JP2005110119A - 高周波トランジスタ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 内部整合回路に必要なワイヤのインダクタンスの値を確保するとともに小形の高周波トランジスタ装置を構成する。
【解決手段】 MOSFETチップ22のゲート電極端子221とパッケージ入力端子16との間の表面電極30aを有する入力整合用MOS−Cコンデンサ30を配設し、このMOS−Cコンデンサ30とパッケージ入力端子16との間に入力側補助ボンディングパッド27を配設し、第1ボンディングワイヤ34によりゲート電極端子221と入力側補助ボンディングパッド27とを接続し、第2ボンディングワイヤ36により入力側補助ボンディングパッド27と表面電極30aとを接続し、第3ボンディングワイヤ38により表面電極30aとパッケージ入力端子16とを接続し、第4ボンディングワイヤ40によりMOSFETチップ22のドレイン電極端子222とパッケージ出力端子18とを接続したものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 MOSFETチップ22のゲート電極端子221とパッケージ入力端子16との間の表面電極30aを有する入力整合用MOS−Cコンデンサ30を配設し、このMOS−Cコンデンサ30とパッケージ入力端子16との間に入力側補助ボンディングパッド27を配設し、第1ボンディングワイヤ34によりゲート電極端子221と入力側補助ボンディングパッド27とを接続し、第2ボンディングワイヤ36により入力側補助ボンディングパッド27と表面電極30aとを接続し、第3ボンディングワイヤ38により表面電極30aとパッケージ入力端子16とを接続し、第4ボンディングワイヤ40によりMOSFETチップ22のドレイン電極端子222とパッケージ出力端子18とを接続したものである。
【選択図】 図1
Description
この発明は、高周波トランジスタ装置に係り、特に携帯電話用基地局やマイクロ波通信装置等の高出力増幅器などに使用される内部整合回路内蔵の高周波トランジスタ装置に関するものである。
通信需要量の飛躍的な増加に伴って、通信システムの大容量化が図られてきているが、このためには通信機器の高速化、小形・高効率化、低コスト化が必要となっている。
0.1〜3GHz、特に1〜2GHzの高周波が用いられる携帯電話用基地局やレーダー装置のマイクロ波デバイスには、高周波特性が良好なトランジスタとして、例えば高周波MOSFETが用いられる。
この高周波用MOSFETを用いて、ソース接地を行って高周波増幅器を構成する場合、高出力を得るためにゲート幅の大きなMOSFETのチップを用いたデバイスが必要である。しかし単に大きなMOSFETのチップをパッケージに組み込んだだけの高周波トランジスタでは、MOSFETから外部負荷に効率よく電力を取り出すことができない。
MOSFETから外部負荷に効率よく電力を取り出すためには入出力のインピーダンス整合回路が必要になる。しかしながら大きなMOSFETのチップではインピーダンスが極端に低い値になり、インピーダンス整合回路の設定が困難である。
0.1〜3GHz、特に1〜2GHzの高周波が用いられる携帯電話用基地局やレーダー装置のマイクロ波デバイスには、高周波特性が良好なトランジスタとして、例えば高周波MOSFETが用いられる。
この高周波用MOSFETを用いて、ソース接地を行って高周波増幅器を構成する場合、高出力を得るためにゲート幅の大きなMOSFETのチップを用いたデバイスが必要である。しかし単に大きなMOSFETのチップをパッケージに組み込んだだけの高周波トランジスタでは、MOSFETから外部負荷に効率よく電力を取り出すことができない。
MOSFETから外部負荷に効率よく電力を取り出すためには入出力のインピーダンス整合回路が必要になる。しかしながら大きなMOSFETのチップではインピーダンスが極端に低い値になり、インピーダンス整合回路の設定が困難である。
このためにMOSFETを組み込んでいるパッケージの内部に、通常は50Ωである負荷インピーダンスの値に整合する内部整合回路を配設するか、またはチップ単体の低いインピーダンスを負荷インピーダンスに近づけるためのパーシャルマッチング内部整合回路を配設することが必要になる。
例えば、1.3GHzで30W出力の動作するMOSFETは、ゲート幅が86mmである非常に大きなMOSFETチップを使用している。このMOSFETチップの入力側から見た反射係数は例えば(0.98,−175°)、出力側から見たMOSFETチップの反射係数は例えば(0.98,−170°)、となり、0.98と全反射である1に極めて近い値である。従ってこのままでは通常50Ωとなっている外部負荷と整合をとることができない。
例えば、1.3GHzで30W出力の動作するMOSFETは、ゲート幅が86mmである非常に大きなMOSFETチップを使用している。このMOSFETチップの入力側から見た反射係数は例えば(0.98,−175°)、出力側から見たMOSFETチップの反射係数は例えば(0.98,−170°)、となり、0.98と全反射である1に極めて近い値である。従ってこのままでは通常50Ωとなっている外部負荷と整合をとることができない。
そこで入力側では、接地との間において並列となるMOS−Cコンデンサ(例えばキャパシタンスは25pF)をパッケージの入力端子とMOSFETのゲート電極との間に配設し、MOS−Cコンデンサの接地側でない表面電極を介してパッケージの入力端子とMOSFETのゲート電極とをボンディングワイヤで接続する。
これにより、入力インピーダンスをMOS−Cコンデンサの表面電極とMOSFETのゲート電極とを接続するボンディングワイヤのインダクタンス(たとえば0.8nH程度)で誘導性とし、MOS−Cコンデンサのキャパシタンスで容量性に近づけることで、反射係数を0.4程度に小さくしている。この程度に反射係数が小さくなれば、MOSFETに外部整合回路を付加することにより、入力側では容易に外部付加との整合をとることができる。
なお、パッケージの入力端子とMOS−Cコンデンサとを接続するボンディングワイヤはそのインダクタンスの値が約0.2nH程度であり反射係数を小さくするという改善効果はない。
これにより、入力インピーダンスをMOS−Cコンデンサの表面電極とMOSFETのゲート電極とを接続するボンディングワイヤのインダクタンス(たとえば0.8nH程度)で誘導性とし、MOS−Cコンデンサのキャパシタンスで容量性に近づけることで、反射係数を0.4程度に小さくしている。この程度に反射係数が小さくなれば、MOSFETに外部整合回路を付加することにより、入力側では容易に外部付加との整合をとることができる。
なお、パッケージの入力端子とMOS−Cコンデンサとを接続するボンディングワイヤはそのインダクタンスの値が約0.2nH程度であり反射係数を小さくするという改善効果はない。
また出力側では、一端が接地されたMOS−Cコンデンサを配設し、これを例えば0.5nH程度のインダクタンスを有するボンディングワイヤを介してMOSFETのドレイン電極と接続するとともに、MOSFETのドレイン電極をパッケージの出力端子にボンディングワイヤを介して接続する。MOSFETのドレイン電極とMOS−Cコンデンサとを接続するボンディングワイヤのインダクタンスにより、MOSFETの出力インピーダンスを直接誘導性にすることで、出力側の反射係数を0.4程度まで小さくしている。 従って出力側もMOSFETに外部整合回路を付加することにより、容易に外部付加と整合をとることができる。
なお、MOSFETのドレイン電極とパッケージの出力端子とを接続するボンディングワイヤは、インダクタンスの値が約0.4nHであり、反射係数を小さくすると云う改善効果はない。
なお、MOSFETのドレイン電極とパッケージの出力端子とを接続するボンディングワイヤは、インダクタンスの値が約0.4nHであり、反射係数を小さくすると云う改善効果はない。
従来の内部整合回路付MOSFETの公知例としては、パッケージ内にバイポーラトランジスタを配設し、このバイポーラトランジスタの入力側にMOSキャパシタンスとボンディングワイヤを用いて入力整合回路を備えた例が示されている(例えば、非特許文献1、pp62−71および図3−9参照)。
また、他の公知例として、半導体装置において、パッケージの中にトランジスタチップとこのトランジスタチップの入力側及び出力側にそれぞれMOSコンデンサを配設し、トランジスタチップとMOSコンデンサとをボンディングワイヤで接続して入力側インピーダンス変換回路及び出力側インピーダンス変換回路を構成するとともに、トランジスタチップとMOSコンデンサそれぞれとの間にワイヤボンディング用のパターンを有する低誘電率基板を配設し、MOSコンデンサの位置決めを行いトランジスタチップとMOSコンデンサとを接続するボンディングワイヤならびに、入力リードおよび出力リードとMOSコンデンサとを接続するボンディングワイヤの長さのばらつきを少なくしてインダクタンスのばらつきを少なくし歩留まりを向上させる構成が開示されている(例えば、特許文献1 段落番号[0024]〜および[0027]、図1及び2参照)。
また、他の公知例として、高周波高出力トランジスタにおいて、パッケージの中にトランジスタチップとこのトランジスタチップの入力側及び出力側にそれぞれMOSコンデンサを配設し、トランジスタチップとMOSコンデンサとをボンディングワイヤで接続して入力側のローパス型内部整合回路及び出力側のRFシャント型内部整合回路を形成するとともに、トランジスタチップと入力側内部リードとの間にもRFシャント用MOS型コンデンサをさらに配設し、トランジスターチップのコレクタパッドと入力側および出力側のMOS型コンデンサとを接続するRFシャント用ワイヤを同一長さでトランジスタセルを挟んで対称となるようにした構成が開示されている(例えば、特許文献2 段落番号[0014]〜および[0015]、図1参照)。
以上のように構成された従来の内部整合回路付MOSFETは整合回路のインダクタンス要素としてボンディングワイヤを用いる構成としている。必然的にボンディングワイヤが多くなる高出力MOSFETでは内部整合回路に必要なインダクタンスの値を確保しようとするとボンディングワイヤの長さが長くならざるを得ない。
これはボンディングワイヤによって得られるインダクタンスの値がボンディングワイヤの長さに比例し、ボンディングワイヤの本数に反比例するので、同一のインダクタンスの値を得ようとした場合、ボンディングワイヤの本数が増えるのに伴ってボンディングワイヤの長さを長くすることが必要となるためである。
その結果として、内部整合回路付MOSFETの形状が大きくなるという問題点があった。
また低い周波数、例えば1MHz〜1GHzで動作するMOSFETほど大きなインダクタンスが必要であるため、低い周波数のMOSFETでは実用的な形状で内部整合回路付きのMOSFETを構成し難いという問題点があった。
これはボンディングワイヤによって得られるインダクタンスの値がボンディングワイヤの長さに比例し、ボンディングワイヤの本数に反比例するので、同一のインダクタンスの値を得ようとした場合、ボンディングワイヤの本数が増えるのに伴ってボンディングワイヤの長さを長くすることが必要となるためである。
その結果として、内部整合回路付MOSFETの形状が大きくなるという問題点があった。
また低い周波数、例えば1MHz〜1GHzで動作するMOSFETほど大きなインダクタンスが必要であるため、低い周波数のMOSFETでは実用的な形状で内部整合回路付きのMOSFETを構成し難いという問題点があった。
この発明は上記の問題点を解消するためになされたもので、第1の目的は、内部整合回路に必要なワイヤのインダクタンスの値を確保するとともに小形の高周波トランジスタ装置を構成することである。
この発明に係る高周波トランジスタ装置は、一つの主面を有する基板とこの基板の主面上の周囲に配設された壁部とこの壁部の表面上に配設された第1のパッケージ電極及び第2のパッケージ電極とを有するパッケージ本体と、互いに対向する第1、第2の表面を有するとともに第1の表面上に配設された第1の電極および第2の表面上に配設された第2、第3の電極を有し、第1の電極を介して上記パッケージ本体の基板上に配設されトランジスタと、このトランジスタの第2の電極と第1のパッケージ電極との間の基板上に配設され、表面電極を有する第1のキャパシタと、この第1のキャパシタと第1のパッケージ電極との間に配設され、第1のキャパシタおよび第1のパッケージ電極と電気的に絶縁された第1の補助電極と、トランジスタの第2の電極と第1の補助電極とを接続した第1の接続配線と、第1の補助電極と第1のキャパシタの表面電極とを接続した第2の接続配線と、第1のキャパシタの表面電極と第1のパッケージ電極とを接続した第3の接続配線と、トランジスタの第3の電極と第2のパッケージ電極とを接続した第4の接続配線と、を備えたものである。
この発明に係る高周波トランジスタ装置においては、トランジスタの第2の電極と第1のキャパシタの表面電極とが、トランジスタの第2の電極と第1の補助電極とを接続した第1の接続配線ならびに第1の補助電極と第1のキャパシタの表面電極とを接続した第2の接続配線によって接続されるので、内部整合回路に必要なインダクタンスに対応する接続配線の長を確保することができて、しかもパッケージの内部で第2の接続配線が第1の補助電極を介して第1の接続配線と並行するように折り返されているので、内部整合回路に必要な寸法、すなわち第1のパッケージ電極と第2のパッケージ電極とを結ぶ方向の寸法を小さくすることが可能となり、パッケージ本体の大きさは接続配線の長さほど大きくしなくてもよい。延いては内部整合回路に必要なワイヤのインダクタンスの値を確保するとともに小形の高周波トランジスタ装置を構成することができる。
以下の発明の実施の形態においては、携帯電話用基地局やマイクロ波通信に使用する高出力増幅器に用いられるMOSFET装置で、パーシャルマッチング内部整合回路を有するものについて説明する。しかしパーシャルマッチング内部整合回路を有するMOSFET装置に限らず、いずれの内部整合回路を有するMOSFET装置についても同様の効果がある。
実施の形態1.
図1はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の平面図的に示された模式図である。また図2は図1のII−II断面におけるMOSFET装置の断面図である。
図1、および図2において示されたMOSFET装置10は1.3GHzで30Wの出力が得られるもので、基板12と基板12の周囲に形成された壁部としてのハウジング14とこのハウジング14に配設された第1のパッケージ電極としてのパッケージ入力端子16および第2のパッケージ電極としてのパッケージ出力端子18とを含むパッケージ本体20に、MOSFETチップ22および入力側内部整合回路24および出力側内部整合回路26を配設し、蓋を用いて封入したパッケージ形式のものである。
なお図1及び図2においては封入用の蓋は図示されていない。以下の実施の形態においてもこの蓋が取り除かれた図で説明されている。
図1はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の平面図的に示された模式図である。また図2は図1のII−II断面におけるMOSFET装置の断面図である。
図1、および図2において示されたMOSFET装置10は1.3GHzで30Wの出力が得られるもので、基板12と基板12の周囲に形成された壁部としてのハウジング14とこのハウジング14に配設された第1のパッケージ電極としてのパッケージ入力端子16および第2のパッケージ電極としてのパッケージ出力端子18とを含むパッケージ本体20に、MOSFETチップ22および入力側内部整合回路24および出力側内部整合回路26を配設し、蓋を用いて封入したパッケージ形式のものである。
なお図1及び図2においては封入用の蓋は図示されていない。以下の実施の形態においてもこの蓋が取り除かれた図で説明されている。
またパッケージ入力端子16およびパッケージ出力端子18も図1及び図2、さらには以降に述べる実施の形態の図においても模式的に描かれているだけで、信号をパッケージに入出力させる入出力リードの構成は通常のパッケージと同様に配設されている。
基板12は例えばタングステンまた銅を用いた金属基板などで形成され、この基板12の周囲にセラミック、例えばアルミナなどで形成されたハウジング14が配設されている。
ハウジング14で囲まれた基板12の中央部にトランジスタとしての、例えばこの実施の形態ではMOSFETチップ22が配設されている。この実施の形態ではソース接地としてMOSFETチップ22が使用されているために、MOSFETチップ22は第1の表面としてのチップ裏面に設けられた第1の電極としてのソース電極22a及びメタライズ膜220を介して基板に半田接着されている。そして基板12は接地して使用される。
MOSFETチップ22の第2の表面としてのチップ表面に第2の電極としてのゲート電極22bおよび第3の電極としてのドレイン電極22cが配設され、ゲート電極22bにゲート電極端子221及びドレイン電極22cにドレイン電極端子222が配設されている。
基板12は例えばタングステンまた銅を用いた金属基板などで形成され、この基板12の周囲にセラミック、例えばアルミナなどで形成されたハウジング14が配設されている。
ハウジング14で囲まれた基板12の中央部にトランジスタとしての、例えばこの実施の形態ではMOSFETチップ22が配設されている。この実施の形態ではソース接地としてMOSFETチップ22が使用されているために、MOSFETチップ22は第1の表面としてのチップ裏面に設けられた第1の電極としてのソース電極22a及びメタライズ膜220を介して基板に半田接着されている。そして基板12は接地して使用される。
MOSFETチップ22の第2の表面としてのチップ表面に第2の電極としてのゲート電極22bおよび第3の電極としてのドレイン電極22cが配設され、ゲート電極22bにゲート電極端子221及びドレイン電極22cにドレイン電極端子222が配設されている。
ハウジング14の一辺の上表面にパッケージ入力端子16が配設されている。このパッケージ入力端子16に沿った内部側、すなわち基板12上に配設されたMOSFETチップ22に近い側のハウジング14の上表面に、パッケージ入力端子16と電気的に分離された第1の補助電極としての入力側補助ボンディングパッド27が延在して配設されている。
パッケージ入力端子16が配設されたハウジング14の一辺とMOSFETチップ22を介して対向するハウジング14の他の一辺の上表面にパッケージ出力端子18が配設されている。このパッケージ出力端子18沿った内部側、すなわち基板12上に配設されたMOSFETチップ22に近い側のハウジング14の上表面に、パッケージ出力端子18と電気的に分離された第2の補助電極としての出力側補助ボンディングパッド28が適宜の数に分けて離散的に配設されている。
パッケージ入力端子16、入力側補助ボンディングパッド27、パッケージ出力端子18、および出力側補助ボンディングパッド28はハウジング14の上表面に形成されたメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜とにより、構成されている。
パッケージ入力端子16が配設されたハウジング14の一辺とMOSFETチップ22を介して対向するハウジング14の他の一辺の上表面にパッケージ出力端子18が配設されている。このパッケージ出力端子18沿った内部側、すなわち基板12上に配設されたMOSFETチップ22に近い側のハウジング14の上表面に、パッケージ出力端子18と電気的に分離された第2の補助電極としての出力側補助ボンディングパッド28が適宜の数に分けて離散的に配設されている。
パッケージ入力端子16、入力側補助ボンディングパッド27、パッケージ出力端子18、および出力側補助ボンディングパッド28はハウジング14の上表面に形成されたメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜とにより、構成されている。
このように入力側補助ボンディングパッド27、出力側補助ボンディングパッド28をハウジング14に直接メタライズすることによって形成すれば、構成が簡単で、量産しやすいという特徴がある。
入力側補助ボンディングパッド27とMOSFETチップ22のゲート電極端子221との間に介在して第1のキャパシタとしての入力整合用MOS−Cコンデンサ30がハウジング14内部の基板12上に配設されている。入力整合用MOS−Cコンデンサ30は裏面電極としてのメタライズ膜30bを介して基板12上に半田接着され、表面側に表面電極30aが配設されている。この入力整合用MOS−Cコンデンサ30は裏面電極を介して接地される。
また、出力側補助ボンディングパッド28とMOSFETチップ22のドレイン電極端子222との間に介在して第2のキャパシタとしての出力整合用MOS−Cコンデンサ32がハウジング14内部の基板12上に配設されている。出力整合用MOS−Cコンデンサ32は裏面電極としてのメタライズ膜32bを介して基板12上に半田接着され、表面側に表面電極32aが配設されている。この出力整合用MOS−Cコンデンサ32は裏面電極を介して接地される。
入力側補助ボンディングパッド27とMOSFETチップ22のゲート電極端子221との間に介在して第1のキャパシタとしての入力整合用MOS−Cコンデンサ30がハウジング14内部の基板12上に配設されている。入力整合用MOS−Cコンデンサ30は裏面電極としてのメタライズ膜30bを介して基板12上に半田接着され、表面側に表面電極30aが配設されている。この入力整合用MOS−Cコンデンサ30は裏面電極を介して接地される。
また、出力側補助ボンディングパッド28とMOSFETチップ22のドレイン電極端子222との間に介在して第2のキャパシタとしての出力整合用MOS−Cコンデンサ32がハウジング14内部の基板12上に配設されている。出力整合用MOS−Cコンデンサ32は裏面電極としてのメタライズ膜32bを介して基板12上に半田接着され、表面側に表面電極32aが配設されている。この出力整合用MOS−Cコンデンサ32は裏面電極を介して接地される。
入力側補助ボンディングパッド27とMOSFETチップ22のゲート電極端子221とは第1の接続配線としての第1ボンディングワイヤ34で接続され、入力側補助ボンディングパッド27と入力整合用MOS−Cコンデンサ30の表面電極30aとは第2の接続配線としての第2ボンディングワイヤ36で接続され、入力整合用MOS−Cコンデンサ30の表面電極30aとパッケージ入力端子16とは第3の接続配線としての第3ボンディングワイヤ38で、それぞれ接続されている。
また、MOSFETチップ22のドレイン電極端子222とパッケージ出力端子18とは第4の接続配線としての第4ボンディングワイヤ40で接続され、MOSFETチップ22のドレイン電極端子222と出力側補助ボンディングパッド28とは第5の接続配線としての第5ボンディングワイヤ42で接続され、出力側補助ボンディングパッド28と出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aとは第6の接続配線としての第6ボンディングワイヤ44で、それぞれ接続されている。
入力側内部整合回路24は第1ボンディングワイヤ34、第2ボンディングワイヤ36、入力側補助ボンディングパッド27および入力整合用MOS−Cコンデンサ30により構成され、また出力側内部整合回路26は第5ボンディングワイヤ42、第6ボンディングワイヤ44、出力側補助ボンディングパッド28および出力整合用MOS−Cコンデンサ32により構成される。
また、MOSFETチップ22のドレイン電極端子222とパッケージ出力端子18とは第4の接続配線としての第4ボンディングワイヤ40で接続され、MOSFETチップ22のドレイン電極端子222と出力側補助ボンディングパッド28とは第5の接続配線としての第5ボンディングワイヤ42で接続され、出力側補助ボンディングパッド28と出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aとは第6の接続配線としての第6ボンディングワイヤ44で、それぞれ接続されている。
入力側内部整合回路24は第1ボンディングワイヤ34、第2ボンディングワイヤ36、入力側補助ボンディングパッド27および入力整合用MOS−Cコンデンサ30により構成され、また出力側内部整合回路26は第5ボンディングワイヤ42、第6ボンディングワイヤ44、出力側補助ボンディングパッド28および出力整合用MOS−Cコンデンサ32により構成される。
図3はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の等価回路図である。
図3において、Tiはパッケージ入力端子16に、Toはパッケージ出力端子18にそれぞれ相当し、Gは接地端子である。TrはMOSFETチップ22に、Ciは入力整合用MOS−Cコンデンサ30のキャパシタンスに、Coは出力整合用MOS−Cコンデンサ32のキャパシタンスにそれぞれ相当する。またLaは第3ボンディングワイヤ38のインダクタンスに、Lbは第1ボンディングワイヤ34のインダクタンスと第2ボンディングワイヤ36のインダクタンスとの和のインダクタンスにそれぞれ相当し、Lcは第5ボンディングワイヤ42のインダクタンスと第6ボンディングワイヤ44のインダクタンスとの和のインダクタンスに、Ldは第4ボンディングワイヤ40のインダクタンスにそれぞれ相当する。
またS11,S11a,S11b、及びS11cはこの部位からTr(MOSFET)側を見た入力側のインピーダンスを示し、S22,S22c,S22d、及びS22eはこの部位からTr(MOSFET)側を見た出力側のインピーダンスを示す。
図3において、Tiはパッケージ入力端子16に、Toはパッケージ出力端子18にそれぞれ相当し、Gは接地端子である。TrはMOSFETチップ22に、Ciは入力整合用MOS−Cコンデンサ30のキャパシタンスに、Coは出力整合用MOS−Cコンデンサ32のキャパシタンスにそれぞれ相当する。またLaは第3ボンディングワイヤ38のインダクタンスに、Lbは第1ボンディングワイヤ34のインダクタンスと第2ボンディングワイヤ36のインダクタンスとの和のインダクタンスにそれぞれ相当し、Lcは第5ボンディングワイヤ42のインダクタンスと第6ボンディングワイヤ44のインダクタンスとの和のインダクタンスに、Ldは第4ボンディングワイヤ40のインダクタンスにそれぞれ相当する。
またS11,S11a,S11b、及びS11cはこの部位からTr(MOSFET)側を見た入力側のインピーダンスを示し、S22,S22c,S22d、及びS22eはこの部位からTr(MOSFET)側を見た出力側のインピーダンスを示す。
図4はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の入力側のインピーダンスを示すスミスチャートである。
図4において、S11,S11a,S11b、及びS11cは、図3のS11,S11a,S11b、及びS11cに相当するスミスチャート上のインピーダンス点である。
入力側では、MOSFETの入力インピーダンスS11を第1ボンディングワイヤ34のインダクタンスと第2ボンディングワイヤ36のインダクタンスとの和のインダクタンスLb(0.8nH)の誘導性リアクタンスにより、インピーダンス点をS11aに移動し、その後接地端Gとの間に並列に接続された入力整合用MOS−Cコンデンサ30のキャパシタンスCi(25pF)の容量性リアクタンスによりインピーダンス点をS11bとすることにより特性インピーダンスの50Ωに近づけて、反射係数を0.4と小さくしている。
この程度まで反射係数が小さくなれば、MOSFET装置10の入力側に外部整合回路を付加することにより入力側は容易に外部付加と整合をとることができる。なお第3ボンディングワイヤ38は入力整合用MOS−Cコンデンサ30をパッケージ入力端子16に電気的に接続する機能を有するのみで、そのインダクタンスLaは約0.2nHであり、反射係数を小さくするという効果はない。
図4において、S11,S11a,S11b、及びS11cは、図3のS11,S11a,S11b、及びS11cに相当するスミスチャート上のインピーダンス点である。
入力側では、MOSFETの入力インピーダンスS11を第1ボンディングワイヤ34のインダクタンスと第2ボンディングワイヤ36のインダクタンスとの和のインダクタンスLb(0.8nH)の誘導性リアクタンスにより、インピーダンス点をS11aに移動し、その後接地端Gとの間に並列に接続された入力整合用MOS−Cコンデンサ30のキャパシタンスCi(25pF)の容量性リアクタンスによりインピーダンス点をS11bとすることにより特性インピーダンスの50Ωに近づけて、反射係数を0.4と小さくしている。
この程度まで反射係数が小さくなれば、MOSFET装置10の入力側に外部整合回路を付加することにより入力側は容易に外部付加と整合をとることができる。なお第3ボンディングワイヤ38は入力整合用MOS−Cコンデンサ30をパッケージ入力端子16に電気的に接続する機能を有するのみで、そのインダクタンスLaは約0.2nHであり、反射係数を小さくするという効果はない。
図5はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の出力側のインピーダンスを示すスミスチャートである。
図5において、S22,S22c,S22d、及びS22eは、図3のS22,S22c,S22d、及びS22eに相当するスミスチャート上のインピーダンス点である。
出力側では、第5ボンディングワイヤ42のインダクタンスと第6ボンディングワイヤ44のインダクタンスとの和のインダクタンスLc(0.5nH)と出力整合用MOS−Cコンデンサ32のキャパシタンスCoとを直列に接続し、これをTr(MOSFET)のドレイン電極端子222とパッケージ出力端子18に対してシャント接続することにより、Tr(MOSFET)の出力インピーダンス点S22を直接にインピーダンス点S22dに移動させて特性インピーダンスの50Ωに近づけ、出力側の反射係数を0.4まで小さくしている。従って、MOSFET装置10の出力側に外部整合回路を付加することにより出力側も容易に外部付加と整合をとることができる。
なお、第4ボンディングワイヤ40はMOSFETチップ22のドレイン電極端子222とパッケージ出力端子18とを電気的に接続する機能を有するのみでそのインダクタンスLdは約0.2nHであり、反射係数を小さくするという効果はない。
図5において、S22,S22c,S22d、及びS22eは、図3のS22,S22c,S22d、及びS22eに相当するスミスチャート上のインピーダンス点である。
出力側では、第5ボンディングワイヤ42のインダクタンスと第6ボンディングワイヤ44のインダクタンスとの和のインダクタンスLc(0.5nH)と出力整合用MOS−Cコンデンサ32のキャパシタンスCoとを直列に接続し、これをTr(MOSFET)のドレイン電極端子222とパッケージ出力端子18に対してシャント接続することにより、Tr(MOSFET)の出力インピーダンス点S22を直接にインピーダンス点S22dに移動させて特性インピーダンスの50Ωに近づけ、出力側の反射係数を0.4まで小さくしている。従って、MOSFET装置10の出力側に外部整合回路を付加することにより出力側も容易に外部付加と整合をとることができる。
なお、第4ボンディングワイヤ40はMOSFETチップ22のドレイン電極端子222とパッケージ出力端子18とを電気的に接続する機能を有するのみでそのインダクタンスLdは約0.2nHであり、反射係数を小さくするという効果はない。
次に、入力側補助ボンディングパッド27および出力側補助ボンディングパッド28について説明する。
MOSFET装置10では入力側内部整合回路24と出力側内部整合回路26とを備え、図4の入力側のインピーダンスを示すスミスチャートおよび図5の出力側のインピーダンスを示すスミスチャートからでも理解できるように、図3の等価回路におけるLb及びLcが入力側内部整合回路24および出力側内部整合回路26を構成する上で重要な要素となる。
この実施の形態のMOSFET装置10では、入力側内部整合回路24についていえば、インダクタンスLbは第1ボンディングワイヤ34と第2ボンディングワイヤ36とのインダクタンスが利用され、必要な長さを有するボンディングワイヤを用いて、ゲート電極端子221と入力整合用MOS−Cコンデンサ30の表面電極30aとが接続される。
ただゲート電極端子221と入力整合用MOS−Cコンデンサ30の表面電極30aとを直接には接続せず、ゲート電極端子221と入力側補助ボンディングパッド27とを一旦第1ボンディングワイヤ34で接続し、折り返すようにしてさらに入力側補助ボンディングパッド27と入力整合用MOS−Cコンデンサ30の表面電極30aと第2ボンディングワイヤ36を用いて接続している。
このようなボンディングワイヤの接続方法をとることにより、必要とされるインダクタンスLbに対応したボンディングワイヤの長さを確保しながら、入力側内部整合回路24に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を小さくすることが可能となり、パッケージ本体20の寸法を小さくすることが出来る。大まかに見積もって、入力側で必要とされるボンディングワイヤの長さの1/3程度分だけパッケージ寸法を短くすることができる。
MOSFET装置10では入力側内部整合回路24と出力側内部整合回路26とを備え、図4の入力側のインピーダンスを示すスミスチャートおよび図5の出力側のインピーダンスを示すスミスチャートからでも理解できるように、図3の等価回路におけるLb及びLcが入力側内部整合回路24および出力側内部整合回路26を構成する上で重要な要素となる。
この実施の形態のMOSFET装置10では、入力側内部整合回路24についていえば、インダクタンスLbは第1ボンディングワイヤ34と第2ボンディングワイヤ36とのインダクタンスが利用され、必要な長さを有するボンディングワイヤを用いて、ゲート電極端子221と入力整合用MOS−Cコンデンサ30の表面電極30aとが接続される。
ただゲート電極端子221と入力整合用MOS−Cコンデンサ30の表面電極30aとを直接には接続せず、ゲート電極端子221と入力側補助ボンディングパッド27とを一旦第1ボンディングワイヤ34で接続し、折り返すようにしてさらに入力側補助ボンディングパッド27と入力整合用MOS−Cコンデンサ30の表面電極30aと第2ボンディングワイヤ36を用いて接続している。
このようなボンディングワイヤの接続方法をとることにより、必要とされるインダクタンスLbに対応したボンディングワイヤの長さを確保しながら、入力側内部整合回路24に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を小さくすることが可能となり、パッケージ本体20の寸法を小さくすることが出来る。大まかに見積もって、入力側で必要とされるボンディングワイヤの長さの1/3程度分だけパッケージ寸法を短くすることができる。
同様に出力側内部整合回路26についていえば、インダクタンスLcは第5ボンディングワイヤ42と第6ボンディングワイヤ44とのインダクタンスが利用され、必要とされる長さを有するボンディングワイヤを用いて、MOSFETチップ22のドレイン電極端子222と出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aとを接続する。
ただここにおいてもMOSFETチップ22のドレイン電極端子222と出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aとを直接に接続せず、ドレイン電極端子222と出力側補助ボンディングパッド28とを一旦第5ボンディングワイヤ42を用いて接続し、折り返すようにして第6ボンディングワイヤ44を用いてさらに出力側補助ボンディングパッド28と出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aとを接続している。
このようなボンディングワイヤの接続方法をとることにより、必要とされるインダクタンスLcに対応したボンディングワイヤの長さを確保しながら、出力側においても出力側内部整合回路26に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を小さくすることが可能となり、パッケージ本体20の寸法を小さくすることが出来る。大まかに見積もって、出力側で必要とされるボンディングワイヤの長さの1/3程度分だけパッケージ寸法を短くすることができる。
ただここにおいてもMOSFETチップ22のドレイン電極端子222と出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aとを直接に接続せず、ドレイン電極端子222と出力側補助ボンディングパッド28とを一旦第5ボンディングワイヤ42を用いて接続し、折り返すようにして第6ボンディングワイヤ44を用いてさらに出力側補助ボンディングパッド28と出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aとを接続している。
このようなボンディングワイヤの接続方法をとることにより、必要とされるインダクタンスLcに対応したボンディングワイヤの長さを確保しながら、出力側においても出力側内部整合回路26に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を小さくすることが可能となり、パッケージ本体20の寸法を小さくすることが出来る。大まかに見積もって、出力側で必要とされるボンディングワイヤの長さの1/3程度分だけパッケージ寸法を短くすることができる。
次にパッケージ本体20の小型化の効果について、1.3GHzで30W出力のMOSFET装置について簡単に考察する。
N本のワイヤが並列に配設された場合の等価インダクタンスおよびインダクタンスとワイヤ長さとの関係は次式で示される(非特許文献1参照)。
Lequiv=(Lint+Lext+Lp+2LM)/(ワイヤの本数)
ここでLequivは等価インダクタンス、Lintはワイヤの内部インダクタンス、Lextはワイヤの自己インダクタンス、Lpは平行ワイヤの相互インダクタンス、LMはワイヤが曲がっているための相互インダクタンス、である。
文献に記載のLint,Lext,Lp,およびLMの計算式を用いて、例えば図1に示されたMOSFET装置10について、入力側内部整合回路24に必要な入力インダクタンスLbを0.8nH,Laを0.2nHとし、出力側内部整合回路26に必要な出力インダクタンスLcを0.5nH,Ldを0.2nHとして、ボンディングワイヤの長さを計算すし、次の結果を得た。すなわち
N本のワイヤが並列に配設された場合の等価インダクタンスおよびインダクタンスとワイヤ長さとの関係は次式で示される(非特許文献1参照)。
Lequiv=(Lint+Lext+Lp+2LM)/(ワイヤの本数)
ここでLequivは等価インダクタンス、Lintはワイヤの内部インダクタンス、Lextはワイヤの自己インダクタンス、Lpは平行ワイヤの相互インダクタンス、LMはワイヤが曲がっているための相互インダクタンス、である。
文献に記載のLint,Lext,Lp,およびLMの計算式を用いて、例えば図1に示されたMOSFET装置10について、入力側内部整合回路24に必要な入力インダクタンスLbを0.8nH,Laを0.2nHとし、出力側内部整合回路26に必要な出力インダクタンスLcを0.5nH,Ldを0.2nHとして、ボンディングワイヤの長さを計算すし、次の結果を得た。すなわち
(1)ワイヤの本数を4本とした場合、入力インダクタンスLbの各ワイヤ長さは2.5mm
(2)ワイヤの本数を4本とした場合、入力インダクタンスLaの各ワイヤ長さは0.8mm
(3)ワイヤの本数を3本とした場合、出力インダクタンスLcの各ワイヤ長さは1.4mm
(4)ワイヤの本数を4本とした場合、出力インダクタンスLdの各ワイヤ長さは0.8mm
MOSFET装置10においては入力インダクタンスLbの各ワイヤ長さは第1ボンディングワイヤ34の長さと第2ボンディングワイヤ36の長さとの和の長さである。また出力インダクタンスLcの各ワイヤ長さは第5ボンディングワイヤ42の長さと第6ボンディングワイヤ44の長さとの和の長さである。
(2)ワイヤの本数を4本とした場合、入力インダクタンスLaの各ワイヤ長さは0.8mm
(3)ワイヤの本数を3本とした場合、出力インダクタンスLcの各ワイヤ長さは1.4mm
(4)ワイヤの本数を4本とした場合、出力インダクタンスLdの各ワイヤ長さは0.8mm
MOSFET装置10においては入力インダクタンスLbの各ワイヤ長さは第1ボンディングワイヤ34の長さと第2ボンディングワイヤ36の長さとの和の長さである。また出力インダクタンスLcの各ワイヤ長さは第5ボンディングワイヤ42の長さと第6ボンディングワイヤ44の長さとの和の長さである。
入力インダクタンスLbにおいては第2ボンディングワイヤ36は第1ボンディングワイヤ34と一部並行する方向に折り返されて配置されており、また入力インダクタンスLaの第3ボンディングワイヤ38も第1ボンディングワイヤ34と一部並行しているので、入力側内部整合回路24に必要なボンディングワイヤの長さを確保しながら入力側内部整合回路24に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を短くすることが出来る。
また出力インダクタンスLcにおいても第6ボンディングワイヤ44は第5ボンディングワイヤ42一部並行する方向に折り返されて配置されており、出力側内部整合回路26に必要なボンディングワイヤの長さを確保しながら、出力側内部整合回路26に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を短くすることが出来る。
入力側内部整合回路24および出力側内部整合回路26に必要な寸法を短くすることにより、延いてはパッケージ本体寸法を小さくすることが出来る。
MOSFETチップ22のドレイン電極端子222におけるワイヤボンディング点とゲート電極端子221におけるワイヤボンディング点と距離を例えば1mm程度とすると、この構成のMOSFET装置10においては内部整合回路に必要な寸法が約4mm程度となる。
また出力インダクタンスLcにおいても第6ボンディングワイヤ44は第5ボンディングワイヤ42一部並行する方向に折り返されて配置されており、出力側内部整合回路26に必要なボンディングワイヤの長さを確保しながら、出力側内部整合回路26に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を短くすることが出来る。
入力側内部整合回路24および出力側内部整合回路26に必要な寸法を短くすることにより、延いてはパッケージ本体寸法を小さくすることが出来る。
MOSFETチップ22のドレイン電極端子222におけるワイヤボンディング点とゲート電極端子221におけるワイヤボンディング点と距離を例えば1mm程度とすると、この構成のMOSFET装置10においては内部整合回路に必要な寸法が約4mm程度となる。
参考のため、入力インダクタンスLbにおいて第2ボンディングワイヤ36が第1ボンディングワイヤ34と一部並行する方向に折り返されずに、直接ゲート電極端子221と入力整合用MOS−Cコンデンサ30の表面電極30aとが接続された場合を考えると、入力側内部整合回路24に必要な寸法は、第1ボンディングワイヤ34の長さと第2ボンディングワイヤ36の長さと第3ボンディングワイヤ38の長さの和の長さとなる。
また、出力インダクタンスLcにおいても第6ボンディングワイヤ44が第5ボンディングワイヤ42と一部並行する方向に折り返されずに、直接MOSFETチップ22のドレイン電極端子222と出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aとが接続された場合を考えると、出力側内部整合回路26に必要な寸法は、Lcに必要なボンディングワイヤの長さ(すなわち1.4mm)と出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aにおけるボンディング点とパッケージ出力端子18のボンディング点との間に必要とされる距離との和になる。
そしてこの距離はMOSFETチップ22のドレイン電極端子222とパッケージ出力端子18とを接続する第4ボンディングワイヤ40の長さに相当する。またこの構成による第4ボンディングワイヤ40では第6ボンディングワイヤ44が第5ボンディングワイヤ42と一部並行する方向に折り返された場合に比べて長くなるので、Ldは0.4nHとなる。
この場合の内部整合回路に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を計算すると約8.5mm程度となり、MOSFET装置10の場合に比べて約2倍の寸法が必要になり、それに伴ってパッケージ本体も大きくなる。
また、出力インダクタンスLcにおいても第6ボンディングワイヤ44が第5ボンディングワイヤ42と一部並行する方向に折り返されずに、直接MOSFETチップ22のドレイン電極端子222と出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aとが接続された場合を考えると、出力側内部整合回路26に必要な寸法は、Lcに必要なボンディングワイヤの長さ(すなわち1.4mm)と出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aにおけるボンディング点とパッケージ出力端子18のボンディング点との間に必要とされる距離との和になる。
そしてこの距離はMOSFETチップ22のドレイン電極端子222とパッケージ出力端子18とを接続する第4ボンディングワイヤ40の長さに相当する。またこの構成による第4ボンディングワイヤ40では第6ボンディングワイヤ44が第5ボンディングワイヤ42と一部並行する方向に折り返された場合に比べて長くなるので、Ldは0.4nHとなる。
この場合の内部整合回路に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を計算すると約8.5mm程度となり、MOSFET装置10の場合に比べて約2倍の寸法が必要になり、それに伴ってパッケージ本体も大きくなる。
以上のように、この実施の形態に係るMOSFET装置10においては、入力側では入力整合用MOS−Cコンデンサ30とパッケージ入力端子16との間に入力側補助ボンディングパッド27を設けることにより、入力側内部整合回路24に必要な入力インダクタンスLbに対応する長さのボンディングワイヤのうち第2ボンディングワイヤ36を入力側補助ボンディングパッド27を経由して第1ボンディングワイヤ34と一部並行する方向に折り返して接続することにより、入力側内部整合回路24に必要なボンディングワイヤの長さを確保しながら入力側内部整合回路24に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法、を短くすることが出来る。
また、出力側では出力整合用MOS−Cコンデンサ32とパッケージ出力端子18との間に出力側補助ボンディングパッド28を設けることにより、出力側内部整合回路26に必要な出力インダクタンスLcに対応する長さのボンディングワイヤのうち第6ボンディングワイヤ44を第5ボンディングワイヤ42と一部並行する方向に折り返して接続することにより、出力側内部整合回路26に必要なボンディングワイヤの長さを確保しながら出力側内部整合回路26に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を短くすることが出来る。
従って入力側内部整合回路24および力側内部整合回路26に必要な寸法を短くすることにより、パッケージ本体の寸法を小さくすることが出来る。延いては内部整合回路に必要なワイヤのインダクタンスの値を確保するとともにパッケージの小型化が図れるので、外部付加と容易に整合することが可能でかつ小形の高周波トランジスタ装置を構成することが可能となる。
また、出力側では出力整合用MOS−Cコンデンサ32とパッケージ出力端子18との間に出力側補助ボンディングパッド28を設けることにより、出力側内部整合回路26に必要な出力インダクタンスLcに対応する長さのボンディングワイヤのうち第6ボンディングワイヤ44を第5ボンディングワイヤ42と一部並行する方向に折り返して接続することにより、出力側内部整合回路26に必要なボンディングワイヤの長さを確保しながら出力側内部整合回路26に必要な寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を短くすることが出来る。
従って入力側内部整合回路24および力側内部整合回路26に必要な寸法を短くすることにより、パッケージ本体の寸法を小さくすることが出来る。延いては内部整合回路に必要なワイヤのインダクタンスの値を確保するとともにパッケージの小型化が図れるので、外部付加と容易に整合することが可能でかつ小形の高周波トランジスタ装置を構成することが可能となる。
実施の形態2.
図6はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の平面図的に示された模式図である。また図7は図6のA部を拡大した模式図である。
なお図6および図7において、図1及び図2と同じ符号は同じものかまたは相当のものである。また以下の各図においても同様である。
図6および図7において、この実施の形態に係るMOSFET装置50において、実施の形態1のMOSFET装置10と相違する構成は、出力側補助ボンディングパッド52である。実施の形態1における出力側補助ボンディングパッド28が単純な矩形をしているのに対して、出力側補助ボンディングパッド52は、第1の部分としてのドレイン接続補助ボンディングパッド52a、第2の部分としてのコンデンサ用補助ボンディングパッド52b、およびインダクタンス要素としてのドレイン整合用インダクタンス52cを備えている。
図7において、出力側補助ボンディングパッド52の斜線は断面ではなく、分かり易いように出力側補助ボンディングパッド52に斜線を施したものである。
図6はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の平面図的に示された模式図である。また図7は図6のA部を拡大した模式図である。
なお図6および図7において、図1及び図2と同じ符号は同じものかまたは相当のものである。また以下の各図においても同様である。
図6および図7において、この実施の形態に係るMOSFET装置50において、実施の形態1のMOSFET装置10と相違する構成は、出力側補助ボンディングパッド52である。実施の形態1における出力側補助ボンディングパッド28が単純な矩形をしているのに対して、出力側補助ボンディングパッド52は、第1の部分としてのドレイン接続補助ボンディングパッド52a、第2の部分としてのコンデンサ用補助ボンディングパッド52b、およびインダクタンス要素としてのドレイン整合用インダクタンス52cを備えている。
図7において、出力側補助ボンディングパッド52の斜線は断面ではなく、分かり易いように出力側補助ボンディングパッド52に斜線を施したものである。
出力側補助ボンディングパッド52は、ドレイン接続補助ボンディングパッド52aとドレイン整合用インダクタンス52cとコンデンサ用補助ボンディングパッド52bとが、ハウジング14の上表面に形成されたメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜とにより、一体的に構成されている。
このうちドレイン整合用インダクタンス52cは、例えば櫛形をしたメタライズ膜で構成されている。
内部整合回路を備えたMOSFET装置において、内部整合回路に必要なインダクタンスは動作周波数に反比例するので、低い周波数、例えば100MHz〜1GHzで使用するMOSFET装置では、インダクタンスをボンディングワイヤで確保しようとすると、ボンディングワイヤの長さが非常に長くなる。この場合には、実施の形態1の様に単にボンディングワイヤを折り返したとしても、内部整合回路の寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を十分小さくすることが出来ない。
また例えそれほど低い周波数ではなくても、大出力を必要とするMOSFET装置では、電流容量が大きくなり、この電流容量に耐えるためにはボンディングワイヤの本数を増加することが必要となる。この場合、インダクタンスはワイヤの本数に反比例することになり、そのために必要なインダクタンスを確保するためにはボンディングワイヤの長さが非常に長くする必要がある。この場合にも、実施の形態1の様に単にボンディングワイヤを折り返したとしても、内部整合回路の寸法を十分短くすることが出来ない。従ってパッケージ本体の小型化にも十分対応することが出来ない。
このうちドレイン整合用インダクタンス52cは、例えば櫛形をしたメタライズ膜で構成されている。
内部整合回路を備えたMOSFET装置において、内部整合回路に必要なインダクタンスは動作周波数に反比例するので、低い周波数、例えば100MHz〜1GHzで使用するMOSFET装置では、インダクタンスをボンディングワイヤで確保しようとすると、ボンディングワイヤの長さが非常に長くなる。この場合には、実施の形態1の様に単にボンディングワイヤを折り返したとしても、内部整合回路の寸法、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法を十分小さくすることが出来ない。
また例えそれほど低い周波数ではなくても、大出力を必要とするMOSFET装置では、電流容量が大きくなり、この電流容量に耐えるためにはボンディングワイヤの本数を増加することが必要となる。この場合、インダクタンスはワイヤの本数に反比例することになり、そのために必要なインダクタンスを確保するためにはボンディングワイヤの長さが非常に長くする必要がある。この場合にも、実施の形態1の様に単にボンディングワイヤを折り返したとしても、内部整合回路の寸法を十分短くすることが出来ない。従ってパッケージ本体の小型化にも十分対応することが出来ない。
内部整合回路を備えたMOSFET装置において、例えば出力側内部整合回路26についていえば、出力側の反射係数を小さくするのに大ききく寄与するのは図3における等価回路のインダクタンスLcであって、このインダクタンスLcを大きくすることが必要になる。
そこでMOSFET装置50の出力側内部整合回路26においては、出力側補助ボンディングパッド52をドレイン接続補助ボンディングパッド52aとドレイン整合用インダクタンス52cとコンデンサ用補助ボンディングパッド52bとで構成し、第5ボンディングワイヤ42によりMOSFETチップ22のドレイン電極端子222とドレイン接続補助ボンディングパッド52aとを接続し、第6ボンディングワイヤ44によりコンデンサ用補助ボンディングパッド52bと出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aとをそれぞれ接続することにより、インダクタンスLcを第5ボンディングワイヤ42のインダクタンスと第6ボンディングワイヤ44のインダクタンスとドレイン整合用インダクタンス52cとの和となるように構成したものである。
このように構成すれば、出力側内部整合回路26において必要とされるインダクタンスが大きくなっても、ドレイン整合用インダクタンス52cを容易に大きくすることが出来るので、ボンディングワイヤで受け持つ寄与部分を少なくすることが出来る。このため第5ボンディングワイヤ42および第6ボンディングワイヤ44の長さを短くすることが出来て、出力側内部整合回路26の必要な寸法を、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法小さくすることが出来る。
延いては比較的低い周波数で使用されるMOSFET装置や大出力のMOSFET装置においても、内部整合回路に必要なワイヤのインダクタンスの値を確保するとともにパッケージの小型化が図れるので、外部付加と容易に整合することが可能でかつ小形の高周波トランジスタ装置を構成することが可能となる。
そこでMOSFET装置50の出力側内部整合回路26においては、出力側補助ボンディングパッド52をドレイン接続補助ボンディングパッド52aとドレイン整合用インダクタンス52cとコンデンサ用補助ボンディングパッド52bとで構成し、第5ボンディングワイヤ42によりMOSFETチップ22のドレイン電極端子222とドレイン接続補助ボンディングパッド52aとを接続し、第6ボンディングワイヤ44によりコンデンサ用補助ボンディングパッド52bと出力整合用MOS−Cコンデンサ32の表面電極32aとをそれぞれ接続することにより、インダクタンスLcを第5ボンディングワイヤ42のインダクタンスと第6ボンディングワイヤ44のインダクタンスとドレイン整合用インダクタンス52cとの和となるように構成したものである。
このように構成すれば、出力側内部整合回路26において必要とされるインダクタンスが大きくなっても、ドレイン整合用インダクタンス52cを容易に大きくすることが出来るので、ボンディングワイヤで受け持つ寄与部分を少なくすることが出来る。このため第5ボンディングワイヤ42および第6ボンディングワイヤ44の長さを短くすることが出来て、出力側内部整合回路26の必要な寸法を、すなわちパッケージ入力端子16とパッケージ出力端子18とを結ぶ方向の寸法小さくすることが出来る。
延いては比較的低い周波数で使用されるMOSFET装置や大出力のMOSFET装置においても、内部整合回路に必要なワイヤのインダクタンスの値を確保するとともにパッケージの小型化が図れるので、外部付加と容易に整合することが可能でかつ小形の高周波トランジスタ装置を構成することが可能となる。
なお、図6のMOSFET装置においては、ドレイン接続補助ボンディングパッド52a、コンデンサ用補助ボンディングパッド52b、およびドレイン整合用インダクタンス52cを備えた出力側補助ボンディングパッド52を、出力側にのみも受けた構成になっているが、入力側にのみ設けた構成や、入力側及び出力側双方に設けた構成も可能であることはいうまでもない。
図8はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の変形例を平面図的に示した模式図である。
図8においては、インダクタンスを含む補助ボンディングパッドを入力側にも設けた例である。入力側補助ボンディングパッド56は、ゲート接続補助ボンディングパッド56aとゲート整合用インダクタンス56cとコンデンサ用補助ボンディングパッド56bとが、ハウジング14の上表面に形成されたメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜とにより、一体的に構成されている。
このうちゲート整合用インダクタンス56cは、例えば櫛形をしたメタライズ膜で構成されている。
図8はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の変形例を平面図的に示した模式図である。
図8においては、インダクタンスを含む補助ボンディングパッドを入力側にも設けた例である。入力側補助ボンディングパッド56は、ゲート接続補助ボンディングパッド56aとゲート整合用インダクタンス56cとコンデンサ用補助ボンディングパッド56bとが、ハウジング14の上表面に形成されたメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜とにより、一体的に構成されている。
このうちゲート整合用インダクタンス56cは、例えば櫛形をしたメタライズ膜で構成されている。
実施の形態3.
図9はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の平面図的に示された模式図である。
図9において、この実施の形態に係るMOSFET装置60の構成が、実施の形態2のMOSFET装置50の構成と相違する点は、入力側補助ボンディングパッド27を表面に備えた入力側補助接続部品62および出力側補助ボンディングパッド52を表面に備えた出力側補助接続部品64をパッケージ本体20と別部品として構成し、入力側補助接続部品62および出力側補助接続部品64をパッケージ本体20に半田付けにより接着する構成としたことである。
パッケージ本体20のハウジング14に、入力側ではパッケージ入力端子16に沿った内部側に凹部14aを設け、また出力側ではパッケージ出力端子18沿った内部側に適宜の数に分けて離散的に凹部14bを設け、これらの凹部14a、凹部14bにそれぞれ入力側補助接続部品62および出力側補助接続部品64が半田付けにより接着されている。
図10はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置における入力側補助接続部品の斜視図である。また図11はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置における出力側補助接続部品の斜視図である。
図9はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の平面図的に示された模式図である。
図9において、この実施の形態に係るMOSFET装置60の構成が、実施の形態2のMOSFET装置50の構成と相違する点は、入力側補助ボンディングパッド27を表面に備えた入力側補助接続部品62および出力側補助ボンディングパッド52を表面に備えた出力側補助接続部品64をパッケージ本体20と別部品として構成し、入力側補助接続部品62および出力側補助接続部品64をパッケージ本体20に半田付けにより接着する構成としたことである。
パッケージ本体20のハウジング14に、入力側ではパッケージ入力端子16に沿った内部側に凹部14aを設け、また出力側ではパッケージ出力端子18沿った内部側に適宜の数に分けて離散的に凹部14bを設け、これらの凹部14a、凹部14bにそれぞれ入力側補助接続部品62および出力側補助接続部品64が半田付けにより接着されている。
図10はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置における入力側補助接続部品の斜視図である。また図11はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置における出力側補助接続部品の斜視図である。
図10において、入力側補助接続部品62はセラミック誘電体例えばアルミナなどで形成された部品本体62aと、部品本体62aの表面側に形成された入力側補助ボンディングパッド27、および部品本体62aの裏面側に形成された接着用金属膜とから構成されている。入力側補助ボンディングパッド27および接着用金属膜はメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜とにより、構成されている。
図11において、出力側補助接続部品64はセラミック誘電体例えばアルミナなどで形成された部品本体64aと、部品本体64aの表面側に形成された出力側補助ボンディングパッド52、および部品本体64aの裏面側に形成された接着用金属膜とから構成されている。出力側補助ボンディングパッド52および接着用金属膜はメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜により構成されている。
この実施の形態では、出力側補助ボンディングパッド52は、実施の形態2と同様に、ドレイン接続補助ボンディングパッド52a、コンデンサ用補助ボンディングパッド52b、およびドレイン整合用インダクタンス52cを備えている。
図11において、出力側補助ボンディングパッド52の斜線は断面ではなく、分かり易いように出力側補助ボンディングパッド52に斜線を施したものである。
図11において、出力側補助接続部品64はセラミック誘電体例えばアルミナなどで形成された部品本体64aと、部品本体64aの表面側に形成された出力側補助ボンディングパッド52、および部品本体64aの裏面側に形成された接着用金属膜とから構成されている。出力側補助ボンディングパッド52および接着用金属膜はメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜により構成されている。
この実施の形態では、出力側補助ボンディングパッド52は、実施の形態2と同様に、ドレイン接続補助ボンディングパッド52a、コンデンサ用補助ボンディングパッド52b、およびドレイン整合用インダクタンス52cを備えている。
図11において、出力側補助ボンディングパッド52の斜線は断面ではなく、分かり易いように出力側補助ボンディングパッド52に斜線を施したものである。
この実施の形態のように入力側補助接続部品62や出力側補助接続部品64を別部品として構成することにより、異なった周波数や、出力電圧が異なる場合などに対応して内部整合MOSFET装置を構成する必要が生じたときに、ワイヤ本数や出力側補助ボンディングパッド52の形状を変更することが必要になったとしても、単に入力側補助接続部品62や出力側補助接続部品64の構成を変更して、同じ寸法のパッケージ本体に組み込むことにより、対処することが出来る。
このために、この実施の形態に係るMOSFET装置60においては多くのパッケージを準備する必要がなく、パッケージの単価が安く、かつ生産管理が容易になる。延いては安価なMOSFET装置を提供することが出来る。
なお、図10において、入力側補助接続部品62の入力側補助ボンディングパッド27は単に一様に延在した形状であるが、図8において示したように、インダクタンスを含む入力側補助ボンディングパッド56を配設した構成としてもよい。
このために、この実施の形態に係るMOSFET装置60においては多くのパッケージを準備する必要がなく、パッケージの単価が安く、かつ生産管理が容易になる。延いては安価なMOSFET装置を提供することが出来る。
なお、図10において、入力側補助接続部品62の入力側補助ボンディングパッド27は単に一様に延在した形状であるが、図8において示したように、インダクタンスを含む入力側補助ボンディングパッド56を配設した構成としてもよい。
実施の形態4.
図12はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の平面図的に示された模式図である。
図12において、この実施の形態に係るMOSFET装置70の構成は、入力側補助ボンディングパッド27を表面に備えた入力側補助接続部品72および出力側補助ボンディングパッド74aを表面に備えた出力側補助接続部品74をパッケージ本体20とは別部品として構成し、これら入力側補助接続部品72および出力側補助接続部品74をハウジング14に囲まれた基板上に、半田付けにより接着するようにしたものである。
入力側補助接続部品72はセラミック誘電体例えばアルミナなどで形成された断面矩形の棒状をした部品本体と、部品本体の延在する一表面上に形成された入力側補助ボンディングパッド27、および部品本体の裏面側に形成された接着用金属膜とから構成されている。入力側補助ボンディングパッド27および接着用金属膜はメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜とにより、構成されている。
同様に出力側補助接続部品74はセラミック誘電体例えばアルミナなどで形成された断面矩形の棒状をした部品本体と、部品本体の延在する一表面上に形成された出力側補助ボンディングパッド74a、および部品本体の裏面側に形成された接着用金属膜とから構成されている。出力側補助ボンディングパッド74aおよび接着用金属膜はメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜とにより、構成されている。
図12はこの発明の一実施の形態に係るMOSFET装置の平面図的に示された模式図である。
図12において、この実施の形態に係るMOSFET装置70の構成は、入力側補助ボンディングパッド27を表面に備えた入力側補助接続部品72および出力側補助ボンディングパッド74aを表面に備えた出力側補助接続部品74をパッケージ本体20とは別部品として構成し、これら入力側補助接続部品72および出力側補助接続部品74をハウジング14に囲まれた基板上に、半田付けにより接着するようにしたものである。
入力側補助接続部品72はセラミック誘電体例えばアルミナなどで形成された断面矩形の棒状をした部品本体と、部品本体の延在する一表面上に形成された入力側補助ボンディングパッド27、および部品本体の裏面側に形成された接着用金属膜とから構成されている。入力側補助ボンディングパッド27および接着用金属膜はメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜とにより、構成されている。
同様に出力側補助接続部品74はセラミック誘電体例えばアルミナなどで形成された断面矩形の棒状をした部品本体と、部品本体の延在する一表面上に形成された出力側補助ボンディングパッド74a、および部品本体の裏面側に形成された接着用金属膜とから構成されている。出力側補助ボンディングパッド74aおよび接着用金属膜はメタライズ膜、例えばタングステン膜とこの上に形成された金メッキ膜とにより、構成されている。
この実施の形態の出力側補助接続部品74は構成上離散的に分割配置する必要がなく、出力側補助ボンディングパッド74aは一体的なメタライズ膜として形成することが出来る。
入力側補助接続部品72は、ハウジング14の一辺の上表面に配設されたパッケージ入力端子16と入力整合用MOS−Cコンデンサ30との間に相互に並行するように介在して配置され、接着用金属膜を介して基板12上に半田により接着されている。
出力側補助接続部品74は、ハウジング14の一辺の上表面に配設されたパッケージ出力端子18と出力整合用MOS−Cコンデンサ32との間に相互に並行するように介在して配置され、接着用金属膜を介して基板12上に半田により接着されている。
なお、図12のMOSFET装置70では入力側補助ボンディングパッド72aおよび出力側補助ボンディングパッド74aとも単に一体的なメタライズ膜であるが、実施の形態2の構成のように、メタライズ膜によりインダクタを形成し、入力側補助ボンディングパッド72aにおける第1ボンディングワイヤ34のボンディング点と第2ボンディングワイヤ36のボンディング点との間にメタライズ膜によるインダクを配置しても、また出力側補助ボンディングパッド74aにおける第5ボンディングワイヤ42のボンディング点と第6ボンディングワイヤ44のボンディング点との間にメタライズ膜によるインダクを配置してもよい。
この実施の形態に係るMOSFET装置70では、特に専用のパッケージ本体を必要とせず従来構造のパッケージ本体を使用しながら、内部整合回路のインダクタンスを容易に確保することが出来るので、より小形の内部整合型のMOSFET装置を構成することができる。延いては外部付加と容易に整合することが可能で、かつ安価で小形の高周波トランジスタ装置を構成することが可能となる。
入力側補助接続部品72は、ハウジング14の一辺の上表面に配設されたパッケージ入力端子16と入力整合用MOS−Cコンデンサ30との間に相互に並行するように介在して配置され、接着用金属膜を介して基板12上に半田により接着されている。
出力側補助接続部品74は、ハウジング14の一辺の上表面に配設されたパッケージ出力端子18と出力整合用MOS−Cコンデンサ32との間に相互に並行するように介在して配置され、接着用金属膜を介して基板12上に半田により接着されている。
なお、図12のMOSFET装置70では入力側補助ボンディングパッド72aおよび出力側補助ボンディングパッド74aとも単に一体的なメタライズ膜であるが、実施の形態2の構成のように、メタライズ膜によりインダクタを形成し、入力側補助ボンディングパッド72aにおける第1ボンディングワイヤ34のボンディング点と第2ボンディングワイヤ36のボンディング点との間にメタライズ膜によるインダクを配置しても、また出力側補助ボンディングパッド74aにおける第5ボンディングワイヤ42のボンディング点と第6ボンディングワイヤ44のボンディング点との間にメタライズ膜によるインダクを配置してもよい。
この実施の形態に係るMOSFET装置70では、特に専用のパッケージ本体を必要とせず従来構造のパッケージ本体を使用しながら、内部整合回路のインダクタンスを容易に確保することが出来るので、より小形の内部整合型のMOSFET装置を構成することができる。延いては外部付加と容易に整合することが可能で、かつ安価で小形の高周波トランジスタ装置を構成することが可能となる。
以上のように、この発明に係る高周波トランジスタ装置は、通信用のマイクロ波デバイスなどに有用である。特に1〜2GHzの高周波が用いられる携帯電話用基地局やマイクロ波通信装置等に使用される高出力増幅器などの高周波トランジスタ装置に適している。
12 基板、 14 ハウジング、 16 パッケージ入力端子、 18 パッケージ出力端子、 20 パッケージ本体、 22 MOSFETチップ、 30 入力整合用MOS−Cコンデンサ、 27 入力側補助ボンディングパッド、 34 第1ボンディングワイヤ、 36 第2ボンディングワイヤ、 38 第3ボンディングワイヤ、 40 第4ボンディングワイヤ、 56 入力側補助ボンディングパッド、 56a ゲート接続補助ボンディングパッド、 56b コンデンサ用補助ボンディングパッド、 56c ゲート整合用インダクタンス、 32 出力整合用MOS−Cコンデンサ、 28 出力側補助ボンディングパッド、 42 第5ボンディングワイヤ、 44 第6ボンディングワイヤ、 52 出力側補助ボンディングパッド、 52a ドレイン接続補助ボンディングパッド、 52b コンデンサ用補助ボンディングパッド、 52c ドレイン整合用インダクタンス。
Claims (6)
- 一つの主面を有する基板とこの基板の主面上の周囲に配設された壁部とこの壁部の表面上に配設された第1のパッケージ電極及び第2のパッケージ電極とを有するパッケージ本体と、
互いに対向する第1、第2の表面を有するとともに上記第1の表面上に配設された第1の電極および上記第2の表面上に配設された第2、第3の電極を有し、上記第1の電極を介して上記パッケージ本体の基板上に配設されトランジスタと、
このトランジスタの上記第2の電極と上記第1のパッケージ電極との間の上記基板上に配設され、表面電極を有する第1のキャパシタと、
この第1のキャパシタと上記第1のパッケージ電極との間に配設され、上記第1のキャパシタおよび上記第1のパッケージ電極と電気的に絶縁された第1の補助電極と、
上記トランジスタの第2の電極と上記第1の補助電極とを接続した第1の接続配線と、
上記第1の補助電極と上記第1のキャパシタの表面電極とを接続した第2の接続配線と、
上記第1のキャパシタの表面電極と上記第1のパッケージ電極とを接続した第3の接続配線と、
上記トランジスタの第3の電極と上記第2のパッケージ電極とを接続した第4の接続配線と、
を備えた高周波トランジスタ装置。 - 第1の補助電極が、所定のインダクタンスを有するインダクタンス要素とこのインダクタンス要素を介して配設された第1の部分と第2の部分とを有し、第1の接続配線がこの第1の部分と接続され、第2の接続配線がこの第2の部分と接続することにより上記第1の補助電極と接続されたことを特徴とする請求項1記載の高周波トランジスタ装置。
- 第1の補助電極がパッケージ本体と別体で形成されたことを特徴とする請求項1または2記載の高周波トランジスタ装置。
- トランジスタの第3の電極と上記第2のパッケージ電極との間の基板上に配設され、表面電極を有する第2のキャパシタと、
この第2のキャパシタと上記第2のパッケージ電極との間に配設され、上記第2のキャパシタおよび上記第2のパッケージ電極と電気的に絶縁された第2の補助電極と、
上記トランジスタの第3の電極と上記第2の補助電極とを接続した第5の接続配線と、
上記第2の補助電極と上記第2のキャパシタの表面電極とを接続した第6の接続配線とを、
さらに備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の高周波トランジスタ装置。 - 第2の補助電極が、所定のインダクタンスを有するインダクタンス要素とこのインダクタンス要素を介して配設された第1の部分と第2の部分とを有し、第5の接続配線がこの第1の部分と接続され、第6の接続配線がこの第2の部分と接続されることにより上記第2の補助電極と接続されたことを特徴とする請求項4記載の高周波トランジスタ装置。
- 第2の補助電極がパッケージ本体と別体で形成されたことを特徴とする請求項4または5記載の高周波トランジスタ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003343486A JP2005110119A (ja) | 2003-10-01 | 2003-10-01 | 高周波トランジスタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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JP2005110119A true JP2005110119A (ja) | 2005-04-21 |
Family
ID=34537439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003343486A Pending JP2005110119A (ja) | 2003-10-01 | 2003-10-01 | 高周波トランジスタ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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- 2003-10-01 JP JP2003343486A patent/JP2005110119A/ja active Pending
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|
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