兼ねた固着電極裏面及び取出し電極の裏面側を大気に露出させること特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法である。
請求項5の発明は、前記支持基板がガラスエポキシ樹脂であり、前記粘着剤がシリコーン樹脂であること特徴とする請求項2並びに請求項4記載の半導体装置の製造方法である。
本発明の半導体装置では、固着電極上に半導体素子を配置(搭載)したときに、固着電極に平面視で半導体素子の領域外となる放熱領域を備えたため、半導体素子で発生した熱が半導体素子の下面の領域に加え前記放熱領域からも放熱が行われるため、その放熱効率がきわめて良好である。
また、支持基板をステンレスとしたため半導体装置を支持基板から剥離する際の離型性がよく、従来のように特に剥離処理を行うことなく容易に剥離できるため製造工程を簡易にでき、従って、製造時間及びコストの削減が可能である。また、支持基板によらず離型性をよくするため、支持基板に予め離型性粘着材層を設けておくだけの簡単な作業で剥離処理を容易に行うことができる。特に、支持基板にガラスエポキシ樹脂を用いた場合には、離型性粘着材としてシリコーン樹脂を用いることにより、ガラス繊維中にシリコーン樹脂が浸透して支持基板を一層容易に剥離することができる。そのため、従来のような離型処理を必要とせず、製造工程実施のための時間及びコストを削減することができる。
また、支持基板をステンレスとしたため半導体装置を支持基板から剥離する際の離型性がよく、従来のように特に剥離処理を行うことなく容易に剥離できるため製造工程を簡易にでき、従って、製造時間及びコストの削減が可能である。また、支持基板によらず離型性をよくするため、支持基板に予め離型性粘着材層を設けておくだけの簡単な作業で剥離処理を容易に行うことができる。特に、支持基板にガラスエポキシ樹脂を用いた場合には、離型性粘着材としてシリコーン樹脂を用いることにより、ガラス繊維中にシリコーン樹脂が浸透して支持基板を一層容易に剥離することができる。そのため、従来のような離型処理を必要とせず、製造工程実施のための時間及びコストを削減することができる。
本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図1は、本発明の半導体装置の1実施形態を概略的に示す断面図である。
この半導体装置は、同一面上に形成された固着電極63と取出し電極64、該固着電極63上に配置した高融点のはんだ70を介して取り付けられた半導体素子65を有し、半導体素子65の上面電極と取出し電極64とは金ワイヤ66でボンディングされている。前記絶縁フィルム61の半導体素子側の面つまり図示上面は全体が保護用合成樹脂67で樹脂封止されている。また、はんだバンプ69が取出し電極64に接合されており、かつ固着電極の下端面は大気に露出している。ここで、前記放熱板を兼ねた固着電極63は、該固着電極63上に半導体素子65を配置したときに平面視で該半導体素子65の領域外となる放熱領域63aを有するように、半導体素子65の下側で例えば、図1で左側に延びている。
図1は、本発明の半導体装置の1実施形態を概略的に示す断面図である。
この半導体装置は、同一面上に形成された固着電極63と取出し電極64、該固着電極63上に配置した高融点のはんだ70を介して取り付けられた半導体素子65を有し、半導体素子65の上面電極と取出し電極64とは金ワイヤ66でボンディングされている。前記絶縁フィルム61の半導体素子側の面つまり図示上面は全体が保護用合成樹脂67で樹脂封止されている。また、はんだバンプ69が取出し電極64に接合されており、かつ固着電極の下端面は大気に露出している。ここで、前記放熱板を兼ねた固着電極63は、該固着電極63上に半導体素子65を配置したときに平面視で該半導体素子65の領域外となる放熱領域63aを有するように、半導体素子65の下側で例えば、図1で左側に延びている。
次に、前記の半導体装置の製造方法の第1の実施形態を図面を参照して説明する。この製造方法は以下で説明する各工程を有している。即ち、
(1)ステンレス基板上に銅めっきを形成することにより固着電極及び取出し電極を形成する工程。
前処理:例えば厚さ1mmのステンレス基板(例えばSUS430)61を5%塩酸に室温で1分間浸漬後、水洗、乾燥させる。
(1)ステンレス基板上に銅めっきを形成することにより固着電極及び取出し電極を形成する工程。
前処理:例えば厚さ1mmのステンレス基板(例えばSUS430)61を5%塩酸に室温で1分間浸漬後、水洗、乾燥させる。
(2)ドライフィルムレジストの貼り合せ工程
ドライフィルムレジスト用い貼り合せ装置を用いる。貼り合わせは、例えば温度は50℃、貼り合せ速度は1.5m/min、エアシリンダ圧力は0.34Mpaとする。貼り合せ後、室温で15分間保持する。
ドライフィルムレジスト用い貼り合せ装置を用いる。貼り合わせは、例えば温度は50℃、貼り合せ速度は1.5m/min、エアシリンダ圧力は0.34Mpaとする。貼り合せ後、室温で15分間保持する。
(3)露光工程
露光装置は所望のパターンを有するネガ型のマスクを用いた密着露光方式を採用し、露光量は例えば80mJ/cm2とした。
露光装置は所望のパターンを有するネガ型のマスクを用いた密着露光方式を採用し、露光量は例えば80mJ/cm2とした。
(4)現像工程
コンベア式スプレー現像機を用い、現像液は例えば1%炭酸ナトリウム溶液を用い、中間製品を液温30℃で、200秒現像した後、水洗、乾燥してコンベアより出す。図2はこの工程で得られた中間製品の断面図であり、ステンレス基板61上にドライフィルムレジスト62のパターンが形成されている。
コンベア式スプレー現像機を用い、現像液は例えば1%炭酸ナトリウム溶液を用い、中間製品を液温30℃で、200秒現像した後、水洗、乾燥してコンベアより出す。図2はこの工程で得られた中間製品の断面図であり、ステンレス基板61上にドライフィルムレジスト62のパターンが形成されている。
(5)めっき工程
(i)銅めっき工程
銅めっき前処理として、室温にて10%硫酸に3分間浸漬した後、水洗を行う。次に硫酸銅のめっき浴中で、2A/dm2の電流密度で200分電気めっきを行う。これによって、ドライフィルムレジスト62に囲まれた溝の中に厚さ70μmの銅めっき膜63aが形成される。
(ii)ニッケルと金のめっき膜形成(その1):電気めっき工程
銅めっき膜63a上に引き続き、厚さ4μmのニッケルと厚さ0.5μmの金から成るめっき膜63を形成する。形成方法は電気めっき法である。中間製品に活性化処理を施し、希塩酸にポストディップする。
次に、ワット浴中で、温度50℃、電流密度2A/dm2の条件でニッケルめっき行う。すると厚さ約4μmのニッケルめっき膜形成が形成される。その後全ストライクめっきを1A/dm2の電流密度で30分行った後、シアン浴中で60℃、0.5A/dm2の条件で1分30秒間金めっきを行う。これにより厚さ0.5μmの金めっき膜が形成される。
図3はこのめっき工程で得られた中間製品で、ニッケル/金膜63bが形成されている。
(i)銅めっき工程
銅めっき前処理として、室温にて10%硫酸に3分間浸漬した後、水洗を行う。次に硫酸銅のめっき浴中で、2A/dm2の電流密度で200分電気めっきを行う。これによって、ドライフィルムレジスト62に囲まれた溝の中に厚さ70μmの銅めっき膜63aが形成される。
(ii)ニッケルと金のめっき膜形成(その1):電気めっき工程
銅めっき膜63a上に引き続き、厚さ4μmのニッケルと厚さ0.5μmの金から成るめっき膜63を形成する。形成方法は電気めっき法である。中間製品に活性化処理を施し、希塩酸にポストディップする。
次に、ワット浴中で、温度50℃、電流密度2A/dm2の条件でニッケルめっき行う。すると厚さ約4μmのニッケルめっき膜形成が形成される。その後全ストライクめっきを1A/dm2の電流密度で30分行った後、シアン浴中で60℃、0.5A/dm2の条件で1分30秒間金めっきを行う。これにより厚さ0.5μmの金めっき膜が形成される。
図3はこのめっき工程で得られた中間製品で、ニッケル/金膜63bが形成されている。
(6)剥離工程
ジメチルサルフオキサイド系アミン剥離液を用い、以上の工程で得られた中間製品を液温60℃で、30分浸漬することで、ドライフィルムレジスト62を剥離すると、ステンレス基板61上に形成された固着電極63と取出し電極64から成る所望のパターンが形成される。図4はこの工程で得られた中間製品であって、図4aはその断面図、図4bは平面図の一例を示す。
ここで、固着電極63は前記各図中左方に向かって延在しており、その上に半導体素子を載置したときに平面視で半導体素子領域外となる領域が形成されるようにして、半導体素子で発生した熱の放熱効果を高める。
ジメチルサルフオキサイド系アミン剥離液を用い、以上の工程で得られた中間製品を液温60℃で、30分浸漬することで、ドライフィルムレジスト62を剥離すると、ステンレス基板61上に形成された固着電極63と取出し電極64から成る所望のパターンが形成される。図4はこの工程で得られた中間製品であって、図4aはその断面図、図4bは平面図の一例を示す。
ここで、固着電極63は前記各図中左方に向かって延在しており、その上に半導体素子を載置したときに平面視で半導体素子領域外となる領域が形成されるようにして、半導体素子で発生した熱の放熱効果を高める。
(7)ダイボンデイング工程
Sn−Pb系(例えば、Sn10%Pb90%)の高融点はんだ70を用いて、高融点はんだ融点以上(例えば300℃)の温度に加熱し、固着電極63上に半導体チップ(素子)65を搭載する。
Sn−Pb系(例えば、Sn10%Pb90%)の高融点はんだ70を用いて、高融点はんだ融点以上(例えば300℃)の温度に加熱し、固着電極63上に半導体チップ(素子)65を搭載する。
(8)ワイヤボンデイング工程
この工程では、半導体チップ65上のパッドと、取出し電極64上のパッドを金ワイヤ66で結合する。ボンディング方法は、例えば超音波併用熱圧着法により、例えばφ30μmの金ワイヤー66を用いて温度150℃〜250℃の範囲(例えば230℃)で超音波を掛けて電極間を結合する。
図5はこの工程で得た半製品の断面図である。
この工程では、半導体チップ65上のパッドと、取出し電極64上のパッドを金ワイヤ66で結合する。ボンディング方法は、例えば超音波併用熱圧着法により、例えばφ30μmの金ワイヤー66を用いて温度150℃〜250℃の範囲(例えば230℃)で超音波を掛けて電極間を結合する。
図5はこの工程で得た半製品の断面図である。
(9)樹脂封止工程
樹脂モールド印刷法または、トランスファー法にて、ステンレス基板61の回路形成面全体を樹脂67にて封止する。使用した樹脂は、半導体封止用のエポキシ樹脂であり、印刷では、真空脱泡(例えば真空度10−3Torr)を実施後、スキージを用い、均一の厚さに印刷する。印刷後、125℃〜150℃でキュアを実施して樹脂67を固める。トランスファー法では、150℃〜180℃でトランスファー成形し、130℃〜180℃でキュアを実施し、樹脂67を固めた。図6はこの工程で得た中間製品の断面図である。
樹脂モールド印刷法または、トランスファー法にて、ステンレス基板61の回路形成面全体を樹脂67にて封止する。使用した樹脂は、半導体封止用のエポキシ樹脂であり、印刷では、真空脱泡(例えば真空度10−3Torr)を実施後、スキージを用い、均一の厚さに印刷する。印刷後、125℃〜150℃でキュアを実施して樹脂67を固める。トランスファー法では、150℃〜180℃でトランスファー成形し、130℃〜180℃でキュアを実施し、樹脂67を固めた。図6はこの工程で得た中間製品の断面図である。
(10)支持基板からの剥離工程
ステンレス支持基板61を、モールド樹脂67及び電極63、64の界面より引き剥がす。ステンレス基板61は容易にこれらの界面より機械的に剥離することが可能である。図7はこの工程で得た半導体装置の断面図である。
ステンレス支持基板61を、モールド樹脂67及び電極63、64の界面より引き剥がす。ステンレス基板61は容易にこれらの界面より機械的に剥離することが可能である。図7はこの工程で得た半導体装置の断面図である。
(11)ニッケルと金のめっき膜形成(その2):無電解めっき工程
この工程では、厚さ4μmのニッケルと厚さ0.5μmの金から成るめっき膜68を形成する。形成方法は例えば無電解めっき法を用いる。まず、脱脂を行い、次に過硫酸ナトリウムでソフトエッチングを行う。次に希硫酸でスマットを除去し、水洗後希塩酸にプリディップする。次に活性化処理を行い、希塩酸にポストディップする。続いて80℃、10分間無電解ニッケルめっき行う。その結果4μmのニッケルめっき膜形成を形成する。その後水洗後希硫酸で活性化処理を行い置換金めっきを行う。水洗後、60℃で30分間金めっきを行い、厚さ0.5μmの金めっき膜を形成する。続いて水洗、乾燥を行う。
この工程では、厚さ4μmのニッケルと厚さ0.5μmの金から成るめっき膜68を形成する。形成方法は例えば無電解めっき法を用いる。まず、脱脂を行い、次に過硫酸ナトリウムでソフトエッチングを行う。次に希硫酸でスマットを除去し、水洗後希塩酸にプリディップする。次に活性化処理を行い、希塩酸にポストディップする。続いて80℃、10分間無電解ニッケルめっき行う。その結果4μmのニッケルめっき膜形成を形成する。その後水洗後希硫酸で活性化処理を行い置換金めっきを行う。水洗後、60℃で30分間金めっきを行い、厚さ0.5μmの金めっき膜を形成する。続いて水洗、乾燥を行う。
(12)取出し電極へのバンプの形成
取出し電極64上のめっき膜68上にはんだボールより成るバンプ69を形成する。バンプ69の材質はPbが含まれているはんだでも良いが、本実施形態ではSn−3%Cu−0.5%AgのPbフリーはんだを用いた。
バンプ69の形成は以下のように行う。即ち、真空ではんだボールを治具に吸着し、取出し電極64の所定の位置に配置し、260℃、l0分間リフローさせて形成する。図8はこの工程で得られる中間製品の断面図である。
取出し電極64上のめっき膜68上にはんだボールより成るバンプ69を形成する。バンプ69の材質はPbが含まれているはんだでも良いが、本実施形態ではSn−3%Cu−0.5%AgのPbフリーはんだを用いた。
バンプ69の形成は以下のように行う。即ち、真空ではんだボールを治具に吸着し、取出し電極64の所定の位置に配置し、260℃、l0分間リフローさせて形成する。図8はこの工程で得られる中間製品の断面図である。
(13)ダイシング工程
以上の工程を図1に示すものを単位とした複数個を有するものについて行うため、図1に示すものを1個ずつ切り出す。
以上の工程を図1に示すものを単位とした複数個を有するものについて行うため、図1に示すものを1個ずつ切り出す。
次に半導体装置の製造方法の第2の実施形態について説明する。
(1)シリコーン樹脂が形成されたガラスエポキシ基板上に銅箔を貼り合せて固着電極及び取出し電極の形成:銅箔の貼り合せ工程
予め離型性粘着材としてシリコーン樹脂72が形成されたガラスエポキシ基板71を用意する。ガラスエポキシ基板71とシリコーン樹脂72の界面はガラス繊維中にシリコーン樹脂72が浸透しており、強固に密着している。シリコーン樹脂72の上に例えば厚さ75μmの銅箔74を貼り合せることにより、いわゆる銅貼り積層板を形成する。貼り合せ方法は例えば200℃で銅箔74をプレスすることによる。
(1)シリコーン樹脂が形成されたガラスエポキシ基板上に銅箔を貼り合せて固着電極及び取出し電極の形成:銅箔の貼り合せ工程
予め離型性粘着材としてシリコーン樹脂72が形成されたガラスエポキシ基板71を用意する。ガラスエポキシ基板71とシリコーン樹脂72の界面はガラス繊維中にシリコーン樹脂72が浸透しており、強固に密着している。シリコーン樹脂72の上に例えば厚さ75μmの銅箔74を貼り合せることにより、いわゆる銅貼り積層板を形成する。貼り合せ方法は例えば200℃で銅箔74をプレスすることによる。
(2)前処理工程
コンベア式装置を用い、前記銅貼り積層板を硫酸一過酸化水素水より成る化学研磨液にて銅箔74の表面を化学研磨することにより洗浄し、水洗、乾燥させる。
コンベア式装置を用い、前記銅貼り積層板を硫酸一過酸化水素水より成る化学研磨液にて銅箔74の表面を化学研磨することにより洗浄し、水洗、乾燥させる。
(3)ドライフィルムレジストの貼り合せ工程、露光工程、現像工程
ドライフィルムレジスト75として、例えば厚さ10μmのものを用る以外は第1の実施形態の場合と同様である。現像後には、銅箔74上にドライフィルムレジスト75のパターンが形成される。図9はこの工程で得られた中間製品の断面図である。
ドライフィルムレジスト75として、例えば厚さ10μmのものを用る以外は第1の実施形態の場合と同様である。現像後には、銅箔74上にドライフィルムレジスト75のパターンが形成される。図9はこの工程で得られた中間製品の断面図である。
(4)エッチング工程、剥離工程
銅箔74のエッチングには、スプレー方式のコンベア装置を用い、塩酸と塩化第二鉄の混合液から成るエッチング液を用いて40℃でエッチングを行う。エッチング後は3%塩酸で酸洗した後、水洗を行う。ドライフィルムレジスト75の剥離は、エッチング装置と繋がった同じラインのスプレー方式のコンベア装置で行う。剥離液は2%水酸化ナトリウムを用い40℃で行い、所望のパターンの銅箔74が形成される。図10はこの工程で得られた中間製品の断面図である。その平面図は図4bに示すものと同じである。
銅箔74のエッチングには、スプレー方式のコンベア装置を用い、塩酸と塩化第二鉄の混合液から成るエッチング液を用いて40℃でエッチングを行う。エッチング後は3%塩酸で酸洗した後、水洗を行う。ドライフィルムレジスト75の剥離は、エッチング装置と繋がった同じラインのスプレー方式のコンベア装置で行う。剥離液は2%水酸化ナトリウムを用い40℃で行い、所望のパターンの銅箔74が形成される。図10はこの工程で得られた中間製品の断面図である。その平面図は図4bに示すものと同じである。
(5)ニッケルと金のめっき膜形成工程(その1):無電解めっき工程
銅箔74上に、厚さ0.5μmのニッケルと厚さ4μmの金から成るめっき膜を形成する。形成方法は無電解めっき法である。まず脱脂を行い、次に過硫酸ナトリウムでソフトエッチングを行う。続いて希硫酸でスマットを除去し、水洗後希塩酸にプリディップする。その後活性化処理を行い、希塩酸にポストディップし、更に、80℃で30分間無電解ニッケルめっき行う。これにより厚さ約4μmのニッケルめっき膜形成を形成する。
水洗後希硫酸で活性化処理を行い置換金めっきを行う。水洗後、中性無電解金めっき液を用いて60℃で30分間金めっきを行い、厚さ0.5μmの金めっき膜を形成する。続いて水洗、乾燥を行う。以上の工程により、ニッケル/金膜75が形成される。図11はこの工程で得られた中間製品の断面図である。
銅箔74上に、厚さ0.5μmのニッケルと厚さ4μmの金から成るめっき膜を形成する。形成方法は無電解めっき法である。まず脱脂を行い、次に過硫酸ナトリウムでソフトエッチングを行う。続いて希硫酸でスマットを除去し、水洗後希塩酸にプリディップする。その後活性化処理を行い、希塩酸にポストディップし、更に、80℃で30分間無電解ニッケルめっき行う。これにより厚さ約4μmのニッケルめっき膜形成を形成する。
水洗後希硫酸で活性化処理を行い置換金めっきを行う。水洗後、中性無電解金めっき液を用いて60℃で30分間金めっきを行い、厚さ0.5μmの金めっき膜を形成する。続いて水洗、乾燥を行う。以上の工程により、ニッケル/金膜75が形成される。図11はこの工程で得られた中間製品の断面図である。
(6)ダイボンディング工程、ワイヤボンディング工程、樹脂封止工程
ワイヤボンディングから樹脂封止工程までは第1の実施形態の場合と同様である。
ワイヤボンディングから樹脂封止工程までは第1の実施形態の場合と同様である。
(7)支持基板からの剥離工程
シリコーン樹脂層72が形成されたガラスエポキシ基板71を、シリコーン樹脂層72と固着電極及び取出し電極74とモールド樹脂67の界面より引き剥がすことで図6に示す本発明の半導体装置が完成する。
ガラスエポキシ基板71にはシリコーン樹脂層72が形成されているので、シリコーン樹脂72との界面より機械的に容易に剥離することが可能である。
(8)ニッケルと金のめっき膜形成工程(その2):無電解めっき工程、取出し電極へのバンプの形成工程
ダイシング工程の第1の実施形態の場合と同様である。
以上の製造方法は、コンデンサ、抵抗などが含まれていても適用可能であり、かつ、大気のみでなく、真空中に露出していても適用できるのは勿論である。
尚、放熱板を兼ねた固着電極の大気側に露出するニッケル/金膜上には、はんだなどが形成されていても良いのは勿論である。
シリコーン樹脂層72が形成されたガラスエポキシ基板71を、シリコーン樹脂層72と固着電極及び取出し電極74とモールド樹脂67の界面より引き剥がすことで図6に示す本発明の半導体装置が完成する。
ガラスエポキシ基板71にはシリコーン樹脂層72が形成されているので、シリコーン樹脂72との界面より機械的に容易に剥離することが可能である。
(8)ニッケルと金のめっき膜形成工程(その2):無電解めっき工程、取出し電極へのバンプの形成工程
ダイシング工程の第1の実施形態の場合と同様である。
以上の製造方法は、コンデンサ、抵抗などが含まれていても適用可能であり、かつ、大気のみでなく、真空中に露出していても適用できるのは勿論である。
尚、放熱板を兼ねた固着電極の大気側に露出するニッケル/金膜上には、はんだなどが形成されていても良いのは勿論である。
61・・・ステンレス支持基板、62・・・ドライレジスト、63・・・固着電極、63a・・・銅めっき膜、64・・・取出し電極、65・・・半導体素子(チップ)、66・・・金ワイヤ、67・・・封止(保護)用合成樹脂、68・・・めっき膜、69・・・バンプ、70・・・はんだ、71・・・ガラスエポキシ樹脂基板、72・・・シリコーン樹脂、74・・・銅箔。
Claims (5)
- 半導体素子と、前記半導体素子と導電性物質で接続された放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極と、前記半導体素子、放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極の表面側は大気に露出しないように被覆すると共に前記放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極の裏面側は大気に露出するように被覆する絶縁樹脂から成り、前記放熱板を兼ねた固着電極は、該固着電極上に半導体素子を配置したときに平面視で該半導体素子の領域外となる放熱領域を有することを特徴とする半導体装置。
- 支持基板上に放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極を形成する工程と、前記支持基板上の放熱板を兼ねた固着電極上に導電性物質で半導体素子を接続する工程と、前記半導体素子の電極と前記取出し電極とをボンディングする工程と、前記支持基板上の半導体素子、放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極を絶縁樹脂で被覆する工程と、前記支持基板を放熱板を兼ねた前記固着電極裏面及び取出し電極、並びに絶縁樹脂の裏面側界面から剥離し前記放熱板を兼ねた固着電極裏面及び取出し電極の裏面側を大気に露出させる工程を有し、前記支持基板上に放熱板を兼ねた固着電極を形成する工程は、固着電極上に半導体素子を配置したとき平面視で半導体素子領域外となる放熱領域を有するように固着電極を形成する工程である事を特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記支持基板がステンレスであり、前記放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極がめっき法により形成されることを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記支持基板を前記放熱板を兼ねた固着電極及び取出し電極絶縁樹脂の裏面側界面から剥離し前記固着電極裏面及び取出し電極の裏面側を大気に露出させる工程が、前記支持基板上に形成された粘着剤と前記支持基板を前記放熱板を兼ねた固着電極裏面及び取出し電極並びに絶縁樹脂の裏面側との界面から剥離することにより、前記放熱板を兼ねた固着電極裏面及び取出し電極の裏面側を大気に露出させること特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記支持基板がガラスエポキシ樹脂であり、前記粘着剤がシリコーン樹脂であること特徴とする請求項2並びに請求項4記載の半導体装置の製造方法。
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2003
- 2003-10-09 JP JP2003350972A patent/JP2005116886A/ja active Pending
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