JP2005085871A - レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ発振手段1と、レーザ出力を設定する出力設定手段6と、レーザ発振手段を駆動する駆動手段11と、レーザ発振手段の動作状態を検出する各センサと、出力設定手段及びセンサからの信号に基づき駆動手段へ駆動信号を送出する自動制御手段10と、駆動手段への各制御量に対応するセンサからの信号の基準値または基準範囲を記憶する基準特性記憶手段14と、異常報知手段15とを備え、自動制御手段はセンサからの信号と基準特性記憶手段からの信号に基づいてセンサの異常を判定し異常報知手段へ異常内容を示す報知信号を送出する。
【選択図】図1
Description
またAPC手段7とATC手段9が連動し、例えば所定温度設定範囲に入るような正常なフィードバックがかかっていない場合にレーザ照射を禁止したり、設定範囲外の過電流がレーザ発振手段1に流れないよう保護回路を設けたりする構成も提案されている。
また本発明は、センサが故障か否かの判定条件を固定化しておくのではなく、レーザ発振手段の経時劣化に対応して、レーザ駆動信号(または投入電力)と望ましいセンサ信号の関係や異常判定条件を逐次更新することで、常に適切な異常判定が行なえることを目的とする。
以下、本発明のレーザ装置における実施の形態1について、図1〜図3を用いて説明する。図1において、1はレーザダイオードからなるレーザ発振手段である。このレーザ発振手段1の近傍には、このレーザダイオードの発光量を検出するフォトダイオードからなる光量センサ2及びNTCサーミスタからなる温度センサ3が設けられ、熱伝導性に優れた金属パッケージで覆われたレーザダイオードモジュール5として一体化されている。このレーザダイオードモジュール5の内部は不活性ガスが充填され、レーザ発振手段1の劣化を防いでいる。レーザ発振手段1から発生するレーザ光は窓またはファイバー結合を介して外部に導出される(図示せず)。
f*(x1,x2,x3……)をそれぞれ変数x1,x2,x3……の関数とすれば、
Ipd=f1(Icont,T)=f2(Iop,T)=f3(Vop,T)
△T=f4(Icont,T)=f5(Iop,T)=f6(Vop,T)=f7(Ipd,T)
Iop=f8(Icont)=f9(Ipd,T)=f10(Vop,T)
Vop=f11(Icont,T)=f12(Iop,T)=f13(Ipd,T)
と対応関係を表現できる。さらには他のセンサ全てからの情報を入力変数として
Ipd=f14(Icont,T,△T,Iop,Vop)
△T=f15(Icont,T,Ipd,Iop,Vop)
Iop=f16(Icont,T,△T,Ipd,Vop)
Vop=f17(Icont,T,△T,Ipd,Iop)
と表現することもできる。これは常に望ましいセンサ入力信号としてのLD光量Ipd、駆動電流Iop、駆動電圧Vop、温度Tまたは温度差△Tが他のセンサ入力信号から推定できることを意味している。また
Icont=f18(T,△T,Ipd,Iop,Vop)
のように自動制御手段10が送出した制御信号である電流指令値Icontそのものを各センサ入力信号値から推定できる。
ステップ109〜112は、レーザダイオードからなるレーザ発振手段1の諸特性が経時変化で徐々にシフトしていくことに対応しており、その変化した特性に対して適切なセンサ系異常判定を行なうことができる。
次に、本発明のレーザ装置における実施の形態2について、図4を用いて説明する。本実施の形態は、実施の形態1の発明と異なる点は、自動制御手段10の駆動手段11に送出する電流指令値Icontの出力信号のみであり、従って図1〜図3を利用して同一構成並びに作用効果を奏するところには同一符号を付与して詳細な説明を省略し、異なるところを中心に説明する。
次に、本発明のレーザ装置における実施の形態3について、図5を用いて説明する。本実施の形態は、実施の形態1の発明と異なる点は、自動制御手段10の動作に関わらず駆動手段11に所定の出力信号を送出する手動制御手段16、自動制御と手動制御の切替を行う切替手段17を設けた点にあり、図1に示す実施の形態1と同一構成並びに作用効果を奏するところには同一符号を付与して詳細な説明を省略し、異なるところを中心に説明する。
次に、本発明のレーザ装置における実施の形態4について、図6を用いて説明する。本実施の形態は、実施の形態1および3の発明と異なる点は、次に説明する通りで、図5に示す実施の形態3と同一構成並びに作用効果を奏するところには同一符号を付与して詳細な説明を省略し、異なるところを中心に説明する。
2 光量センサ
3 温度センサ
4 ペルチェ素子
6 出力設定手段
10 自動制御手段
11 駆動手段
12 LD電流検出手段
14 基準特性記憶手段
15 異常報知手段
16 手動制御手段
19 冷却制御手段
20 ペルチェ電流検出手段
Claims (10)
- レーザ発振手段と、前記レーザ発振手段のレーザ出力を設定する出力設定手段と、前記レーザ発振手段を駆動する駆動手段と、前記レーザ発振手段の動作状態を検出するセンサと、前記出力設定手段及び前記センサからの信号に基づき前記駆動手段へ駆動信号を送出する自動制御手段と、前記駆動手段への各制御量に対応する前記センサからの信号の基準値または基準範囲を記憶する基準特性記憶手段と、異常報知手段とを備え、前記自動制御手段は前記センサからの信号と前記基準特性記憶手段からの信号に基づいて前記センサの異常を判定し前記異常報知手段へ異常内容を示す報知信号を送出するレーザ装置。
- 自動制御手段は、レーザ出力を設定する出力設定手段、レーザ発振手段の動作状態を検出するセンサ及び駆動手段への各制御量に対応する前記センサからの信号の基準値または基準範囲を記憶する基準特性記憶手段からの信号に基づき前記駆動手段へ駆動信号を送出し、前記センサからの信号と前記基準特性記憶手段からの信号との比または差に基づいて異常判定する請求項1記載のレーザ装置。
- 自動制御手段は、レーザ発振手段の動作状態を検出するセンサの異常判定時に前記センサからの信号を切断または除外する請求項1または請求項2記載のレーザ装置。
- 自動制御手段は、レーザ発振手段の動作状態を検出するセンサの異常判定時に基準特性記憶手段からの信号に基づいて駆動手段へ駆動信号を送出する請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ装置。
- 自動制御手段は、駆動手段へ送出する駆動信号の所定時間以内の上昇または変動を抑圧する請求項1〜4のいずれかに記載のレーザ装置。
- 自動制御手段は、レーザ発振手段の動作状態を検出するセンサからの信号と基準特性記憶手段からの信号との比または差に基づいて前記基準特性記憶手段の記憶情報を更新する請求項1〜5のいずれかに記載のレーザ装置。
- レーザ発振手段の動作状態を検出する複数のセンサと、前記複数のセンサのいずれかの異常を判定した場合、異常と判定した当該センサからの信号を他のセンサ信号から推定または補完する自動制御手段を備えた請求項1〜6のいずれかに記載のレーザ装置。
- 自動制御手段の出力とは無関係に、出力設定手段に基づいて駆動手段へ駆動信号を送出する手動制御手段を設けた請求項1〜7のいずれかに記載のレーザ装置。
- レーザ発振手段はレーザダイオードを有し、前記レーザ発振手段の動作状態を検出するセンサは、前記レーザ発振手段の発光量を検出する光量センサと、前記レーザ発振手段の駆動電流を検出するレーザダイオード電流検出手段と、前記レーザ発振手段近傍の温度を検出する温度センサとのいずれかまたは全てを備えた請求項1〜8のいずれかに記載のレーザ装置。
- レーザ発振手段はレーザダイオードを有し、レーザ発振手段を冷却するペルチェ素子と、前記ペルチェ素子を駆動する冷却制御手段を備え、レーザ発振手段の動作状態を検出するセンサは、レーザ発振手段の発光量を検出する光量センサと、前記レーザ発振手段の駆動電流を検出するレーザダイオード電流検出手段と、前記レーザ発振手段近傍の温度を検出する温度センサと、前記冷却制御手段による前記ペルチェ素子の駆動電流を検出するペルチェ電流検出手段とのいずれかまたは全てを備えた請求項1〜9のいずれかに記載のレーザ装置。
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