JP2005062193A - 表面の幾何形状データを検出するための干渉測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】変調干渉計(MI)を備えたビーム供給部分からユニットのプラットフォーム(PF)が形成され、当該プラットフォーム(PF)は受光及び評価装置(BA,R)を含み、インタフェース構成体(S)を有し、各種のゾンデユニット(SE1,SE2)に選択的に接続されている。そして、一方の側に変調干渉計(MI)が、他方の側に受光及び評価装置(BA,R)が構成されて、同じプラットフォーム(PF)から各種のゾンデユニット(SE1,SE2)は動作可能で、干渉ビームは評価可能である、干渉計測定装置。
【効果】操作性及び構造に関してコストが低減されるという効果を生じる。
【選択図】図1
Description
Claims (14)
- 少なくとも1つの対象物(O)の表面の幾何形状データを検出するための干渉計測定装置であって、
ビーム供給部と、測定干渉計構成体と、後置された受光及び評価装置(BA,R)とを有し、
前記ビーム供給部は、光源(LQ)から短コヒーレントな広帯域ビームが供給される変調干渉計(MI)を有し、
前記測定干渉計構成体は前記変調干渉計と接続されており、かつ複数のゾンデユニット(SE1,SE2)を有し、
前記複数のゾンデユニットは測定ビームを所属の表面箇所に送出し、かつ該表面箇所から反射されたビームを受光し、
該ビームは、所属の基準素子構成体(R)から反射されたビームと干渉され、
前記受光及び評価装置は、干渉されたビームに基づいて幾何形状データを検出する形式の干渉計測定装置において、
変調干渉計(MI)を備えるビーム供給部分から一体的プラットフォーム(PF)が形成されており、
該プラットフォームは受光及び評価装置(BA,R)も含み、かつインタフェース構成体(S)を有し、
該インタフェース構成体には種々のゾンデユニット(SE1,SE2)が選択的に接続され、
変調干渉計(MI)と受光及び評価装置(BA,R)とは、種々異なるゾンデユニット(SE1,SE2)が同じプラットフォーム(PF)から操作され、前記干渉されたビームが評価されるように構成されている、
ことを特徴とする干渉計測定装置。 - 少なくとも2つの異なるゾンデユニット(SE1,SE2)が設けられており、
該少なくとも2つのゾンデユニットは、点状に測定するゾンデ、線状に測定するゾンデ、又は面状に測定するゾンデのグループの少なくとも2つに所属する、請求項1記載の測定装置。 - プラットフォーム(PF)にはインタフェース側を有する測定ヘッド(MK)が配置されており、
該測定ヘッドには種々異なるゾンデユニット(SE1,SE2)が接続される、請求項1又は2記載の測定装置。 - プラットフォーム(PF)には、それぞれ1つのインタフェース側を有する複数の異なる測定ヘッド(MK1,MK2)が配置されており、
該測定ヘッドを介して複数の異なるゾンデユニット(SE1,SE2)が同時に接続及び操作される、請求項1から3までのいずれか1項記載の測定装置。 - 変調干渉計(MI)は連続的位相変調干渉計構成体、又は連続的行路変調干渉計構成体、又は連続的周波数変調干渉計構成体として構成されている、請求項1から4までのいずれか1項記載の測定装置。
- 測定装置は白色光干渉計、又は波長の調節可能なレーザーを備えるレーザー干渉計(レーザーチップ干渉計)を有する、請求項1から5までのいずれか1項記載の測定装置。
- 白色光干渉計は、側方走査型の干渉計として構成されている、請求項6記載の測定装置。
- 少なくとも1つのゾンデユニット(SE2)は点状に測定する複数のゾンデ(MS)を有し、
当該ゾンデ(MS)を駆動制御するために、時間的にパラレル又はシリアルに動作するマルチプレクサ(MU)が設けられている、請求項1から7までのいずれか1項記載の測定装置。 - 点状に測定ゾンデ(MS)は別個の光学素子を含むか、又は光ファイバーの構成により形成されている、請求項6から8までのいずれか1項記載の測定装置。
- 少なくとも1つの線形センサは、点状に測定するゾンデ(MS)の信号を相互に評価することにより実現されるか、又は面状の画像記録機器の画像記録素子の線形構成体を評価することにより実現される、請求項1から9までのいずれか1項記載の測定装置。
- 面状に測定するゾンデが少なくとも1つ設けられており、該ゾンデは中間画像(ZB)を形成するための構成体を有している、請求項1から10までのいずれか1項記載の測定装置。
- 面状に測定するゾンデが少なくとも1つ設けられており、該ゾンデは内視鏡構成体及び/又は回転光学系及び/又は側方走査型構成体を有する、請求項1から11までのいずれか1項記載の測定装置。
- 波面又は行路長を調整するために、少なくとも1つの適応型光学素子(AE)が受光装置(BA)又はゾンデユニット(SE1,SE2)へのビーム路に配置されている、請求項1から12までのいずれか1項記載の測定装置。
- 受光装置(BA)は、面状のフォトディテクタと点状のフォトディテクタとからなるコンビネーションを有し、
該点状のフォトディテクタは点状のゾンデと接続されている、請求項1から13までのいずれか1項記載の測定装置。
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