JP2005079155A - 抵抗変化機能体およびその製造方法、並びに記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1電極230と第2電極240との間に挟まれると共に、第3電極210と第4電極220との間に挟まれた絶縁体250を備える。絶縁体250中に複数の導電性微粒子260が含まれている。導電性微粒子260は、第1電極230と第2電極240との間に所定の電圧を印加した前後で、第3電極210と第4電極220との間の電気抵抗がサイズ効果あるいはサイズ変化に基づいて変化するように設けられている。導電性微粒子260は、絶縁体250中に、上記導電性微粒子を形成するための物質を負イオン注入法によって注入して形成される。
【選択図】図2
Description
第1電極と第2電極との間に挟まれると共に、これらの第1,第2電極とは別に設けられた第3電極と第4電極との間に挟まれた絶縁体と、
上記絶縁体中に配置され、上記第1電極と第2電極との間に所定の電圧を印加した前後で、上記第3の電極と第4の電極との間の電気抵抗がサイズ効果あるいはサイズ変化に基づいて変化するように設けられた複数の導電性微粒子を含む。
上記絶縁体は層状に形成され、
上記第1電極と第2電極とは上記絶縁体を厚さ方向両側から挟み、
上記第3電極と第4電極とは上記絶縁体を上記厚さ方向に対して垂直な層方向両側から挟み、
上記導電性微粒子は、上記絶縁体の層方向に関して一様に分布するとともに、上記絶縁体の厚さ方向に関して或る範囲内に分布していることを特徴とする。
上記第1電極および第2電極のうちの一方を形成する工程と、
上記形成された一方の電極上に上記絶縁体を形成する工程と、
上記絶縁体中に、上記導電性微粒子を形成するための物質を負イオン注入法によって注入する工程を含んでいることを特徴とする。
上記第3の電極、上記絶縁体および上記第4の電極が、基板の表面に沿ってこの順に並ぶように形成する工程と、
その絶縁体中に上記導電性微粒子を形成するための物質を負イオン注入法により注入して上記メモリ絶縁体を形成する工程と、
上記メモリ絶縁体上に第1の電極を形成する工程とを含むことを特徴とする。
基板の表面に、上記絶縁体を形成し、その絶縁体中に上記導電性微粒子を形成するための物質を負イオン注入法により注入して上記メモリ絶縁体を形成する工程と、
上記メモリ絶縁体の上に第1の電極を形成するとともに、上記メモリ絶縁体の両側に接するようにそれぞれ第3の電極、第4の電極を形成する工程とを含むことを特徴とする。
150,250 シリコン酸化膜
160,260 銀微粒子
Claims (12)
- 第1電極と第2電極との間に挟まれると共に、これらの第1,第2電極とは別に設けられた第3電極と第4電極との間に挟まれた絶縁体と、
上記絶縁体中に配置され、上記第1電極と第2電極との間に所定の電圧を印加した前後で、上記第3の電極と第4の電極との間の電気抵抗がサイズ効果あるいはサイズ変化に基づいて変化するように設けられた複数の導電性微粒子を含む抵抗変化機能体。 - 請求項1に記載の抵抗変化機能体において、
上記絶縁体は層状に形成され、
上記第1電極と第2電極とは上記絶縁体を厚さ方向両側から挟み、
上記第3電極と第4電極とは上記絶縁体を上記厚さ方向に対して垂直な層方向両側から挟み、
上記導電性微粒子は、上記絶縁体の層方向に関して一様に分布するとともに、上記絶縁体の厚さ方向に関して或る範囲内に分布していることを特徴とする抵抗変化機能体。 - 請求項2に記載の抵抗変化機能体において、
上記導電性微粒子を構成する元素の濃度は、上記絶縁体中の或る位置で最大であり、その位置から厚さ方向に離れると低くなっていることを特徴とする抵抗変化機能体。 - 請求項2に記載の抵抗変化機能体において、
上記導電性微粒子の密度は、上記絶縁体中の或る位置で最大であり、その位置から厚さ方向に離れると低くなっていることを特徴とする抵抗変化機能体。 - 請求項2に記載の抵抗変化機能体において、
上記導電性微粒子の粒径は、上記絶縁体中の或る位置で最大であり、その位置から厚さ方向に離れると小さくなっていることを特徴とする抵抗変化機能体。 - 請求項1に記載の抵抗変化機能体において、
上記絶縁体中に、上記導電性微粒子として粒径が0.2nm以上且つ4nm未満のものを含むことを特徴とする抵抗変化機能体。 - 請求項1に記載の抵抗変化機能体において、
上記絶縁体の膜厚は、2nm以上且つ50nm未満であることを特徴とする抵抗変化機能体。 - 請求項1に記載の抵抗変化機能体の製造方法であって、
上記第1電極および第2電極のうちの一方を形成する工程と、
上記形成された一方の電極上に上記絶縁体を形成する工程と、
上記絶縁体中に、上記導電性微粒子を形成するための物質を負イオン注入法によって注入する工程を含んでいることを特徴とする抵抗変化機能体の製造方法。 - 請求項8に記載の抵抗変化機能体の製造方法において、
上記負イオン注入が終了した後に、水素シンタを行う工程を含んでいることを特徴とする抵抗変化機能体の製造方法。 - 請求項9に記載の抵抗変化機能体の製造方法において、
上記負イオン注入が終了した後に、500℃以上の温度で熱処理を行う工程を含んでいることを特徴とする抵抗変化機能体の製造方法。 - 請求項1に記載の抵抗変化機能体を備えたことを特徴とする記憶装置。
- 請求項11に記載の記憶装置であって、
上記抵抗変化機能体が基板に対して垂直な方向に少なくとも2つ積層されていることを特徴とする記憶装置。
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