JP2005108637A - 電子放出素子、電子線源及び電子放出制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子放出素子1は、ダイヤモンドで形成された電子放出陰極2と、この電子放出陰極2と一体化され、電子放出陰極2を加熱させるヒーター部3とを備えている。電子放出陰極2は、表面4aから電子が放出される電子放出部4と、この電子放出部4の裏側に設けられ、ヒーター部3と電子放出部4とを電気的に絶縁させる絶縁部5とを有している。電子放出部4は、絶縁部5を形成する絶縁性ダイヤモンドに不純物をドープして形成された導電性ダイヤモンドである。ヒーター部3は、絶縁部5の裏面に設けられている。
【選択図】 図1
Description
Claims (12)
- ダイヤモンドで形成された電子放出陰極と、
前記電子放出陰極と一体化され、前記電子放出陰極を加熱させるヒーター部とを備え、
前記電子放出陰極は、表面から電子が放出される電子放出部と、前記ヒーター部と前記電子放出部と電気的に絶縁させる絶縁部とを有することを特徴とする電子放出素子。 - 前記ヒーター部は、前記絶縁部における前記電子放出部の表面と反対側の面に設けられていることを特徴とする請求項1記載の電子放出素子。
- 前記ヒーター部は、前記絶縁部の内部に設けられていることを特徴とする請求項1記載の電子放出素子。
- 前記電子放出部の表面が水素終端されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の電子放出素子。
- 前記電子放出部の表面には、先鋭な突起部が設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の電子放出素子。
- 前記電子放出陰極の温度を検出する温度センサを備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の電子放出素子。
- 請求項1〜6のいずれか一項記載の電子放出素子と、
前記電子放出素子の前記電子放出部の表面側に間隔を隔てて配置され、前記電子放出部の表面から電子を放出させるための電子引出電極とを備えたことを特徴とする電子線源。 - 前記電子放出部と前記電子引出電極との間に配置され、前記電子放出部の表面からの電子の放出量を制御するための制御電極を更に備えることを特徴とする請求項7記載の電子線源。
- 前記電子放出部の表面側に間隔を隔てて配置され、前記電子放出部を輻射加熱させる手段を更に備えることを特徴とする請求項7または8記載の電子線源。
- 請求項7〜9のいずれか一項記載の電子線源を用意し、前記電子引出電極に電圧を印加すると共に、前記ヒーター部により前記電子放出陰極を加熱することにより、前記電子放出部の表面から電子を放出させることを特徴とする電子放出制御方法。
- 前記ヒーター部により前記電子放出陰極を600℃以下の温度で加熱させることを特徴とする請求項10記載の電子放出制御方法。
- 前記ヒーター部により前記電子放出陰極を600〜1500℃の温度で加熱させることを特徴とする請求項10記載の電子放出制御方法。
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