JP2005083416A - 転動体循環式転がり案内装置、該装置に用いられる案内レール及びベアリングブロック - Google Patents
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Abstract
【課題】転動面の硬度を十分に確保しつつ、非磁性かつ加工容易を同時に実現できる転動体循環式転がり案内装置を提供することを目的とする。
【解決手段】レール20を、非磁性金属製のレール母材21と、セラミックス製のレール転動面部材22と、を含んで構成する。また、ベアリングブロック30を、非磁性金属製のベアリングブロック母材31と、セラミックス製のベアリングブロック転動面部材32と、を含んで構成する。このように構成すると、転動体1が転動する転動面の硬度を十分に確保しつつ、非磁性かつ加工容易を同時に実現できる転動体循環式転がり案内装置の提供が可能となる。
【選択図】図2
【解決手段】レール20を、非磁性金属製のレール母材21と、セラミックス製のレール転動面部材22と、を含んで構成する。また、ベアリングブロック30を、非磁性金属製のベアリングブロック母材31と、セラミックス製のベアリングブロック転動面部材32と、を含んで構成する。このように構成すると、転動体1が転動する転動面の硬度を十分に確保しつつ、非磁性かつ加工容易を同時に実現できる転動体循環式転がり案内装置の提供が可能となる。
【選択図】図2
Description
本発明は、転動体循環式転がり案内装置、該装置に用いられる案内レール及びベアリングブロックに関する。
電子ビーム露光装置のテーブル等、真空かつ非磁性性能が要求される環境で使用される転がり案内装置として、セラミックス材料で形成され、転動体が循環しない転がり案内装置(セラミックス製クロスローラガイド)が用いられている。
しかし、このタイプの転がり案内装置(セラミックス製クロスローラガイド)は転動体が非循環であるため、転がり案内装置の大きさに対してストローク量が小さく、例えば、真空槽の中の限られたスペースなどにおいては、転がり案内装置自体を大型化することが制限されるため充分なストローク量を確保することが難しいといった実情がある。
この解決策として、転動体循環型の転がり案内装置をセラミックス材料で製造することが考えられるが、形状の複雑さ故、セラミックス材料で転動体循環型の転がり案内装置を製造することは困難である。
この一方で、セラミックス以外の非磁性材料としてチタン合金を用いて転動体循環型転がり案内装置を製造することが考えられている。チタン合金製の転動体循環型転がり案内装置は実現可能であるが、チタン合金の硬さが通常の転がり案内装置に用いられる合金鋼やセラミックスと比較して低いために、負荷容量が小さく、摩耗し易いといった問題や、チタン合金が難削材であるために転動溝を精度よく加工することが困難であるといった問題や、熱処理の際にレールに曲がりが発生し易いといった問題などがある。
本発明は、上記従来の実情に鑑みなされたもので、転動体循環式転がり案内装置、該装置に用いられる案内レール及びベアリングブロックにおいて、加工性延いては生産性を現実的なものとしながら、特定の部位に要求されるそれぞれの特性を満たすことができるように、特定の部位に対して材料を選択的に用いるようにする。特に、転動部延いては転動面の硬度を十分に確保しつつ、非磁性かつ加工容易を同時に実現できる転動体循環式転がり案内装置、該装置に用いられる案内レール及びベアリングブロックを提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、転動体と、案内レールと、転動体を介して案内レールに移動自在に配設されるベアリングブロックと、を含んで構成される転動体循環式転がり案内装置において、前記案内レールと前記ベアリングブロックの少なくとも一方を、非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材と、セラミックス材料からなる部材と、を組み合わせて構成するようにした。
請求項2に記載の発明は、前記非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材が、前記案内レールと前記ベアリングブロックの少なくとも一方の母材であり、前記セラミックス材料からなる部材が、前記少なくとも一方の転動体が転動する転動面を含む部材であることを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、転動体と、案内レールと、転動体を介して案内レールに移動自在に配設されるベアリングブロックと、を含んで構成される転動体循環式転がり案内装置の案内レールであって、前記案内レールを、非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材と、セラミックス材料からなる部材と、を組み合わせて構成した。
請求項4に記載の発明は、前記非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材が、前記案内レールの母材であり、前記セラミックス材料からなる部材が、前記案内レールの転動体が転動する転動面を含む部材であることを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、転動体と、案内レールと、転動体を介して案内レールに移動自在に配設されるベアリングブロックと、を含んで構成される転動体循環式転がり案内装置のベアリングブロックであって、前記ベアリングブロックを、非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材と、セラミックス材料からなる部材と、を組み合わせて構成した。
請求項6に記載の発明は、前記非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材が、前記ベアリングブロックの母材であり、前記セラミックス材料からなる部材が、前記ベアリングブロックの転動体が転動する転動面を含む部材であることを特徴とする。
請求項1,3,5に記載の発明のように、特定の部位に対して材料を選択的に用いるようにすれば、転動体循環式転がり案内装置、案内レール及びベアリングブロックにおいて、加工性延いては生産性を現実的なものとしながら、特定の部位に要求されるそれぞれの特性を比較的容易に満たすことができ、以って要求特性を満たした転動体循環式転がり案内装置を比較的容易に提供することができる。
請求項2,4,6のように構成すると、転動部延いては転動面の硬度を十分に確保しつつ、非磁性かつ加工容易を同時に実現できる転動体循環式転がり案内装置、案内レール及びベアリングブロックを提供することができる。
以下、添付の図面を参照しつつ、本発明の一実施の形態について詳細に説明する。
図1は、本発明に係る一の実施の形態に係る転動体循環型転がり案内装置100の外観を示す斜視図である。
図1は、本発明に係る一の実施の形態に係る転動体循環型転がり案内装置100の外観を示す斜視図である。
図1に示すように、本実施形態に係る転動体循環型転がり案内装置100においては、ベアリングブロック30が直動可能にレール(案内レール)20に跨るように配設される。符号70はエンドキャップであり、符号80はサイドシールである。
図2は、レール20及びベアリングブロック30を、直動方向(図1参照)から見た断面図であるが、該図2に示すように、レール20は、非磁性金属(チタン、アルミニウム、銅等)製のレール母材21と、該レール母材21の両側に配されるセラミックス製のレール転動面部材22と、を含んで構成されている。前記セラミックス製のレール転動面部材22には、図2に示すように、例えば、セラミックス製の転動体(ボール)1を転動自在に収容する転動溝23が設けられている。レール母材21は、樹脂材料によって構成してもよい。
一方、図2平面に直交する方向に延伸するレール20を収容する凹部35を備えたベアリングブロック30は、非磁性金属(チタン、アルミニウム、銅等)製のベアリングブロック母材31と、レール20に設けられた転動溝23に対向してベアリングブロック母材31の凹部35の両側にセラミックス製の転動体(ボール)1を転動自在に収容する転動溝33を備えたセラミックス製のベアリングブロック転動面部材32と、を含んで構成されている。ベアリングブロック母材31は、樹脂材料によって構成してもよい。転動体1は、セラミックス製に限定されるもののではない。
なお、図1において、符号24はレール固定用ボルト穴、符号34はボール循環穴、符号36はベアリングブロック固定用タップ穴である。
ここで、本実施形態においては、レール20のレール転動面部材22およびベアリングブロック30のベアリングブロック転動面部材32を、セラミックス製としたので、転動面として充分な硬さ、精度を確保できる。
この一方で、本実施形態においては、レール母材21及びベアリングブロック母材31については、機械加工が容易な非磁性金属材料としたので、レール20のボルト穴24やベアリングブロック30のボール循環穴34、凹部35、タップ穴36等を容易かつ自在に設けることができる。
また、レール母材21及びベアリングブロック母材31については、当該レール母材21及びベアリングブロック母材31に転動面を直接的に設けなくて良いため、それ程大きな硬度を必要としない。このため、熱処理等を施す必要がないので、熱処理等のコストを不要にできると共に、熱処理等に伴い発生する曲がり、変形等のトラブルも回避することができる。
なお、図2に示すように、レール母材21とレール転動面部材22の合せ面に、座面25を設けるようにすれば、ベアリングブロック30を、図2において上方に引き上げる力が作用した場合においても、レール転動面部材22がベアリングブロック30に引っ張られて持ち上がってしまうという現象も防ぐことができる。
また、レール母材21の底面26を、レール転動面部材22の底面27よりも引っ込めておくことで(引っ込み量Δ;図2参照)、レール母材21をボルト(図2の2点鎖線参照)でベース面に固定する際に、レール母材21を介してレール転動面部材22を押さえつけて固定するようになる。かかる構成にすると、締め付け変形等の影響を受け難くできるため、レール転動面部材22の転動溝23の高さ位置を、レール転動面部材22の底面27を基準として精度良く管理できることとなり、以って精度良く組み付けられたレールを提供することができる。
更に、ベアリングブロック母材31とベアリングブロック転動面部材32の合せ面においては、ベアリングブロック母材31に抱え込み部37を設けることで、該抱え込み部37を介して、ベアリングブロック30を図2において上方に持ち上げようとする力を、ベアリングブロック転動面部材32側へ伝えることができるため、ベアリングブロック母材31だけが上方に持ち上がり、ベアリングブロック母材31とベアリングブロック転動面部材32の合せ面において滑りが生じるといった現象を防ぐことができる。
ところで、ベアリングブロック30には、転動体1を循環させるためのエンドキャップ70が取り付けられるので、このエンドキャップ70によってベアリングブロック母材31とベアリングブロック転動面部材32とを固定する構成とすることもできる。
また、図3に示すように、レール母材21とレール転動面部材22とを、ボルト止めによって固定してもよい。図3では、レール転動面部材22にボルト・ナットのためのザグリ穴28を、レール母材21に貫通穴29を設けておき、これを非磁性材料のボルト40とナット41を用いて固定した例を示している。
このように固定しておくことで、レール母材21とレール転動面部材22とを、組み立てた状態において1本のレールとして扱うことができるので、取り扱いが容易になる。ここでは、ボルトとナットを用いて固定する例を説明したが、レール母材21にタップ加工を施したり、ヘリサートを埋め込む等しておき、これとボルトとを螺合することで、図2と同様、レール母材21とレール転動面部材22とを固定することができる。
更に、レール転動面部材22をレール母材21に固定する部品をレール端面に取り付け、それによりレール転動面部材22をレール母材21に固定する構成とすることもできる。
更に、レール転動面部材22をレール母材21に固定する部品をレール端面に取り付け、それによりレール転動面部材22をレール母材21に固定する構成とすることもできる。
本実施形態においては、レール20とベアリングブロック30の双方について、転動面部材をセラミックス製とし、母材を非磁性金属材料で構成する例を示したが、レール20或いはベアリングブロック30の一方をセラミックス材料の単一材料で構成してもよい。
例えば、レールは長尺であるため、温度変化がある条件下では、セラミックス材と非磁性金属材料とでは熱膨張率の違いがあるため、熱による伸びの量がレール母材21とレール転動面部材22との間で異なることを考慮する必要があるが、単一のセラミックス材で作ることこととすれば、熱膨張率の違いによる影響を受けずに済むといった利点がある。
以上説明したように、本発明によれば、特定の部位に要求されるそれぞれの特性を満たすことができるように、特定の部位に対して材料を選択的に用いるようにしたので、転動体循環式転がり案内装置、案内レール及びベアリングブロックにおいて、加工性延いては生産性を現実的なものとしながら、要求特性を満たした転動体循環式転がり案内装置、案内レール及びベアリングブロックを容易に実現することができる。例えば、転動部延いては転動面をセラミックスで構成し、転動部以外の構造部材(母材)をチタン,アルミニウム,銅等の非礎性金属材料あるいは樹脂部材によって構成するようにすれば、高い非磁性性能を有しながら充分な負荷容量と耐久性をもつ循環式転がり案内装置、案内レール及びベアリングブロックを実現することができる。
1 転動体(ボール)
20 レール
21 レール母材
22 レール転動面部材
30 ベアリングブロック
31 ベアリングブロック母材
32 ベアリングブロック転動面部材
100 転動体循環型転がり案内装置
20 レール
21 レール母材
22 レール転動面部材
30 ベアリングブロック
31 ベアリングブロック母材
32 ベアリングブロック転動面部材
100 転動体循環型転がり案内装置
Claims (6)
- 転動体と、案内レールと、転動体を介して案内レールに移動自在に配設されるベアリングブロックと、を含んで構成される転動体循環式転がり案内装置において、
前記案内レールと前記ベアリングブロックの少なくとも一方を、
非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材と、
セラミックス材料からなる部材と、
を組み合わせて構成したことを特徴とする転動体循環式転がり案内装置。 - 前記非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材が、前記案内レールと前記ベアリングブロックの少なくとも一方の母材であり、
前記セラミックス材料からなる部材が、前記少なくとも一方の転動体が転動する転動面を含む部材であることを特徴とする請求項1に記載の転動体循環式転がり案内装置。 - 転動体と、案内レールと、転動体を介して案内レールに移動自在に配設されるベアリングブロックと、を含んで構成される転動体循環式転がり案内装置の案内レールであって、
前記案内レールを、
非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材と、
セラミックス材料からなる部材と、
を組み合わせて構成したことを特徴とする案内レール。 - 前記非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材が、前記案内レールの母材であり、
前記セラミックス材料からなる部材が、前記案内レールの転動体が転動する転動面を含む部材であることを特徴とする請求項3に記載の転がり案内装置。 - 転動体と、案内レールと、転動体を介して案内レールに移動自在に配設されるベアリングブロックと、を含んで構成される転動体循環式転がり案内装置のベアリングブロックであって、
前記ベアリングブロックを、
非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材と、
セラミックス材料からなる部材と、
を組み合わせて構成したことを特徴とするベアリングブロック。 - 前記非磁性金属材料或いは樹脂材料からなる部材が、前記ベアリングブロックの母材であり、
前記セラミックス材料からなる部材が、前記ベアリングブロックの転動体が転動する転動面を含む部材であることを特徴とする請求項5に記載の転がり案内装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003313543A JP2005083416A (ja) | 2003-09-05 | 2003-09-05 | 転動体循環式転がり案内装置、該装置に用いられる案内レール及びベアリングブロック |
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JP2003313543A JP2005083416A (ja) | 2003-09-05 | 2003-09-05 | 転動体循環式転がり案内装置、該装置に用いられる案内レール及びベアリングブロック |
Publications (1)
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JP2003313543A Withdrawn JP2005083416A (ja) | 2003-09-05 | 2003-09-05 | 転動体循環式転がり案内装置、該装置に用いられる案内レール及びベアリングブロック |
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Country | Link |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007023634A1 (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-01 | Thk Co., Ltd. | 運動案内装置 |
EP2574804A1 (de) * | 2011-09-30 | 2013-04-03 | Aktiebolaget SKF | Lagervorrichtung und Verfahren |
JP6333489B1 (ja) * | 2016-12-09 | 2018-05-30 | 株式会社コガネイ | ガイドレール、移動ブロックおよび直線往復動装置ならびにこれらの製造方法 |
WO2018105183A1 (ja) * | 2016-12-09 | 2018-06-14 | 株式会社コガネイ | ガイドレール、移動ブロックおよび直線往復動装置ならびにこれらの製造方法 |
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2003
- 2003-09-05 JP JP2003313543A patent/JP2005083416A/ja not_active Withdrawn
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