JP2009277953A - 測定方法および検査装置 - Google Patents
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Abstract
試料の温度を変化させて試料検査を行う場合、チャンバー内にあるホルダ,試料ステージ,プロービング機構全体,試料台などの熱膨張によるドリフトが生じてしまう。この試料ドリフトの影響は、プローブを測定箇所へ接触させる際の大きな障害となる。一方、荷電粒子線を用いた観察では、コンタミネーションが生じることがあり、目的とする測定領域を埋没させてしまうため、プローブによる電気特性測定が困難となる。特に、試料を加熱する場合、試料表面や試料内部に内在するガス分子が発生しやすくなり、コンタミネーションが生じやすくなる。さらに、荷電粒子線を用いた観察では、荷電粒子線照射による熱ダメージの影響で試料の構造が破壊されてしまう場合がある。
【解決手段】
上述の問題点に鑑み、本発明では、局所加熱および冷却を実現出来る機能を有する微小ブロックの集合体を特徴とする試料台を用いて、所望箇所の温度調整を実現する。
【選択図】図1
Description
立方体以外のブロックに代替することも可能である。
102 真空チャンバー隔壁
103 一次電子線
104 二次電子検出器
105 二次電子
106,202,505 プローブ
107 アタッチメント
108 プローブ駆動手段
109,301,501 試料台
110 試料台駆動手段
111 ベースステージ
112 ベース
113 電気特性計測器
114 制御コンピュータ
115 メモリ
116 電子光学系制御装置
117 入力装置
118,201,502,607 試料
119,405 温度制御装置
203 ソース
204 ドレイン
205 ゲート
206 ウェル
302,601 微小ブロック
303 ブロックの隙間
304,401,408 断熱材
305 ベース部分
402 ペルチェ素子上面
403 ペルチェ素子下面
404 配線
406 加熱ユニット
407 冷却ユニット
409 ヒーター線
410 熱伝導線
411 液体窒素容器
503 加熱ブロック
504 冷却ブロック
602 ガス分子
603 電子線
604 熱ダメージ
605 冷却前の試料台
606 冷却後の試料台
Claims (7)
- 荷電粒子源と、
該荷電粒子源から放出された荷電粒子線を試料に照射する照射装置と、
前記試料を搭載する試料ステージと、
試料室内で試料に触針するプローブと、
前記プローブを保持するプローブ保持機構と、
を有する検査装置において、
前記試料ステージは、複数のブロックから構成され、
当該検査装置は、各ブロックの温度を変化させる機構を有すること
を特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記複数のブロックの温度を調整する温度調整機構を有すること
を特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線を照射する領域に近いブロックの温度が、該ブロックに隣接するブロックの温度より高く、若しくは低くすることを特徴とする。 - 請求項1において、
複数のブロックの間に断熱部材を配置することを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記ブロックは、上面に加熱若しくは冷却する機構を有し、側面が断熱部材で覆われていることを特徴とする検査装置。 - 請求項5において、
前記ブロックの上面にペルチェ素子を配置したことを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記ブロックは、第1の部材を断熱部材を介して第2の部材が取り囲むように構成され、
前記第1の部材の温度が前記第2の部材の温度と異なることを特徴とする検査装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018151369A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-09-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及び電子デバイス検査装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0513296A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-22 | Fujitsu Ltd | ウエハチヤツク |
JPH09326425A (ja) * | 1996-06-04 | 1997-12-16 | Hitachi Ltd | 不良検査方法および装置 |
JP2001223248A (ja) * | 1999-11-25 | 2001-08-17 | Ibiden Co Ltd | ウエハプローバ及びそれに用いられる検査用ステージ |
JP2001324459A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置およびプローブ制御方法 |
JP2004140296A (ja) * | 2002-10-21 | 2004-05-13 | Tokyo Electron Ltd | 被検査体を温度制御するプローブ装置及びプローブ検査方法 |
JP2007096011A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Jeol Ltd | 試料検査方法 |
-
2008
- 2008-05-16 JP JP2008129011A patent/JP2009277953A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0513296A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-22 | Fujitsu Ltd | ウエハチヤツク |
JPH09326425A (ja) * | 1996-06-04 | 1997-12-16 | Hitachi Ltd | 不良検査方法および装置 |
JP2001223248A (ja) * | 1999-11-25 | 2001-08-17 | Ibiden Co Ltd | ウエハプローバ及びそれに用いられる検査用ステージ |
JP2001324459A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置およびプローブ制御方法 |
JP2004140296A (ja) * | 2002-10-21 | 2004-05-13 | Tokyo Electron Ltd | 被検査体を温度制御するプローブ装置及びプローブ検査方法 |
JP2007096011A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Jeol Ltd | 試料検査方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018151369A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-09-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及び電子デバイス検査装置 |
JP6994313B2 (ja) | 2016-11-29 | 2022-01-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及び電子デバイス検査装置 |
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