JP5509255B2 - 試料検査装置及び吸収電流像の作成方法 - Google Patents
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Description
ことができる。
2 試料
3 配線パターン
4 探針
5 電子線源
6 差動増幅器
7 吸収電流像
8 表示部
9,10 コンデンサレンズ
11 絞り
12 スキャン偏向器
13 イメージシフト偏向器
14 対物レンズ
15 二次電子線
16 二次電子線検出器
17 SEM制御部
18 ビデオボード
19 記録部
20 試料ホルダ
21 試料ステージ
22 探針ステージ
23 増幅器
24 切換部
25 電流増幅器
26 磁場シールド
27 バックグラウンド像
28 反転バックグラウンド像
29 吸収電流像+反転バックグラウンド像
Claims (4)
- 吸収電流像の作成方法であって、
探針を試料から離し、試料に電子線を走査し、前記探針より入力された信号に基づいてバックグラウンド信号を作成し、
探針を試料に接触させ、試料に電子線を走査し、前記探針より入力された信号に基づいて吸収電流信号を作成し、
前記バックグラウンド信号の極性を反転させた反転バックグラウンド信号を前記吸収電流信号に加算して電子線の走査に同期させて吸収電流像を作成することを特徴とする方法。 - 請求項1記載の吸収電流像の作成方法であって、
前記試料が、配線パターンが形成された半導体試料であることを特徴とする方法。 - 試料を載置できる試料台と、
電子線を走査できる電子線照射光学系と、
前記試料に接触できる探針と、を備え、
前記探針が前記試料に接触しない状態のときに前記試料に電子線を走査した際に前記探針より入力された信号に基づいて作成したバックグラウンド信号の極性を反転させた反転バックグラウンド信号と、前記探針が前記試料に接触した状態のときに前記試料に電子線を走査した際に前記探針より入力された信号に基づいて作成した吸収電流信号を記憶する記憶部と、
前記反転バックグラウンド信号を前記吸収電流信号に加算し、電子線の走査に同期させて表示する画像装置と、を有する試料検査装置。 - 請求項3記載の試料検査装置において、
前記試料が、配線パターンが形成された半導体試料であることを特徴とする試料検査装置。
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