JP4765245B2 - 電子線源 - Google Patents
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Description
また、制御電極に低電圧を印加することで、電子放出部の表面からの電子の放出量を容易にかつ細かく調整することができる。
Claims (1)
- 電子放出素子と、
前記電子放出素子から電子を放出させるための電子引出電極と、
前記電子放出素子からの電子の放出量を制御するための制御電極とを備え、
前記電子放出素子は、
ダイヤモンドで形成された円形の電子放出陰極と、
前記電子放出陰極と一体化され、前記電子放出陰極を加熱させるヒーター部とを備え、
前記電子放出陰極は、表面から電子が放出される電子放出部と、前記ヒーター部と前記電子放出部と電気的に絶縁させる絶縁部とを有し、
前記電子放出部には、前記電子放出陰極と電気的接合を取るための環状のカソードキャップが前記電子放出陰極を覆うように固定されており、
前記電子引出電極は、前記電子放出素子の前記電子放出部の表面側に間隔を隔てて配置され、前記電子放出部の表面から電子を放出させるための電極であり、
前記制御電極は、前記電子放出部と前記電子引出電極との間に配置され、前記電子放出部の表面からの電子の放出量を制御するための電極であり、
前記電子放出部の表面側には、前記電子放出部の表面に水素イオン・水素ラジカルを照射して前記電子放出部の表面を水素終端化するために前記電子放出部を輻射加熱させる手段が間隔を隔てて配置されていることを特徴とする電子線源。
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