JP2005069850A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電気回路基板13と、カンチレバーを保持する機構14と、導電性ピン12とを有し、導電性ピン12は片端部に前記カンチレバーの支持面12aを有し、導電性ピン12の他端部が前記電気回路基板13と接続することにより電気的接続を得る構成とした。
【選択図】 図2
Description
2 顕微鏡本体部
3 カンチレバー
4 試料台
5 移動機構
6 試料
7 検出系
8 電気回路基板
9 制御装置
10 画像表示装置
11 ホルダ本体
11a 接続孔
11b 貫通孔
12 導電性ピン
12a レバー支持面
13 電気回路基板
13a 金属パッド部
14 レバー押え
14a 押圧部
14b 取付部
15 真空シール面
16 スペーサ
21 電気回路基板
21a 貫通孔
21b 金属パット部
22 導電性ピン
22a レバー支持面
22b 雄ネジ部
23 金属ナット
31 電気回路基板
31a 貫通孔
31b 金属パット部
32 導電性ピン
32a レバー支持面
32b 雌ソケット端子部
33 雄ソケット端子
41 導電性ピン
41a レバー支持面
42 カンチレバー
43 レバー押え
43a 押圧部
43b 貫通孔
44 取付部
44a 貫通孔
45 ホルダ本体
46 軸
47 ピン
48 空芯スプリング
51 加熱する手段
52 排気する手段
61 ガス導入手段
Claims (8)
- 先端に微小な探針を有するカンチレバーと、該カンチレバーを保持する機構と、該カンチレバーへ与える信号を発生するあるいは該カンチレバーからの信号を処理する回路を有する電気回路基板と、該カンチレバーと該電気回路基板とを電気的に接続する導電ピンとを備え、試料の電気特性を測定する走査型プローブ顕微鏡。
- 走査型プローブ顕微鏡本体から取り外し可能なホルダをさらに有し、前記カンチレバー、前記カンチレバー保持機構、前記電気回路、および前記導電性ピンは、該ホルダに備えられている請求項1記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記電気回路基板は、貫通穴を備えた電気接続用パッド部を有し、前記導電性ピンとは該端子部で電気的に接続されることを特徴とする請求項1または2記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記導電性ピンはネジ部を有し、前記電気回路基板とはネジ機構により固定される請求項3記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記導電性ピンはソケット部を有し、前記電気回路基板とはソケットホールド機構により固定される請求項3記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記カンチレバー保持機構は、前記導電性ピンと押さえ板とからなる請求項1から5のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記導電性ピンとホルダは真空気密性が確保されている、請求項1から6のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 真空容器内に水分あるいはガスを導入するガス導入手段を有し、試料周囲の雰囲気を制御することを特徴とする、請求項1記載の走査型プローブ顕微鏡。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011518047A (ja) * | 2008-03-24 | 2011-06-23 | 本田技研工業株式会社 | 原子間力顕微鏡を利用したナノ構造の堆積のための装置 |
CN109827904A (zh) * | 2019-03-19 | 2019-05-31 | 安徽理工大学 | 一种基于微悬臂梁传感器的反应池装置 |
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- 2003-08-25 JP JP2003299514A patent/JP4068533B2/ja not_active Expired - Fee Related
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