JP4068533B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
2 顕微鏡本体部
3 カンチレバー
4 試料台
5 移動機構
6 試料
7 検出系
8 電気回路基板
9 制御装置
10 画像表示装置
11 ホルダ本体
11a 接続孔
11b 貫通孔
12 導電性ピン
12a レバー支持面
13 電気回路基板
13a 金属パッド部
14 レバー押え
14a 押圧部
14b 取付部
15 真空シール面
16 スペーサ
21 電気回路基板
21a 貫通孔
21b 金属パット部
22 導電性ピン
22a レバー支持面
22b 雄ネジ部
23 金属ナット
31 電気回路基板
31a 貫通孔
31b 金属パット部
32 導電性ピン
32a レバー支持面
32b 雌ソケット端子部
33 雄ソケット端子
41 導電性ピン
41a レバー支持面
42 カンチレバー
43 レバー押え
43a 押圧部
43b 貫通孔
44 取付部
44a 貫通孔
45 ホルダ本体
46 軸
47 ピン
48 空芯スプリング
51 加熱する手段
52 排気する手段
61 ガス導入手段
Claims (8)
- 先端に微小な探針を有するカンチレバーと、
該カンチレバーを保持する機構と、
該カンチレバーへ与える信号を発生するあるいは該カンチレバーからの信号を処理する回路を有する電気回路基板と、
該カンチレバーと該電気回路基板とを電気的に接続する導電ピンとを備え、
該導電ピンの片端部に前記カンチレバーを直接固定するための支持部と、他端部に前記電気回路基板との接続部を配置して、
試料の電気特性を測定することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 走査型プローブ顕微鏡本体から取り外し可能なホルダをさらに有し、
前記カンチレバー、前記カンチレバー保持機構、前記電気回路基板、および前記導電性ピンは、該ホルダに備えられていることを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記電気回路基板は、貫通穴を備えた電気接続用パッド部を有し、
前記導電性ピンとは該端子部で電気的に接続されることを特徴とする請求項1 または2のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記電気回路基板は、前記ホルダとは着脱可能であることを特徴とする請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記電気回路基板は、前記導電性ピンに設けたネジ機構により固定されたことを特徴とする請求項4に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記電気回路基板は、前記導電性ピンに設けたソケットホールド機構により固定されることを特徴とする請求項3に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記カンチレバー保持機構は、前記導電性ピンと押さえ板とからなることを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記導電性ピンとホルダは真空気密性が確保されていることを特徴とする請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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