JP2005101239A - 光起電力素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 i型非晶質シリコン膜2上にp型非晶質シリコン膜3および表面電極4が順に形成されている。p型非晶質シリコン膜3は、i型非晶質シリコン膜2側から順にp型不純物が低濃度にドープされた低ドープ層31、p型不純物が高濃度にドープされた高ドープ層32およびp型不純物が低濃度にドープされた低ドープ層33を有する。それにより、高ドープ層32が低ドープ層31,33に挟まれた3層構造となっている。
【選択図】 図1
Description
以下の実施例では、上記実施の形態の方法で図1の構造を有する光起電力素子を作製し、出力特性を測定した。実施例の光起電力素子の作製条件を表1に示す。
比較例1〜4においては、図2に示すように、p型非晶質シリコン膜3は、均一にBをドープしたp型非晶質シリコンからなる。
比較例5〜7においては、図3に示すように、p型非晶質シリコン膜3は低ドープ層31および高ドープ層32から構成される。低ドープ層31がi型非晶質シリコン膜2側に形成され、高ドープ層32が表面電極4側に形成される。
比較例8,9においては、図4に示すように、p型非晶質シリコン膜3は高ドープ層32および低ドープ層33から構成される。高ドープ層32がi型非晶質シリコン膜2側に形成され、低ドープ層33が表面電極4側に形成される。
実施例および比較例1〜9の光起電力素子の出力特性を測定した。表3、図5および図6に実施例および比較例1〜9の光起電力素子の出力特性を示す。
実施例および比較例1〜9の光起電力素子を連続生産した場合の光起電力素子の出力特性の変化を測定した。表4〜6、図7および図8に実施例および比較例1〜9の光起電力素子の出力特性を示す。
2,6 i型非晶質シリコン膜
3 p型非晶質シリコン膜
4,8 表面電極
7 n型非晶質シリコン膜
31 低ドープ層
32 高ドープ層
33 低ドープ層
Claims (4)
- 結晶系半導体と、
一導電型を示す不純物を含む第1の非晶質系半導体膜と、
透明導電膜とを順に備え、
前記第1の非晶質系半導体膜は一導電型を示す不純物を含有し、
前記第1の非晶質系半導体膜は、厚さ方向において前記結晶系半導体側から前記透明導電膜側へ第1の領域、第2の領域および第3の領域を順に含み、
前記第1の領域の不純物の濃度および前記第3の領域の不純物の濃度が前記第2の領域の不純物の濃度よりも低いことを特徴とする光起電力素子。 - 前記結晶系半導体と前記第1の非晶質系半導体膜との間に真性の第2の非晶質系半導体膜をさらに備えたことを特徴とする請求項1記載の光起電力素子。
- 前記結晶系半導体は、前記第1の非晶質系半導体膜とは異なる導電型を示すことを特徴とする請求項1または2記載の光起電力素子。
- 処理室内に一導電型を示す不純物を含むドーパントガスおよび原料ガスを導入し、プラズマ化学蒸着法により結晶系半導体上に第1の非晶質系半導体膜を形成する工程と、
前記第1の非晶質系半導体膜上に透明導電膜を形成する工程とを備え、
前記第1の非晶質系半導体膜を形成する工程は、前記原料ガスに対する前記ドーパントガスの流量比を、第1の値、前記第1の値よりも高い第2の値、および前記第2の値よりも低い第3の値に、順に設定することをを特徴とする光起電力素子の製造方法。
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