JP2005077271A - 結晶表裏判定装置及び結晶傾斜方位判定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持台2は、ウエハ1のノッチ1aが可動ピン4と契合するように3つのピンでウエハ1を挟んで位置決め固定する。ノッチ方位12と直交する面を照射面13として設定し、この照射面13に沿って測定点MにX線8を照射し、回折X線を照射面13からずらして配置した検出部のX線検出器10の出力に基づきウエハ1の表裏を判定する。
【選択図】 図1
Description
前記円柱状結晶のカット面に対しこのカット面に直交しかつ前記マークの方位と直交する面である照射面に沿ってX線を照射するX線源と、
前記カット面で回折したX線を前記照射面からずらして配置した検出部で検出するX線検出器と、
このX線検出器の出力に基づき前記円柱状結晶の表裏を判定する判定手段と
を具備することを特徴とする。
前記結晶のカット面に対しこのカット面と直交する面である照射面に沿ってX線を照射するX線源と、
前記カット面で回折したX線を前記照射面からずらして配置した検出部で検出するX線検出器と、
このX線検出器の出力に基づき前記結晶の前記カット面に対する傾斜の方位が前記照射面のどちら側かを判定する判定手段とを具備することを特徴とする。
図1は、側面にマークが付けられた円柱状結晶としてウエハの表裏を判定する装置の第1の実施の形態の概略構成図である。
第1の実施の形態ではノッチが付けられたウエハを例にしたが、オリフラ面が付けられたウエハの場合も同様に支持台2に位置決め固定してウエハの表裏を判定することができ、またウエハの厚みは厚くてもよく、端部がカットされたインゴットに対しても適応でき、側面にマークが付けられた円柱状結晶について、その表裏を判定することができる。
第1の実施の形態で、ウエハの支持台への自動装填装置や検出器出力から裏返し品を判定し自動修正する装置、また、判定不可品を排除する装置、など追加することもできる。このような追加で、全数検査に適した装置となる。
第1の実施の形態で、出力メ一夕11のかわりに表裏判定回路を設けてもよい。表裏判定回路は、判定レベルL1,L2(L1<L2)を設けておき、X線検出器出力がL2より大きい時に表である判定し、X線検出器出力がL1より小さい時に裏であると判定し、X線検出器出力がL1とL2の間のとき判定不可とする回路である。
図4は変形例4の構成である。変形例4は第1の実施の形態に対して、X線検出器10をずらさず照射面13上に設置し、検出器コリメータ16と検出位置駆動部18を追加する。さらに、出力メータ11の代りに裏表判定回路17を設ける。検出器コリメータ16は開口16a以外はX線を遮蔽する。これで、X線検出器10の検出部が開口16aの背後部分だけとなる。
図5は変形例5の構成である。変形例5は第1の実施の形態に対し、X線検出器を1つ追加し、出力メータ11のかわりに表裏判定回路17を設ける。2つのX線検出器(の有感部)10a,10bを照射面13に対しそれぞれずらして互いに略対称になるように設置する。表裏判定回路17は2つの出力を比較して表裏を判定し、また、2つの出力の差(あるいは比)が所定値より小さいとき判定不可とする。
第2の実施の形態は第1の実施の形態の応用である。構成の違いは図1で、ノッチ方位12をカット面1bに沿って回転するウエハ回転部を追加した点である。
第2の実施の形態でウエハの回転位置を変えながら検出器出力を見ることでノッチに対する結晶方位が正確に判る。また、X線検出器(の有感度)10を照射面13の中央に固定してウエハの回転位置を変えながら検出器出力を見ることで、傾斜方位が照射面13に一致したとき検出器出力が最大になるので、ノッチに対する結晶方位が正確に判る。また、X線検出器(の有感度部)10を照射面13に対して移動させながら検出器出力の最大を見ることで、ノッチに対する結晶方位が正確に判る。
Claims (4)
- 側面にマークが付けられた円柱状結晶を、前記マークを基準に位置決めする手段と、
前記円柱状結晶のカット面に対しこのカット面に直交しかつ前記マークの方位と直交する面である照射面に沿ってX線を照射するX線源と、
前記カット面で回折したX線を前記照射面からずらして配置した検出部で検出するX線検出器と、
このX線検出器の出力に基づき前記円柱状結晶の表裏を判定する判定手段と
を具備することを特徴とする結晶表裏判定装置。 - 前記検出部の位置を前記照射面に対しそれぞれずれて互いに略対称に設定した2箇所で切換える切換え手段を更に具備することを特徴とする請求項1記載の結晶表裏判定装置。
- 前記X線検出器は、前記照射面に対し前記検出部と略対称に配置した別の検出部を具備することを特徴とする請求項1項記載の結晶表裏判定装置。
- 結晶を位置決めする手段と、
前記結晶のカット面に対しこのカット面と直交する面である照射面に沿ってX線を照射するX線源と、
前記カット面で回折したX線を前記照射面からずらして配置した検出部で検出するX線検出器と、
このX線検出器の出力に基づき前記結晶の前記カット面に対する傾斜の方位が前記照射面のどちら側かを判定する判定手段と
を具備することを特徴とする結晶傾斜方位判定装置。
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