JP2008157650A - 試料検査装置及び試料検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料2を加熱する試料加熱部を、ヒータ23と、ヒータを電気絶縁した状態で覆う接地された金属シールド22と、金属シールドの試料載置側に設けられた絶縁シート21で構成する。プローブ加熱部も、同様に、ヒータ28と、ヒータを電気絶縁した状態で覆う接地された金属シールド27と、絶縁シート26で構成する。
【選択図】図5
Description
2…試料
3…プローブ
4…電子光学系
5…ステージ
6…プローブステージ
7…試料室
8…試料加熱部
9…Zセンサ
10…電気特性評価部
11…ターボ分子ポンプ
12…ドライポンプ
13…電源部
14…ディスプレイ装置
15…画像表示部
16…制御部
20…試料ホルダ
21…絶縁シート
22…シールド
23…ヒータ
24…絶縁ベース
25…プローブユニットヘッド
26…絶縁シート
27…シールド
28…ヒータ
29…絶縁ベース
30…プローブ加熱部
31…プローブホルダ
32…温度センサ
33…プローブユニット
35…架台
36…大ステージ
37…小ステージ
38…プローブユニットベース
42…微小信号増幅部
43…温度センサ
44…電子線
45…絶縁材
47…電子線
Claims (10)
- 試料室と、
前記試料室内に設けられ、回路配線パターンを備えた試料を載置する試料ステージ及び前記試料ステージに載置された試料に触針するプローブを備えたプローブユニットと、
試料に電子ビームを照射する電子光学系とを有し、
前記試料ステージは、ヒータと、前記ヒータを電気絶縁した状態で覆う接地された金属シールドと、前記金属シールドの試料載置側に設けられた絶縁部材とを有し、試料を加熱する試料加熱部を有し、
前記試料ステージに載置された試料を前記試料加熱部によって加熱しながら前記プローブユニットのプローブを試料に触針させて試料の回路配線パターンの電気特性を測定することを特徴とする検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、前記プローブユニットは、ヒータと、前記ヒータを電気絶縁した状態で覆う接地された金属シールドと、前記金属シールドのプローブ側に設けられた絶縁部材とを有し、前記絶縁シートを介して前記プローブを加熱するプローブ加熱部を有することを特徴とする検査装置。
- 請求項1又は2記載の検査装置において、前記絶縁部材は絶縁シートであることを特徴とする検査装置。
- 請求項1又は2記載の検査装置において、前記絶縁部材はポリイミドからなることを特徴とする検査装置。
- 請求項1又は2記載の検査装置において、前記試料ステージに載置された試料の高さを測定するZセンサ及び試料の温度を測定する温度センサを有し、試料の温度変化による試料の高さの変化を前記試料ステージ又は前記プローブユニットによるプローブの移動によりキャンセルすることを特徴とする検査装置。
- 請求項1又は2記載の検査装置において、前記電子光学系は電子ビームによって試料を走査し、前記プローブによって検出した電流強度を前記電子ビームの走査に同期して出力し、画像化して表示すること特徴とする検査装置。
- 請求項2記載の検査装置において、前記試料加熱部の温度と前記プローブ加熱部の温度を監視し、両者が同一温度になるように制御することを特徴とする検査装置。
- 試料ステージに設けられたヒータの発熱を、前記ヒータを電気絶縁した状態で覆う接地された金属シールド及び前記金属シールドの試料載置側に設けられた絶縁部材を介して伝熱することによって、試料ステージに載置された回路配線パターンを有する試料を加熱し、
前記試料にプローブを接触させ、
前記試料を電子ビームで走査し、
前記プローブによって検出された電流強度を前記電子ビームによる走査に同期して出力し、画像化して表示することを特徴とする試料検査方法。 - 請求項8記載の試料検査方法において、ヒータの発熱を前記ヒータを電気絶縁した状態で覆う接地された金属シールド、及び前記金属シールドの前記プローブ側に設けられた絶縁部材を介して伝熱することによって前記プローブを加熱することを特徴とする試料検査方法。
- 請求項8記載の試料検査方法において、所定のサンプリング間隔で試料の温度と高さを測定し、試料の自己発熱による温度上昇を検知したとき退避シーケンスを開始し、試料の高さ変化率が予め設定した値以上のときは前記プローブを退避方向に移動させ、前記高さ変化率が予め設定した値より小さいときは前記試料ステージを退避方向に移動させることにより、前記試料の自己発熱による試料の高さの変化を前記試料ステージ又は前記プローブの移動によりキャンセルすることを特徴とする試料検査方法。
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