JP2005066753A - ワーク搬送システムの制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 搬送ロボット21をそなえたトランスチャンバ20とゲート24をそなえたプロセスチャンバ23間に、搬送軌跡Aを設定する。この搬送軌跡A上に、搬送されるワークWを、搬送先チャンバのゲートに接触しないように停止させることができる距離にある第1の点P1と、ワーク先端が前記ゲートに機械的に干渉する直前の第2の点P2を設定し、ワークWが第1の点に到達したときに、搬送ロボット21の速度パターンにより第2の点P2に到達する時間TRと、ゲート24がワークWと接触しない開度になる時間TGを演算する。TRとTGにより点1から点2までの搬送速度を算出して搬送し、ゲートの開閉動作中に、ワークをゲートに接触させないでゲート位置を通過搬送する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、ゲートの開閉動作中であっても、ワークをゲート位置に搬送させて、高スループット化を実現させることを目的とする。
図1は、本発明によるワーク搬送システムの制御方法を示すフローチャート、図2はトランスチャンバからプロセスチャンバにワークを搬入する状態を示す説明図、図3はワークとゲートとの関係を示す説明図である。
図2において、搬送元となるトランスチャンバ20に搬送ロボット21が設置されており、搬送先であるプロセスチャンバ23にゲート24が設けられている。ワークWは搬送ロボット21のアーム22に保持されて、搬送軌跡Aに沿って点P1、点P2を経てプロセスチャンバ23内の所定位置点P3に搬入される。点P1はワーク位置から搬送ロボット21をワークWがゲート24に接触しないで停止させることができる位置、点P2はワークWがゲート24に機械的に干渉する直前の位置である。
ゲート24の開閉動作は一定の速度で開閉するものとし、25はこのゲートの開閉度を測定する開度検出器である。
まずワークWがアーム22に保持され搬送を開始すると、速度パターンB生成処理(ステップ1)で点P3を最終位置とした速度パターンBを生成し、この速度パターンによって搬送ロボット21がワークWを搬送軌跡Aに沿って搬送させる。ワークWが点P1に到達した時点(ステップ2)で、ゲート24の開度検出器25よりゲートの開閉情報26を入手してゲートの開度状態をチェックする(ステップ3)。ゲート24が既に開いている場合は(ステップ8)でそのまま速度パターンBの速度を継続し、何らかの事情でゲートが閉じている場合は(ステップ9)で直ちに減速停止させる。ゲートが開動作の途中であれば、速度パターンBの速度を維持して搬送した場合にワークがゲートと接触するかどうかを(ステップ4)で演算し判断する。
この判断結果で、接触しない場合は(ステップ8)によりそのまま速度を継続する。接触すると判断された場合は、(ステップ5)で接触しない速度を算出し、変更した速度パターンCを生成し(ステップ6)連続して搬送する。なお、速度パターンBは、搬送時間を小さくするため、できるだけ高速にしているため、速度パターンCは速度パターンBより通常は減速される。
ワークが点P2を通過(ステップ7)した後は、ゲート24はワークと接触しないよう十分に開いているので、(ステップ8)で速度パターンBに戻して搬送終点点P3で停止させる。
これに対して、従来は点線で示すように、ゲートが完全に開いた状態になってワークを搬入させるため時間Tだけ搬送完了が遅れる。
点P3と点P2の距離が小さく、搬出時間がゲートの閉動作時間より長いときは、搬出を開始して前記2つの時間の時間差に応じたタイミングでゲートの閉動作を行わせ、搬出時間がゲートの閉動作時間より小さいときは、先にゲートを動作させ、時間差で搬出を開始する。これにより搬出開始からゲートが完全に閉まるまでの時間を短縮できる。
なお、点P3と点P2の距離が十分に大きければ、点P3とP2の間にP1に相当する点を設け、速度パターンを変えるようにすることができる。
ワークWが点P1から点P2に到達するまでの時間をTR、ゲート24がゲート開度情報による開度G1から、ワークWの大きさやアームのゲート開閉方向の高さによって決められる接触を生じない開度G2になるまでの時間をTGとすると、TRがTGより大きい場合は接触しない、TRがTGと等しいか小さいときは接触すると判断される。
ここでTRは、
21 搬送ロボット
22 アーム
23 プロセスチャンバ
24 ゲート
25 開度検出器
W ワーク
A 搬送軌跡
P1 ワークがゲートに接触しないで停止できる位置
P2 ワークがゲートに機械的に干渉する直前の位置
P3 搬入位置
Claims (4)
- それぞれゲートをそなえた複数のチャンバと、前記チャンバ相互間にワークを搬入および搬出させる搬送ロボットをそなえたワーク搬送システムにおいて、搬送元チャンバから搬送先チャンバに前記搬送ロボットによりワークを搬送する搬送軌跡を設定し、前記搬送軌跡に沿って搬送されるワークが、チャンバのゲートが開閉動作中に、このゲートに接触しない程度に近接してゲート位置を通過する搬送速度を演算し、速度制御することを特徴とするワーク搬送システムの制御方法。
- 前記搬送軌跡に、搬入されるワークを搬送先チャンバのゲートに接触しないように停止させることができる距離にある第1の点と、ワーク先端が前記ゲートに機械的に干渉する直前の第2の点を設定し、第1の点において、搬送ロボットの速度パターンにより第2の点に到達する時間と、ゲートがワークと接触しない開度になる時間とを演算し、2つの時間によって第2の点までの速度を算出する請求項1のワーク搬送システムの制御方法。
- 前記搬送軌跡に、搬出されるワークの後端が搬出元チャンバのゲートに機械的に干渉しない位置である第2の点を設定し、前記搬送軌跡によるワークの搬出時に、ワークが第2の点に搬出される時間と、ゲートがワークと接触しない開度に閉じる時間とを演算し、2つの時間によって、搬出開始とゲートの閉動作の開始との時間を算出し、搬送のタイミングと速度を制御する請求項1のワーク搬送システムの制御方法。
- 前記ワークが搬送軌跡に沿って停止することなく速度制御される請求項1又は2又は3のいずれかに記載したワーク搬送システムの制御方法。
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