JP2005069954A

JP2005069954A - 基板検査装置のための基板検査用治具および基板検査方法

Info

Publication number: JP2005069954A
Application number: JP2003302367A
Authority: JP
Inventors: Shinji Ogiwara; 伸治荻原
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2003-08-27
Filing date: 2003-08-27
Publication date: 2005-03-17

Abstract

【課題】製品ロットを異にするプリント基板に対し同じプローブ台を用いて検査できる汎用性を付与する。
【解決手段】絶縁基材２２に電極パターンを同じくする複数の区画領域２３が形成されたプリント基板２１の１つ以上の区画領域２３に対し、各一群となって同時接触させるための多数本の検査プローブ１９を備えるプローブ台１７を治具本体１２に定置させてなる基板検査用治具１１において、プローブ台１７は、少なくとも２つ以上の各区画領域２３又は１つの区画領域２３がさらに細分化された少なくとも２以上の各小区画部への群別による検査プローブ１９の接触を自在に分離独立させた２個以上の分割台部１８で構成され、各分割台部１８は、対応位置にある各区画領域２３又は各小区画部の別に各一群の検査プローブ１９を正対させるべく、それぞれを位置の微調整を自在に治具本体１２に定置させた。
【選択図】図１

Description

本発明は、セラミックス材などの絶縁基材上に電極パターンを同じくする複数の区画領域を各別に設けて形成された例えばストリップ基板などのようなプリント基板の検査に好適な基板検査装置のための基板検査用治具および基板検査方法に関する技術である。

インサーキットテスタなどの基板検査装置は、検査対象となっているプリント基板の良否を検査するための基板検査用治具を備えており、該基板検査用治具は、ロット別に用意される多数枚のプリント基板に対応させるべく、個々のロット毎に専用構造が付与されて形成されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００２−１８１８７０号公報（段落番号「０００３」，「０００４」、図１）

また、上記した基板検査用治具のなかには、電極パターンを同じくする複数の区画領域を各別に設けて形成されたプリント基板における２つ以上の前記区画領域に対し、各一群となって前記区画領域の別に同時接触させるべく多数本の検査プローブを植設して形成されたプローブ台を治具本体に定置して形成されているものもある。

図３は、上記した基板検査用治具の従来例を示す概要説明図であり、基板検査用治具１は、絶縁基材６の面（図示例では裏面）上にそれぞれの電極パターン８を同じくする４つの区画領域７を設けたプリント基板５における区画領域７の別に、各一群となってその接触を自在に植設された複数本の検査プローブ４を備えてなるプローブ台３を治具本体２に定置することにより形成されている。なお、図中の符号９は、治具本体２に配設されているコネクタを、１０は、個々のコネクタ９とこれらに対応させた各検査プローブ４との間を結ぶ配線コードをそれぞれ示す。

そして、図３に示す検査用治具１によれば、プリント基板５の４つの区画領域７に対し、１つのプローブ台３が備える各一群の検査プローブ４を各別に同時接触させることができるので、プリント基板５の良否検査を迅速に行うことができることになる。

ところで、プリント基板５は、各区画領域７の電極パターン８の線径が例えば０．１ｍｍ以下というように非常に狭いものとなってきており、このような傾向に対応して各検査プローブ４の植設位置も非常に高い精度が要求されるようになってきている。

このため、セラミックス材などの絶縁基材６に電極パターン８を同じくする複数の区画領域７を各別に設けて形成されるプリント基板５にあっては、同一ロットのもとで提供される多数枚のプリント基板５における各区画領域７の電極パターン８の位置関係は相互に一致するとの経験則に鑑み、特定ロットに属するプリント基板５は、これらに対応させた一群の検査プローブ４を備える同じプローブ台３を用いてその全てに対し繰り返し必要な検査を行っている。

しかし、絶縁基材６が例えばセラミックス材であるような場合には、ある製品ロットから次の製品ロットに切り換えた際にその版下や加熱条件などを含む基板製作のための環境条件も変動してしまい、絶縁基材６の熱収縮率が変化するなどして電極パターン８の位置も前の製品ロットのものとは微妙にずれたりしてしまうことになる。その結果、プローブ台３が備える各一群の検査プローブ４は、対応する個々の電極パターン８と正対することができなくなって、検査プローブ４のなかには所定位置に接触することができなくなったり、違う位置に誤接触してしまう不都合が生じる問題があった。

本発明は、従来技術にみられた上記課題に鑑み、製品ロットを異にして製作されるプリント基板に対し同じプローブ台を用いて検査することができる汎用性を具備させた基板検査装置のための基板検査用治具および基板検査方法を提供することを目的とする。

本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、そのうちの第１の発明（基板検査用治具）は、絶縁基材に電極パターンを同じくする複数の区画領域を各別に設けて形成されたプリント基板における少なくとも１つ以上の前記区画領域に対し、各一群となって同時接触させるべく植設された多数本の検査プローブを備えるプローブ台を治具本体に定置させてなる基板検査用治具において、前記プローブ台は、少なくとも２つ以上の各区画領域又は１つの前記区画領域がさらに細分化された少なくとも２以上の各小区画部への群別による前記検査プローブの同時接触を自在に分離独立させた２個以上の分割台部で構成され、これら各分割台部は、対応する位置関係にある２つ以上の前記区画領域又は２つ以上の前記小区画部の別に各一群の前記検査プローブを各別に正対させるべく、それぞれを位置の微調整を自在に前記治具本体に定置させたことに特徴がある。

また、第２の発明（基板検査方法）は、絶縁基材に電極パターンを同じくする複数の区画領域を各別に設けて形成されたプリント基板における少なくとも１つ以上の前記区画領域に対し、各一群となって同時接触させるべく植設された多数本の検査プローブを備えるプローブ台を治具本体に定置させて行う基板検査方法において、前記プローブ台は、少なくとも２つ以上の各区画領域又は１つの前記区画領域がさらに細分化された少なくとも２以上の各小区画部への群別による前記検査プローブの同時接触を自在に分離独立させた２個以上の分割台部で構成し、これら各分割台部は、対応する位置関係にある２つ以上の前記区画領域又は２つ以上の前記小区画部に対し各別に正対する位置関係となるようにそれぞれの位置を微調整して前記治具本体に定置し、各分割台部の別に対応配置される各一群の前記検査プローブをプリント基板の２つ以上の前記区画領域又は２つ以上の前記小区画部に対し各別に同時接触させて検査することに特徴がある。

このため、本発明によれば、絶縁基材に電極パターンを同じくする複数の区画領域を各別に設けて形成されたプリント基板がその製品ロットを異にして製作されたことに由来して、電極パターンの位置が前の製品ロットのものとは微妙にずれたりすることがあっても、プローブ台を位置調整が自在な２個以上の分割台部で構成してあるので、２つ以上の各区画領域又は１つの区画領域がさらに細分化された少なくとも２以上の各小区画部に対し各一群となった検査プローブを正対させて配置することができ、したがって、製品ロットの別に専用の基板検査用治具を用意する必要をなくして、コストの低減に有効に寄与させることができる。

図１は、本発明に係る基板検査用治具の一例を示す要部斜視図であり、図示しない基板検査装置が備える基板検査用治具１１は、検査対象であるプリント基板２１の所定位置に接触させる多数本の検査プローブ１９が植設されたプローブ台１７を治具本体１２に定置させることにより形成される。

図１の例において検査対象として示されているプリント基板２１は、略方形などの適宜の平面形状を呈する例えばセラミックス材などからなる絶縁基材２２に、同一の電極パターン（図示せず）を備える複数の区画領域２３を各別に設けることで形成されている。

一方、治具本体１２は、上面に平坦面１３を有して例えば直方体状を呈する絶縁性の合成樹脂材などにより形成されており、その一側面１４に配設された接続用のコネクタ１５は、図３に示す従来例と同様に配線コード（図示せず）を介して対応関係にある各検査プローブ１９と電気的に接続されている。

また、プローブ台１３は、プリント基板２１における４つの区画領域２３に対し、各一群となった群別での検査プローブ１９の接触を自在に分離独立させた４個の分割台部１８で構成されている。

すなわち、各分割台部１８は、プリント基板２１における４つの区画領域２３の各電極パターン（図示せず）に対し、対応する各一群の検査プローブ１９が各別に正対する位置関係を確保できるように、治具本体１２の平坦面１３上で相互の位置関係が微調整されてプローブ台１３として定置されることになる。

その際における個々の分割台部１８の位置の微調整は、今回検査分の製品ロットに属するプリント基板２１における各区画領域２３の位置関係を基準に、例えば三次元測定器や顕微鏡を用いて正確な位置出しを行った上で、治具本体１２の平坦面１３上に個別に位置決めしてネジ止めするなど、適宜の固定手段により位置固定することで行われる。つまり、個々の分割台部１８は、これと対応する位置関係にあるプリント基板２１の個々の区画領域２３と正対するように位置決めされる結果、１つの分割台部１８が一群となって備える検査プローブ１９のそれぞれを、対応する区画領域２３が備える電極パターンの所定位置に正確に接触させることができることになる。

また、このようにして形成される各分割台部１８は、図２において検査対象として示されているように、プリント基板２２におけるある１つの区画領域２３をさらに細分化した４つの小区画部２４のそれぞれに対し、群別に検査プローブ１９を同時接触させることができるように各別に対応配置させるものであってもよい。

すなわち、各小区画部２４が同一の電極細分パターン（図示せず）を備えている場合には、これに対応させた各一群の検査プローブ１９を備える４つの分割台部１８によりプローブ台１３を構成して定置されることになる。

また、各小区画部２４が相互に異なる電極細分パターン（図示せず）を備えている場合には、個々の小区画部２４の電極細分パターンに個別に対応させた各一群の検査プローブ１９を備える４つの分割台部１８がプローブ台１３として定置されることになる。

次に、本発明に係る基板検査方法（第２の発明）につき、図１を参酌しながら第１の発明である基板検査用治具の作用とともに説明すれば、絶縁基材２２に電極パターンを同じくする複数の区画領域２３を各別に設けて形成されたプリント基板２１における４つの区画領域２３に対し、各一群となって同時接触させるべく植設された多数本の検査プローブ１９を備えるプローブ台１７を治具本体１２に定置させて行われる。

この場合、プローブ台１７は、４つの各区画領域２３への群別による検査プローブ１９の同時接触を自在に分離独立させた４個の分割台部１８で構成されており、これら各分割台部１８は、対応する位置関係にある４つの区画領域２３に対し各別に正対する位置関係となるようにそれぞれの位置が微調整されて治具本体１２に定置されている。

その際における個々の分割台部１８の位置の微調整は、既に述べたように今回検査分の製品ロットに属するプリント基板２１における各区画領域２３の位置関係を基準に、例えば三次元測定器や顕微鏡を用いて正確な位置出しを行った上で、治具本体１２の平坦面１３上に個別に位置決めしてネジ止めするなど、適宜の固定手段により位置固定することで行われる。

したがって、各分割台部１８の別に対応配置される各一群の検査プローブ１９は、プリント基板２１の４つの区画領域２３に対し各別に正確に同時接触させることができ、これにより円滑に検査を行うことができる。

また、図２によれば、プローブ台１７は、プリント基板２１の１つの区画領域２３をさらに細分化した４つの各小区画部２４への群別による検査プローブ１９の同時接触を自在に分離独立させた４個の分割台部１８で構成されているので、これら各分割台部１８は、対応する位置関係にある４つの小区画部２４に対し正対する位置関係となるようにそれぞれの位置を微調整して治具本体１２に定置されている。

つまり、各小区画部２４が同一の電極細分パターン（図示せず）を備えている場合には、これに対応させた各一群の検査プローブ１９を備える４つの分割台部１８によりプローブ台１３を構成して定置され、各小区画部２４が相互に異なる電極細分パターン（図示せず）を備えている場合には、個々の小区画部２４の電極細分パターンに個別に対応させた各一群の検査プローブ１９を備える４つの分割台部１８がプローブ台１３として定置されることになる。

したがって、分割台部１８の別に対応配置される各一群の検査プローブ１９は、プリント基板２１の１つの区画領域２３における４つの各小区画部２４の電極細分パターンに対し各別に同時接触させることができ、これにより円滑に検査を行うことができる。

以上は、本発明を図示例に基づいて説明したものであり、本発明の内容は、上述の説明に限定されるものではない。例えば、プローブ台１７は、２つ以上であれば適宜の数の分割台部１８により構成することができる。また、各分割台部１８の大きさは、プリント基板２１の個々の区画領域２３のサイズや、１つの区画領域２３を細分化した個々の小区画部のサイズとの関係で定まる対応サイズとなるように適宜選択することができる。

本発明に係る基板検査用治具を用いて行われる基板検査法の一例を示す要部斜視図。本発明に係る基板検査用治具を用いて行われる基板検査法の他例を示す要部斜視図。基板検査用治具の従来例を示す概要説明図。

符号の説明

１１基板検査用治具
１２治具本体
１３平坦面
１４一側面
１５コネクタ
１７プローブ台
１８分割台部
１９検査用プローブ
２１プリント基板
２２絶縁基材
２３区画領域
２４小区画部

Claims

絶縁基材に電極パターンを同じくする複数の区画領域を各別に設けて形成されたプリント基板における少なくとも１つ以上の前記区画領域に対し、各一群となって同時接触させるべく植設された多数本の検査プローブを備えるプローブ台を治具本体に定置させてなる基板検査用治具において、
前記プローブ台は、少なくとも２つ以上の各区画領域又は１つの前記区画領域がさらに細分化された少なくとも２以上の各小区画部への群別による前記検査プローブの同時接触を自在に分離独立させた２個以上の分割台部で構成され、
これら各分割台部は、対応する位置関係にある２つ以上の前記区画領域又は２つ以上の前記小区画部の別に各一群の前記検査プローブを各別に正対させるべく、それぞれを位置の微調整を自在に前記治具本体に定置させたことを特徴とする基板検査装置のための基板検査用治具。
絶縁基材に電極パターンを同じくする複数の区画領域を各別に設けて形成されたプリント基板における少なくとも１つ以上の前記区画領域に対し、各一群となって同時接触させるべく植設された多数本の検査プローブを備えるプローブ台を治具本体に定置させて行う基板検査方法において、
前記プローブ台は、少なくとも２つ以上の各区画領域又は１つの前記区画領域がさらに細分化された少なくとも２以上の各小区画部への群別による前記検査プローブの同時接触を自在に分離独立させた２個以上の分割台部で構成し、
これら各分割台部は、対応する位置関係にある２つ以上の前記区画領域又は２つ以上の前記小区画部に対し各別に正対する位置関係となるようにそれぞれの位置を微調整して前記治具本体に定置し、
各分割台部の別に対応配置される各一群の前記検査プローブをプリント基板の２つ以上の前記区画領域又は２つ以上の前記小区画部に対し各別に同時接触させて検査することを特徴とする基板検査方法。